21以向石英管2的爐口 2A靠近的方式轉(zhuǎn)動(dòng)，門(mén)10以關(guān)閉的方式轉(zhuǎn)動(dòng)。而后，門(mén)10按壓在爐口 2A上，石英管2內(nèi)被密封。
[0040]另一方面，如果活塞桿232相對(duì)于氣缸筒231后退，則驅(qū)動(dòng)臂21以從石英管2的爐口 2A遠(yuǎn)離的方式轉(zhuǎn)動(dòng)，門(mén)10以打開(kāi)的方式轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，如果由未特別圖示的控制器控制驅(qū)動(dòng)裝置23，則可以自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)臂21的驅(qū)動(dòng)。
[0041]門(mén)框13利用設(shè)置在驅(qū)動(dòng)臂21的前端的門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件30，以?xún)A斜(擺動(dòng))自如的方式被支承。
[0042]具體地說(shuō)，如圖3所示，門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件30具備桿端軸承31和擺動(dòng)軸32。桿端軸承31安裝在驅(qū)動(dòng)臂21的前端。擺動(dòng)軸32以軸心能傾斜的方式被桿端軸承31支承。擺動(dòng)軸32使用零件321固定在門(mén)框13的中心。被零件321固定在門(mén)框13上的擺動(dòng)軸32，貫通安裝于驅(qū)動(dòng)臂21的前端上側(cè)的面上的桿端軸承31的球面內(nèi)圈311。
[0043]桿端軸承31可以由公知的桿端軸承(日本專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2003-247540號(hào)，日本專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)實(shí)開(kāi)平2-78808號(hào))構(gòu)成，球面內(nèi)圈311以能擺動(dòng)方式被保持在形成在桿端軸承31的內(nèi)側(cè)的球面狀的安裝孔中。擺動(dòng)軸32以能與球面內(nèi)圈311 —起傾斜的方式被保持。
[0044]在擺動(dòng)軸32的、與安裝在門(mén)框13上的一端部相反一側(cè)的另一端部上，設(shè)置有角度調(diào)節(jié)頭33。角度調(diào)節(jié)塊34安裝在驅(qū)動(dòng)臂21的前端。在角度調(diào)節(jié)塊34上形成有被角度調(diào)節(jié)頭33貫通的開(kāi)口 34A。開(kāi)口 34A的尺寸被設(shè)定為能容許角度調(diào)節(jié)頭33的傾斜的尺寸。
[0045]如圖4所示，按照以上的門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件30的結(jié)構(gòu)，門(mén)10以相對(duì)于驅(qū)動(dòng)臂21傾斜自如的方式被支承。門(mén)10的傾斜角度的最大角度α，由角度調(diào)節(jié)頭33的外徑與角度調(diào)節(jié)塊的開(kāi)口 34Α的內(nèi)徑的相對(duì)關(guān)系限制(調(diào)節(jié))。
[0046]此外，在門(mén)框13和驅(qū)動(dòng)臂21上設(shè)有門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件40，所述門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件40限制門(mén)10的圍繞中心的轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖6所示，門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件40設(shè)置在從門(mén)10的、封閉石英管2的爐口 2Α的面的中心偏離的位置上，限制門(mén)10的轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0047]在本實(shí)施方式中，如圖5所示，門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件40具備轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42和轉(zhuǎn)動(dòng)限制板41。轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42固定在驅(qū)動(dòng)臂21上。轉(zhuǎn)動(dòng)限制板41固定在門(mén)框13上。另外，與此相對(duì)，也可以采用轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42固定在門(mén)框13上、轉(zhuǎn)動(dòng)限制板41固定在驅(qū)動(dòng)臂21上的結(jié)構(gòu)。
[0048]轉(zhuǎn)動(dòng)限制板41例如是通過(guò)將帶狀的金屬板在其長(zhǎng)邊方向的兩個(gè)部位實(shí)施大致Z形的彎曲加工制作而成的。轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42以向門(mén)10的方向突出的方式安裝在支承塊43上，所述支承塊43垂直地固定在驅(qū)動(dòng)臂21的、與門(mén)10相反的一側(cè)上。
[0049]轉(zhuǎn)動(dòng)限制板41使用彼此平行的兩個(gè)端片411、412中的一方的端片411，通過(guò)螺絲固定等固定在門(mén)框13的圓盤(pán)部131上。轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42貫通形成在轉(zhuǎn)動(dòng)限制板41的另一方的端片412上的開(kāi)口 41Α。開(kāi)口 41Α的尺寸被設(shè)定為能把轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42的轉(zhuǎn)動(dòng)限制在一定范圍的尺寸。具體地說(shuō)，以使轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42以使門(mén)10的傾斜角度能在所述角度α的范圍內(nèi)變更的方式貫通開(kāi)口 41Α的方式，調(diào)整轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭42和開(kāi)口 41Α。
[0050]利用以上的門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件40的結(jié)構(gòu)，門(mén)10的圍繞擺動(dòng)軸32的轉(zhuǎn)動(dòng)受到限制。由此，能夠保持石英管2的爐口 2Α與門(mén)內(nèi)表面的石英板11的滑配合(摺9合打甘)的再現(xiàn)性。
[0051]按照本發(fā)明，由于門(mén)10內(nèi)置有絕熱材料12，所以即使門(mén)10的內(nèi)側(cè)與外側(cè)存在溫度差，也能抑制門(mén)內(nèi)表面的石英板11的溫度降低。由此，能夠防止在石英管2的爐口 2Α的附近析出來(lái)源于擴(kuò)散用氣體的副產(chǎn)物。
[0052]門(mén)10是將絕熱材料夾在門(mén)框13和石英板11之間的結(jié)構(gòu)。因此，盡管門(mén)10是具備絕熱材料12的結(jié)構(gòu)，也可以通過(guò)用驅(qū)動(dòng)臂21支承門(mén)外表面的門(mén)框13并使門(mén)框13轉(zhuǎn)動(dòng)自如的開(kāi)閉機(jī)構(gòu)20，無(wú)障礙地對(duì)門(mén)10進(jìn)行開(kāi)閉。
[0053]此外，驅(qū)動(dòng)臂21被驅(qū)動(dòng)裝置23向石英管2的爐口 2Α側(cè)施加作用力，由設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)臂21的前端的門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件30支承門(mén)框13，由此能夠以使門(mén)內(nèi)表面的石英板11沿石英管2的爐口 2A的形狀追隨的形式提高兩者的密封性。由此，能夠防止大氣從石英管2的爐口 2A進(jìn)入，能夠防止與大氣的反應(yīng)產(chǎn)生的副產(chǎn)物的生成，能夠防止門(mén)的腐蝕和爐內(nèi)的污染，能夠延長(zhǎng)維保周期。
[0054]上述實(shí)施方式的說(shuō)明在所有的方面都是示例，而不應(yīng)該被認(rèn)為是限制性的說(shuō)明。本發(fā)明的范圍不限于上述的實(shí)施方式，而是由權(quán)利要求的范圍表示。此外，本發(fā)明的范圍還包括與權(quán)利要求的范圍實(shí)質(zhì)性相同的內(nèi)容和范圍內(nèi)的全部變形。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種熱處理裝置，其特征在于， 所述熱處理裝置包括:加工處理管，一端封閉并且另一端形成有開(kāi)口，通過(guò)所述另一端的開(kāi)口收容被熱處理的工件；門(mén)，對(duì)所述加工處理管的開(kāi)口進(jìn)行開(kāi)閉；以及開(kāi)閉機(jī)構(gòu)，使所述門(mén)動(dòng)作，使得對(duì)所述開(kāi)口進(jìn)行開(kāi)閉， 所述門(mén)包括:內(nèi)表面構(gòu)件，配置在所述加工處理管側(cè)；絕熱材料，配置在所述內(nèi)表面構(gòu)件的外側(cè)；以及門(mén)框，配置在所述絕熱材料的外側(cè)并保持所述內(nèi)表面構(gòu)件和所述絕熱材料， 所述開(kāi)閉機(jī)構(gòu)包括:驅(qū)動(dòng)臂，前端支承所述門(mén)框，與所述門(mén)一起在向所述加工處理管靠近的一個(gè)方向和從所述加工處理管遠(yuǎn)離的另一個(gè)方向上被驅(qū)動(dòng)；以及驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)臂，所述開(kāi)閉機(jī)構(gòu)通過(guò)利用所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)所述門(mén)，打開(kāi)或封閉所述加工處理管的開(kāi)口， 所述熱處理裝置還包括門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件，所述門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件以能傾斜的方式支承在所述驅(qū)動(dòng)臂的前端，并且安裝在所述門(mén)框上，以能進(jìn)行傾斜調(diào)整的方式支承所述門(mén)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，所述門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件包括:桿端軸承，安裝在所述驅(qū)動(dòng)臂的前端；以及擺動(dòng)軸，以軸心能傾斜的方式被所述桿端軸承支承，所述擺動(dòng)軸安裝在所述門(mén)框上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱處理裝置，其特征在于， 在所述擺動(dòng)軸的、與安裝在門(mén)框上的一端部相反一側(cè)的另一端部上，設(shè)有角度調(diào)節(jié)頭， 所述驅(qū)動(dòng)臂的前端安裝有角度調(diào)節(jié)塊，所述角度調(diào)節(jié)塊形成有開(kāi)口，所述角度調(diào)節(jié)頭貫通該開(kāi)口，并且該開(kāi)口的尺寸能容許所述角度調(diào)節(jié)頭傾斜。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱處理裝置，其特征在于，在所述門(mén)框和所述驅(qū)動(dòng)臂上設(shè)置有門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件，所述門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件限制所述門(mén)的圍繞中心的轉(zhuǎn)動(dòng)，并且位于從所述門(mén)的、封閉所述加工處理管的開(kāi)口的面的中心偏離的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理裝置，其特征在于，所述門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件包括:轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭，設(shè)置在所述門(mén)框或所述驅(qū)動(dòng)臂的任意一方上；以及轉(zhuǎn)動(dòng)限制板，設(shè)置在所述門(mén)框或所述驅(qū)動(dòng)臂的另一方上，形成有開(kāi)口，所述轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭貫通該開(kāi)口，并且該開(kāi)口的尺寸能將所述轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭的轉(zhuǎn)動(dòng)限制在規(guī)定范圍。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任意一項(xiàng)所述的熱處理裝置，其特征在于， 作為所述驅(qū)動(dòng)裝置，由氣缸機(jī)構(gòu)構(gòu)成，所述氣缸機(jī)構(gòu)具備往返運(yùn)動(dòng)的活塞桿以及收納所述活塞桿的氣缸筒，通過(guò)接受提供的流體壓力并使所述活塞桿相對(duì)于所述氣缸筒前進(jìn)或后退來(lái)傳遞驅(qū)動(dòng)力， 所述驅(qū)動(dòng)臂的基端與所述活塞桿連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱處理裝置，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)臂以與封閉所述加工處理管的開(kāi)口的、所述門(mén)的面大致平行的方式延伸設(shè)置， 所述驅(qū)動(dòng)臂的基端部和第一連桿的一端部以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承在固定支架的一端部，使得所述驅(qū)動(dòng)臂和所述第一連桿一起轉(zhuǎn)動(dòng)，所述固定支架固定在所述熱處理裝置上， 所述氣缸筒以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承在所述固定支架的另一端部，并且所述第一連桿的另一端部以彼此能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式與所述活塞桿的前端部連接，所述固定支架以該固定支架的一端部比另一端部更靠近所述加工處理管的方式設(shè)置。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種熱處理裝置。其中，門(mén)以能通過(guò)開(kāi)閉機(jī)構(gòu)開(kāi)閉的方式設(shè)置在石英管的爐口。門(mén)具有配置在石英管一側(cè)的石英板、保持在門(mén)的內(nèi)側(cè)的絕熱材料、以及保持石英板和絕熱材料的門(mén)框。開(kāi)閉機(jī)構(gòu)具有前端支承門(mén)框并與門(mén)一起在靠近或遠(yuǎn)離石英管的方向上被驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)臂、以及驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)裝置，利用驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)門(mén)來(lái)打開(kāi)或封閉石英管的爐口。門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件以能傾斜的方式支承在驅(qū)動(dòng)臂的前端，并且安裝在門(mén)框上，以能進(jìn)行傾斜調(diào)整的方式支承門(mén)。
【IPC分類(lèi)】H01L21-67, H01L31-18
【公開(kāi)號(hào)】CN104835760
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510066505
【發(fā)明人】森本篤史, 小窪正范
【申請(qǐng)人】光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年8月12日
【申請(qǐng)日】2015年2月9日