技術編號：8513597
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在太陽能電池單元等的制造工序中，實施使雜質(zhì)向作為工件的硅基板(半導體晶片)的表面擴散的擴散處理等熱處理。用于進行所述熱處理的熱處理裝置，具備收容工件并實施熱處理的加工處理管(7° 口七只夭i 一7'' )和加熱器。加工處理管例如是石英管，內(nèi)部收容有插件板(求一卜)，該插件板保持有彼此之間設置有規(guī)定的間隙的多個半導體晶片。加熱器以包圍加工處理管的外側的方式配置，將加工處理管的內(nèi)部加熱到規(guī)定的溫度。按照日本專利公開公報特開2001-185501號公開的結構，在...
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