專(zhuān)利名稱(chēng)：模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將制成的模塊集成電路容納于運(yùn)載器(carrier)之內(nèi)并可在運(yùn)送于各工序之間途中同時(shí)做檢驗(yàn)的模塊集成電路處理機(jī)，特別是涉及一種模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，它具有夾持住運(yùn)載器的一邊將它在各工序之間移動(dòng)的運(yùn)載器運(yùn)送裝置，和在夾持住運(yùn)載器的同時(shí)將其位置再精確定位的運(yùn)載器定位裝置。
一般來(lái)講，所謂模塊集成電路是指在底板的一個(gè)側(cè)面，或兩側(cè)面上焊接固定上若干個(gè)集成電路及其部件而構(gòu)成獨(dú)立的回路，組裝在總底板上，有將其容量擴(kuò)大的機(jī)能。
迄今，在模塊集成電路的制造工序中，尚未開(kāi)發(fā)出一種裝置，它可以自動(dòng)地將上述模塊集成電路裝于檢驗(yàn)套筒內(nèi)進(jìn)行檢驗(yàn)后，依其結(jié)果，自動(dòng)地將它分類(lèi)并卸載于客戶(hù)碟(customer tray)(圖中未示)之內(nèi)，故操作人員必須從試碟(tray)中用手工作業(yè)將模塊集成電路一個(gè)一個(gè)地取出來(lái)裝入檢驗(yàn)套筒，在預(yù)設(shè)的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行檢驗(yàn)之后，依其結(jié)果，分別裝于客戶(hù)碟之內(nèi)。這樣就存在有工作效率低的問(wèn)題。另外也存在由于單一勞動(dòng)產(chǎn)生的厭倦而使生產(chǎn)效率降低的問(wèn)題。
然而該種模塊集成電路處理機(jī)，由于使用拾取組件將置于淺碟內(nèi)的模塊集成電路夾持住后，直接將其裝入或卸載于檢驗(yàn)處的檢驗(yàn)套筒內(nèi)而未采用運(yùn)載器方式，未在裝載和卸載處所采用將運(yùn)載器位置更精確定位的機(jī)構(gòu)，故存在設(shè)備昂貴的模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)率低下的問(wèn)題。
本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題而研究出來(lái)的。本發(fā)明的主要目的在于提供一種模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，使其在提高昂貴設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率而采用運(yùn)載器的同時(shí)，提供一種充分利用最小的空間并可將運(yùn)載器自動(dòng)地運(yùn)送于各工序之間。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，使其在裝載處所和卸載處所上運(yùn)載器的位置能夠更準(zhǔn)確定位，拾取組件將模塊集成電路能夠準(zhǔn)確地從淺碟裝入運(yùn)載器，或者從運(yùn)載器中卸載。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明在組成上配備有下列裝置，即運(yùn)送指定模塊型的運(yùn)載器；將該運(yùn)載器從裝載處所運(yùn)送到卸載處所的運(yùn)送裝置，在裝載處所和卸載處所將運(yùn)載器的位置進(jìn)行更精確地定位以使拾取組件可以將淺碟中的模塊集成電路準(zhǔn)確地裝載于運(yùn)載器或從運(yùn)載器中卸載的運(yùn)載器定位裝置等。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和積極效果。正如以上說(shuō)明的那樣，在本發(fā)明中沿著運(yùn)載器的運(yùn)送路途設(shè)置了可以進(jìn)退行走的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，并在該滑動(dòng)機(jī)構(gòu)上裝配一對(duì)由一個(gè)活動(dòng)缸帶動(dòng)的可以彎曲、可以張開(kāi)的鉤爪，從而可使運(yùn)載器的運(yùn)送裝置所占面積成為最小。
另外，本發(fā)明中，在裝載處所和卸載處所上的拾取組件對(duì)運(yùn)載器裝載或卸載模塊集成電路以前，由于已將運(yùn)載器的位置更加準(zhǔn)確地定位了的緣故，可以預(yù)防裝載和卸載工作產(chǎn)生的麻煩(trouble)，從而可極大地提高設(shè)備的運(yùn)行率。又，由于本發(fā)明采用了運(yùn)載器方式，以致可在加熱室內(nèi)進(jìn)行高溫加熱，使模塊集成電路的耐熱性檢驗(yàn)工作成為可能。
本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。


圖1是本發(fā)明適用的模塊集成電路處理機(jī)的立體圖。
圖2是圖1的背面立體圖。
圖3是本發(fā)明的模塊集成電路處理機(jī)中的運(yùn)載裝卸裝置的立體圖。
圖4是本發(fā)明的模塊集成電路處理機(jī)中的運(yùn)載裝卸裝置的主要部分—運(yùn)載器的運(yùn)送裝置的立體圖。
圖5是圖4中的部分分解立體圖。
圖6A是運(yùn)載器解除夾持住時(shí)的狀態(tài)圖。
圖6B是鉤爪將運(yùn)送來(lái)的運(yùn)載器夾持住時(shí)的狀態(tài)圖。
圖7是本發(fā)明模塊集成電路處理機(jī)中的運(yùn)載裝卸裝置的主要部分—運(yùn)載器的定位裝置的立體圖。
圖8A是表示運(yùn)載器處于運(yùn)送可以進(jìn)行的狀態(tài)的示意圖。
圖8B是表示將運(yùn)送來(lái)的運(yùn)載器已經(jīng)定位狀態(tài)的示意圖。
圖9A是沿圖8A中A-A線剖面的剖面圖。
圖9B是沿圖8B中B-B線剖面的剖面圖。
1淺碟2模塊集成電路3運(yùn)載器6、13裝載處所，卸載處所17角鋼導(dǎo)軌(LM Guider)20定時(shí)皮帶21滑動(dòng)機(jī)構(gòu)22、23鉤爪25活動(dòng)缸26a、26b止動(dòng)器(塊)37安裝底板38導(dǎo)桿39推進(jìn)機(jī)構(gòu)40、43、44驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41、42導(dǎo)軌45承托(座)
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置其具體結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。
請(qǐng)參閱圖1、圖2所示，本發(fā)明的設(shè)備由下列部分組成升降機(jī)部5其機(jī)能為當(dāng)容納在淺碟1中的模塊集成電路已被裝載于運(yùn)載器3中時(shí)，使上述淺碟1所載的載荷板依次上升一格，或者當(dāng)已檢驗(yàn)完了的模塊集成電路被分類(lèi)而卸載于客戶(hù)淺碟4時(shí)，使載荷板下降一格；裝載一方的拾取組件7其機(jī)能為將上述淺碟1中的模塊集成電路依次夾持住而裝載于位于裝載處所6的運(yùn)載器3之內(nèi)；第1號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)9當(dāng)擬進(jìn)行檢驗(yàn)的模塊集成電路已被完全裝載進(jìn)運(yùn)載器3以后，將其運(yùn)送到裝載作業(yè)一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8近傍；裝載一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8將由上述第1號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)9運(yùn)送來(lái)的運(yùn)載器3旋轉(zhuǎn)90°；加熱室10位于上述裝載一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8的直下方，其機(jī)能是依賴(lài)裝載一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)依次將運(yùn)載器運(yùn)送而來(lái)后將模塊集成電路加熱到適于做檢驗(yàn)的溫度；檢驗(yàn)處11位于上述加熱室10的一側(cè)，其機(jī)能是當(dāng)被加熱到適合于檢驗(yàn)的模塊集成電路被運(yùn)送來(lái)后，當(dāng)即將其推到檢驗(yàn)套筒去進(jìn)行預(yù)設(shè)時(shí)間長(zhǎng)度的檢驗(yàn)；卸載一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12設(shè)置于上述檢驗(yàn)處11的一側(cè)，當(dāng)模塊集成電路業(yè)已檢驗(yàn)完畢而運(yùn)載器3被運(yùn)送來(lái)時(shí)，將該運(yùn)載器3旋轉(zhuǎn)90°；第2號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)14其機(jī)能為將卸載一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12內(nèi)的運(yùn)載器3水平運(yùn)送到卸載處13去；卸載一側(cè)的拾取組件15其機(jī)能是從由上述第2號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)14運(yùn)送而來(lái)的運(yùn)載器中，依檢驗(yàn)結(jié)果如何，握起模塊集成電路而卸載于客戶(hù)淺碟4內(nèi)；第3號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)16等到上述運(yùn)載器3中的模塊集成電路全部卸完后，將空運(yùn)載器水平運(yùn)送到裝載處所6去。
具有上述組成部分的模塊集成電路處理機(jī)是使用運(yùn)載器3方式，為使運(yùn)載器運(yùn)送時(shí)不與其經(jīng)部件產(chǎn)生干擾，故該運(yùn)載器在各工序之間移動(dòng)時(shí)必須具備第1、2、3號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)9、14、16。
請(qǐng)參閱圖3所示，本發(fā)明由運(yùn)載器3，將該運(yùn)載器3由裝載處所向卸載處所運(yùn)送的運(yùn)載器運(yùn)送裝置(參照?qǐng)D4所示)，和在裝載處所以及卸載處所將運(yùn)載器3的位置更加準(zhǔn)確地定位，以使拾取組件可將模塊集成電路從淺碟更準(zhǔn)確地裝載于運(yùn)載器3之內(nèi)，或者使從運(yùn)載器中卸載成為可能的運(yùn)載器定位裝置等組成(參閱圖7所示)。
首先，構(gòu)成本發(fā)明的重要部分的運(yùn)載器運(yùn)送裝置是這樣的如圖4到圖6A、圖6B所示，在與運(yùn)載器3的移動(dòng)方向平行方向上裝設(shè)有角鋼導(dǎo)軌(LM Guider)17，在與角鋼導(dǎo)軌17呈直交安裝的電動(dòng)機(jī)18驅(qū)動(dòng)下，一對(duì)滑輪19a、19b旋轉(zhuǎn)，其上纏繞著定時(shí)皮帶20。
進(jìn)而，有一端平扣在角鋼導(dǎo)軌17上的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21，其另一端被固定于定時(shí)皮帶20上，當(dāng)電動(dòng)機(jī)18進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21將沿著角鋼導(dǎo)軌17移動(dòng)，在該滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21的兩端具有可夾持住運(yùn)載器3的兩側(cè)面的鉤爪22、23，它們各自繞著軸24a、24b為中心而旋轉(zhuǎn)。上述的一邊的鉤爪23的一端與活動(dòng)缸25的機(jī)體25a作鉸接連結(jié)，另一邊的鉤爪22的一端鉸接于缸桿25b之上。此一對(duì)鉤爪跟隨著活動(dòng)缸25的動(dòng)作而向內(nèi)側(cè)收縮或者被張大。
另外，在上述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21的一側(cè)面上設(shè)有一對(duì)止動(dòng)塊26a和26b，用來(lái)控制鉤爪22、23的轉(zhuǎn)動(dòng)。上述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21之所以可以移動(dòng)，是由于設(shè)置在滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的行程(stroke)內(nèi)的傳感器(圖中未示)感知到固定于滑動(dòng)機(jī)構(gòu)上的傳感板27從而對(duì)電動(dòng)機(jī)18的驅(qū)動(dòng)運(yùn)行進(jìn)行控制的緣故。
現(xiàn)在就圖4到圖6B來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的重要部分運(yùn)載器運(yùn)送裝置的作業(yè)。
以第1號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)9為例進(jìn)行說(shuō)明如下。該機(jī)構(gòu)9的作業(yè)為將位于裝載處所6上并已將擬檢驗(yàn)的模塊集成電路向運(yùn)載器3裝載完了狀態(tài)下的該運(yùn)載器運(yùn)送到裝載一側(cè)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8處去。
如圖6A所示，鉤爪22、23處于相互間向兩側(cè)張開(kāi)狀態(tài)而運(yùn)載器3尚未被置于裝載處所6以前時(shí)，此時(shí)電動(dòng)機(jī)18開(kāi)始運(yùn)行，滑輪19a旋轉(zhuǎn)，由于纏繞在滑輪19a、19b上的定時(shí)皮帶20變換位置緣故，固定于定時(shí)皮帶20一邊上的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21要被角鋼導(dǎo)軌17引導(dǎo)著向裝載處所6一側(cè)迅速地移動(dòng)。上述電動(dòng)機(jī)18，由于固定在滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21上的傳感板27被設(shè)置在滑動(dòng)機(jī)構(gòu)行程內(nèi)的傳感器所感知，遂即成為可以運(yùn)行狀態(tài)。
在上述狀態(tài)下，當(dāng)運(yùn)載器3被第3號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)16運(yùn)送到裝載處所6以后，裝載一方的拾取組件7隨即將擬檢驗(yàn)的模塊集成電路裝入運(yùn)載器3之內(nèi)，隨后，由于轉(zhuǎn)動(dòng)一對(duì)鉤爪22、23的活動(dòng)缸25開(kāi)始驅(qū)動(dòng)運(yùn)行，鉤爪22、23相互地向內(nèi)側(cè)彎曲，從而可以?shī)A持住運(yùn)載器3的兩側(cè)面。下面擬將此一對(duì)由活動(dòng)缸25驅(qū)動(dòng)的鉤爪22、23怎樣夾持住運(yùn)載器3兩側(cè)面的過(guò)程詳細(xì)地說(shuō)明一下。
在上述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21已被移動(dòng)到裝載處所6情況下，活動(dòng)缸25內(nèi)通進(jìn)壓縮空氣，一旦深插在內(nèi)的缸桿25b被拉出，鉸接于缸桿25b上的鉤爪22將以24a為中心旋轉(zhuǎn)從而將運(yùn)載器3的一側(cè)夾持住。
這樣，若鉸接于缸桿25b上的鉤爪22在與運(yùn)載器3的一側(cè)保持接觸的狀態(tài)下，活動(dòng)缸25仍繼續(xù)驅(qū)動(dòng)時(shí)，則以鉤爪22為支點(diǎn)缸桿25b繼續(xù)被拉出，而與活動(dòng)缸25的機(jī)體25a以及軸24b皆為鉸接的另一側(cè)的鉤爪23將要旋轉(zhuǎn)從而將運(yùn)載器3的另一側(cè)面也夾持住。
正如上述，一對(duì)鉤爪22、23在運(yùn)動(dòng)中時(shí)，其轉(zhuǎn)動(dòng)量要受到固定于滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21一側(cè)面上的止動(dòng)塊26a、26b的控制。
如圖6b所示，當(dāng)兩個(gè)鉤爪22、23皆向內(nèi)側(cè)彎曲而運(yùn)載器3的兩側(cè)面皆處于被夾持住狀態(tài)時(shí)，若電動(dòng)機(jī)18重新被驅(qū)動(dòng)而滑輪19a向上述方向的反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于纏繞在該滑輪19a和19b上的定時(shí)皮帶20的位置變換，固定于該定時(shí)皮帶20的一端的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21要沿著角鋼導(dǎo)軌17做水平移動(dòng)。依此之故，被鉤爪22、23夾持住兩側(cè)面的運(yùn)載器3將被插進(jìn)裝載一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8的內(nèi)部。
上述的運(yùn)送運(yùn)載器3的工作完成之后，與上述經(jīng)過(guò)相反，將已抽出的缸桿25b再推進(jìn)去，因其一度向內(nèi)側(cè)彎曲的一對(duì)鉤爪22、23被依次向外測(cè)張開(kāi)，從而使運(yùn)載器3解除夾持狀態(tài)。
接著，由于電動(dòng)機(jī)18的驅(qū)動(dòng)，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)21被移動(dòng)到裝載處所6，而裝載一側(cè)的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8的被插進(jìn)來(lái)的運(yùn)載器3，被旋轉(zhuǎn)90°以后，被運(yùn)送到加熱室10的內(nèi)部。
另外，圖7為本發(fā)明的重要部分，運(yùn)載器的定位裝置的立體圖，圖8A和圖8B為圖7的一部分的平面圖。
本發(fā)明的運(yùn)載器的定位裝置是這樣的在安裝底板37的裝載以及卸載處所6和13處，設(shè)置可將運(yùn)載器3的兩側(cè)面定位的一對(duì)導(dǎo)桿38，它起到運(yùn)載器3定位的基準(zhǔn)面的作用，在上述導(dǎo)桿38的對(duì)角方向上設(shè)有推進(jìn)器39，它的作用是在類(lèi)似活動(dòng)缸等的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40的驅(qū)動(dòng)下做進(jìn)退活動(dòng)以使運(yùn)載器3的角部密貼在導(dǎo)桿上。
另外，在四角框形的運(yùn)載器的定位地點(diǎn)上，當(dāng)上述推進(jìn)器39將運(yùn)動(dòng)器3的角部推向?qū)U時(shí)，為不使運(yùn)載器3從準(zhǔn)確位置上脫離開(kāi)，在安裝底板37上設(shè)置了相互相對(duì)的一對(duì)導(dǎo)軌41、42，用以護(hù)住運(yùn)載器3的兩個(gè)側(cè)面。
如圖9A和圖9B所示，上述導(dǎo)軌41是依賴(lài)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43而可以進(jìn)退活動(dòng)的，而設(shè)置于運(yùn)載器3的運(yùn)送方向上的另一導(dǎo)軌42，是依賴(lài)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)44而可做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的。
設(shè)置于上述運(yùn)載器3的運(yùn)送方向上導(dǎo)軌42，其所以要旋轉(zhuǎn)的理由是在運(yùn)載器3被運(yùn)送以前，上述導(dǎo)軌42要旋轉(zhuǎn)到安裝底板下部的位置上以避免運(yùn)載器被運(yùn)送途中產(chǎn)生干擾。為此，上述導(dǎo)軌42于設(shè)于發(fā)裝底板37下部的托盤(pán)45上與軸46作轉(zhuǎn)動(dòng)連結(jié)，而上述導(dǎo)軌42的下端與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)44的缸桿(rod)44a于軸47相連結(jié)。
因?yàn)樵谘b載處所以及卸載處所6、13的運(yùn)載器3的位置更精確地定位的運(yùn)行程序是一樣的，現(xiàn)在僅就裝載處所6上的被運(yùn)送來(lái)的運(yùn)載器3的位置更精確定位的運(yùn)行程序加以說(shuō)明。
首先，位于卸載處所13處的空運(yùn)載器3，在依賴(lài)第3號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)被運(yùn)送到裝載處所6以前，相互對(duì)面設(shè)置的導(dǎo)軌41要依驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43的作用而維持其后退狀態(tài)，而另一側(cè)的導(dǎo)軌42要依驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)44的作用而轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)被安裝于安裝底板37的下部位置上。
在此狀態(tài)下，空運(yùn)載器3由第3號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)16運(yùn)送到裝載處所6，并且保持著運(yùn)載器3的一側(cè)與導(dǎo)桿38的接觸狀態(tài)。
其后，當(dāng)上述使導(dǎo)軌41、42運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43、44同時(shí)啟動(dòng)時(shí)，已經(jīng)后退的導(dǎo)軌41將要按圖8B以及圖9B式樣重新前進(jìn)而被安置在運(yùn)載器3的框子3a的上面，同時(shí)由于另一側(cè)導(dǎo)軌42要以軸46為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，被安置在上邊的裸露的框子3a的上面，所以上述運(yùn)載器3就不會(huì)從裝載處所6脫離了。
如果使上述運(yùn)載器3由于導(dǎo)軌41、42的作用而保持不脫離裝載處所6的狀態(tài)，驅(qū)動(dòng)設(shè)于運(yùn)載器3的角部上的推進(jìn)器39(啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40)的話，由于該推進(jìn)器39可使位于裝載處所6的運(yùn)載器兩側(cè)與導(dǎo)桿38緊密接觸，這樣，運(yùn)載器3的定位工作就完成了。
依上述推進(jìn)器39的驅(qū)動(dòng)而被定位的運(yùn)載器3，因?qū)к?1、42被置于框子3a的上部，故不會(huì)從裝載處所脫離開(kāi)。因其可用裝載一側(cè)的拾取組件7將容納在淺碟4之內(nèi)的模塊集成電路2夾持住而準(zhǔn)確地裝入運(yùn)載器3之中。
另一方面，當(dāng)位于裝載處所6的運(yùn)載器3中擬檢驗(yàn)的模塊集成電路2被裝載完了以后，只要推進(jìn)器39以及導(dǎo)軌41、42不還原到圖8A和圖9A的狀態(tài)，則可依第1號(hào)運(yùn)送機(jī)構(gòu)9將運(yùn)載器3運(yùn)送到裝載一側(cè)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)8的近傍去。上述推進(jìn)器39以及導(dǎo)軌41、42的還原運(yùn)行程序，全為上述程序的反過(guò)程，此處省略其說(shuō)明。
權(quán)利要求
1.一種模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，其特征在于由以下部分構(gòu)成運(yùn)送指定的模塊型的運(yùn)載器；將上述運(yùn)載器從裝載處所運(yùn)送到卸載處所的運(yùn)載器運(yùn)送裝置；和在上述裝載處所以及卸載處所上將運(yùn)載器的位置更準(zhǔn)確定位，以使拾取組件將模塊集成電路能準(zhǔn)確地從淺碟裝入運(yùn)載器，或者從運(yùn)載器中卸載的運(yùn)載器定位裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，其特征在于上述運(yùn)載器運(yùn)送裝置由的以下構(gòu)成部分纏繞在一對(duì)滑輪上的定時(shí)皮帶(timing belf)，該定時(shí)皮帶裝配成和與運(yùn)載器的運(yùn)送方向平行的角鋼導(dǎo)軌相垂直，由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)；一端平扣在上述角鋼導(dǎo)軌之上，而另一端固定在定時(shí)皮帶上，依電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)沿角鋼導(dǎo)軌移動(dòng)的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)(slider)；與上述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩端分別制成轉(zhuǎn)動(dòng)連結(jié)，用以固定運(yùn)載器的兩側(cè)面的鉤爪(finger)；和將一邊鉤爪的一端與缸體制成鉸接，將另一鉤爪的一端與缸桿鉸接，并可使該一對(duì)鉤爪同時(shí)作向內(nèi)側(cè)收縮或張開(kāi)的活動(dòng)缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，其特征在于在上述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)面上設(shè)置有控制鉤爪移動(dòng)用的止動(dòng)塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，其特征在于上述運(yùn)載器定位裝置包括有固定在裝載處所以及卸載處所的安裝底板上用以給運(yùn)載器兩側(cè)面定位的一對(duì)導(dǎo)桿；位置被定位在上述導(dǎo)桿的對(duì)角方向上用以使運(yùn)載器的角部與導(dǎo)桿緊密接觸的推進(jìn)機(jī)構(gòu)；驅(qū)動(dòng)上述推進(jìn)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；和當(dāng)上述推進(jìn)機(jī)構(gòu)將運(yùn)載器的角部推向?qū)к墪r(shí)，為使運(yùn)載器不脫離其正確位置而護(hù)持運(yùn)載器兩側(cè)面的導(dǎo)軌。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的賓模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，其特征在于在上述安裝底板上，護(hù)持運(yùn)載器用的一對(duì)導(dǎo)軌被設(shè)置成相互相對(duì)的結(jié)構(gòu)形態(tài)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，其特征在于上述導(dǎo)軌借由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用而可進(jìn)退，并且，設(shè)置于運(yùn)載器方向一邊的導(dǎo)軌，可以借由另外的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用而做轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的模塊集成電路處理機(jī)的運(yùn)載裝卸裝置，其特征在于上述導(dǎo)軌與設(shè)置于安裝底板下部位置上的承托板設(shè)成可旋轉(zhuǎn)的軸連接，而上述導(dǎo)軌的下段與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的缸桿設(shè)成軸連接。
全文摘要
本發(fā)明是將模塊集成電路容納在運(yùn)載器內(nèi)并將其在各工序之間運(yùn)送以進(jìn)行檢驗(yàn),特別是涉及具備夾持住運(yùn)載器的一側(cè)使其在各工序之間移動(dòng)的運(yùn)載器運(yùn)送裝置,并具備在夾持住運(yùn)載器的同時(shí)將其位置定位的運(yùn)載器定位裝置。其包括運(yùn)送指定模塊的運(yùn)載器;將其從裝載處所運(yùn)送到卸載處所的運(yùn)載器運(yùn)送裝置;在裝載處所以及卸載處所上將運(yùn)載器的位置更準(zhǔn)確地定位,以使拾取組件可以將淺碟中的模塊集成電路準(zhǔn)確地裝入運(yùn)載器,或從運(yùn)載器中卸載的運(yùn)載器定位裝置。
文檔編號(hào)H01L21/68GK1255453SQ9912521
公開(kāi)日2000年6月7日 申請(qǐng)日期1999年11月29日 優(yōu)先權(quán)日1998年11月28日
發(fā)明者李相秀, 金種源, 吳泳鶴, 李玩求, 金熙洙, 李東春 申請(qǐng)人:未來(lái)產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社