本技術(shù)涉及一種固晶機(jī)物料托架領(lǐng)域，尤其涉及一種固晶機(jī)物料托架。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體器件的集成度不斷提高，晶圓的直徑逐漸增大。這促使固晶機(jī)物料托架需要更高的性能和穩(wěn)定性，以適應(yīng)更大直徑的晶圓和更復(fù)雜的制程要求?，F(xiàn)有固晶機(jī)物料托架的大小通常是固定大小，針對(duì)于特定固晶機(jī)設(shè)計(jì)的，在更換固晶機(jī)或采用新的制程技術(shù)時(shí)，可能需要重新設(shè)計(jì)或更換物料托架。

2、針對(duì)于上述不足，設(shè)計(jì)一種可適應(yīng)不同固晶機(jī)物料托盤大小的固晶機(jī)物料托架。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有固晶機(jī)物料托架適應(yīng)性低的缺點(diǎn)，要解決的技術(shù)問題為：提供一種可適應(yīng)不同固晶機(jī)物料托盤大小的固晶機(jī)物料托架。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種固晶機(jī)物料托架，包括有底座；支撐腳，底座上部連接有前后兩根支撐腳；連接塊，支撐腳上部連接有連接塊；圓盤，連接塊右側(cè)連接有圓盤；電動(dòng)推桿一號(hào)，圓盤上部連接有4根電動(dòng)推桿一號(hào)；夾子，電動(dòng)推桿一號(hào)外側(cè)均連接有夾子，夾子均與圓盤滑動(dòng)式連接；卡塊，圓盤上部有多個(gè)卡塊滑動(dòng)式連接在電動(dòng)推桿一號(hào)的兩側(cè)；彈簧，卡塊與圓盤之間連接有彈簧；放料機(jī)構(gòu)，連接塊上側(cè)的左部設(shè)有放料機(jī)構(gòu)；清潔機(jī)構(gòu)，連接塊上側(cè)的右部設(shè)有清潔機(jī)構(gòu)。

3、在其中一個(gè)實(shí)施例中，放料機(jī)構(gòu)包括有：電動(dòng)推桿二號(hào)，連接塊上側(cè)左部連接有4根電動(dòng)推桿二號(hào)；支架，電動(dòng)推桿二號(hào)上部均連接有支架。

4、在其中一個(gè)實(shí)施例中，清潔機(jī)構(gòu)包括有：托物架，連接塊上側(cè)的右部連接有托物架；吹氣槍，托物架上部卡接有吹氣槍。

5、在其中一個(gè)實(shí)施例中，夾子為橡膠材質(zhì)。

6、在其中一個(gè)實(shí)施例中，電動(dòng)推桿一號(hào)之間互相垂直。

7、在其中一個(gè)實(shí)施例中，圓盤為高溫合金材質(zhì)。

8、有益效果是：1、本實(shí)用新型支架和圓盤上均為尺寸可調(diào)的設(shè)計(jì)，可適應(yīng)不同固晶機(jī)物料托盤大小，防止因更換固晶機(jī)或采用新的制程技術(shù)時(shí)要頻繁更換物料托架，造成大量的損失，提高了裝置的適用性和實(shí)用性。

9、2、本實(shí)用新型方便集中放置物料盤同時(shí)也方便工作人員將物料盤取下更換，保障物料盤不因隨意放置使制備晶片所需的物料被污染。

10、3、本實(shí)用新型吹氣槍可以將物料盤上部的飛塵吹開，防止在加料過程中有雜質(zhì)掉落到物料中造成污染，導(dǎo)致生產(chǎn)的晶片質(zhì)量不合格。

技術(shù)特征：

1.一種固晶機(jī)物料托架，其特征在于：包括有底座(1)；支撐腳(2)，底座(1)上部連接有前后兩根支撐腳(2)；連接塊(3)，支撐腳(2)上部連接有連接塊(3)；圓盤(4)，連接塊(3)右側(cè)連接有圓盤(4)；電動(dòng)推桿一號(hào)(6)，圓盤(4)上部連接有4根電動(dòng)推桿一號(hào)(6)；夾子(5)，電動(dòng)推桿一號(hào)(6)外側(cè)均連接有夾子(5)，夾子(5)均與圓盤(4)滑動(dòng)式連接；卡塊(7)，圓盤(4)上部有多個(gè)卡塊(7)滑動(dòng)式連接在電動(dòng)推桿一號(hào)(6)的兩側(cè)；彈簧(70)，卡塊(7)與圓盤(4)之間連接有彈簧(70)；放料機(jī)構(gòu)(8)，連接塊(3)上側(cè)的左部設(shè)有放料機(jī)構(gòu)(8)；清潔機(jī)構(gòu)(9)，連接塊(3)上側(cè)的右部設(shè)有清潔機(jī)構(gòu)(9)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種固晶機(jī)物料托架，其特征在于：放料機(jī)構(gòu)(8)包括有：電動(dòng)推桿二號(hào)(81)，連接塊(3)上側(cè)左部連接有4根電動(dòng)推桿二號(hào)(81)；支架(82)，電動(dòng)推桿二號(hào)(81)上部均連接有支架(82)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種固晶機(jī)物料托架，其特征在于：清潔機(jī)構(gòu)(9)包括有：托物架(91)，連接塊(3)上側(cè)的右部連接有托物架(91)；吹氣槍(92)，托物架(91)上部卡接有吹氣槍(92)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種固晶機(jī)物料托架，其特征在于：夾子(5)為橡膠材質(zhì)。

5.如權(quán)利要求4所述的一種固晶機(jī)物料托架，其特征在于：電動(dòng)推桿一號(hào)(6)之間互相垂直。

6.如權(quán)利要求5所述的一種固晶機(jī)物料托架，其特征在于：圓盤(4)為高溫合金材質(zhì)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種固晶機(jī)物料托架領(lǐng)域，尤其涉及一種固晶機(jī)物料托架。本技術(shù)提供一種可適應(yīng)不同固晶機(jī)物料托盤大小的固晶機(jī)物料托架。一種固晶機(jī)物料托架，包括有底座；支撐腳，底座上部連接有前后兩根支撐腳；連接塊，支撐腳上部連接有連接塊；圓盤，連接塊右側(cè)連接有圓盤；電動(dòng)推桿一號(hào)，圓盤上部連接有4根電動(dòng)推桿一號(hào)；夾子，電動(dòng)推桿一號(hào)外側(cè)均連接有夾子，夾子均與圓盤滑動(dòng)式連接；卡塊，圓盤上部有多個(gè)卡塊滑動(dòng)式連接在電動(dòng)推桿一號(hào)的兩側(cè)；彈簧，卡塊與圓盤之間連接有彈簧。本技術(shù)支架和圓盤上均為尺寸可調(diào)的設(shè)計(jì)，可適應(yīng)不同固晶機(jī)物料托盤大小，防止因更換固晶機(jī)或采用新的制程技術(shù)時(shí)要頻繁更換物料托架。

技術(shù)研發(fā)人員：楊勇,溫?zé)?br/>受保護(hù)的技術(shù)使用者：撫州致晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231231
技術(shù)公布日：2025/1/2