技術(shù)編號(hào)：40568114
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及一種固晶機(jī)物料托架領(lǐng)域，尤其涉及一種固晶機(jī)物料托架。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體器件的集成度不斷提高，晶圓的直徑逐漸增大。這促使固晶機(jī)物料托架需要更高的性能和穩(wěn)定性，以適應(yīng)更大直徑的晶圓和更復(fù)雜的制程要求。現(xiàn)有固晶機(jī)物料托架的大小通常是固定大小，針對(duì)于特定固晶機(jī)設(shè)計(jì)的，在更換固晶機(jī)或采用新的制程技術(shù)時(shí)，可能需要重新設(shè)計(jì)或更換物料托架。、針對(duì)于上述不足，設(shè)計(jì)一種可適應(yīng)不同固晶機(jī)物料托盤大小的固晶機(jī)物料托架。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、為了克服現(xiàn)有固晶機(jī)物料托架適應(yīng)性低的缺點(diǎn)，要解決...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。