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一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置及保溫?cái)U(kuò)散爐系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11320088閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置,包括導(dǎo)熱管體和傳熱至導(dǎo)熱管體的加熱元件,導(dǎo)熱管體的進(jìn)氣口經(jīng)第一單向閥與一載氣源連接以從載氣源接收載氣,導(dǎo)熱管體的出氣口經(jīng)第二單向閥與一擴(kuò)散爐連接以向擴(kuò)散爐輸送載氣。通過(guò)增設(shè)一加熱裝置,當(dāng)擴(kuò)散爐爐門打開(kāi)后,加熱裝置中的高溫載氣通入擴(kuò)散爐中,可以較快速的使晶體硅太陽(yáng)能電池溫度達(dá)到工藝要求,并保持管內(nèi)氣氛的穩(wěn)定,減少升溫的時(shí)間,可以提升單位時(shí)間內(nèi)的產(chǎn)能。本實(shí)用新型還提供一種保溫?cái)U(kuò)散爐系統(tǒng),包括載氣源、擴(kuò)散源、進(jìn)氣管、擴(kuò)散爐以及上述加熱裝置,載氣源中載氣攜帶擴(kuò)散源中擴(kuò)散元素經(jīng)進(jìn)氣管均勻輸送至擴(kuò)散爐中,載氣源中載氣經(jīng)加熱裝置加熱后輸送至擴(kuò)散爐中。

技術(shù)研發(fā)人員:沈波濤;楊健;黨紀(jì)東
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司
文檔號(hào)碼:201720288379
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.23
技術(shù)公布日:2017.10.13

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