技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種電子源產(chǎn)生裝置，其特征在于，所述裝置包括：電子槍、電極、光闌組和電磁透鏡；其中，所述電子槍，用于發(fā)射電子束；所述電極，用于對(duì)所述電子束進(jìn)行加速；所述光闌組包括一個(gè)移動(dòng)裝置和多個(gè)不同孔徑的光闌，通過(guò)調(diào)節(jié)所述移動(dòng)裝置控制加速后的電子束經(jīng)過(guò)所述光闌組中的一個(gè)光闌；所述電磁透鏡，用于對(duì)經(jīng)過(guò)所述光闌的電子束進(jìn)行會(huì)聚，形成電子源。

技術(shù)研發(fā)人員：李帥;何偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：聚束科技（北京）有限公司
文檔號(hào)碼：201720136706
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.15
技術(shù)公布日：2017.08.29