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內(nèi)部埋置無源元件的微波組件基板結構的制作方法

文檔序號:11553491閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種內(nèi)部埋置無源元件的微波組件基板結構,其特征在于包括低溫共燒玻璃陶瓷基層(1)、Ag-Pd系厚膜導體層(2)、BaTiO3系厚膜電容(3)、RuO2系厚膜電阻(4)和Ag-Pd系厚膜導體電感(5),所述低溫共燒玻璃陶瓷基層(1)嵌入兩所述Ag-Pd系厚膜導體層(2)之間,所述低溫共燒玻璃陶瓷基層(1)至少為三層,同層的所述低溫共燒玻璃陶瓷基層(1)之間存在間隔(6),所述間隔(6)處通過設置Ag-Pd系厚膜導體層(2)將上下層級的Ag-Pd系厚膜導體層(2)聯(lián)通,所述BaTiO3系厚膜電容(3)、RuO2系厚膜電阻(4)和Ag-Pd系厚膜導體電感(5)分別嵌入所述Ag-Pd系厚膜導體層(2)內(nèi)。

2.根據(jù)權利要求1所述的內(nèi)部埋置無源元件的微波組件基板結構,其特征在于所述低溫共燒玻璃陶瓷基層(1)為4層,所述Ag-Pd系厚膜導體層(2)為5層。

3.根據(jù)權利要求2所述的內(nèi)部埋置無源元件的微波組件基板結構,其特征在于所述Ag-Pd系厚膜導體電感(5)設置于從上至下的第二所述Ag-Pd系厚膜導體層(2)內(nèi)。

4.根據(jù)權利要求2所述的內(nèi)部埋置無源元件的微波組件基板結構,其特征在于所述RuO2系厚膜電阻(4)設置于從上至下的第三或第四所述Ag-Pd系厚膜導體層(2)內(nèi)。

5.根據(jù)權利要求2所述的內(nèi)部埋置無源元件的微波組件基板結構,其特征在于所述BaTiO3系厚膜電容(3)設置于從上至下的第三所述Ag-Pd系厚膜導體層(2)內(nèi)。

6.根據(jù)權利要求1所述的內(nèi)部埋置無源元件的微波組件基板結構,其特征在于所述BaTiO3系厚膜電容(3)的設置方式為:所述Ag-Pd系厚膜導體層(2)分別搭接在所述BaTiO3系厚膜電容(3)的頂部和底部。

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