本實用新型涉及載具技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種用于功率器件晶圓烘烤的石英舟。

背景技術(shù)：

5英寸、6英寸等晶圓的加工過程，爐管高溫烘烤是必不可少的工藝過程。在爐管烘烤的時候，石英舟必不可少。目前5英寸、6英寸所使用的石英舟為臥式，即石英舟是平放的，晶圓則垂直放置，這種方式對于晶圓上有流動性材料的烘烤非常不利，流動性材料會在重力的作用下向晶圓的一個方向流動，導致不均勻。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：克服現(xiàn)有技術(shù)中之不足，提供一種用于功率器件晶圓烘烤的石英舟。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種用于功率器件晶圓烘烤的石英舟，用于晶圓烘烤載體，包括上下分布的上端板和下端板，上端板和下端板之間安裝有豎直設(shè)置的第一石英柱、第二石英柱、第三石英柱和第四石英柱；所述上端板和下端板均包括水平部，水平部兩端連接有豎直部，水平部和兩個豎直部首尾連接形成缺口；所述第一石英柱和第四石英柱兩端分別安裝于上端板和下端板的豎直部，第二石英柱和第三石英柱兩端分別安裝于上端板和下端板的水平部；所述第一石英柱和第四石英柱上開設(shè)有槽口向?qū)Φ陌疾郏诙⒅显O(shè)有開口朝向第一石英柱的凹槽，第三石英柱上設(shè)有開口朝向第四石英柱的凹槽且與第一石英柱；第一石英柱、第二石英柱、第三石英柱和第四石英柱的凹槽彼此對應(yīng)平行且等距設(shè)置；所述相鄰兩個凹槽中心線之間的距離L為4.0～5.5mm。

進一步地，所述的凹槽的開口端設(shè)有便于晶圓插入的倒角。

進一步地，所述的相鄰兩個凹槽中心線之間的距離L為4.8mm。

本實用新型的有益效果是：本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，操作簡便，包括上下分布的上端板和下端板，上端板和下端板之間安裝有豎直設(shè)置的第一石英柱、第二石英柱、第三石英柱和第四石英柱，晶圓則可以水平放置，便于流動性材料的烘烤；本實用新型采用鏤空結(jié)構(gòu)，節(jié)省材料，同時便于熱空氣的回流，提高爐管內(nèi)溫度的一致性；本實用新型材質(zhì)使用石英玻璃，在高溫下不會對晶圓產(chǎn)生有害物質(zhì)。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是端板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是石英柱的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中1.上端板，2.下端板，3.第一石英柱，4.第二石英柱，5.第三石英柱，6.第四石英柱，7.凹槽，8.水平部，9.豎直部，10.缺口，11.倒角。

具體實施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。

如圖1-3所示的一種用于功率器件晶圓烘烤的石英舟，用于晶圓烘烤載體，包括上下分布的上端板1和下端板2，上端板1和下端板2之間安裝有豎直設(shè)置的第一石英柱3、第二石英柱4、第三石英柱5和第四石英柱6；上端板1和下端板2均包括水平部8，水平部8兩端連接有豎直部9，水平部8和兩個豎直部9首尾連接形成缺口10；第一石英柱3和第四石英柱6兩端分別安裝于上端板1和下端板2的豎直部9，第二石英柱4和第三石英柱5兩端分別安裝于上端板1和下端板2的水平部8；第一石英柱3和第四石英柱6上開設(shè)有槽口向?qū)Φ陌疾?，第二石英柱4上設(shè)有開口朝向第一石英柱3的凹槽7，第三石英柱5上設(shè)有開口朝向第四石英柱6的凹槽7且與第一石英柱3；第一石英柱3、第二石英柱4、第三石英柱5和第四石英柱6的凹槽7彼此對應(yīng)平行且等距設(shè)置；所述相鄰兩個凹槽7中心線之間的距離L為4.8mm；凹槽7的開口端設(shè)有便于晶圓插入的倒角11。

這種用于功率器件晶圓烘烤的石英舟結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，操作簡便，包括上下分布的上端板1和下端板2，上端板1和下端板2之間安裝有豎直設(shè)置的第一石英柱3、第二石英柱4、第三石英柱5和第四石英柱6，晶圓則可以水平放置，便于流動性材料的烘烤；采用鏤空結(jié)構(gòu)，節(jié)省材料，同時便于熱空氣的回流，提高爐管內(nèi)溫度的一致性；本實用新型材質(zhì)使用石英玻璃，在高溫下不會對晶圓產(chǎn)生有害物質(zhì)。

上述實施方式只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并加以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍，凡根據(jù)本實用新型精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍內(nèi)。