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一種紫外LED倒裝芯片的制作方法

文檔序號(hào):11289944閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種紫外LED倒裝芯片,包括從下往上依次設(shè)置的基板、布線層和芯片外延層;本發(fā)明通過(guò)刻蝕工藝將芯片外延層的一部分去除,形成用于設(shè)置n電極的n型半導(dǎo)體區(qū)域,并在芯片外延層內(nèi)分別設(shè)有貫穿n型AlGaN層的第一內(nèi)部接觸層和貫穿n型AlGaN層至透明導(dǎo)電層的第二內(nèi)部接觸層,使芯片內(nèi)部形成用于釋放高壓靜電的電流釋放通道,從而避免芯片遭受靜電的危害;另外,反射層的設(shè)置可以最大限度反射向下射出的光線,有效提高芯片的出光率;透明導(dǎo)電層可以增大與p電極之間的接觸面積,獲得更好的散熱效果;最后,本發(fā)明通過(guò)設(shè)置電流擴(kuò)展層和電子阻擋層,加強(qiáng)芯片內(nèi)部載流子向上流動(dòng)的速度和流量,使芯片的出光率大大提高。

技術(shù)研發(fā)人員:何苗;楊思攀;熊德平;王成民
受保護(hù)的技術(shù)使用者:廣東工業(yè)大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.19
技術(shù)公布日:2017.09.22
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