技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N可調(diào)諧溫度受控的基板支撐組件。本文所描述的實(shí)現(xiàn)方式提供一種基板支撐組件，所述基板支撐組件允許對靜電夾盤與加熱組件之間的熱傳遞的橫向調(diào)諧與方位角調(diào)諧兩者?；逯谓M件包含：主體，具有基板支撐表面和下表面；一個或更多個主電阻加熱器，設(shè)置在主體中；多個空間可調(diào)諧加熱器，設(shè)置在主體中；以及空間可調(diào)諧加熱器控制器，耦接至多個空間可調(diào)諧加熱器，所述空間可調(diào)諧加熱器控制器配置成用于獨(dú)立地控制多個空間可調(diào)諧加熱器中的一者相對于多個空間可調(diào)諧加熱器中的另一者的輸出。

技術(shù)研發(fā)人員：V·D·帕克;S·E·巴巴揚(yáng);K·馬赫拉切夫;Z·郭;P·R·薩默;D·A·馬洛爾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.07
技術(shù)公布日：2017.07.21