技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種抗光衰爐，包括爐支架和多個恒流源，爐支架上設(shè)有循環(huán)輸送硅片的輸送裝置，爐支架沿所述輸送裝置入料端至出料端依次設(shè)有預(yù)熱區(qū)、光照區(qū)和冷卻區(qū)，光照區(qū)的正上方設(shè)有若干組并排設(shè)置的LED燈光照模組，每組LED燈光照模組由多個具有水冷作用的LED燈條組成，每個LED燈條均由一個恒流源獨立控制。一個恒流源獨立控制一個LED燈條，使LED燈條具有超高光照強度的同時，又可以控制其發(fā)熱的溫度，使LED燈條在一個恒定的溫度下工作。硅片進入本抗光衰爐的過程中，經(jīng)過多組LED燈光照模組的強光照射，硅片氫鈍化效果明顯。

技術(shù)研發(fā)人員：蘇金財;王軍濤;何鳳濤
受保護的技術(shù)使用者：東莞市科隆威自動化設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.07
技術(shù)公布日：2017.08.15