技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種半導(dǎo)體器件包括：包含溝槽的半導(dǎo)體基板，該半導(dǎo)體基板具有晶體結(jié)構(gòu)；以及覆蓋溝槽的內(nèi)側(cè)壁的絕緣層，其中溝槽的內(nèi)側(cè)壁具有在晶體結(jié)構(gòu)的{320}晶面族中包含的至少一個面或者關(guān)于{320}晶面族具有2度以內(nèi)的角度的至少一個面。

技術(shù)研發(fā)人員：李盛三;金俊秀;安孝信;山田悟;全柱炫;鄭文泳;鄭天炯;趙珉熙;蔡教錫;崔恩愛
受保護的技術(shù)使用者：三星電子株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.23
技術(shù)公布日：2017.08.29