相關(guān)申請的交叉引用

本申請要求于2016年2月15日提交的美國臨時申請no.62/295,339的權(quán)益。上述申請的全部公開內(nèi)容通過引用并入本文。

本公開涉及用于儲藏和組織襯底處理系統(tǒng)的部件的系統(tǒng)和方法。

背景技術(shù)：

這里提供的背景描述是為了一般地呈現(xiàn)本公開的背景的目的。在該背景技術(shù)部分以及在提交時不會以其他方式認(rèn)為是現(xiàn)有技術(shù)的描述的方面中描述的程度上，目前署名的發(fā)明人的工作既不明確地也不隱含地被承認(rèn)為針對本公開的現(xiàn)有技術(shù)。

襯底處理系統(tǒng)可用于執(zhí)行諸如半導(dǎo)體晶片的襯底的蝕刻、沉積、清潔和/或其它處理?？梢栽谝r底上執(zhí)行的示例工藝包括(但不限于)等離子體增強化學(xué)氣相沉積(pecvd)工藝、原子層沉積(ald)工藝、化學(xué)增強等離子體氣相沉積(cepvd)工藝、濺射物理氣相沉積(pvd)工藝、離子注入工藝和/或其它蝕刻(例如，化學(xué)蝕刻、等離子體蝕刻、反應(yīng)離子蝕刻等)、沉積和清潔。襯底可以布置在諸如襯底處理系統(tǒng)的處理室中的基座之類的襯底支撐件上。僅作為示例，在沉積期間，將包括一種或多種前體的氣體混合物引入到處理室中，并且激勵等離子體以在襯底上沉積膜。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

一種用于儲藏襯底處理系統(tǒng)的部件的服務(wù)車，包括被配置為儲藏從襯底處理系統(tǒng)移除的傳送板的第一側(cè)。所述第一側(cè)包括第一安裝件和第二安裝件。所述第一安裝件和第二安裝件間隔開以保持傳送板的相應(yīng)上部，并且所述第一安裝件和第二安裝件中的每一個包括布置成保持傳送板的上部的相應(yīng)凹槽。所述第一側(cè)還包括第一緩沖件和第二緩沖件。所述第一緩沖件和第二緩沖件間隔開以鄰接傳送板的相應(yīng)下部，并且第一緩沖件和第二緩沖件中的每一個布置成保持傳送板的第一側(cè)和下部之間的期望距離。所述服務(wù)車包括第二側(cè)，該第二側(cè)包括抽屜和開口中的至少一個，以提供通向服務(wù)車內(nèi)部的通路。

具體而言，本發(fā)明的一些方面可以闡述如下：

1.一種用于儲藏襯底處理系統(tǒng)的部件的服務(wù)車，所述服務(wù)車包括：

第一側(cè)，其被配置為儲藏從所述襯底處理系統(tǒng)移除的傳送板，其中所述第一側(cè)包括

第一安裝件和第二安裝件，其中所述第一安裝件和所述第二安裝件間隔開以保持所述傳送板的相應(yīng)上部，并且其中所述第一安裝件和所述第二安裝件中的每一個包括相應(yīng)的槽，所述槽布置成保持所述傳送板的上部，和

第一緩沖件和第二緩沖件，其中所述第一緩沖件和所述第二緩沖件間隔開以鄰接所述傳送板的相應(yīng)下部，并且其中所述第一緩沖件和所述第二緩沖件中的每一個布置成保持所述傳送板的所述第一側(cè)和所述下部之間的期望距離；和

第二側(cè)，包括抽屜和開口中的至少一個，以提供對所述服務(wù)車的內(nèi)部的訪問。

2.根據(jù)條款1所述的服務(wù)車，其中所述服務(wù)車的所述內(nèi)部包括用于所述襯底處理系統(tǒng)的承載環(huán)的儲藏室。

3.根據(jù)條款2所述的服務(wù)車，其中用于所述承載環(huán)的所述儲藏室包括至少一對橫檔，所述至少一對橫檔布置成通過所述服務(wù)車的所述第二側(cè)中的所述開口接納所述承載環(huán)。

4.根據(jù)條款3所述的服務(wù)車，其中，所述至少一對橫檔包括布置成接觸所述承載環(huán)的襯墊。

5.根據(jù)條款3所述的服務(wù)車，其中用于所述承載環(huán)的所述儲藏室包括布置成將所述承載環(huán)保持在所述至少一對橫檔上的阻擋物。

6.根據(jù)條款1所述的服務(wù)車，其中所述抽屜被構(gòu)造成儲藏與維修濕式清潔優(yōu)化(wco)沉積襯底處理系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的工具。

7.根據(jù)條款6所述的服務(wù)車，其中所述抽屜包括具有對應(yīng)于所述工具的相應(yīng)形狀的切口。

8.根據(jù)條款7所述的服務(wù)車，其中所述切口包括對應(yīng)于所述襯底處理系統(tǒng)的最小接觸面積(mca)特征的切口。

9.根據(jù)條款1所述的服務(wù)車，其中所述開口被構(gòu)造成接納前開式統(tǒng)集盒(foup)。

10.根據(jù)條款1所述的服務(wù)車，其中所述第二側(cè)包括所述抽屜、用于在所述抽屜下方的開口中布置的承載環(huán)的儲藏室、以及用于在所述承載環(huán)的所述儲藏室下方的開口中的前開式統(tǒng)集盒的儲藏室。

11.根據(jù)條款10所述的服務(wù)車，其中所述第二側(cè)包括門，所述門布置成選擇性地關(guān)閉所述第二側(cè)中的所述開口。

12.根據(jù)條款11所述的服務(wù)車，其中

所述第二側(cè)包括鄰近所述抽屜的第一側(cè)布置的鉸接閂鎖；

所述鉸接閂鎖在所述抽屜下方延伸到所述開口的上部；

所述鉸接閂鎖具有打開位置和關(guān)閉位置；

當(dāng)所述鉸接閂鎖處于所述打開位置并且所述門被關(guān)閉時，所述鉸接閂鎖不妨礙所述抽屜被打開；和

當(dāng)所述鉸接閂鎖處于所述關(guān)閉位置并且所述門被關(guān)閉時，所述門捕獲延伸到所述開口的所述上部中的所述鉸接閂鎖，并且所述鉸接閂鎖防止所述抽屜被打開。

根據(jù)詳細(xì)描述、權(quán)利要求和附圖，本公開的其它應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒆兊蔑@而易見。詳細(xì)描述和具體示例僅意圖用于說明的目的，并且不旨在限制本公開的范圍。

附圖說明

從詳細(xì)描述和附圖將更充分地理解本公開，其中：

圖1a-1h示出了根據(jù)本公開的原理的一個示例性服務(wù)車；

圖2a-2c示出了根據(jù)本公開原理的另一示例性服務(wù)車；和

圖3示出了根據(jù)本公開的原理的一個示例性承載環(huán)儲藏室；

圖4a-4c示出根據(jù)本公開的原理安裝在服務(wù)車上的一個示例性傳送板；

圖5a-5f示出了根據(jù)本公開的原理的一個示例性傳送板安裝件；

圖6a-6c示出了根據(jù)本公開的原理的另一示例性傳送板安裝件；

圖7a-7c示出了根據(jù)本公開的原理的另一示例性傳送板安裝件；

圖8示出了根據(jù)本公開的原理的一個示例抽屜閂鎖；

圖9示出了根據(jù)本公開的原理的一個示例性工具托盤；

圖10示出了根據(jù)本公開的原理的另一示例服務(wù)車；

圖11示出了根據(jù)本公開的原理的另一示例服務(wù)車；和

圖12示出了根據(jù)本公開的原理的另一示例服務(wù)車；

在附圖中，附圖標(biāo)記可以重復(fù)使用以標(biāo)識類似和/或相同的元件。

具體實施方式

襯底處理系統(tǒng)通常需要定期維修，包括清潔、維護等。清潔和維護可包括拆卸和重新組裝襯底處理系統(tǒng)的各種部件，以及臨時儲藏從襯底處理系統(tǒng)移除的部件。部件包括(但不限于)工藝關(guān)鍵部件，所述工藝關(guān)鍵部件可能是易損壞的、大的、笨重的或不規(guī)則形狀(例如，襯底處理系統(tǒng)的傳送板)的部件、以及具有大范圍的尺寸和儲藏要求的部件。

根據(jù)本公開的原理的系統(tǒng)和方法提供了被配置為儲藏與維修襯底處理系統(tǒng)相關(guān)的工具和其他物品的服務(wù)車。例如，服務(wù)車可以被配置為專門用于維修濕式清潔優(yōu)化(wco)沉積襯底處理系統(tǒng)或工具。服務(wù)車為與特定襯底處理系統(tǒng)的清潔、維護等相關(guān)聯(lián)的所有部件和工具提供儲藏，包括用于儲藏在維修期間從系統(tǒng)移除的部件。在一些示例中，服務(wù)車的不同側(cè)提供對不同儲藏隔間和/或工具的獲取(access)。例如，服務(wù)車的第一側(cè)可以提供對與服務(wù)或清潔步驟相關(guān)聯(lián)的工具(例如，布置在第一側(cè)上的一組工具抽屜)的獲取，而與第一側(cè)相對或相鄰的第二側(cè)可以提供到其他儲藏的工具和部件的獲取。以這種方式，服務(wù)車允許獲取各種部件和工具而不中斷使用工具在服務(wù)車的另一側(cè)(服務(wù)車的工作表面等)上執(zhí)行的維修。

服務(wù)車的內(nèi)部包括用于襯底處理系統(tǒng)的承載環(huán)(例如，陶瓷承載環(huán))和mca(最小接觸面積)特征的保護性儲藏，以及用于諸如校準(zhǔn)前開式統(tǒng)集盒(foup)之類的較大物品的儲藏。服務(wù)車可以包括支撐wco平板的安裝件和用于提供平板的充電的充電接口。

通常，某些類型的襯底處理系統(tǒng)的傳送板是大的、不規(guī)則形狀的鋁板。服務(wù)車的一側(cè)或多側(cè)包括用于儲藏和維修傳送板的安裝件。

每個工具抽屜可以包括被配置為儲藏相應(yīng)工具的一個或多個切口。工具抽屜被構(gòu)造成處于鎖定或解鎖狀態(tài)，并且可以在進入車的內(nèi)部的門被鎖定時解鎖。因此，可以在不打開門的情況下獲取工具抽屜。

服務(wù)車還可以包括可調(diào)節(jié)的儲藏架、電源線和/或遠(yuǎn)程充電電池組。服務(wù)車還可以構(gòu)造成允許將來擴展，包括(但不限于)更長或可調(diào)節(jié)的推桿、附加的擱板、鉸接或致動的平板監(jiān)視器、隱藏的平板監(jiān)視器等。

現(xiàn)在參考圖1a-1h，示出了根據(jù)本公開的原理的一個示例性服務(wù)車100的各種視圖。例如，服務(wù)車100可以被配置成用于維修wco沉積襯底處理系統(tǒng)或工具。服務(wù)車100被輪轉(zhuǎn)以便于接近襯底處理系統(tǒng)。在圖1a和1d中，示出了通過服務(wù)車100的前側(cè)104剖開的服務(wù)車100的內(nèi)部，以提供一個或多個可調(diào)節(jié)擱板108、承載環(huán)儲藏室112(包括例如被配置為接受相應(yīng)承載環(huán)的隔板或橫檔)、工具抽屜116、foup儲藏室120和/或額外的大物品儲藏室124的視圖。工具抽屜116和foup儲藏室120(例如，使用門128)可在服務(wù)車100的第一側(cè)132上訪問，而可調(diào)節(jié)擱板108和儲藏室124可在服務(wù)車100的與第一側(cè)132相對的第二側(cè)136上訪問。僅作為示例，抽屜116中的頂部的一個可以包括用于普通工具的切口，抽屜116中的中間的一個可以被配置為儲藏mca特征，并且抽屜116中的底部的一個可以包括用于專用工具的切口。僅作為示例，服務(wù)車100由不銹鋼(例如，316不銹鋼)構(gòu)造。

服務(wù)車100的背面144包括定位成安裝傳送板152(例如，開口型的、密封型的、或星形的傳送板)的一個或多個安裝件148，以及一個或多個緩沖件156，一個或多個緩沖件156設(shè)置為保持傳送板152和背面144之間的期望距離。如圖1h中更詳細(xì)地所示，服務(wù)車100可包括可移除/可更換的上工作表面160。工作表面160可包括提供靜電放電(esd)保護的材料。服務(wù)車100在相應(yīng)的角部處包括保持突出部164，以保持工作表面160的位置。突出部164可以僅在相應(yīng)的角部處設(shè)置，以使工作表面160和突出部164之間的顆粒捕集最小化。服務(wù)車100可以包括用于運輸服務(wù)車100的一個或多個手柄或推桿168。

背面144可以包括電源線入口孔172。例如，電源條(例如，包括gfi出口和浪涌保護的15a電源條)可以安裝在服務(wù)車100的內(nèi)部。

圖2a-2c示出了服務(wù)車100的另一示例性構(gòu)造的視圖。如圖2a-2c所示，服務(wù)車100包括用于將監(jiān)視器、平板或其他電子設(shè)備安裝到服務(wù)車100的鉸接/鉸接安裝臂和支架200。

圖3示出了一個示例性承載環(huán)儲藏室300。承載環(huán)儲藏室300包括布置成接收相應(yīng)承載環(huán)308的一對或多對擱板或橫檔304。如圖所示，載波環(huán)儲藏室300包括四組橫檔304。橫檔304可包括由將防止損壞承載環(huán)308的材料(例如，特氟隆、ptfe等)制成的襯墊312。橫檔304可以向后/向下傾斜(例如，5％的傾斜)，以防止承載環(huán)308向外滑動。承載環(huán)儲藏室300包括阻擋物316(其也可以由特氟隆或另一種非研磨性材料形成)以將承載環(huán)308保持在橫檔304上。換句話說，阻擋物316防止承載環(huán)308向后滑動脫離橫檔304并進一步進入服務(wù)車300的內(nèi)部。

圖4a-4c示出了安裝在一個示例性安裝件404上的傳送板400的特寫視圖。圖5a-5f示出了第一示例性安裝件500。安裝件500可以使用穿過螺栓孔504插入的螺栓或其它緊固件連接到服務(wù)車100的一側(cè)?？梢蕴峁┥w508以覆蓋螺栓孔504。圖6a-6c示出了另一示例性安裝件600。圖7a-7c示出了又一示例性安裝件700。安裝件500、600和700可以由塑料或其它非研磨材料形成，包括(但不限于)pla、hdpe、特氟隆等。安裝件500、600和700各自包括相應(yīng)的槽512、612和712，所述槽被布置成將傳送板固定在離服務(wù)車100的所述側(cè)的一期望距離處，并且防止傳送板碰撞服務(wù)車。安裝件500、600、700定位成接收和保持傳送板的上部。相反，緩沖件156布置成鄰接傳送板的下部，如圖1所示，以防止傳送板碰撞服務(wù)車100的所述側(cè)。緩沖件156可以是錐形的并且由橡膠或其他合適的材料形成。

圖8示出了用于選擇性地鎖定抽屜804的一個示例性鉸接閂鎖800。鉸鏈800構(gòu)造成在打開位置和關(guān)閉位置之間致動。在閂鎖800處于如圖所示的打開位置時，抽屜804被解鎖。因此，即使門在下儲藏區(qū)域上方關(guān)閉并且被鎖定，抽屜804仍然可以被打開，因為閂鎖800不阻止抽屜804的移動。相反地，如果閂鎖800被關(guān)閉并且門被關(guān)閉且鎖定，門重疊并且捕獲在門的頂部下方延伸的閂鎖800的一部分。換句話說，門將閂鎖800捕獲并保持在關(guān)閉位置。因此，如果閂鎖800關(guān)閉并且門關(guān)閉并鎖定在閂鎖800上，則抽屜804也被鎖定。

圖9示出了設(shè)置在工具抽屜內(nèi)的示例性托盤900。托盤900包括構(gòu)造成儲藏各種工具和部件的多個切口904。例如，每個切口904具有與相應(yīng)的一個工具類似的形狀。

圖10-12示出了服務(wù)車100的其他示例性構(gòu)造。在這些示例中，服務(wù)車100還包括噴頭托盤920，噴頭托盤920構(gòu)造成儲藏從被維修的襯底處理系統(tǒng)移除的噴頭。托盤920被配置為可圍繞由柱924限定的軸線單獨地旋轉(zhuǎn)。僅作為示例，柱924可以是可折疊的(例如，伸縮、可折疊到服務(wù)車100的內(nèi)部等)，使得托盤920可以在不使用時向下折疊。

服務(wù)車100可以包括承載環(huán)儲藏抽屜928。抽屜928包括一個或多個狹槽932，其被配置為接收相應(yīng)的承載環(huán)。槽932可以襯有保護材料(例如，特氟隆、ptfe等)以防止損壞承載環(huán)。服務(wù)車100可以包括多個工具抽屜936，其配置成儲藏與特定類型的襯底處理系統(tǒng)的維修和維護相關(guān)聯(lián)的工具。服務(wù)車100可包括用于固定工具抽屜936的可鎖定門940。

服務(wù)車100可以具有被配置為選擇性地接收和連接到附加服務(wù)車區(qū)段944的模塊化設(shè)計。在圖10中，服務(wù)車區(qū)段944可以經(jīng)由軌道948和/或一個或多個閂鎖952連接到服務(wù)車100。例如，軌道948可以連接到區(qū)段944并且構(gòu)造成滑動到設(shè)置在服務(wù)車100的底表面上的互補狹槽956中(或反之亦然)。如圖所示，當(dāng)區(qū)段944相對于服務(wù)車100處于延伸位置時，服務(wù)車100和/或區(qū)段944可以包括托盤960，其構(gòu)造成向下折疊用于儲藏(如圖所示)或展開以提供額外的儲藏或工作表面。相反，如圖11所示，服務(wù)車區(qū)段944可以僅使用閂鎖952連接到服務(wù)車100。

如圖12所示，服務(wù)車100的與工具抽屜936相對的一側(cè)可以包括一對配置成用于懸掛傳送板968的安裝件或柱964。柱964可以包括金屬(例如鋼或鋁)并且可以涂覆有塑料或其它材料以防止損壞傳送板968。在一些示例中，柱964可以被鉸接以在不使用時向上折疊。

前面的描述本質(zhì)上僅僅是說明性的，并且絕不旨在限制本公開、其應(yīng)用或用途。本公開的廣泛教導(dǎo)可以以各種形式實現(xiàn)。因此，雖然本公開包括特定示例，但是本公開的真實范圍不應(yīng)當(dāng)被如此限制，因為在研究附圖、說明書和所附權(quán)利要求時，其他修改將變得顯而易見。應(yīng)當(dāng)理解，在不改變本公開的原理的情況下，方法中的一個或多個步驟可以以不同的順序(或同時地)執(zhí)行。此外，雖然每個實施方式在上面被描述為具有某些特征，但是相對于本公開的任何實施方式描述的那些特征中的任何一個或多個，可以在任何其它實施方式的特征中實現(xiàn)和/或與任何其它實施方式的特征組合，即使該組合沒有明確描述。換句話說，所描述的實施方式不是相互排斥的，并且一個或多個實施方式彼此的置換保持在本公開的范圍內(nèi)。

使用各種術(shù)語來描述元件之間(例如，模塊之間、電路元件之間、半導(dǎo)體層之間等)的空間和功能關(guān)系，各種術(shù)語包括“連接”、“接合”、“耦合”、“相鄰”、“緊挨”、“在...頂部”、“在...上面”、“在...下面”和“設(shè)置”。除非將第一和第二元件之間的關(guān)系明確地描述為“直接”，否則在上述公開中描述這種關(guān)系時，該關(guān)系可以是直接關(guān)系，其中在第一和第二元件之間不存在其它中間元件，但是也可以是間接關(guān)系，其中在第一和第二元件之間(在空間上或功能上)存在一個或多個中間元件。如本文所使用的，短語“a、b和c中的至少一個”應(yīng)當(dāng)被解釋為意味著使用非排他性邏輯或(or)的邏輯(a或b或c)，并且不應(yīng)被解釋為表示“a中的至少一個、b中的至少一個和c中的至少一個”。

在一些實現(xiàn)方式中，控制器是系統(tǒng)的一部分，該系統(tǒng)可以是上述示例的一部分。這樣的系統(tǒng)可以包括半導(dǎo)體處理設(shè)備，半導(dǎo)體處理設(shè)備包括一個或多個處理工具、一個或多個室、用于處理的一個或多個平臺、和/或特定處理部件(晶片基座、氣體流系統(tǒng)等)。這些系統(tǒng)可以與用于在半導(dǎo)體晶片或襯底的處理之前、期間和之后控制它們的操作的電子器件集成。電子器件可以被稱為“控制器”，其可以控制一個或多個系統(tǒng)的各種部件或子部件。根據(jù)處理要求和/或系統(tǒng)類型，控制器可以被編程以控制本文公開的任何工藝，包括工藝氣體的輸送、溫度設(shè)置(例如加熱和/或冷卻)、壓力設(shè)置、真空設(shè)置、功率設(shè)置、射頻(rf)發(fā)生器設(shè)置、rf匹配電路設(shè)置、頻率設(shè)置、流率設(shè)置、流體輸送設(shè)置、位置和操作設(shè)置、進出工具和其他輸送工具和/或連接到特定系統(tǒng)或與特定系統(tǒng)接口的裝載鎖的晶片輸送。

概括地說，控制器可以定義為電子器件，電子器件具有接收指令、發(fā)出指令、控制操作、啟用清潔操作、啟用終點測量等的各種集成電路、邏輯、存儲器和/或軟件。集成電路可以包括存儲程序指令的固件形式的芯片、數(shù)字信號處理器(dsp)、定義為專用集成電路(asic)的芯片、和/或一個或多個微處理器、或執(zhí)行程序指令(例如，軟件)的微控制器。程序指令可以是以各種單獨設(shè)置(或程序文件)的形式輸送到控制器的指令，單獨設(shè)置(或程序文件)定義用于在半導(dǎo)體晶片上或針對半導(dǎo)體晶片或系統(tǒng)執(zhí)行特定工藝的操作參數(shù)。在一些實施方式中，操作參數(shù)可以是由工藝工程師定義的配方的一部分，以在一或多個(種)層、材料、金屬、氧化物、硅、二氧化硅、表面、電路和/或晶片的管芯的制造期間完成一個或多個處理步驟。

在一些實現(xiàn)方式中，控制器可以是與系統(tǒng)集成、耦合到系統(tǒng)、以其它方式聯(lián)網(wǎng)到系統(tǒng)或其組合的計算機的一部分或耦合到該計算機。例如，控制器可以在“云”中或在晶片廠(fab)主機系統(tǒng)的全部或一部分中，其可以允許對晶片處理的遠(yuǎn)程訪問。計算機可以實現(xiàn)對系統(tǒng)的遠(yuǎn)程訪問以監(jiān)視制造操作的當(dāng)前進展、檢查過去制造操作的歷史、從多個制造操作研究趨勢或性能度量，以改變當(dāng)前處理的參數(shù)、設(shè)置要跟隨當(dāng)前處理的處理步驟、或者開始新的處理。在一些示例中，遠(yuǎn)程計算機(例如服務(wù)器)可以通過網(wǎng)絡(luò)(其可以包括本地網(wǎng)絡(luò)或因特網(wǎng))向系統(tǒng)提供工藝配方。遠(yuǎn)程計算機可以包括使得能夠輸入或編程參數(shù)和/或設(shè)置的用戶接口，然后將該參數(shù)和/或設(shè)置從遠(yuǎn)程計算機輸送到系統(tǒng)。在一些示例中，控制器接收數(shù)據(jù)形式的指令，其指定在一個或多個操作期間要執(zhí)行的每個處理步驟的參數(shù)。應(yīng)當(dāng)理解，參數(shù)可以特定于要執(zhí)行的工藝的類型和工具的類型，控制器被配置為與該工具接口或控制該工具。因此，如上所述，控制器可以是例如通過包括聯(lián)網(wǎng)在一起并朝著共同目的(例如本文所述的工藝和控制)工作的一個或多個離散控制器而呈分布式。用于這種目的的分布式控制器的示例是在與遠(yuǎn)程(例如在平臺級或作為遠(yuǎn)程計算機的一部分)定位的一個或多個集成電路通信的室上的一個或多個集成電路，其組合以控制在室上的工藝。

示例系統(tǒng)可以包括但不限于等離子體蝕刻室或模塊、沉積室或模塊、旋轉(zhuǎn)漂洗室或模塊、金屬電鍍室或模塊、清潔室或模塊、倒角邊緣蝕刻室或模塊、物理氣相沉積(pvd)室或模塊、化學(xué)氣相沉積(cvd)室或模塊、原子層沉積(ald)室或模塊、原子層蝕刻(ale)室或模塊、離子注入室或模塊、軌道室或模塊、以及可以與半導(dǎo)體晶片的制造和/或制備相關(guān)聯(lián)或用于半導(dǎo)體晶片的制造和/或制備的任何其它半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。

如上所述，根據(jù)將由工具執(zhí)行的一個或多個處理步驟，控制器可以與一個或多個其他工具電路或模塊、其它工具部件、群集工具、其他工具接口、相鄰工具、鄰近工具、位于整個工廠中的工具、主計算機、另一控制器、或在將晶片容器往返半導(dǎo)體制造工廠中的工具位置和/或裝載口運輸?shù)牟牧线\輸中使用的工具通信。