本發(fā)明涉及一種蝕刻裝置。具體而言，本發(fā)明是關(guān)于一種利用浸漬法而可以均勻地蝕刻撓性膜表面的蝕刻裝置以及方法，以及利用所述蝕刻方法蝕刻的撓性膜。

背景技術(shù)：

一般而言，為了大量生產(chǎn)半導(dǎo)體元件，如光伏電池元件(photovoltaic-cellelement)、系統(tǒng)半導(dǎo)體或者顯示器的光學(xué)膜元件(optical-filmelement)，必須具備能夠在膜基板上持續(xù)形成大面積的微圖案的技術(shù)。

在制造上述的半導(dǎo)體元件時，需要蝕刻加工，使具有微電路圖案(micro-circuitpattern)的薄膜層疊于膜基板上，并且將不需要的部份從薄膜移除以顯露所述的微電路圖案。

蝕刻加工一般可分為濕方法(wetmethod)以及干方法(drymethod)。濕蝕刻方法(wetetchingmethod)是一種利用液體化工品將不需要的部份從層疊于膜基板上的薄膜剪下的方法。相反地，干蝕刻方法(dryetchingmethod)是一種不利用液體化工品，而是利用氣體，將不需要的部份從薄膜剪下的方法。

近來，由于電路的線條寬度變得非常精細(xì)且基板的尺寸增加，為了增加產(chǎn)量，干蝕刻方法的使用增加。然而，干蝕刻方法的缺點在于其相較于濕蝕刻方法更為昂貴以及繁瑣。濕蝕刻方法例如包括浸漬法、噴灑法等。

舉例來說，圖1示意性地顯示韓國專利第1021931號(2011/03/16)所揭露利用噴灑法的現(xiàn)有的蝕刻裝置。

如圖1所示，現(xiàn)有的蝕刻裝置包括：第一噴嘴部10，使蝕刻劑沿基板1表面流動；第二噴嘴部20，從基板1的一側(cè)噴灑蝕刻劑；以及固定部30，將基板1固定于預(yù)定位置。在基板1藉由固定部30固定成向上豎立的狀態(tài)下，基板的一表面被從第一噴嘴部10流出的蝕刻劑所蝕刻，并且同時被從第二噴嘴部20噴灑的蝕刻劑所蝕刻。

然而，現(xiàn)有的蝕刻裝置的缺點在于，在撓性膜被向上豎立的狀態(tài)下，噴灑蝕刻劑于撓性膜上是困難的，因此將裝置應(yīng)用在用于撓性膜的蝕刻加工是困難的。

同時，為了藉由蝕刻方法利用浸漬法蝕刻大面積的膜基板，膜基板被連接到硬板后，直立或水平地被置放在含有刻蝕劑的刻蝕槽。在此狀態(tài)下，執(zhí)行蝕刻加工。

然而，現(xiàn)有的浸漬法需要大尺寸的蝕刻劑槽用于蝕刻大面積的撓性膜、大尺寸的輸送裝置用于輸送連同板的撓性膜、大尺寸的洗滌裝置以及干燥裝置。因此，所述方法的缺點在于需要大量空間以及高昂成本。甚至，現(xiàn)有的蝕刻方法的缺點有，以不接觸的方式處理撓性膜的表面并不容易，另外，對于設(shè)備而言，并不容易確保其能夠均勻地對表面蝕刻的能力。甚至，為了確保所述能力，需要大量的構(gòu)件，因而大幅地提升裝置的成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

據(jù)此，本發(fā)明謹(jǐn)記相關(guān)技術(shù)中所存在的上述問題，并且本發(fā)明的目的在于提案一種對卷繞于滾筒式夾具的撓性膜進行蝕刻加工的蝕刻裝置以及方法，因而簡化裝置的結(jié)構(gòu)、減少作業(yè)空間以及改進蝕刻均勻性，以及藉由所述蝕刻方法所蝕刻的撓性膜。

為了達(dá)成目標(biāo)，本發(fā)明提供一種蝕刻裝置，包括：一加工槽，所述加工槽中包含蝕刻劑；一滾筒式夾具，可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述加工槽中，在其上形成有一薄膜的一撓性膜卷繞所述滾筒式夾具的狀態(tài)下，所述滾筒式夾具浸泡于所述蝕刻劑中；以及一滾筒式夾具驅(qū)動器，配置成用以旋轉(zhuǎn)所述滾筒式夾具。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一注射噴嘴，設(shè)置在所述加工槽中，用以將所述蝕刻劑朝向卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜噴灑；以及一加工泵，配置成用以將所述蝕刻劑泵送至所述注射噴嘴。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一洗滌液供給單元，供給洗滌液至所述蝕刻劑排出的所述加工槽，以在卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜上進行洗滌加工，其中，所述加工泵可以設(shè)置在所述加工槽中，以泵送所述加工槽中所包含的所述蝕刻劑或所述洗滌液至所述注射噴嘴。

所述滾筒式夾具可以包括：多個沿其外周設(shè)置的流動導(dǎo)槽，以在所述滾筒式夾具旋轉(zhuǎn)時，朝向卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜，產(chǎn)生所述蝕刻劑的一流動。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一旋轉(zhuǎn)體，可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述加工槽中；多個葉片，設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)體上；以及一流動產(chǎn)生器，具有一旋轉(zhuǎn)體驅(qū)動器，用以旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)體并朝向卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜，產(chǎn)生所述蝕刻劑的所述流動。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一蝕刻劑槽，設(shè)置與所述加工槽相鄰，以將所述蝕刻劑儲存于其中，其中，在蝕刻加工中產(chǎn)生異物的所述蝕刻劑可以從所述加工槽溢流至所述蝕刻劑槽。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一循環(huán)管，連接所述加工槽與所述蝕刻劑槽，以容許所述蝕刻劑在其中流動；以及一蝕刻劑泵，通過所述循環(huán)管將儲存于所述蝕刻劑槽的所述蝕刻劑泵送至所述加工槽。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一載體膜，耦合于所述撓性膜；以及一卷線滾筒，耦合于所述載體膜，向前或向后旋轉(zhuǎn)以卷繞或松卷所述載體膜。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一干燥單元，設(shè)置在由所述載體膜所輸送的所述撓性膜的輸送路徑上，以噴灑空氣于由所述載體膜所輸送的所述撓性膜上，之后干燥所述載體膜。

所述蝕刻裝置可以進一步包括：一洗滌單元，設(shè)置在由所述載體膜所輸送的所述撓性膜的輸送路徑上，以噴灑洗滌液于由所述載體膜所輸送的所述撓性膜上，之后洗滌所述載體膜。

另外，本發(fā)明也在于提案一種蝕刻方法，所述方法包括：(a)卷繞其上形成有一薄膜的一撓性膜于一滾筒式夾具的周圍，之后將卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜浸入一蝕刻劑；(b)在卷繞所述滾筒式夾具并浸入所述蝕刻劑的所述撓性膜周圍產(chǎn)生所述蝕刻劑的流動，以蝕刻所述撓性膜；(c)在(b)的蝕刻加工后，用洗滌液洗滌所述撓性膜；以及(d)在(c)的洗滌加工后，干燥所述撓性膜。

(b)可以包括：持續(xù)供給一蝕刻劑至一包含所述滾筒式夾具以及所述蝕刻劑的加工槽；以及從所述加工槽溢流在蝕刻加工中產(chǎn)生異物的所述蝕刻劑。

(b)中：所述滾筒式夾具可以旋轉(zhuǎn)且所述蝕刻劑可以朝向卷繞所述滾筒式 夾具的所述撓性膜噴灑，以在所述撓性膜周圍產(chǎn)生所述蝕刻劑的流動。

(c)中：可以供給所述洗滌液，以洗滌卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜。

(c)中：可以供給所述洗滌液，以洗滌可以從所述滾筒式夾具松卷且輸送的所述撓性膜。

(d)中：可以噴灑空氣，以干燥所述撓性膜。

更進一步，本發(fā)明還在于提案一種根據(jù)上述方法所蝕刻的撓性膜。

如同上述清楚說明，根據(jù)本發(fā)明的蝕刻裝置能夠有效地在其上形成有簡潔結(jié)構(gòu)的薄膜(例如，石墨烯薄膜)的大面積撓性膜上進行蝕刻加工。

而且，本發(fā)明利用在撓性膜的表面產(chǎn)生均勻的蝕刻劑的流動，能夠以均勻的品質(zhì)蝕刻撓性膜的表面。

更進一步，本發(fā)明在撓性膜被移動時維持張力以避免撓性膜被弄皺，并且避免撓性膜與外部構(gòu)件接觸，因而避免形成于撓性膜上的薄膜被破壞。

而且，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡單且具有容易的操作特性，因而容許以少量的作業(yè)員進行蝕刻操作。

附圖說明

從以下具體實施方式連同附圖可以清楚了解本發(fā)明的以上和其他方面的特征和優(yōu)勢，附圖中：

圖1是示意性顯示現(xiàn)有的蝕刻裝置。

圖2是根據(jù)本發(fā)明一實施例的蝕刻裝置的側(cè)視圖。

圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的蝕刻裝置的配置示意圖。

圖4是提供于根據(jù)本發(fā)明實施例的蝕刻裝置中的蝕刻單元的一部份的配置的前側(cè)剖面示意圖。

圖5至11顯示由根據(jù)本發(fā)明實施例的蝕刻裝置所進行的蝕刻方法。

圖12是提供于根據(jù)本發(fā)明的蝕刻裝置中的蝕刻單元的一種變化型的前側(cè)剖面示意圖。

圖13是提供于根據(jù)本發(fā)明的蝕刻裝置中的蝕刻單元的另一種變化型的前側(cè)剖面示意圖。

圖14是圖13的蝕刻單元的側(cè)視剖面圖。

其中，附圖標(biāo)記說明如下：

1基板

10第一噴嘴部

20第二噴嘴部

30固定部

100蝕刻裝置

110輸送單元

111載體膜

112卷線器

113卷線滾筒

114卷線滾筒驅(qū)動器

115、116、117輸送滾輪

120蝕刻單元

121加工槽

122滾筒式夾具

123滾筒式夾具驅(qū)動器

124蝕刻劑槽

125循環(huán)管

126蝕刻劑泵

127過濾器

130注射噴嘴

131引導(dǎo)管

132加工泵

133附屬注射噴嘴

134閥

140排出管

145廢棄液體槽

150洗滌液供給單元

151洗滌液供給槽

152洗滌液供給管

153洗滌液供給泵

160洗滌單元

161洗滌液槽

162洗滌液噴嘴

163洗滌液泵

164洗滌液注射管

170干燥單元

171送氣機

172空氣噴嘴

173送氣管

220蝕刻單元

222滾筒式夾具

223流動導(dǎo)槽

320蝕刻單元

321流動產(chǎn)生器

322旋轉(zhuǎn)體

323葉片

324旋轉(zhuǎn)體驅(qū)動器

c洗滌液

e蝕刻劑

f撓性膜

具體實施方式

以下，搭配圖式詳細(xì)說明本發(fā)明的蝕刻裝置，蝕刻方法以及由所述蝕刻方法所蝕刻的撓性膜。

圖2是根據(jù)本發(fā)明一實施例的蝕刻裝置的側(cè)視圖，圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的蝕刻裝置的配置示意圖，圖4是提供于根據(jù)本發(fā)明實施例的蝕刻裝置中的蝕刻單元的一部份的配置的前側(cè)剖面示意圖，圖5至11顯示由根據(jù)本發(fā)明的實施例的蝕刻裝置所進行的蝕刻方法。

如圖2、圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的實施例的蝕刻裝置100包括輸送單元110、蝕刻單元120、洗滌液供給單元150、洗滌單元160以及干燥單元170。 所述蝕刻裝置100可以蝕刻其上形成有多個薄膜的撓性膜f的表面。

舉例來說，根據(jù)實施例的蝕刻裝置100可用于蝕刻方法中，以在生產(chǎn)石墨烯薄膜(graphenethin-film)的過程中移除催化金屬。

如本領(lǐng)域技術(shù)人員所周知，石墨烯是一種新發(fā)現(xiàn)于2004年的二維碳(two-dimensionalcarbon)成分，是一種由單一碳原子層形成的六角形蜂窩結(jié)構(gòu)所組成的非常薄膜的結(jié)構(gòu)。在現(xiàn)有成分中，石墨烯的多種特征，如強度，導(dǎo)熱性，電子移動率(electronmobility)是最優(yōu)良的。因此，對于人們來說，石墨烯是可應(yīng)用于多種技術(shù)，包括顯示器、二次電池(secondarybatteries)、光伏電池(photovoltaiccells)、發(fā)光元件以及感應(yīng)器等等的重要材料。

石墨烯主要藉由機械剝離(mechanicalexfoliation)、化學(xué)氣相沉積(chemicalvapordeposition)、外延合成(epitaxialsynthesis)或化學(xué)剝離(chemicalexfoliation)所產(chǎn)生。由于由上述方法產(chǎn)生的石墨烯具有數(shù)千ω/sq的表面電阻(sheetresistance)，目前已經(jīng)進行多種研究及發(fā)展，以減少表面電阻使石墨烯能應(yīng)用在工業(yè)產(chǎn)業(yè)上。為了改善表面電阻，已經(jīng)有一種將石墨烯堆疊成多層的方法的提案。然而，所述方法的缺點在于其必須包括更多程序，造成生產(chǎn)成本提高，且由于這些重復(fù)的程序，不良品的比例提高了。因此，石墨烯的發(fā)展目標(biāo)在于加速電荷轉(zhuǎn)移或提升單一層中的電荷密度。在提升單一層中的電荷密度的方法中，常用一種在產(chǎn)生石墨烯的程序中藉由濕處理(wetprocess)以移除催化金屬并將化學(xué)物質(zhì)摻入石墨烯的表面的方法。

本發(fā)明可用于蝕刻加工，其中合成于催化金屬上的石墨烯被堆疊于撓性膜f上，且藉由濕處理將催化金屬從撓性膜f上被移除。

現(xiàn)有的濕處理方法中，蝕刻加工是對攤平狀的撓性樣品進行。因此，撓性樣品的尺寸被部份增大，但是其面積被有限制地增加。這是因為較大尺寸的撓性樣品使撓性樣品的處理以及均勻地將樣品表面與溶液反應(yīng)變得較為困難。本發(fā)明可以解決相關(guān)領(lǐng)域所發(fā)生的問題并有效地蝕刻多種撓性樣品，如撓性膜f。

如圖2及圖3所示，輸送單元110用以將撓性膜f輸送至蝕刻單元120、洗滌單元160以及干燥單元170，并包括載體膜111、卷線器112以及多個輸送滾輪115、116、117。載體膜111由可輕易彎曲變形的撓性材料制成。載體膜111在其一端與撓性膜f的一端耦合，并藉由卷線器112以及多個輸送滾 輪115、116、117輸送以拉扯撓性膜f。載體膜111可以藉由膠貼或類似方法與撓性膜f耦合。

卷線器112具有卷線滾筒113，以及旋轉(zhuǎn)卷線滾筒113的卷線滾筒驅(qū)動器114，其中載體膜111卷繞并儲存于卷線滾筒113的周圍。卷線滾筒113可以藉由卷線滾筒驅(qū)動器114向前或向后旋轉(zhuǎn)。通過卷線滾筒113的旋轉(zhuǎn)，載體膜111可以從卷線滾筒113松卷或重新卷繞于卷線滾筒113。撓性膜f同載體膜111可以卷繞于卷線滾筒113儲存。由于撓性膜f卷繞于卷線滾筒113儲存，可以緩和撓性膜f被弄皺或因為與外來物接觸而破壞撓性膜的表面的問題。等待被蝕刻的撓性膜f或已經(jīng)被蝕刻的撓性膜f可以卷繞于卷線滾筒113作暫時性的儲存。

多個輸送滾輪115、116、117設(shè)置于卷線器112與蝕刻單元120之間的撓性膜f的輸送路徑中。多個輸送滾輪115、116、117引導(dǎo)載體膜111以及撓性膜f以穩(wěn)定地輸送載體膜111以及撓性膜f，避免其被折疊。

作業(yè)員剪下預(yù)定長度的載體膜111，藉由膠貼或類似方法將其一端耦合至蝕刻單元120的滾筒式夾具122，并耦合載體膜111的另一端至卷繞于卷線滾筒113的撓性膜f的一端，接著旋轉(zhuǎn)滾筒式夾具122。藉此，卷繞于卷線滾筒113的撓性膜f可以被輸送至蝕刻單元120的滾筒式夾具122。甚至，載體膜111可以從滾筒式夾具122分離，然后被輸送的撓性膜f可以藉由膠貼或類似方法被固定至滾筒式夾具122。更進一步，在載體膜111從卷線滾筒113松卷以及載體膜的111一端耦合至卷繞于滾筒式夾具122的撓性膜f的一端后，卷線滾筒113可以旋轉(zhuǎn)以將卷繞于滾筒式夾具122的撓性膜f朝向卷線滾筒113輸送。

參照圖2至圖4，蝕刻單元120包括：加工槽121，加工槽121中容置蝕刻劑e；滾筒式夾具122，可旋轉(zhuǎn)地被安裝于所述加工槽121中；蝕刻劑槽124，相鄰加工槽121安裝；以及多個注射噴嘴130，朝向滾筒式夾具122設(shè)置。其上形成有薄膜的撓性膜f固定地卷繞于滾筒式夾具122的外周，因而滾筒式夾具122與撓性膜f一同浸泡于蝕刻劑中。滾筒式夾具122可以藉由滾筒式夾具驅(qū)動器123向前或向后旋轉(zhuǎn)。位高于滾筒式夾具122的加工槽121的一上表面或部份對外開口，以使充盈于加工槽中的蝕刻劑e可以朝向蝕刻劑槽124溢流。

如上所述的蝕刻單元120供給蝕刻劑e至加工槽121，使撓性膜f在被固定地卷繞于滾筒式夾具122的狀態(tài)下浸入蝕刻劑中，并旋轉(zhuǎn)滾筒式夾具122，因而蝕刻撓性膜f的表面。浸入蝕刻劑e中的滾筒式夾具122旋轉(zhuǎn)，以在撓性膜f的表面產(chǎn)生蝕刻劑e的均勻流動，藉此允許撓性膜f的表面被均勻地蝕刻，并提升蝕刻效率。

蝕刻加工中從撓性膜f移除的異物漂浮在蝕刻劑e中且可能聚集在蝕刻劑e的表面。因此，當(dāng)蝕刻劑e在蝕刻加工后從加工槽121排出時，漂浮的異物可能附著于已經(jīng)被蝕刻的撓性膜f上，而使撓性膜f被污染。

為了解決此問題，根據(jù)本實施例的蝕刻裝置100將在蝕刻加工中異物進入的蝕刻劑e上層從加工槽121溢流至蝕刻劑槽124。因此，可以立即地從加工槽121移除蝕刻加工中產(chǎn)生的異物，并藉此解決已經(jīng)被蝕刻的撓性膜f被異物污染的問題。

加工槽121以及蝕刻劑槽124彼此連接，使蝕刻劑e得以在循環(huán)管125中循環(huán)。蝕刻劑泵126以及過濾器127連接至循環(huán)管125。蝕刻劑泵126將蝕刻劑槽124的蝕刻劑e朝向加工槽121泵送或者將加工槽121的蝕刻劑e朝向蝕刻劑槽124泵送。蝕刻加工中，蝕刻劑槽124中的蝕刻劑e可以藉由過濾器被過濾，然后持續(xù)地被供給至加工槽121。

如圖3以及圖4所示，多個注射噴嘴130彼此間隔地安裝于加工槽121中，并朝向卷繞滾筒式夾具122的撓性膜f噴灑蝕刻劑e。多個注射噴嘴130通過引導(dǎo)管131與加工泵132連接。加工泵132安裝于加工槽121中，浸入蝕刻劑e中，并通過引導(dǎo)管131泵送加工槽121中所包含的蝕刻劑e至多個注射噴嘴130。在蝕刻加工中，多個注射噴嘴130朝向卷繞滾筒式夾具122的撓性膜f噴灑蝕刻劑e。這些注射噴嘴130在撓性膜f的表面產(chǎn)生均勻的蝕刻劑e的流動，因此更加強了撓性膜f的蝕刻效率。蝕刻加工后，多個注射噴嘴130可在初級洗滌加工中用于朝向撓性膜f噴灑洗滌液c(見圖10)。初級洗滌加工將于后說明。注射噴嘴130的安裝數(shù)量或安裝配置可以有各種變化。

除了多個注射噴嘴130，附屬注射噴嘴133連接至連接至加工泵132的引導(dǎo)管131。附屬注射噴嘴133位于加工槽121的上部位置，用于在洗滌加工時噴灑洗滌液c。閥134安裝于加工泵132與附屬注射噴嘴133之間，以 控制通過引導(dǎo)管31至附屬注射噴嘴133的液體的流動。通過使用閥134，附屬注射噴嘴133可以僅用于噴灑洗滌液c。

排出管140連接至蝕刻單元120的加工槽121以及蝕刻劑槽124。加工槽121中的蝕刻劑e或洗滌液c可以通過排出管140排出至廢棄液體槽145。甚至，蝕刻劑槽124中的蝕刻劑e可以通過排出管140排出至廢棄液體槽145。

參考圖2以及圖3，洗滌液供給單元150包括洗滌液供給槽151、洗滌液供給管152以及洗滌液供給泵153。蝕刻加工后，上述的洗滌液供給單元150在初級洗滌加工中供給洗滌液c至加工槽121。儲存于洗滌液供給槽151的洗滌液c可以被泵送至洗滌液供給泵153，然后藉由洗滌液供給管152供給至加工槽121。

蝕刻加工后，蝕刻劑e從加工槽121被排出，洗滌液供給單元150供給洗滌液c至加工槽121以對卷繞滾筒式夾具122的撓性膜f進行初級洗滌加工。洗滌液c被供給至加工槽121，并由加工泵132泵送，以通過多個注射噴嘴130噴灑洗滌液c于卷繞滾筒式夾具122的撓性膜f上，因而初級洗滌已經(jīng)被蝕刻的撓性膜f。通過在初級洗滌加工中旋轉(zhuǎn)滾筒式夾具122，可以提升洗滌撓性膜f的效率。完成初級洗滌加工后，供給至加工槽121的洗滌液c通過排出管140排出至廢棄液體槽145。

如圖2以及圖3所示，洗滌單元160設(shè)置于撓性膜f被輸送單元110輸送的路徑上，以對已被蝕刻的撓性膜f進行次級洗滌加工。洗滌單元160包括洗滌液槽161、多個洗滌液噴嘴162以及洗滌液泵163。多個洗滌液噴嘴162透過洗滌液注射管164連接至洗滌液泵163。洗滌液泵163安裝于洗滌液槽161中以朝向多個洗滌液噴嘴162泵送儲存于洗滌液槽161的洗滌液c。經(jīng)過了蝕刻加工以及初級洗滌加工的卷繞于滾筒式夾具122的撓性膜f藉由載體膜111被輸送至卷線器112時，多個洗滌液噴嘴162噴灑洗滌液c于撓性膜f上，以在撓性膜f上進行次級洗滌加工。洗滌液槽161連接至排出管140以將儲存于洗滌液槽161中的洗滌液c排出至廢棄液體槽145，

干燥單元170設(shè)置于撓性膜f被輸送單元110輸送的路徑上，以對已經(jīng)經(jīng)由次級洗滌加工的撓性膜f進行干燥加工。干燥單元170包括送氣機171以及多個空氣噴嘴172。多個空氣噴嘴172透過送氣管173與送氣機171連接。送氣機171迫使空氣通過送氣管173被運送至多個空氣噴嘴172，然后 多個空氣噴嘴172噴灑空氣于撓性膜f上，以從撓性膜f上移除蝕刻劑e以及洗滌液c。

以下搭配相應(yīng)圖式說明利用根據(jù)本實施例的蝕刻裝置100的蝕刻方法。

首先，如圖5所示，卷繞于卷線器112的卷線滾筒113并且準(zhǔn)備被蝕刻的撓性膜f藉由載體膜111被輸送至蝕刻單元120的滾筒式夾具122。

此時，作業(yè)員藉由膠貼或類似方法將剪成預(yù)定長度的載體膜111的一端連接至撓性膜f的一端，并且拉動載體膜111的另一端以利用膠貼或類似方法耦合其至滾筒式夾具122。而且，通過膠貼或類似方法，撓性膜f的另一端與卷繞于卷線滾筒113的另一載體膜111連接。這樣，可以進行輸送撓性膜f的準(zhǔn)備工作。接下來，如圖6所示，滾筒式夾具122旋轉(zhuǎn)以將載體膜111卷繞于滾筒式夾具122。藉此，卷繞于卷線滾筒113的撓性膜f可以被拉動并朝向滾筒式夾具122輸送。此時，卷繞于卷線滾筒113的另一載體膜111在相反方向上對撓性膜f施加反作用力，因而撓性膜f可以在適當(dāng)?shù)乇３謴埩ν瑫r被輸送至滾筒式夾具122。

撓性膜f被輸送至滾筒式夾具122后，如圖7所示，作業(yè)員將撓性膜f的兩端從載體膜111分離，并將撓性膜f卷繞于滾筒式夾具122，藉由膠貼或類似方法固定至滾筒式夾具122。

接下來，如圖8所示，蝕刻劑e被供給至加工槽21，用以將撓性膜f浸泡于蝕刻劑e中。在此狀態(tài)下，在撓性膜f上進行蝕刻加工。此時，滾筒式夾具122旋轉(zhuǎn)，且藉由多個注射噴嘴130朝向撓性膜f噴灑蝕刻劑e，因而于撓性膜f周圍產(chǎn)生蝕刻劑e的流動。如此一來，在蝕刻加工中，如果在撓性膜周圍產(chǎn)生蝕刻劑e的流動，可以加強蝕刻撓性膜f的效率。

在蝕刻加工中，從撓性膜f移除的異物可能漂浮于蝕刻劑e中。藉由將異物漂浮的蝕刻劑e上層從加工槽121溢流至蝕刻劑槽124，可以即刻地將蝕刻加工中所產(chǎn)生的異物從加工槽121移除。更進一步，在蝕刻加工中，在蝕刻劑槽124中的蝕刻劑e被蝕刻劑泵126泵送并且被過濾器127過濾后，蝕刻劑持續(xù)地被供給至加工槽121，因此防止蝕刻效率變差。

如果蝕刻加工已經(jīng)完成，蝕刻劑e從加工槽121排出，且洗滌液c透過洗滌液供給單元150被供給至加工槽121，以在撓性膜f上進行初級洗滌加工。此時，在滾筒式夾具122旋轉(zhuǎn)被旋轉(zhuǎn)時，供給至加工槽121的洗滌液c 藉由加工泵132以及多個注射噴嘴130被噴灑至卷繞于筒式夾具122的撓性膜f上。藉此，可以加強洗滌撓性膜f的效率。

如果撓性膜f的初級洗滌加工已經(jīng)完成，如圖9所示，洗滌液c從加工槽121被排出，且卷繞于滾筒式夾具122的撓性膜f的一端通過膠貼或類似方法連接到載體膜111的一端。更進一步，如圖10所示，卷線滾筒113旋轉(zhuǎn)，以通過載體膜111將撓性膜f從滾筒式夾具122輸送至卷線滾筒113。

當(dāng)撓性膜f如上述被輸送至卷線滾筒113，洗滌單元160噴灑洗滌液c于撓性膜f上，以于撓性膜f上進行次級洗滌加工。更進一步，在經(jīng)由次級洗滌加工的撓性膜f通過干燥單元170時，干燥單元170噴灑空氣于撓性膜f上，以于撓性膜f上進行干燥加工。

在撓性膜f依序地通過洗滌單元160以及干燥單元170后，撓性膜f可以被卷繞于卷線滾筒113回收，如圖11所示。作業(yè)員可以將以上述同樣方式蝕刻的撓性膜f以卷繞撓性膜于卷線滾筒113的方式暫時地儲存或?qū)闲阅從卷線滾筒113分離，以將撓性膜運送到另一位置。

如上所述，根據(jù)本實施例的蝕刻裝置100具有簡潔的結(jié)構(gòu)，能夠有效地在大面積的撓性膜f上進行蝕刻加工。且，于撓性膜f的表面上產(chǎn)生均勻的蝕刻劑e的流動，因此容許撓性膜f以統(tǒng)一的品質(zhì)被蝕刻。更進一步，在撓性膜f被輸送時，維持其張力以避免撓性膜被弄皺，且撓性膜不與外部構(gòu)件接觸以避免撓性膜f上所形成的薄膜被破壞。

與此同時，圖12至14顯示提供于根據(jù)本發(fā)明的蝕刻裝置中的蝕刻單元的多種變化型。

首先，圖12的蝕刻單元220包括加工槽121，以及可旋轉(zhuǎn)地安裝于加工槽121中的滾筒式夾具222。多個流動導(dǎo)槽223沿著滾筒式夾具222的外周形成。當(dāng)夾具旋轉(zhuǎn)時，多個流動導(dǎo)槽223朝向卷繞于滾筒式夾具222上的撓性膜f產(chǎn)生蝕刻劑e的流動。上述的蝕刻單元220配置成當(dāng)夾具旋轉(zhuǎn)時，多個流動導(dǎo)槽223在卷繞于滾筒式夾具222上的撓性膜f的表面上產(chǎn)生均勻的蝕刻劑e的流動，因而容許撓性膜f的表面被均勻地蝕刻并提高蝕刻效率。因此，即使未安裝注射噴嘴130，也可以與上述的蝕刻單元120達(dá)到相同的效果。

圖13、14的蝕刻單元320包括加工槽121、可旋轉(zhuǎn)地安裝于加工槽121 中的滾筒式夾具122以及可旋轉(zhuǎn)地安裝于加工槽121中的流動產(chǎn)生器321。流動產(chǎn)生器321具有旋轉(zhuǎn)體322、多個提供于旋轉(zhuǎn)體322中的葉片323以及旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)體322的旋轉(zhuǎn)體驅(qū)動器324。旋轉(zhuǎn)體322可旋轉(zhuǎn)地安裝于加工槽121中以圍繞滾筒式夾具122。當(dāng)旋轉(zhuǎn)體322被旋轉(zhuǎn)體驅(qū)動器324旋轉(zhuǎn)時，多個提供于旋轉(zhuǎn)體322中的葉片323在旋轉(zhuǎn)體322中產(chǎn)生蝕刻劑e的流動。因此，在卷繞于滾筒式夾具122的撓性膜f的表面上產(chǎn)生均勻的蝕刻劑e的流動，而能均勻地蝕刻撓性膜f的表面并提升蝕刻效率。

雖然如圖所示，一對流動產(chǎn)生器321被置于滾筒式夾具122的兩端，即滾筒式夾具122的每一端設(shè)置有一個流動產(chǎn)生器，流動產(chǎn)生器的安裝數(shù)量或安裝配置可以有多種變化。甚至，雖然如圖所示流動產(chǎn)生器321圍繞滾筒式夾具122，然而只要其結(jié)構(gòu)能夠旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)體并產(chǎn)生提供至加工槽121的液體流動，多種結(jié)構(gòu)皆可以作為流動產(chǎn)生器。

雖然已經(jīng)說明了本發(fā)明的較佳實施例，本發(fā)明的范圍并不限于參考附圖的前述說明。

輸送單元110可以以多種不同的形態(tài)被提供，例如，卷線器112可以被省略。

蝕刻單元120基本上具有加工槽121以及安裝于其中的滾筒式夾具122，在基本結(jié)構(gòu)上還能附加地設(shè)置多種構(gòu)件以構(gòu)成多種不同的結(jié)構(gòu)。如另一例，蝕刻單元可以改變成一個沒有洗滌功能的結(jié)構(gòu)。

甚至，洗滌單元160可以以如所示的結(jié)構(gòu)，以及以能夠進行洗滌加工的多種不同的形態(tài)來設(shè)置，干燥單元170可以以如所示的結(jié)構(gòu)，以及以能夠進行干燥加工的多種不同的形態(tài)來設(shè)置。

更進一步，根據(jù)本發(fā)明的蝕刻裝置可以以多種不同的形態(tài)來設(shè)置，包括以具有蝕刻功能的蝕刻單元作為基本元件，以及以其他構(gòu)件作為附加元件。

雖然為了說明的目的揭露了本發(fā)明的較佳實施例，本領(lǐng)域技術(shù)人能夠預(yù)期在不脫離如權(quán)利要求所揭露的本發(fā)明范圍以及要旨下，尚有多種變化、附加以及替代的可能。