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包括隧穿層的晶體管的制作的制作方法

文檔序號:11289449閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
在一個特定實施例中,一種裝置包括電子隧道結(jié)構(gòu)。電子隧道結(jié)構(gòu)包括隧穿層、溝道層、源極層和漏極層。隧穿層和溝道層定位在源極層與漏極層之間。晶體管器件進(jìn)一步包括與電子隧道結(jié)構(gòu)相鄰的高k介電層。

技術(shù)研發(fā)人員:袁駿;李霞;楊斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者:高通股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.01.13
技術(shù)公布日:2017.09.26
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