本實(shí)用新型涉及一種基板旋轉(zhuǎn)(spinning)裝置，更為詳細(xì)地涉及一種基板旋轉(zhuǎn)裝置，所述基板旋轉(zhuǎn)裝置能夠以與基板的配置角度相對(duì)應(yīng)的形式調(diào)整支撐基板的支撐部的配置角度。

背景技術(shù)：

通過在晶元等的基板上進(jìn)行蒸鍍工藝、光刻工藝、蝕刻工藝等多項(xiàng)工藝來制成半導(dǎo)體元件。并且，在進(jìn)行所述工藝之后，進(jìn)行對(duì)殘留于基板上的不必要的薄膜、粒子等異物進(jìn)行去除的清洗工藝。

尤其，結(jié)束化學(xué)機(jī)械研磨工藝的基板因?yàn)楸砻鏆埩粲泻芏喈愇铮詾榱巳コ愇锒M(jìn)行多步驟的清洗工藝，其中，正在探索能夠?qū)宓纳厦婧拖旅嫱瑫r(shí)進(jìn)行清洗的方案。

例如，用于刷式(brush)清洗裝置的基板旋轉(zhuǎn)裝置1的構(gòu)成如圖1及圖2所示，所述刷式清洗裝置通過清洗刷子(brush)99同時(shí)對(duì)圓形盤(disc)形狀的基板W的上面和下面進(jìn)行接觸清洗。換句話說，基板旋轉(zhuǎn)裝置1如果得到圓形盤形狀的基板W的供給，則使得固定一對(duì)A1、A2的驅(qū)動(dòng)支撐體10、20的支撐架(未示出)中的任意一個(gè)進(jìn)行移動(dòng)，從而在將基板W收納至驅(qū)動(dòng)支撐體10、20的接觸支撐體15、25的狀態(tài)下，對(duì)接觸支撐體15進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，從而使得基板W進(jìn)行水平旋轉(zhuǎn)。

在基板水平旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，能夠向旋轉(zhuǎn)的同時(shí)接觸于基板的表面的刷子99供給清洗液及藥液等，同時(shí)去除殘留于基板W的表面的異物。

通常，基板旋轉(zhuǎn)裝置1的驅(qū)動(dòng)支撐體10、20形成為三個(gè)以上，并且驅(qū)動(dòng)支撐體10、20中的一部分作為對(duì)基板W進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體10而設(shè)置，剩余的其他部分作為對(duì)基板W的旋轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行測(cè)定的空轉(zhuǎn)輪(idler)支撐體20而設(shè)置。

如圖3所示，驅(qū)動(dòng)支撐體10包括：驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)12，其通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)M得到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，且在上、下側(cè)通過軸承(bearing)12b得到旋轉(zhuǎn)支撐；中空殼體(housing)13，其包裹驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸12的外圍；接觸支撐體15，其結(jié)合于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸12的上端部，從而對(duì)基板W進(jìn)行支撐。

接觸支撐體15結(jié)合于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸12，從而與驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸12共同進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。如圖3及圖4所示，接觸支撐體15可分割形成為多個(gè)支撐體15a、15b、15b，并且通過連接螺栓(bolt)77x、78x、79x得以結(jié)合。根據(jù)情況的不同，接觸支撐體也能夠只設(shè)置為一個(gè)主體。保持接觸支撐體15接觸基板W的邊緣的狀態(tài)，隨著接觸支撐體15得到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，與接觸支撐體15接觸的基板W也同時(shí)得到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。

如圖5所示，空轉(zhuǎn)輪(idler)支撐體20也包括：驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸22，其在上、下側(cè)通過軸承(bearing)22b得到旋轉(zhuǎn)支撐；中空殼體23，其包裹驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸22的外圍；接觸支撐體25，其結(jié)合于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸22的上端部，從而對(duì)基板W進(jìn)行支撐。并且，不是驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連接于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸22，而是對(duì)旋轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行感知的編碼器(encoder)的等傳感器S連接設(shè)置于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸22，從而對(duì)與空轉(zhuǎn)輪接觸支撐體25共同進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸22的旋轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行測(cè)定，進(jìn)而對(duì)基板W的旋轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行感知。

如上所述，在現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)裝置1中，因?yàn)楸仨氁曰褰佑|(夾持(grip))于驅(qū)動(dòng)支撐體及空轉(zhuǎn)輪支撐體的狀態(tài)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所以必須能夠使得驅(qū)動(dòng)支撐體及空轉(zhuǎn)輪支撐體與基板的接觸狀態(tài)保持穩(wěn)定。

但是，現(xiàn)有情況下，如果因?yàn)榧庸ぜ霸O(shè)置存在偏差，或者由于清洗液使得刷子潤濕而導(dǎo)致刷子下垂等，而使得基板以傾斜的狀態(tài)配置，則存在如下問題：使得驅(qū)動(dòng)支撐體10及空轉(zhuǎn)輪支撐體20中的特定支撐體發(fā)生無法夾持(接觸)基板W的情況。假設(shè)，在特定驅(qū)動(dòng)支撐體與基板無法接觸的情況下，因?yàn)闊o法通過特定驅(qū)動(dòng)支撐體的驅(qū)動(dòng)力傳遞至基板，所以存在難以使得基板穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)的問題；在空轉(zhuǎn)輪支撐體與基板無法接觸的情況下，因?yàn)闊o法檢測(cè)基板的旋轉(zhuǎn)數(shù)，所以存在基板的清洗量無法計(jì)算的問題。

此外，現(xiàn)有技術(shù)中存在如下問題：在各個(gè)支撐體(驅(qū)動(dòng)支撐體及空轉(zhuǎn)輪支撐體)夾持基板W的夾持壓力不均勻或特定支撐體無法接觸于基板的情況下，在各個(gè)支撐體(驅(qū)動(dòng)支撐體及空轉(zhuǎn)輪支撐體)上實(shí)質(zhì)接觸于基板的聚氨酯(urethane)材質(zhì)的接觸支撐體15、25分別被不均勻地磨損，因此問題在于，難以對(duì)各個(gè)接觸支撐體的替換周期進(jìn)行管理。

尤其，現(xiàn)有技術(shù)中，根據(jù)接觸支撐體15、25的外徑公差而各個(gè)支撐體(驅(qū)動(dòng)支撐體及空轉(zhuǎn)輪支撐體)夾持基板W的夾持壓力可能不同，各個(gè)支撐體以互不相同的夾持壓力夾持基板時(shí)，存在可能發(fā)生基板旋轉(zhuǎn)偏差的問題，因此接觸支撐體需要較高的加工精細(xì)度。

由此，最近正在進(jìn)行如下探討：通過各個(gè)支撐體(驅(qū)動(dòng)支撐體及空轉(zhuǎn)輪支撐體)能夠使得基板的夾持狀態(tài)保持穩(wěn)定，用于修正加工及設(shè)置精細(xì)度或刷子的下垂等所致的偏差，但是仍存在不足，從而需要對(duì)其進(jìn)行開發(fā)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種基板旋轉(zhuǎn)裝置，其能夠使得基板的支撐狀態(tài)(夾持狀態(tài))得到穩(wěn)定保持，并能夠?qū)宓男D(zhuǎn)條件進(jìn)行準(zhǔn)確控制。

尤其，本實(shí)用新型的目的在于提供一種基板旋轉(zhuǎn)裝置，其能夠根據(jù)工藝條件對(duì)支撐基板的傾斜支撐部的傾斜角度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

此外，本實(shí)用新型的目的在于提供一種基板旋轉(zhuǎn)裝置，其能夠?qū)⒒宓闹螇毫φ{(diào)節(jié)為均勻。

此外，本實(shí)用新型的目的在于提供一種基板旋轉(zhuǎn)裝置，其對(duì)根據(jù)基板的清洗工藝的清洗量進(jìn)行實(shí)時(shí)準(zhǔn)確掌握，從而既不會(huì)發(fā)生過度清洗也不發(fā)生不足清洗，而是以適合的清洗量控制清洗工藝，從而能夠確保清洗的可信度。

根據(jù)用于達(dá)成所述本實(shí)用新型的目的的本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，對(duì)圓形盤形狀的基板進(jìn)行支撐并旋轉(zhuǎn)的基板旋轉(zhuǎn)裝置包括：基板支撐部，其設(shè)置為對(duì)基板的邊緣一側(cè)進(jìn)行支撐；傾斜支撐部，其設(shè)置為對(duì)基板的另一邊緣一側(cè)進(jìn)行支撐，并設(shè)置為以一端為基準(zhǔn)相對(duì)于所述基板支撐部能夠傾斜，以與相對(duì)所述基板支撐部的所述基板配置角度相對(duì)應(yīng)的形式對(duì)所述傾斜支撐部的傾斜角度(tilting angle)進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而能夠穩(wěn)定地保持支撐狀態(tài)(夾持狀態(tài))，并能夠準(zhǔn)確地控制基板的旋轉(zhuǎn)條件。

作為參考，在本實(shí)用新型中，所謂的基板支撐部及傾斜支撐部對(duì)基板的邊緣一側(cè)進(jìn)行支撐可以理解為，基板的邊緣一側(cè)以直接相接的形式接觸于基板支撐部及傾斜支撐部并得到支撐的狀態(tài)。

傾斜支撐部根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為能夠支撐基板的邊緣的各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，傾斜支撐部可包括對(duì)基板的邊緣進(jìn)行支撐的一個(gè)或兩個(gè)以上的基板支撐體。

此外，傾斜支撐體根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，傾斜支撐體可包括：旋轉(zhuǎn)軸，其以柱形態(tài)直立設(shè)置并旋轉(zhuǎn)；接觸體，其結(jié)合于旋轉(zhuǎn)軸的前端，從而與基板的邊緣直接接觸；以及傾斜部，其結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)軸的下端，從而使得旋轉(zhuǎn)軸傾斜。

作為參考，基板支撐部和傾斜支撐部中的任意一個(gè)可以是用于對(duì)基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體，基板支撐部和傾斜支撐部中的另一個(gè)可以是通過基板的旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行空轉(zhuǎn)(idle)旋轉(zhuǎn)的空轉(zhuǎn)輪支撐體。作為一個(gè)例子，構(gòu)成傾斜支撐部的第一傾斜支撐體及第二傾斜支撐體中，第一傾斜支撐體可以作為用于對(duì)基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體而使用，第二傾斜支撐體可以用作通過基板而空轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)的空轉(zhuǎn)輪支撐體。

傾斜部根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為能夠使得旋轉(zhuǎn)軸傾斜的各種構(gòu)造。假設(shè)，傾斜部通過常規(guī)的球形連接(ball joint)方式、鏈接(link)方式或其他旋轉(zhuǎn)方式來設(shè)置，從而可構(gòu)成為使得旋轉(zhuǎn)軸傾斜。作為一個(gè)例子，傾斜部可包括：殼體，其在內(nèi)部設(shè)置有球(ball)收納部，且得到固定設(shè)置；以及球頭銷(ball stud)，其一端與旋轉(zhuǎn)軸的下端連接，另一端以能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的形式收納至球收納部。作為另一個(gè)例子，傾斜部可包括：固定部件，其得到固定設(shè)置；可動(dòng)部件，其以從所述固定部件隔開的形式設(shè)置，并連接于旋轉(zhuǎn)軸；流體密封部，其設(shè)置于固定部件和可動(dòng)部件之間，以便將固定部件和可動(dòng)部件連接為一體，并且可動(dòng)部件以流體密封部為媒介相對(duì)于固定部件得以傾斜。

此外，所述殼體和球頭銷之間可設(shè)置有軸承零件(bearingelement)。在此，所謂的軸承零件430可以理解為，不僅包括塑料材質(zhì)的高分子軸承(polymer bearing)，而且包括潤滑脂(grease)等流體在內(nèi)的全部概念。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置可以包括彈性部件，所述彈性部件提供彈力，以便傾斜支撐部的傾斜能夠以彈性的形式實(shí)現(xiàn)。作為一個(gè)例子，殼體和球頭銷之間可夾有彈簧部件，所述彈簧部件用于對(duì)球頭銷進(jìn)行彈性支撐。并且根據(jù)情況的不同，也可使得彈性部件安裝于殼體的外部。

可以設(shè)置止動(dòng)部件，所述止動(dòng)部件用于臨時(shí)約束傾斜支撐部的傾斜狀態(tài)。作為止動(dòng)部件可以使用能夠?qū)A斜支撐部的配置狀態(tài)(傾斜旋轉(zhuǎn)狀態(tài))進(jìn)行保持或固定的常規(guī)的部件，并且本實(shí)用新型不受止動(dòng)部件的構(gòu)造及特性的限制和限定。

基板支撐部根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為能夠支撐基板的邊緣的各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，基板支撐部可包括一個(gè)或兩個(gè)以上的基板支撐體。此外，基板支撐體可包括：旋轉(zhuǎn)軸，其以柱形態(tài)直立設(shè)置并旋轉(zhuǎn)；以及接觸體，其結(jié)合于旋轉(zhuǎn)軸的前端，從而與基板的邊緣直接接觸。

作為參考，基板支撐部雖然也能夠得到固定設(shè)置，但是根據(jù)情況的不同，也可構(gòu)成為以類似于傾斜支撐部的方式，使得基板支撐部的一部分或整體能夠相對(duì)于相互面對(duì)的傾斜支撐部或其他基板支撐部進(jìn)行傾斜。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例，基板旋轉(zhuǎn)裝置包括基板支撐部及傾斜支撐部，并且傾斜支撐部可包括：第一傾斜支撐體，其對(duì)基板的邊緣進(jìn)行支撐；第二傾斜支撐體，其與第一傾斜支撐體分離配置，從而對(duì)基板的另一邊緣進(jìn)行支撐；共用傾斜部，其與第一傾斜支撐體及第二傾斜支撐體連接為一體，并且能夠使得第一傾斜支撐體及第二傾斜支撐體同時(shí)傾斜。

共用傾斜部可以設(shè)置為與第一傾斜支撐體及第二傾斜支撐體連接為一體，并且能夠使得第一傾斜支撐體及第二傾斜支撐體同時(shí)傾斜的各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，共用傾斜部可包括：連接部件，其使得第一傾斜支撐體及第二傾斜支撐體的旋轉(zhuǎn)軸的下端連接為一體；以及傾斜部，其結(jié)合于連接部件從而使得連接部件傾斜。

如上所述，根據(jù)本實(shí)用新型，能夠穩(wěn)定保持基板的支撐狀態(tài)(夾持狀態(tài))，并能夠準(zhǔn)確控制基板的旋轉(zhuǎn)條件。

尤其，根據(jù)本實(shí)用新型，以與基板的配置角度相應(yīng)的形式對(duì)傾斜支撐部的傾斜角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，由此能夠穩(wěn)定地支撐基板，并且能夠更加準(zhǔn)確地控制基板的旋轉(zhuǎn)條件，所述基板的配置角度是由于刷子的下垂或加工及設(shè)置偏差等工藝條件所造成的。由此能夠預(yù)防如下現(xiàn)象：用于對(duì)基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體與基板無法接觸所致的不完全旋轉(zhuǎn)；以及對(duì)基板的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的空轉(zhuǎn)輪支撐體與基板無法接觸所致的旋轉(zhuǎn)數(shù)檢測(cè)錯(cuò)誤。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，具有如下有利效果：即使由于刷子的下垂等而使得基板發(fā)生傾斜，也能夠順利地確?；宓男D(zhuǎn)，并且使得基板與刷子的接觸狀態(tài)保持一定，從而能夠提高基板整體表面的清洗效果。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，根據(jù)工藝條件能夠調(diào)節(jié)傾斜支撐部的傾斜角度，由此，能夠?qū)νㄟ^支撐部的基板的支撐壓力進(jìn)行均勻調(diào)節(jié)。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，即使與基板接觸的接觸體發(fā)生加工偏差，也能夠以與加工偏差相對(duì)應(yīng)的形式對(duì)傾斜支撐部的傾斜角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，因此無需以更高的加工精細(xì)度對(duì)接觸體進(jìn)行加工，并且能夠節(jié)省維護(hù)維修的費(fèi)用。

此外，本實(shí)用新型對(duì)基板的旋轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行更為準(zhǔn)確地感知，從而能夠準(zhǔn)確地控制清洗量(基板旋轉(zhuǎn)的距離)，由此能夠均勻且連貫地控制基板的清洗狀態(tài)。

附圖說明

圖1是示出常規(guī)的基板旋轉(zhuǎn)裝置的構(gòu)成的立體圖，

圖2是示出使得基板安放于圖1的狀態(tài)的平面圖，

圖3是沿著圖1的截?cái)嗑€Ⅲ-Ⅲ的驅(qū)動(dòng)支撐體的縱截面圖，

圖4是圖3的“A”部分的放大圖，

圖5是圖1的感知支撐體的縱截面圖，

圖6是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置的圖，

圖7及圖8是根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置，用于說明傾斜(tilting)支撐部的圖，

圖9是根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置，用于說明基板支撐部的構(gòu)造的圖，

圖10及圖11是根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置，用于說明傾斜支撐部的操作構(gòu)造的圖，

圖12及圖13是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)裝置的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，但本實(shí)用新型并非受到實(shí)施例的限制或限定。作為參考，本說明中，相同的標(biāo)號(hào)實(shí)質(zhì)指代相同的要素，在這種規(guī)則下，可引用記載于其他附圖的內(nèi)容進(jìn)行說明，并且省略對(duì)從業(yè)人員來說顯而易見或重復(fù)的內(nèi)容。

圖6是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置的圖，圖7及圖8是根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置，用于說明傾斜(tilting)支撐部的圖，圖9是根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置，用于說明基板支撐部的構(gòu)造的圖。作為參考，圖7是沿著圖6的截?cái)嗑€Ⅶ-Ⅶ的截面圖，圖8是沿著圖6的截?cái)嗑€Ⅷ-Ⅷ的截面圖。此外，圖10及圖11是根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置，用于說明傾斜支撐部的操作構(gòu)造的圖。

如所述附圖所示，根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置作為對(duì)圓形盤形態(tài)的基板W進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的裝置，包括基板支撐部200及傾斜支撐部300。

所述基板支撐部200固定設(shè)置為支撐基板W的邊緣一側(cè)。在此，所謂的所述基板支撐部200支撐基板W的邊緣一側(cè)可以理解為，基板W的邊緣一側(cè)以直接相接的形式接觸于基板支撐部200并得到支撐的狀態(tài)。

所述基板支撐部200根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為能夠支撐基板W的邊緣的各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，所述基板支撐部200可包括：第一基板支撐體210，其支撐基板W的邊緣；以及第二基板支撐體220，其與所述第一基板支撐體210分離配置，從而支撐基板W的另一邊緣。根據(jù)情況的不同，基板支撐部可僅由一個(gè)基板支撐體構(gòu)成，或也可包括三個(gè)以上的基板支撐體而構(gòu)成。

所述第一基板支撐體210及第二基板支撐體220根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，參照?qǐng)D9，所述第二基板支撐體220可包括：旋轉(zhuǎn)軸222，其以柱形態(tài)直立設(shè)置并旋轉(zhuǎn)；以及接觸體224，其結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)軸222的前端，從而與基板W的邊緣直接接觸。

所述接觸體224可分割形成為多個(gè)接觸支撐體224a、224b、224c，并且通過連接螺栓(bolt)77x、78x、79x可結(jié)合為單一主體形態(tài)。根據(jù)情況的不同，接觸體可僅由一個(gè)接觸支撐體構(gòu)成，并且本實(shí)用新型不受接觸支撐體的數(shù)量及構(gòu)造的限制和限定。

作為參考，所述第一基板支撐體210及第二基板支撐體220可作為用于對(duì)基板W進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體而使用，或者可作為由于基板W的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致進(jìn)行空轉(zhuǎn)(idle)旋轉(zhuǎn)的空轉(zhuǎn)輪支撐體而使用。以下，以將構(gòu)成所述基板支撐體200的第一基板支撐體210及第二基板支撐體220全部用作對(duì)基板W進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體的例子進(jìn)行說明。根據(jù)情況的不同，第一基板支撐體及第二基板支撐體中任意一個(gè)可被用作驅(qū)動(dòng)支撐體，剩余的另一個(gè)可被用作空轉(zhuǎn)支撐體?；蛘撸谝换逯误w及第二基板支撐體全部可被用作空轉(zhuǎn)支撐體。

所述第一基板支撐體210及第二基板支撐體220被用作驅(qū)動(dòng)支撐體的情況下，第一基板支撐體210及第二基板支撐體220的旋轉(zhuǎn)軸212、222可分別被驅(qū)動(dòng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，且各個(gè)接觸體214、224可與旋轉(zhuǎn)軸212、222共同進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。隨著所述各個(gè)接觸體214、224的旋轉(zhuǎn)，可使得以接觸于各個(gè)接觸體214、224的狀態(tài)得到支撐的基板W共同進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

所述傾斜支撐部300支撐與基板支撐部200相面對(duì)的基板W的邊緣的另一側(cè)，并設(shè)置為以一端為基準(zhǔn)相對(duì)基板支撐部200能夠傾斜，從而能夠以與相對(duì)所述基板支撐部200的基板配置角度相對(duì)應(yīng)的形式對(duì)傾斜支撐部300的傾斜角度(tilting angle)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

作為參考，優(yōu)選地，所述基板以水平形式配置的狀態(tài)(在垂直于基板支撐部(200)的長度方向的方向上配置的狀態(tài))進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。但是，如果發(fā)生加工及設(shè)置偏差，或由于清洗液使得刷子潤濕而導(dǎo)致刷子下垂，或產(chǎn)生由刷子所致的加壓，則相對(duì)基板支撐部200的基板配置角度可能錯(cuò)位。此時(shí)，所述傾斜支撐部300以與基板的錯(cuò)位角度相對(duì)應(yīng)的形式傾斜，由此能夠穩(wěn)定保持基板的支撐狀態(tài)(夾持狀態(tài))。就所述構(gòu)造而言，即使由于刷子下垂等而使得基板傾斜，仍然能夠順利地確?；宓男D(zhuǎn)，而且使得基板和刷子的接觸狀態(tài)保持一定，從而提高基板整體表面的清洗效果。

作為一個(gè)例子，在基板W的一側(cè)被基板支撐部200支撐的狀態(tài)下，為了支撐基板W的相對(duì)面而提供所述傾斜支撐部300，并且所述傾斜支撐部300以與基板的配置角度相對(duì)應(yīng)的形式以下端為基準(zhǔn)進(jìn)行傾斜，由此構(gòu)成為可對(duì)傾斜角度(tilting angle)進(jìn)行調(diào)節(jié)。在此，所謂的所述傾斜支撐部300支撐基板W的邊緣的另一側(cè)是指，基板W的邊緣的另一側(cè)以直接相接的形式接觸于基板支撐部200并得到支撐的狀態(tài)。

作為參考，在本實(shí)用新型中，所謂的傾斜支撐體300以與基板支撐部200相面對(duì)的形式支撐基板W的相對(duì)側(cè)可以理解為全部包括如下情況：被傾斜支撐部300支撐的基板W的支撐位置與被基板支撐部200支撐的基板W的支撐位置配置于相同的水平線上，或配置于相鄰的其他水平線上。

所述傾斜支撐部300根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式能夠設(shè)置為可對(duì)基板W的邊緣進(jìn)行支撐的各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，所述傾斜支撐部300可包括：第一傾斜支撐體310，其與第一基板支撐體200相面對(duì)，并以可傾斜的形式設(shè)置，從而支撐基板W的邊緣；以及第二傾斜支撐體320，其與所述第二基板支撐體200相面對(duì)，并以可傾斜的形式設(shè)置，從而支撐基板W的邊緣。根據(jù)情況的不同，傾斜支撐部也可包括三個(gè)以上的傾斜支撐體。

所述第一傾斜支撐體310及第二傾斜支撐體320根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，參照?qǐng)D7及圖8，所述第一傾斜支撐體310及第二傾斜支撐體320可包括：旋轉(zhuǎn)軸312、322，其以柱形態(tài)直立設(shè)置并旋轉(zhuǎn)；以及接觸體314、324，其結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)軸312、322的前端(上端)，從而與基板W的邊緣直接接觸；以及傾斜部400，其結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)軸312、322的下端，從而使得旋轉(zhuǎn)軸傾斜。

所述第一傾斜支撐體310及第二傾斜支撐體320的接觸體314、324可分割形成為多個(gè)接觸支撐體314a～314c、324a～324c，并且通過連接螺栓77x、78x、79x得以結(jié)合為單一主體的形態(tài)。根據(jù)情況的不同，接觸體也能夠只設(shè)置為一個(gè)接觸支撐體，并且本實(shí)用新型不受接觸支撐體的數(shù)量及構(gòu)造的限制和限定。

作為參考，所述第一傾斜支撐體310及第二傾斜支撐體320可作為用于對(duì)基板W進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體而使用，或者可作為由于基板W的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致進(jìn)行空轉(zhuǎn)(idle)旋轉(zhuǎn)的空轉(zhuǎn)輪支撐體而使用。作為一個(gè)例子，構(gòu)成所述傾斜支撐體300的第一傾斜支撐體310及第二傾斜支撐體320中，第一傾斜支撐體及310可作為用于對(duì)基板W進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體而使用，第二傾斜支撐體320可作為由于基板W而進(jìn)行空轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)的空轉(zhuǎn)輪支撐體而使用。

當(dāng)所述第一傾斜支撐體310作為用于使得基板W旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)支撐體而使用時(shí)，第一傾斜支撐體310的旋轉(zhuǎn)軸312可分別通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)而得到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，第一傾斜支撐體310的接觸體314能夠與旋轉(zhuǎn)軸共同進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。隨著所述第一傾斜支撐體310的接觸體314進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以接觸于接觸體314的狀態(tài)得到支撐的基板W能夠共同進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。當(dāng)所述第二傾斜支撐體320被用作空轉(zhuǎn)輪支撐體時(shí)，第二傾斜支撐體320不與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連接，而使得對(duì)旋轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行感知的類似于編碼器(encoder)的傳感器S連接設(shè)置于旋轉(zhuǎn)軸312，從而測(cè)定與第二傾斜支撐體320的接觸體共同旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸312的旋轉(zhuǎn)數(shù)，進(jìn)而能夠感知基板W的旋轉(zhuǎn)數(shù)。

所述傾斜部400根據(jù)所要求的條件及設(shè)計(jì)樣式可設(shè)置為使得旋轉(zhuǎn)軸傾斜的各種構(gòu)造。作為一個(gè)例子，所述傾斜部400可通過常規(guī)的球形連接(ball joint)方式構(gòu)成。根據(jù)情況的不同，傾斜部通過鏈接(link)方式或其他旋轉(zhuǎn)方式來設(shè)置，從而能夠構(gòu)成為使得旋轉(zhuǎn)軸傾斜。

作為一個(gè)例子，參照?qǐng)D7及圖8，所述傾斜部400可包括：殼體410，其在內(nèi)部設(shè)置有球(ball)收納部，且得到固定設(shè)置；以及球頭銷(ball stud)420，其一端與旋轉(zhuǎn)軸的下端連接，另一端以能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的形式收納至球收納部，并且隨著所述球頭銷420在殼體410上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，與球頭銷420連接的旋轉(zhuǎn)軸得以傾斜。

所述殼體410固定安裝于基底部件(未示出)上，所述基底部件以安裝于底面或無法移動(dòng)的形式得到固定。所述殼體410至少對(duì)兩個(gè)以上的殼體部件進(jìn)行組裝從而得到設(shè)置，并且本實(shí)用新型不受殼體410的形狀及構(gòu)造的限制或限定。

此外，所述殼體410和球頭銷420之間可設(shè)置有軸承零件(bearing element)430，所述軸承零件用于確保球頭銷420與殼體410之間順暢及平和的旋轉(zhuǎn)。在此，所謂的軸承零件430可以理解為，不僅包括塑料材質(zhì)的高分子軸承(polymer bearing)，而且包括潤滑脂(grease)等流體在內(nèi)的全部概念。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置可以包括彈性部件440，所述彈性部件440提供彈力，以便傾斜支撐部300的傾斜能夠以彈性的形式實(shí)現(xiàn)。作為一個(gè)例子，所述殼體410和球頭銷420之間可夾有彈簧部件，所述彈簧部件用于對(duì)球頭銷420進(jìn)行彈性支撐，并且所述球頭銷420在使得彈簧部件彈性壓縮的同時(shí)能夠相對(duì)殼體410以彈性的形式進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。尤其，在傾斜部400的內(nèi)部適用彈簧部件的方式下，在確保旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)殼體410的傾斜旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，能夠確保旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)殼體410沿著上下方向移動(dòng)。

在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，以彈性部件安裝于殼體的內(nèi)部為例進(jìn)行說明，但是根據(jù)情況的不同，彈性部件也能夠安裝于殼體的外部。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型的基板旋轉(zhuǎn)裝置可包括止動(dòng)(stopper)部件(未示出)，所述止動(dòng)部件可臨時(shí)約束傾斜支撐部300的傾斜狀態(tài)。在此，所謂的傾斜支撐部300的傾斜狀態(tài)可以理解為，旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)于殼體410傾斜旋轉(zhuǎn)為規(guī)定的角度的狀態(tài)。

所述傾斜支撐部300在傾斜為規(guī)定的角度的狀態(tài)下，構(gòu)成為使得基板旋轉(zhuǎn)或通過基板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述止動(dòng)部件能夠使得以傾斜的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)的傾斜支撐部300的配置狀態(tài)保持穩(wěn)定。

作為所述止動(dòng)部件可以使用能夠?qū)πD(zhuǎn)軸的配置狀態(tài)進(jìn)行保持或固定的常規(guī)的部件，并且本實(shí)用新型不受止動(dòng)部件的構(gòu)造及特性的限制和限定。作為參考，所述止動(dòng)部件不僅能夠以單一部件構(gòu)成，而且能夠以多個(gè)部件組合而形成，所述多個(gè)部件能夠相互聯(lián)動(dòng)并操作。

通過所述構(gòu)成，在本實(shí)用新型中，以與相對(duì)于基板支撐部200的基板配置角度對(duì)應(yīng)的形式能夠?qū)A斜支撐部300的傾斜角度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

作為一個(gè)例子，參照?qǐng)D10，在所述基板支撐部200的第一基板支撐體得到固定設(shè)置的條件下，如果因?yàn)榧庸ぜ霸O(shè)置存在偏差，或者由于清洗液使得刷子潤濕而導(dǎo)致刷子下垂，或者由于刷子而發(fā)生加壓而使得基板的配置角度發(fā)生錯(cuò)位，則使得傾斜支撐部300的第一傾斜支撐體以下端為中心進(jìn)行傾斜旋轉(zhuǎn)，由此第一基板支撐體和第一傾斜支撐體全部能夠支撐基板W。

作為參考，在所述本實(shí)用新型的實(shí)施例中，以基板支撐部得到固定設(shè)置為例進(jìn)行了說明，但是根據(jù)情況的不同，以類似于傾斜支撐部的方式，能夠使得基板支撐部的一部分或整體相對(duì)于相互面對(duì)的傾斜支撐部或其他基板支撐部進(jìn)行傾斜。

參照?qǐng)D11，在使得所述基板支撐部200的第一基板支撐體和傾斜支撐部300的第一傾斜支撐體全部以能夠傾斜的形式設(shè)置的條件下，如果因?yàn)榧庸ぜ霸O(shè)置存在偏差，或者由于清洗液使得刷子潤濕而導(dǎo)致刷子下垂，或者由于刷子而發(fā)生加壓而使得基板的配置角度發(fā)生錯(cuò)位，則使得第一基板支撐體和第一傾斜支撐體分別以下端為中心同時(shí)進(jìn)行傾斜旋轉(zhuǎn)，由此第一基板支撐體和第一傾斜支撐體全部能夠支撐基板W。

另外，圖12及圖13是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)裝置的圖。并且，針對(duì)與所述構(gòu)成相同，以及相當(dāng)于相同的部分賦予相同或相當(dāng)于相同的參照標(biāo)號(hào)，并省略對(duì)其的詳細(xì)說明。

參照?qǐng)D12，根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例的基板旋轉(zhuǎn)裝置包括基板支撐部200及傾斜支撐部300'，并且傾斜支撐部300'可包括第一傾斜支撐體310'、第二傾斜支撐體320'及共用傾斜部400'。

所述共用傾斜部400'與第一傾斜支撐體310'及第二傾斜支撐體320'連接為一體，并且能夠使得所述第一傾斜支撐體310'及第二傾斜支撐體320'同時(shí)傾斜。

作為一個(gè)例子，所述第一傾斜支撐體310'及第二傾斜支撐體320'可包括：旋轉(zhuǎn)軸(參照?qǐng)D7及圖8的312、322)，其以柱形態(tài)直立設(shè)置并旋轉(zhuǎn)；以及接觸體(參照?qǐng)D7及圖8的314、324)，其結(jié)合于所述旋轉(zhuǎn)軸的前端(上端)，從而與基板W的邊緣直接接觸，所述共用傾斜部400'可包括：連接部件401'，其使得第一傾斜支撐體310'及第二傾斜支撐體320'的旋轉(zhuǎn)軸的下端連接為一體；以及傾斜部400'，其連接于連接部件401'從而使得連接部件401'傾斜。

如上所述實(shí)施例所述，所述傾斜部400'可通過常規(guī)的球形連接(ball joint)方式、鏈接(link)方式或其他旋轉(zhuǎn)方式來設(shè)置。作為一個(gè)例子，所述傾斜部400'可包括：殼體(參照?qǐng)D7的410)，其在內(nèi)部設(shè)置有球(ball)收納部，且得到固定設(shè)置；以及球頭銷(ball stud)(參照?qǐng)D7的420)，其一端與連接部件401'的下端連接，另一端以能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的形式收納至球收納部，并且隨著所述球頭銷在殼體上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，與球頭銷連接的旋轉(zhuǎn)軸得以傾斜。

通過所述構(gòu)造，隨著所述連接部件401'通過傾斜部400'進(jìn)行傾斜旋轉(zhuǎn)，第一傾斜支撐體310'及第二傾斜支撐體320'能夠同時(shí)以相同的傾斜角度得以傾斜。

參照?qǐng)D13，根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例，傾斜支撐部(例如，第一傾斜支撐體310)包括旋轉(zhuǎn)軸(參照?qǐng)D7的312)、接觸體(參照?qǐng)D7的314)及傾斜部400"，并且所述傾斜部400"可包括：固定部件410"，其得到固定設(shè)置；可動(dòng)部件420"，其以與所述固定部件410"分離的形式設(shè)置，并連接于旋轉(zhuǎn)軸；流體密封部430"，其設(shè)置于固定部件410"和可動(dòng)部件420"之間，以便將所述固定部件410"和可動(dòng)部件420"連接為一體，并且所述可動(dòng)部件420"以流體密封部430"為媒介相對(duì)于固定部件410"得以傾斜。

所述流體密封部430"能夠形成為在具有彈性的密封部件(未示出)的內(nèi)部使得氣體(例，空氣)或液體(例，水或油)得以密封的構(gòu)造，并且以類似于常規(guī)的空氣軸承的方式使得可動(dòng)部件410"以能夠相對(duì)于固定部件410"傾斜的形式進(jìn)行支撐。根據(jù)情況的不同，也可以構(gòu)成為，以類似于能夠進(jìn)行彈性變形(以一端為基準(zhǔn)另一端移動(dòng))的彈簧的彈性部件為媒介，使得傾斜支撐部進(jìn)行傾斜旋轉(zhuǎn)。

此外，如圖12所示，在第一傾斜支撐體及第二傾斜支撐體以一體式連接于連接部件的構(gòu)造中，連接部件也可以通過傾斜部傾斜的形式構(gòu)成，所述傾斜部包括固定部件、可動(dòng)部件及流體密封部件。

如上所述，雖然參照本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說明，但可以理解為如果是所屬技術(shù)領(lǐng)域的熟練的從業(yè)人員，則在不脫離下述權(quán)利要求所記載的本實(shí)用新型的思想及領(lǐng)域的范圍內(nèi)可對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行多種修改及變更。

標(biāo)號(hào)說明

200：基板支撐部 300：傾斜支撐部

310：傾斜支撐體 312：旋轉(zhuǎn)軸

314：接觸體 400：傾斜部

410：殼體 420：球頭銷

430：軸承零件 440：彈性部件