1.一種用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，是用于承載一待處理基板并于一生產(chǎn)線中的一傳送機構(gòu)上移動，其特征在于：其包含：
一金屬承板，能移動地位于該傳送機構(gòu)上并包括至少一穿孔；
一電極板，設(shè)置于該金屬承板的上方并供承載該待處理基板，該電極板具有至少一面向該金屬承板的穿孔且裸露于該金屬承板的穿孔外的電源載入?yún)^(qū)；及
一絕緣單元，設(shè)置于該金屬承板上且夾置于該金屬承板與該電極板間并圍繞該電極板的一周緣及該待處理基板的一周緣，該絕緣單元具有至少一與該金屬承板的穿孔相通并裸露出該電極板的電源載入?yún)^(qū)的穿孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，其特征在于：還包含一用于供導(dǎo)入電源的金屬導(dǎo)體，該金屬導(dǎo)體位于該金屬承板的穿孔及該絕緣單元的穿孔內(nèi)并接觸該電極板的該電源載入?yún)^(qū)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，其特征在于：該電極板包括一承載部及一底座部，該承載部供承載該待處理基板，并具有彼此銜接的一周緣區(qū)及一底緣區(qū)，該底座部是自該電極板的承載部的底緣區(qū)朝外延伸并具有該電源載入?yún)^(qū)及一周緣區(qū)，且該承載部的周緣區(qū)與該底座部的周緣區(qū)共同定義出該電極板的該周緣。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，其特征在于：該絕緣單元包括一絕緣板及一絕緣框，該絕緣板具有一基部及一框部，該絕緣板的基部是夾置于該金屬承板與該電極板的底座部間并具有該絕緣單元的穿孔，該絕緣板的框部是自該絕緣板的基部的一周緣朝上凸伸以令該絕緣板形成有一容置該電極板的凹槽，且該絕緣板的框部的一高度是高于該電極板的承載部的一高度，以令該絕緣板的框部及該電極板的承載部間共同定義出一容置該絕緣框的環(huán)形空間，且該絕緣框的一高度是足以圍繞該待處理基板的周緣。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，其特征在于：該絕緣單元包括一絕緣板及一絕緣框，該絕緣板具有一基部及一框部，該絕緣板的基部是夾置于該金屬承板與該電極板的底座部間并具有該絕緣單元的穿孔，該絕緣板的框部是自該絕緣板的基部的一周緣朝上凸伸以令該絕緣板形成有一容置該電極板的凹槽，且該絕緣板的框部的一高度是實質(zhì)等高于該電極板的底座部的一高度，該絕緣單元的絕緣框是設(shè)置于該電極板的底座部的周緣區(qū)與該絕緣板的框部上，且該絕緣框的一高度是足以圍繞該待處理基板的周緣。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，其特征在于：該絕緣單元的絕緣框是一厚度等厚的平板。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，其特征在于：該絕緣單元的絕緣框的厚度是背向該電極板遞減。
8.根據(jù)權(quán)利要求4至7中任一權(quán)利要求所述的用于生產(chǎn)線的可移動式載盤裝置，其特征在于：該絕緣板是由玻璃所構(gòu)成，且該絕緣框是由石英所構(gòu)成。