技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種二相流霧化清洗裝置，包括可移動固定支架及與其相連的二相流霧化噴嘴主體，主體內(nèi)設(shè)有清洗介質(zhì)混合腔，用于使通入的氣體、液體清洗介質(zhì)充分混合，并形成尺寸均勻的霧化顆粒，主體下端設(shè)有霧化顆粒出口，其通過拉瓦爾噴管連接至清洗介質(zhì)混合腔，可通過拉瓦爾噴管縮小霧化顆粒的尺寸，增加霧化顆粒的運(yùn)動速度和其具有的動能，并調(diào)整霧化顆粒從霧化顆粒出口噴出以后的運(yùn)動軌跡，以使霧化顆粒具有垂直于晶圓表面的運(yùn)動方向，防止霧化顆粒產(chǎn)生在水平方向上的動能分量，以避免對晶圓表面圖形結(jié)構(gòu)造成損傷。

技術(shù)研發(fā)人員：滕宇;許璐
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
文檔號碼：201611149367
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.14
技術(shù)公布日：2017.05.17