技術總結
本發(fā)明公開了一種用于離子束刻蝕機的工件臺，包括掃描小車、裝設于掃描小車上的基片臺及裝設于基片臺上的基片盤，所述基片盤上設有多個基片定位區(qū)，所述基片臺上開設有冷卻氣體進口且上表面設有輸氣槽，各基片定位區(qū)開設有冷卻氣體出口，所述冷卻氣體進口和所述冷卻氣體出口分別與所述輸氣槽連通。本發(fā)明具有結構簡單、冷卻效果好、產(chǎn)品合格率高等優(yōu)點。

技術研發(fā)人員：佘鵬程;龔俊;彭立波;毛朝斌
受保護的技術使用者：中國電子科技集團公司第四十八研究所
文檔號碼：201610967437
技術研發(fā)日：2016.10.31
技術公布日：2017.03.22