技術(shù)特征：

1.一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1.將(I)至(V)任一種化學(xué)式中包含的各金屬的氧化物或鹽按其式中的化學(xué)計(jì)量比配料混合，球磨，烘干，預(yù)壓，預(yù)燒，再球磨，烘干，過(guò)篩，得到無(wú)鉛壓電陶瓷粉料，(I)至(V)代表的化學(xué)式如下：

(1-x₁-y₁)Bi_0.5Na_0.5TiO₃-x₁BaTiO₃-y₁AgNbO₃ (Ⅰ)

(1-x₁-y₁)Bi_0.5Na_0.5TiO₃-x₁BaTiO₃-y₁Na_0.5K_0.5NbO₃ (Ⅱ)

(1-x₂-y₂)Bi_0.5Na_0.5TiO₃-x₂Bi_0.5K_0.5TiO₃-y₂SrTiO₃ (Ⅲ)

(1-x₂-y₂)Bi_0.5Na_0.5TiO₃-x₂Bi_0.5K_0.5TiO₃-y₂BiAlO₃ (Ⅳ)

(1-x₂-y₂)Bi_0.5Na_0.5TiO₃-x₂Bi_0.5K_0.5TiO₃-y₂(Ba_0.8Ca_0.2)ZrO₃ (V)

其中，0.05≤x₁≤0.07，0.01≤y₁≤0.03；0.16≤x₂≤0.22，0.01≤y₂≤0.03；

S2.將由有機(jī)溶劑、增塑劑、粘合劑及分散劑組成的有機(jī)混合物與S1中的無(wú)鉛壓陶瓷粉料等質(zhì)量混合，充分球磨得陶瓷漿料，其中有機(jī)溶劑、增塑劑、粘合劑及分散劑的質(zhì)量比為(22～28)：(2～6)：(2～6)：(3～5)；

S3.在S2中的陶瓷漿料中加入片狀模板粉體，其中所述片狀模板粉體與所述陶瓷漿料中的無(wú)鉛壓電陶瓷粉料的質(zhì)量比為(5～15)：(85～95)，充分球磨，制得流延漿料；

S4.使用流延機(jī)將S3中的流延漿料流延成陶瓷生坯膜帶，刮刀高度設(shè)置為100～400μm，自然干燥后，橫向切割成陶瓷生坯膜帶片段；

S5.在S4中的陶瓷生坯膜帶片段的上表面絲網(wǎng)印刷若干呈陣列分布的Pt或Ag/Pd內(nèi)電極，隨后在疊片機(jī)上疊層；

S6.將S5中疊層后的陶瓷生坯膜帶片段裝入塑料袋中并抽真空后封口，隨后置于溫等靜壓機(jī)中進(jìn)行等靜壓處理；

S7.將S6中等靜壓處理后的陶瓷生坯膜帶片段再次沿橫向切割成單個(gè)多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器大小，以0.1～0.5℃/min加熱至450～550℃排膠，保溫2～4小時(shí)，然后以3～8℃/min速率升溫至1100～1150℃燒結(jié)，保溫2～4小時(shí)后，即得到燒結(jié)的多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器；

S8.將S7中的多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器側(cè)面被Ag外電極，隨后進(jìn)行測(cè)試、篩選和封裝，即得大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法，其特征在于，S1中的預(yù)燒溫度為800～950℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法，其特征在于，S2中所述有機(jī)溶劑由乙醇與丁酮的混合而成，所述增塑劑由鄰苯二甲酸二丁酯與聚乙二醇混合而成，所述粘合劑為PVB,所述分散劑為三乙醇胺。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法，其特征在于，所述乙醇與丁酮的質(zhì)量比為2：3，所述鄰苯二甲酸二丁酯與聚乙二醇的質(zhì)量比為1：1。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法，其特征在于，S3中的片狀模板粉體為Bi_0.5Na_0.5TiO₃、SrTiO₃和BaTiO₃片狀模板粉體中的任一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法，其特征在于，S6中等靜壓處理時(shí)的溫度為60～80℃、壓力為100～300MPa。

7.一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器，其特征在于，通過(guò)如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的制備方法制得。