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水冷式數(shù)字壓力傳感器的制作方法

文檔序號(hào):11071663閱讀:1016來(lái)源:國(guó)知局
水冷式數(shù)字壓力傳感器的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及水冷式數(shù)字壓力傳感器。



背景技術(shù):

現(xiàn)有的壓力傳感器,在使用中存在如下問(wèn)題:(一)由于冷卻水不能流過(guò)敏感元件部位,有效水流量小,導(dǎo)致降溫效果不很理想;(二)由于傳感器形體大,一方面會(huì)占用較大的安裝空間,另一方面在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中由于自身振動(dòng)所產(chǎn)生的隨機(jī)誤差會(huì)耦合到測(cè)量信號(hào)中,此類誤差很難精確計(jì)算也很難消除;(三)現(xiàn)有的傳感器通常是由人工將應(yīng)變片粘貼在應(yīng)變膜上,存在遲滯大、一致性差的問(wèn)題,不利于長(zhǎng)期動(dòng)態(tài)測(cè)量;(四)由于工作環(huán)境溫度和工作介質(zhì)溫度變化范圍大(介質(zhì)溫度從-60~1000℃變化,環(huán)境溫度從-60~300℃變化),簡(jiǎn)單的模擬溫度補(bǔ)償不能準(zhǔn)確地對(duì)壓力傳感器進(jìn)行補(bǔ)償修正,導(dǎo)致傳感器實(shí)測(cè)值與真實(shí)值存在較大的差異,加上傳感器個(gè)體差異的影響,致使測(cè)量誤差很難修正。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的是為高溫運(yùn)行環(huán)境提供一種小型化、結(jié)構(gòu)合理、測(cè)量準(zhǔn)確、測(cè)量可靠的水冷式數(shù)字壓力傳感器。

為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為:

水冷式數(shù)字壓力傳感器,包括外殼2,外殼2的一端設(shè)置有壓力接頭1,壓力接頭1的內(nèi)腔中嵌入引壓管4的一端,引壓管4的另一端設(shè)置在水箱3的內(nèi)腔中,設(shè)置在水箱3中的引壓管4的管體上設(shè)置有壓力敏感元件5,壓力敏感元件5上設(shè)置有溫度傳感器6;外殼2的另一端設(shè)置有進(jìn)水管8和出水管9,進(jìn)水管8連接水箱3的進(jìn)水口,出水管9連接水箱3的出水口;水箱3的進(jìn)水口和出水口之間設(shè)置數(shù)字信號(hào)處理模塊7,數(shù)字信號(hào)處理模塊7的第一輸入端和第二輸入端分別連接壓力敏感元件5和溫度傳感器6的輸出端,數(shù)字信號(hào)處理模塊7的輸出端連接測(cè)量輸出線纜12的輸入端。

所述的數(shù)字信號(hào)處理模塊7包括壓力信號(hào)調(diào)理電路71和溫度信號(hào)調(diào)理電路72,壓力信號(hào)調(diào)理電路71的第一輸出端連接模擬壓力信號(hào)輸出73的輸入端,壓力信號(hào)調(diào)理電路71的第二輸出端連接16bit A/D轉(zhuǎn)換電路一74的輸入端,16bit A/D轉(zhuǎn)換電路一74的輸出端雙向連接計(jì)算處理器單元76的第一輸入端;溫度信號(hào)調(diào)理電路72的輸出端連接16bit A/D轉(zhuǎn)換電路二75的輸入端,16bit A/D轉(zhuǎn)換電路二75的輸出端雙向連接計(jì)算處理器單元76的第二輸入端;計(jì)算處理器單元76的第一輸出端雙向連接D/A轉(zhuǎn)換單元77的輸入端,D/A轉(zhuǎn)換單元77的輸出端連接壓力信號(hào)調(diào)理電路71的輸入端;計(jì)算處理器單元76的第二輸出端雙向連接數(shù)字溫度傳感器78的輸入端;計(jì)算處理器單元76的第三輸出端雙向連接數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元79的輸入端;計(jì)算處理器單元76的第四輸出端雙向連接數(shù)字接口電路710的輸入端,數(shù)字接口電路710的輸出端連接數(shù)字壓力信號(hào)輸出711的輸入端。

所述的引壓管4為漏斗形的引壓管,引壓管4的管體上設(shè)置有散熱片44。

所述的水箱3為U型結(jié)構(gòu)。

所述的進(jìn)水管8的進(jìn)水口通過(guò)外套螺母連接球形接頭一10。

所述的出水管9的出水口通過(guò)外套螺母連接球形接頭二11。

本實(shí)用新型的有益效果:

1、壓力敏感元件5通過(guò)水箱3中的冷卻水冷卻,對(duì)壓力敏感元件5進(jìn)行冷卻降溫,使傳感器在高溫環(huán)境下保持正常的工作溫度。

2、溫度傳感器6用于監(jiān)測(cè)壓力敏感元件5的溫度漂移情況,為壓力敏感元件5溫度補(bǔ)償提供依據(jù)。

3、數(shù)字信號(hào)處理模塊7用于采集壓力敏感元件5和溫度傳感器6的輸出信號(hào),并將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字輸出信號(hào),同時(shí)依據(jù)溫度傳感器6測(cè)量值對(duì)壓力敏感元件5進(jìn)行溫度漂移補(bǔ)償。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型數(shù)字信號(hào)處理模塊的結(jié)構(gòu)框圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作進(jìn)一步說(shuō)明。

參照?qǐng)D1所示,水冷式數(shù)字壓力傳感器,包括外殼2,外殼2的一端設(shè)置有壓力接頭1,壓力接頭1的內(nèi)腔中嵌入引壓管4的一端,引壓管4的另一端設(shè)置在水箱3的內(nèi)腔中,設(shè)置在水箱3中的引壓管4的管體上設(shè)置有壓力敏感元件5,壓力敏感元件5上設(shè)置有溫度傳感器6;外殼2的另一端設(shè)置有進(jìn)水管8和出水管9,進(jìn)水管8連接水箱3的進(jìn)水口,出水管9連接水箱3的出水口;水箱3的進(jìn)水口和出水口之間設(shè)置數(shù)字信號(hào)處理模塊7,數(shù)字信號(hào)處理模塊7的第一輸入端和第二輸入端分別連接壓力敏感元件5和溫度傳感器6的輸出端,數(shù)字信號(hào)處理模塊7的輸出端連接測(cè)量輸出線纜12的輸入端。

參照?qǐng)D2所示,所述的數(shù)字信號(hào)處理模塊7包括壓力信號(hào)調(diào)理電路71和溫度信號(hào)調(diào)理電路72,壓力信號(hào)調(diào)理電路71的第一輸出端連接模擬壓力信號(hào)輸出73的輸入端,壓力信號(hào)調(diào)理電路71的第二輸出端連接16bit A/D轉(zhuǎn)換電路一74的輸入端,16bit A/D轉(zhuǎn)換電路一74的輸出端雙向連接計(jì)算處理器單元76的第一輸入端;溫度信號(hào)調(diào)理電路72的輸出端連接16bit A/D轉(zhuǎn)換電路二75的輸入端,16bit A/D轉(zhuǎn)換電路二75的輸出端雙向連接計(jì)算處理器單元76的第二輸入端;計(jì)算處理器單元76的第一輸出端雙向連接D/A轉(zhuǎn)換單元77的輸入端,D/A轉(zhuǎn)換單元77的輸出端連接壓力信號(hào)調(diào)理電路71的輸入端;計(jì)算處理器單元76的第二輸出端雙向連接數(shù)字溫度傳感器78的輸入端;計(jì)算處理器單元76的第三輸出端雙向連接數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元79的輸入端;計(jì)算處理器單元76的第四輸出端雙向連接數(shù)字接口電路710的輸入端,數(shù)字接口電路710的輸出端連接數(shù)字壓力信號(hào)輸出711的輸入端。

所述的引壓管4為漏斗形的引壓管,引壓管4的管體上設(shè)置有散熱片44。

所述的水箱3為U型結(jié)構(gòu)。

所述的進(jìn)水管8的進(jìn)水口通過(guò)外套螺母連接球形接頭一10。

所述的出水管9的出水口通過(guò)外套螺母連接球形接頭二11。

本實(shí)用新型的工作原理:

使用時(shí),壓力接頭1用來(lái)與被測(cè)點(diǎn)的壓力接口相連接,引壓管4用來(lái)將被測(cè)壓力值傳遞給壓力敏感元件5,壓力敏感元件5用于對(duì)被測(cè)壓力值的測(cè)量;溫度傳感器6用于監(jiān)測(cè)壓力敏感元件5的溫度漂移情況,為壓力敏感元件5溫度補(bǔ)償提供依據(jù);數(shù)字信號(hào)處理電路7用于采集壓力敏感元件5和溫度傳感器6的輸出信號(hào),并將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字輸出信號(hào),同時(shí)依據(jù)溫度傳感器6測(cè)量值對(duì)壓力敏感元件5進(jìn)行溫度漂移補(bǔ)償;進(jìn)水管8用于將冷卻水引入水箱3,冷卻水由進(jìn)水管8流入水箱3,經(jīng)引壓管4和壓力敏感元件5的熱交換后,從出水管9流出,實(shí)現(xiàn)水冷降溫的效果。

壓力敏感元件5的輸出信號(hào)經(jīng)壓力信號(hào)調(diào)理電路72放大作用后,輸出兩路一路直接以模擬壓力信號(hào)73的方式輸出給測(cè)量用戶,另一路模擬壓力信號(hào)進(jìn)入16Bit A/D轉(zhuǎn)換電路一74經(jīng)模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換后進(jìn)入計(jì)算處理器單元76。同理,溫度傳感器6的輸出信號(hào)經(jīng)溫度信號(hào)調(diào)理電路72進(jìn)入16Bit A/D轉(zhuǎn)換電路二75再經(jīng)模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換后進(jìn)入計(jì)算處理器單元76,計(jì)算處理器單元76依據(jù)溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元79中的溫度數(shù)據(jù)表對(duì)溫度傳感器6的輸出信號(hào)進(jìn)行查表運(yùn)算,計(jì)算出壓力敏感元件5的溫度漂移情況;在此基礎(chǔ)上,計(jì)算處理器單元76對(duì)壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)進(jìn)行溫度漂移補(bǔ)償處理,以解決壓力敏感元件5由于溫度漂移所帶來(lái)的測(cè)量誤差偏大的問(wèn)題。

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