欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

半導(dǎo)體裝置及其制造方法與流程

文檔序號:12612932閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其包括:

半導(dǎo)體裸片,其包括第一裸片表面和在所述第一裸片表面上的傳導(dǎo)墊;

第一介電層(DL),其在所述第一裸片表面上且包括第一介電層開口,所述傳導(dǎo)墊通過所述第一介電層開口而暴露;

第一再分布層,其包括在所述第一介電層上且在所述第一介電層開口中的第一傳導(dǎo)層,其中所述第一傳導(dǎo)層通過所述第一介電層開口而電連接到所述傳導(dǎo)墊;

第二再分布層,其包括在所述第一傳導(dǎo)層上的第二傳導(dǎo)層;和

在所述第二傳導(dǎo)層上的抗氧化層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述第二傳導(dǎo)層覆蓋全部的所述第一傳導(dǎo)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其包括在所述抗氧化層上且包括第二介電層開口的第二介電層,所述第二介電層開口從所述第一介電層開口側(cè)向移位,且所述第二傳導(dǎo)層的一部分通過所述第二介電層開口而暴露。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述抗氧化層覆蓋全部的所述第二傳導(dǎo)層,然排除所述第二傳導(dǎo)層的通過所述第二介電層開口而暴露的所述部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其包括在所述第二傳導(dǎo)層上且延伸穿過所述第二介電層開口的傳導(dǎo)性球。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述抗氧化層覆蓋全部的所述第二傳導(dǎo)層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述抗氧化層包括金(Au)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置,其包括在所述抗氧化層上的第二介電層且包括第二介電層開口,所述第二介電層開口從所述第一介電層開口側(cè)向移位,且所述抗氧化層的一部分通過所述第二介電層開口而暴露。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中所述第一傳導(dǎo)層包括銅(Cu),且所述第二傳導(dǎo)層包括:錫(Sn)、銀(Ag)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、鈦鎢合金(TiW)、鋁(Al)和/或鉻(Cr)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中在所述第二傳導(dǎo)層與所述第一傳導(dǎo)層之間的界面處形成金屬間化合物。

11.一種制造半導(dǎo)體裝置的方法,所述方法包括:

提供半導(dǎo)體裸片,其包括第一裸片表面和在所述第一裸片表面上的傳導(dǎo)墊;

形成第一介電層(DL),其在所述第一裸片表面上且包括第一介電層開口,所述傳導(dǎo)墊通過所述第一介電層開口而暴露;

形成第一再分布層,其包括在所述第一介電層上且在所述第一介電層開口中的第一傳導(dǎo)層,其中所述第一傳導(dǎo)層通過所述第一介電層開口而電連接到所述傳導(dǎo)墊;和

形成第二再分布層,其包括在所述第一傳導(dǎo)層上的第二傳導(dǎo)層,其中抗氧化層在所述第二傳導(dǎo)層上。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其包括在所述第二傳導(dǎo)層上形成所述抗氧化層。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述第二傳導(dǎo)層覆蓋全部的所述第一傳導(dǎo)層。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法,其包括在所述抗氧化層上形成第二介電層,其中所述第二介電層包括第二介電層開口,所述第二介電層開口從所述第一介電層開口側(cè)向移位,且所述第二傳導(dǎo)層的一部分通過所述第二介電層開口而暴露。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其包括形成在所述第二傳導(dǎo)層上且延伸穿過所述第二介電層開口的傳導(dǎo)性球。

16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述抗氧化層覆蓋全部的所述第二傳導(dǎo)層。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其中所述抗氧化層包括金(Au)。

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法,其包括在所述抗氧化層上形成第二介電層,其中所述第二介電層包括第二介電層開口,所述第二介電層開口從所述第一介電層開口側(cè)向移位且所述抗氧化層的一部分通過所述第二介電層開口而暴露。

19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述第一傳導(dǎo)層包括銅(Cu),且所述第二傳導(dǎo)層包括:錫(Sn)、銀(Ag)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、鈦鎢合金(TiW)、鋁(Al)和/或鉻(Cr)。

20.一種制造半導(dǎo)體裝置的方法,所述半導(dǎo)體裝置包含半導(dǎo)體裸片,所述半導(dǎo)體裸片包括第一裸片表面和在所述第一裸片表面上的傳導(dǎo)墊,所述方法包括:

形成第一再分布層,所述第一再分布層包括在所述第一裸片表面上且電連接到所述傳導(dǎo)墊的第一傳導(dǎo)層,其中所述第一傳導(dǎo)層包括銅(Cu);和

形成第二再分布層,所述第二再分布層包括直接在所述第一傳導(dǎo)層上且完全覆蓋所述第一傳導(dǎo)層的第二傳導(dǎo)層,其中所述第二傳導(dǎo)層包括:錫(Sn)、銀(Ag)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、鈦鎢合金(TiW)、鋁(Al)和/或鉻(Cr),且其中抗氧化層在所述第二傳導(dǎo)層上。

當(dāng)前第2頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
1
麟游县| 通渭县| 栾川县| 洛南县| 庆云县| 福建省| 文安县| 微博| 揭西县| 定安县| 金塔县| 平南县| 德兴市| 土默特左旗| 木里| 宜昌市| 故城县| 余庆县| 炎陵县| 溆浦县| 通辽市| 河源市| 屏东县| 万荣县| 长兴县| 台南市| 乌拉特中旗| 美姑县| 富宁县| 蒙自县| 建瓯市| 牙克石市| 阜南县| 德惠市| 刚察县| 四会市| 定结县| 板桥市| 盐亭县| 岑溪市| 涿鹿县|