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同軸金屬柱的制作方法

文檔序號:12160029閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種同軸金屬柱,其特征是,包括軸心金屬柱、介電層和外層金屬層,軸心金屬柱設(shè)置于封裝基材的上層金屬墊的上表面;介電層包覆于軸心金屬柱的外側(cè)表面;外層金屬層包覆于介電層的外側(cè)表面。

2.如權(quán)利要求1所述的同軸金屬柱,其特征是,軸心金屬柱底部電性耦合于金屬墊的上表面。

3.如權(quán)利要求1所述的同軸金屬柱,其特征是,金屬墊為封裝基材的電路系統(tǒng)的表面鏈接端點。

4.如權(quán)利要求3所述的同軸金屬柱,其特征是,電路系統(tǒng)進一步包括第一底部電路重新分配層、上層金屬墊、第二底部電路重新分配層和下層金屬墊,第一底部電路重新分配層設(shè)置于同軸金屬柱的底部,埋設(shè)于第一介電層中;上層金屬墊設(shè)置于第一底部電路重新分配層的上方,具有第一密度,適合將封裝基材電性耦合至外部的系統(tǒng)電路板;第二底部電路重新分配層設(shè)置于第一底部電路重新分配層的下方,埋入至第二介電層中;下層金屬墊設(shè)置于第二底部電路重新分配層下方,具有第二密度;第二密度高于第一密度,適合于芯片安置用。

5.如權(quán)利要求4所述的同軸金屬柱,其特征是,外部的系統(tǒng)電路板包括軸心金屬墊和環(huán)形金屬墊,軸心金屬墊設(shè)置于外部的系統(tǒng)電路板上;環(huán)形金屬墊環(huán)繞于軸心金屬墊的外圍,電性獨立于軸心金屬墊;當封裝基材與外部的系統(tǒng)電路板連接時,軸心金屬墊對應(yīng)連接同軸金屬柱的軸心金屬柱,環(huán)形金屬墊對應(yīng)連接同軸金屬柱的外層金屬層。

6.一種同軸金屬柱的制作方法,其特征是,包括如下工藝步驟:

準備基材,表面具有上層介電層;多個上層金屬墊裸露于上方,具有一個密度適于將基材電性耦合至外部的系統(tǒng)電路板;具有下層介電層,多個下層金屬墊裸露于下方,適于芯片安置用;

涂布種子層,于上金屬墊的上表面與上層介電層的上表面;

涂布第一光阻層,于種子層的上表面;

圖案化第一光阻層,制作多個第一溝槽;

電鍍金屬于第一溝槽內(nèi),制作多個金屬柱;

移除第一光阻層;

移除金屬柱與金屬柱之間的種子層;

涂布第二光阻層,于介電層的上表面與金屬柱的上表面;

圖案化第二光阻層,制作多個第二溝槽,第二溝槽環(huán)繞特定的金屬柱;

填充介電材料于第二溝槽內(nèi),包覆裸露的金屬柱;

移除頂部多余材料,使第二光阻層、介電材料以及金屬柱具有相同的高度;

移除第二光阻層;

涂布第三光阻層;

圖案化第三光阻層,制作多個第三溝槽,第三溝槽環(huán)繞已被介電材料包覆之特定的金屬柱;

無電電鍍金屬材料層,包覆于介電材料的裸露表面與軸心金屬柱的上表面;

移除第三光阻層;

移除覆蓋于介電材料上表面與軸心金屬柱上表面的金屬材料層。

7.如權(quán)利要求6所述的同軸金屬柱的制作方法,其特征是,進一步包括如下工藝步驟:

至少一片芯片,電性耦合至下層金屬墊;

底部填充材料,填充于芯片與基材之間的空間;

切割得到多個芯片封裝單元。

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