技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明利用用改良的成像氣體的氣體放大提供帶電粒子束成像和檢測系統(tǒng)。系統(tǒng)包括用于引導(dǎo)帶電荷粒子束到工件的帶電粒子束源、用于帶電粒子聚焦到工件上的聚焦透鏡和用于加速通過帶電粒子束或另一種氣體級聯(lián)檢測方案從工件照射產(chǎn)生的二次電子的電極。氣體成像在用于封閉包含CH3CH2OH(乙醇)蒸氣的改良成像氣體的高壓掃描電子顯微鏡(HPSEM)室中進行。電極通過CH3CH2OH加速二次電子，以通過電離級聯(lián)電離CH3CH2OH，增大用于檢測的二次電子的數(shù)目。為使用改良成像氣體提供最優(yōu)結(jié)構(gòu)，并提供技術(shù)進行有機液體和溶劑及其它基于CH3CH2OH的方法的成像研究。

技術(shù)研發(fā)人員：T.尚利;J.斯科特;M.托思
受保護的技術(shù)使用者：FEI公司
文檔號碼：201610324843
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.17
技術(shù)公布日：2016.11.30