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一種分體式透射電子顯微鏡樣品桿的制作方法與工藝

文檔序號:12663772閱讀:282來源:國知局
一種分體式透射電子顯微鏡樣品桿的制作方法與工藝
本發(fā)明屬于透射電子顯微鏡原位測試技術領域,具體涉及一種分體式透射電子顯微鏡樣品桿。

背景技術:
透射電子顯微鏡用于納米材料的原位測試是當前迅速發(fā)展的研究方向,透射電子顯微鏡樣品桿的改進一直是原位測試領域中的熱點問題,也是推動原位測試技術的主要動力。原位測試即在電子顯微鏡中實時的觀察材料在特定條件下所發(fā)生的物理和化學等性質的變化,透射電子顯微鏡中特殊的高真空環(huán)境、電磁環(huán)境和較小的極靴尺寸等因素,增加了透射電子顯微樣品桿的設計和加工的難度,因此透射電鏡樣品桿通常具有較高的價格,且絕大多數(shù)樣品桿需要進口購置?,F(xiàn)有的透射電鏡樣品桿均為不分體設計,每個樣品桿對應一種固定的功能,如需使用其他功能,就需要重新購置新的樣品桿,這極大提高了原位研究的經濟和時間成本。并且,現(xiàn)有的樣品桿難以實現(xiàn)樣品在聚焦離子束、掃描電鏡等設備與透射電鏡之間的快速安全轉移和功能塊通用,比如容易氧化的鋰電池材料樣品在多種表征設備之間的轉移,一直是材料研究所急需的技術,但由于透射電鏡樣品桿長達350mm的桿身使之難以實現(xiàn)。此外,具有精密結構的樣品桿體積過大,也對運輸提出了很高的要求,尤其是在樣品桿出現(xiàn)故障后返廠維修時,包裝不當極易造成樣品桿的損壞。因此現(xiàn)有不具備分體功能的樣品桿在功能、運輸和樣品轉移方面具有明顯的缺陷。

技術實現(xiàn)要素:
為了解決上述現(xiàn)有技術存在的問題,本發(fā)明的目的在于提供一種分體式透射電子顯微鏡樣品桿,該樣品桿的功能頭可方便拆換,解決了普通樣品桿的功能單一、運輸費用和風險大、樣品轉移困難的問題。為了達到上述目的,本發(fā)明采用如下技術方案:一種分體式透射電子顯微鏡樣品桿,包括桿身1和功能頭2,所述桿身1的殼體內中心設置有插頭3,插頭3與桿身1的殼體間填充有真空密封件7,所述功能頭2內中心設置有與插頭3相適配的插座4,插座4與功能頭2的殼體間也填充有真空密封件7,通過插頭3和插座4對插,實現(xiàn)桿身1和功能頭2的對接,所述功能頭2與桿身1連接的殼體端部設置有連接頭9,所述連接頭9的外徑小于或等于桿身1的殼體內徑,連接時連接頭9插入桿身1殼體內,在連接頭9端部設置有定位稍8-1,在桿身1的殼體內對應位置設置有定位槽8-2,通過定位稍8-1和定位槽8-2實現(xiàn)桿身1和功能頭2周向對準,在桿身1和功能頭2對插端均設置有外螺紋5,在功能頭2外套有套管6,所述套管6內設置有與桿身1和功能頭2的外螺紋5相適配的內螺紋,桿身1和功能頭2對插后,通過旋轉套管6,使套管6緊固于桿身1和功能頭2的外周。所述插頭3的插針為四個,相應的,所述插座4的插孔也為四個。所述插頭3和插座4的材料采用環(huán)氧樹脂合成樹脂材料或聚醚醚酮(PEEK)合成樹脂材料。所述真空密封件7的材料采用環(huán)氧樹脂合成樹脂材料或聚醚醚酮(PEEK)合成樹脂材料。所述插頭3的插針和插座4的插孔采用鍍金青銅或黃銅。所述桿身1和功能頭2的殼體采用鈦合金。和現(xiàn)有技術相比較,本發(fā)明具備如下優(yōu)點:1、本發(fā)明分體式樣品桿,易于拆卸樣品桿功能頭部分,不必取下實驗樣品,可以快速安全的實現(xiàn)樣品在多設備間的轉移。2、本發(fā)明分體式樣品桿,由于擯棄之前的一體式樣品桿設計,將前端設計成可拆卸功能頭,可以將功能部分的體積縮小60%左右,重量僅為之前的30%,極大的降低運輸?shù)娘L險和成本。3、本發(fā)明分體式樣品桿,可以在選擇樣品桿時,僅更換功能頭,不必購置全部桿身,在多數(shù)情況可以降低購置成本。4、本發(fā)明分體式樣品桿,可以進一步規(guī)范樣品桿的功能開發(fā)過程,將前端的功能頭作為功能主體,不需要在設計樣品桿時考慮外部尺寸配合,僅需更改功能頭內部功能模塊,即可設計出特定功能的原位樣品桿,如雙傾功能樣品桿,加熱功能樣品桿,電學測試功能樣品桿等。5、本發(fā)明中所詳細描述的螺紋套管設計,可以保證樣品桿在軸向上具有極高的機械連接強度和較高的同軸度,配合定位及插頭插座,易于拆卸和安裝。附圖說明圖1為本發(fā)明分體式透射電子顯微鏡樣品桿的桿身結構示意圖。圖2為本發(fā)明分體式透射電子顯微鏡樣品桿的功能頭結構示意圖。圖3本發(fā)明分體式透射電子顯微鏡樣品桿的桿身和功能頭通過插頭和插座連接后的示意圖。圖4本發(fā)明分體式透射電子顯微鏡樣品桿的桿身和功能頭通過插頭和插座連接后且套管緊固于桿身和功能頭外周的示意圖。具體實施方式下面結合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作詳細的說明。如圖1和圖2所示,本發(fā)明一種分體式透射電子顯微鏡樣品桿,包括桿身1和功能頭2,所述桿身1的殼體內中心設置有插頭3,插頭3與桿身1的殼體間填充有真空密封件7,所述功能頭2內中心設置有與插頭3相適配的插座4,插座4與功能頭2的殼體間也填充有真空密封件7,通過插頭3和插座4對插,實現(xiàn)桿身1和功能頭2的對接,所述功能頭2與桿身1連接的殼體端部設置有連接頭9,所述連接頭9的外徑小于或等于桿身1的殼體內徑,連接時連接頭9插入桿身1殼體內,在連接頭9端部設置有定位稍8-1,在桿身1的殼體內對應位置設置有定位槽8-2,通過定位稍8-1和定位槽8-2實現(xiàn)桿身1和功能頭2周向對準,在桿身1和功能頭2對插端均設置有外螺紋5,在功能頭2外套有套管6,所述套管6內設置有與桿身1和功能頭2的外螺紋5相適配的內螺紋,桿身1和功能頭2對插后,其結構如圖3所示。通過旋轉套管6,使套管6緊固于桿身1和功能頭2的外周,如圖4所示。作為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,所述插頭3的插針為四個,相應的,所述插座4的插孔也為四個。作為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,所述插頭3和插座4的材料采用環(huán)氧樹脂合成樹脂材料或聚醚醚酮(PEEK)等合成樹脂材料作為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,所述真空密封件7的材料采用環(huán)氧樹脂合成樹脂材料或聚醚醚酮(PEEK)等合成樹脂材料。作為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,所述插頭3插針和插座4的插孔采用鍍金青銅或黃銅。作為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,所述桿身1和功能頭2的外殼采用鈦合金。本發(fā)明采用分體式的設計,減小了透射電鏡樣品桿結構精密的功能區(qū)的體積,插頭和插座可以實現(xiàn)穩(wěn)定便利的電連接,定位稍和定位槽的設計,可以保證連接過程對準,內螺紋套管設計用于連接分體式樣品桿,保證了桿身與功能頭間的同軸連接,滿足透射電鏡樣品桿的同軸度要求和機械結合強度要求,拆裝過程也易于實施。
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