技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種蝕刻液以及硅基板的表面粗糙化的方法，所述硅基板的表面粗糙化的方法包括以下步驟：提供硅基板；使用蝕刻液對(duì)硅基板進(jìn)行蝕刻，其中蝕刻液包括硝酸、氫氟酸以及硫酸；以及沖洗硅基板。本發(fā)明的蝕刻液有助于使硅基板的表面粗糙化以及移除損傷層。

技術(shù)研發(fā)人員：陳嘉明;陳鵬宇;林文信;劉俊毅;王秋迪
受保護(hù)的技術(shù)使用者：綠能科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610022693
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.14
技術(shù)公布日：2017.01.25