本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置、制造方法和電子設(shè)備,并且更具體地涉及通過(guò)層疊和集成諸如存儲(chǔ)器、邏輯電路和現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列(fpga,field-programmablegatearray)等器件而獲得的半導(dǎo)體裝置、制造方法和電子設(shè)備。
背景技術(shù):
::在良品率和包裝尺寸方面而言,諸如存儲(chǔ)器等半導(dǎo)體裝置期望被小型化,且已經(jīng)批量制造通過(guò)電連接和集成被分割成單片的半導(dǎo)體芯片而獲得的半導(dǎo)體器件。這種半導(dǎo)體裝置主要作為封裝技術(shù)的發(fā)展變型被實(shí)現(xiàn),且經(jīng)由芯片側(cè)壁上的電極的連接方法、經(jīng)由硅中介層的連接方法和經(jīng)由貫穿電極(penetratingelectrode)的連接方法等可以作為應(yīng)用示例。在芯片經(jīng)由外部輸入/輸出端子電連接的情況下,可以采用在測(cè)量和良品分選之后進(jìn)行層疊的方法,從而可以防止集成產(chǎn)品的良品率降低。然而,輸入/輸出端子和保護(hù)器件的阻抗大,所以速度的降低和電力消耗的增大就成為問(wèn)題。此外,由于布局面積也較大,所以浪費(fèi)的芯片區(qū)域也增大。而且,在接合芯片的情況下,需要將高精確定位的安裝進(jìn)行通過(guò)將產(chǎn)品數(shù)量乘以層疊數(shù)而獲得的次數(shù)。因此,存在如下可能性:組裝生產(chǎn)能力下降,且成本增大。另一方面,近年來(lái),正在使用接合晶片并將它們集成以獲得產(chǎn)品的方法(例如,專利文獻(xiàn)1)。貼合晶片的最大優(yōu)點(diǎn)在于,通過(guò)在貼合時(shí)進(jìn)行高精確的定位,保證了相同晶片內(nèi)的所有芯片的定位精度。引用列表專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利申請(qǐng)?zhí)亻_第2013-251511號(hào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:技術(shù)問(wèn)題然而,在接合晶片的情況下,當(dāng)在層疊芯片中存在缺陷品時(shí),在層疊之后無(wú)法僅去除缺陷芯片。因此,整個(gè)集成的芯片變成缺陷品。通常,在將晶片層疊成多層的情況下,層疊具有不同掩模組(maskset)和功能的晶片,且將晶片的連接通孔的位置和功能用作特定電源和信號(hào)線。在這種定制設(shè)計(jì)的情況下,可以根據(jù)要實(shí)現(xiàn)的功能進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),從而能夠?qū)崿F(xiàn)器件面積的減小和操作速度的提高。然而,由于定制設(shè)計(jì)器件在使用上受到限制,所以許多未指定的用戶難以將相同的器件用于不同的目的。例如,在3層層疊的情況下,需要形成3種類型的掩模組,形成分別用于各個(gè)晶片的器件結(jié)構(gòu),并且接合并集成晶片。難以將這些掩模組用于不同的目的。因此,在器件研發(fā)中,掩模組的成本占了較大比例,且因此,期望降低成本。本發(fā)明是針對(duì)如上所述的情況而提出的,且其目的在于能夠通過(guò)使用相同的掩模組來(lái)形成相同的陣列器件并且能夠?qū)崿F(xiàn)陣列器件彼此電連接的三維網(wǎng)路。解決問(wèn)題的技術(shù)手段根據(jù)本發(fā)明的方面的第一半導(dǎo)體裝置是層疊并且集成有多個(gè)半導(dǎo)體裝置的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:第一貫穿電極,其用于與其它半導(dǎo)體裝置連接;以及第二貫穿電極,其連接所述第一貫穿電極與內(nèi)部器件,對(duì)于層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極布置在不同的位置。所述第二貫穿電極可以表示層疊時(shí)的層疊位置。在層疊之后,可以通過(guò)使用外部信號(hào)進(jìn)行的寫入來(lái)識(shí)別層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置的沿層疊方向的地址??梢酝ㄟ^(guò)使用所述半導(dǎo)體裝置的熔絲或反熔絲器件與所述第二貫穿電極的組合來(lái)利用外部信號(hào)寫入沿層疊方向的地址。所述半導(dǎo)體裝置可以以晶片狀態(tài)層疊,并且在形成所述第一貫穿電極和所述第二貫穿電極之后被分割成單片。所述半導(dǎo)體裝置可以是存儲(chǔ)器,且可以通過(guò)用于表示層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置的層疊位置的z地址與所述存儲(chǔ)器中使用的xy地址的組合來(lái)指定位位置(bitposition)。層疊的多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置可以共用存儲(chǔ)區(qū)域和冗余區(qū)域。所述半導(dǎo)體裝置可以是fpga(可編程邏輯陣列),且可以通過(guò)用于指定所述半導(dǎo)體裝置中的位置的xy地址和用于指定所述半導(dǎo)體裝置之間的位置的z地址來(lái)指定用于寫入電路功能的邏輯元件的布置。沿層疊方向的配線陣列可以經(jīng)由添加有可編程的選擇開關(guān)的貫穿電極而連接,且可以以邏輯元件為單元構(gòu)成沿三維方向的網(wǎng)路連接。還可包括用于控制所述半導(dǎo)體裝置內(nèi)的信號(hào)的流動(dòng)的開關(guān)和用于控制層疊的所述半導(dǎo)體裝置之間的信號(hào)的流動(dòng)的開關(guān)。所述半導(dǎo)體裝置可以層疊有其中形成有外部連接端子和保護(hù)器件的半導(dǎo)體裝置,層疊的所述半導(dǎo)體裝置可以通過(guò)所述第一貫穿電極相互連接,且所述外部連接端子和所述保護(hù)器件可以由層疊的多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置共用??梢詫盈B有攝像器件,所述半導(dǎo)體裝置可以是用于存儲(chǔ)由所述攝像器件拍攝的信號(hào)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器,所述存儲(chǔ)器可以在所述攝像器件的下方層疊有多個(gè),并且在所述存儲(chǔ)器下方可以層疊對(duì)來(lái)自所述存儲(chǔ)器的信號(hào)進(jìn)行處理的處理單元。根據(jù)本發(fā)明的方面的第二半導(dǎo)體裝置包括:多個(gè)平面狀的可構(gòu)造邏輯陣列,其沿與所述平面正交的正交方向?qū)盈B,每個(gè)所述可構(gòu)造邏輯陣列包括:邏輯元件;單元配線,其在所述平面內(nèi)沿縱向方向和橫向方向布置;和第一開關(guān),其用于使沿所述縱向方向和所述橫向方向布置的所述單元配線連接和斷開;重復(fù)單元,其包括在所述平面內(nèi)沿所述縱向方向和所述橫向方向重復(fù)地布置的所述邏輯元件、所述單元配線和所述第一開關(guān),在所述重復(fù)單元中,所述可構(gòu)造邏輯陣列還包括第二開關(guān),所述第二開關(guān)用于使所述重復(fù)單元中的所述單元配線與沿所述正交方向和所述可構(gòu)造邏輯陣列相鄰的另一可構(gòu)造邏輯陣列中包含的所述重復(fù)單元中的所述單元配線連接和斷開;以及邏輯電路,其經(jīng)由所述第一開關(guān)和所述第二開關(guān)沿由所述平面方向和所述正交方向構(gòu)成的三維方向進(jìn)行構(gòu)造。根據(jù)本發(fā)明的方面的制造方法是用于制造層疊有并集成了多個(gè)半導(dǎo)體裝置的半導(dǎo)體裝置的制造方法,所述方法包括以下步驟:形成用于與其它半導(dǎo)體裝置連接的第一貫穿電極和連接所述第一貫穿電極與內(nèi)部器件的第二貫穿電極,并且對(duì)于層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極形成在不同的位置。根據(jù)本發(fā)明的方面的電子設(shè)備是包括如下半導(dǎo)體裝置的電子設(shè)備,所述半導(dǎo)體裝置層疊有并集成了多個(gè)半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:第一貫穿電極,其用于與其它半導(dǎo)體裝置連接;以及第二貫穿電極,其連接所述第一貫穿電極與內(nèi)部器件,對(duì)于層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極布置在不同的位置。根據(jù)本發(fā)明的方面的第三半導(dǎo)體裝置包括:層疊的多個(gè)半導(dǎo)體裝置;數(shù)據(jù)信號(hào)線,其用于將數(shù)據(jù)發(fā)送至所述半導(dǎo)體裝置或接收來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的數(shù)據(jù);以及控制信號(hào)線,其用于將地址發(fā)送至所述半導(dǎo)體裝置或接收來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的地址,所述數(shù)據(jù)信號(hào)線和所述控制信號(hào)線被多路復(fù)用,且所述數(shù)據(jù)信號(hào)線的多路復(fù)用度低于所述所述控制信號(hào)線。還可以包括芯片指派信號(hào)線,所述芯片指派信號(hào)線用于發(fā)送或接收用于選擇多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置之中的執(zhí)行數(shù)據(jù)發(fā)送或接收的半導(dǎo)體裝置的選擇信號(hào),所述芯片指派信號(hào)線可以被多路復(fù)用,且所述芯片指派信號(hào)線的多路復(fù)用度可以等于或低于所述控制信號(hào)線的多路復(fù)用度。多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置中的各者可以存儲(chǔ)被分配的沿層疊方向的地址,且所述芯片指派信號(hào)線可以用于傳輸或接收解碼后的沿所述層疊方向的地址。所述半導(dǎo)體裝置可以是存儲(chǔ)器,所述存儲(chǔ)器可以被層疊成8層,所述存儲(chǔ)器均被4路復(fù)用,且8層的所述存儲(chǔ)器之中的2層的存儲(chǔ)器被同時(shí)驅(qū)動(dòng)。針對(duì)所述數(shù)據(jù)信號(hào)線,所述半導(dǎo)體裝置還可以包括:第一貫穿電極,其用于與其它半導(dǎo)體裝置連接;且第二貫穿電極,其用于與所述第一貫穿電極連接,被提供不同的數(shù)據(jù)的各所述半導(dǎo)體裝置的所述第二貫穿電極布置在不同的位置。根據(jù)本發(fā)明的方面的第一半導(dǎo)體裝置是層疊有并且集成了多個(gè)半導(dǎo)體裝置的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:第一貫穿電極,其用于與其它半導(dǎo)體裝置連接;以及第二貫穿電極,其連接所述第一貫穿電極與內(nèi)部器件,對(duì)于層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極布置在不同的位置。根據(jù)本發(fā)明的方面的第二半導(dǎo)體裝置包括:多個(gè)平面狀的可構(gòu)造邏輯陣列,其沿與所述平面正交的正交方向?qū)盈B,每個(gè)所述可構(gòu)造邏輯陣列包括:邏輯元件;單元配線,其在所述平面內(nèi)沿縱向方向和橫向方向布置;和第一開關(guān),其用于使沿所述縱向方向和所述橫向方向的所述單元配線連接和斷開;重復(fù)單元,其包括在所述平面內(nèi)沿所述縱向方向和所述橫向方向重復(fù)地布置的所述邏輯元件、所述單元配線和所述第一開關(guān),在所述重復(fù)單元中,所述可構(gòu)造邏輯陣列還包括第二開關(guān),所述第二開關(guān)用于使所述重復(fù)單元中的所述單元配線與沿所述正交方向和所述可構(gòu)造邏輯陣列相鄰的另一可構(gòu)造邏輯陣列中包含的所述重復(fù)單元中的所述單元配線連接和斷開;以及邏輯電路,其經(jīng)由所述第一開關(guān)和所述第二開關(guān)沿由所述平面方向和所述正交方向構(gòu)成的三維方向進(jìn)行構(gòu)造。所述第一半導(dǎo)體裝置是通過(guò)所述制造方法制造的。所述電子設(shè)備被構(gòu)造成包括所述第一半導(dǎo)體裝置。根據(jù)本發(fā)明的第三半導(dǎo)體裝置包括:層疊的多個(gè)半導(dǎo)體裝置;數(shù)據(jù)信號(hào)線,其用于將數(shù)據(jù)傳輸至所述半導(dǎo)體裝置或接收來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的數(shù)據(jù);以及控制信號(hào)線,其用于將地址傳輸至所述半導(dǎo)體裝置或接收來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的地址,所述數(shù)據(jù)信號(hào)線和所述控制信號(hào)線被多路復(fù)用,且所述數(shù)據(jù)信號(hào)線的多路復(fù)用度低于所述所述控制信號(hào)線。本發(fā)明的有益效果根據(jù)本發(fā)明的各方面,能夠通過(guò)使用相同的掩模組來(lái)形成相同的陣列器件,并且能夠?qū)崿F(xiàn)陣列器件彼此電連接的三維網(wǎng)路。應(yīng)當(dāng)注意,此處說(shuō)明的效果不一定是限制性的,且可以獲得本發(fā)明中說(shuō)明的其它效果。附圖說(shuō)明圖1是用于說(shuō)明將被層疊的芯片的構(gòu)造的示圖。圖2是用于說(shuō)明貫穿電極的示圖。圖3是用于說(shuō)明貫穿電極的示圖。圖4是用于說(shuō)明地址寫入的示圖。圖5是用于說(shuō)明地址寫入的示圖。圖6是用于說(shuō)明冗余區(qū)域的救濟(jì)(salvation)的示圖。圖7是用于說(shuō)明冗余區(qū)域的救濟(jì)的示圖。圖8是用于說(shuō)明fpga結(jié)構(gòu)的示圖。圖9是用于說(shuō)明fpga結(jié)構(gòu)的示圖。圖10是用于說(shuō)明三維網(wǎng)路的示圖。圖11是用于說(shuō)明三維網(wǎng)路的示圖。圖12是用于說(shuō)明三維網(wǎng)路的示圖。圖13是用于說(shuō)明三維網(wǎng)路的示圖。圖14是用于說(shuō)明應(yīng)用示例的示圖。圖15是用于說(shuō)明應(yīng)用示例的示圖。圖16是用于說(shuō)明應(yīng)用示例的示圖。圖17是用于說(shuō)明應(yīng)用示例的示圖。圖18是用于說(shuō)明應(yīng)用示例的示圖。圖19是用于說(shuō)明層疊存儲(chǔ)器的應(yīng)用示例的示圖。圖20是用于說(shuō)明被應(yīng)用于層疊存儲(chǔ)器時(shí)的貫穿電極的示圖。圖21是用于說(shuō)明控制芯片和存儲(chǔ)器芯片的示圖。圖22是用于說(shuō)明層疊存儲(chǔ)器的應(yīng)用示例的示圖。圖23是用于說(shuō)明層疊存儲(chǔ)器的應(yīng)用示例的示圖。圖24是用于說(shuō)明層疊存儲(chǔ)器的應(yīng)用示例的示圖。圖25是用于說(shuō)明層疊存儲(chǔ)器的應(yīng)用示例的示圖。圖26是用于說(shuō)明電子設(shè)備的示圖。圖27是用于說(shuō)明使用示例的示圖。具體實(shí)施方式在下文中,將說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式(在下文中,被稱為實(shí)施例)。應(yīng)當(dāng)理解,將按照下列順序進(jìn)行說(shuō)明。1.關(guān)于層疊結(jié)構(gòu)2.關(guān)于貫穿電極3.關(guān)于層辨別方法4.關(guān)于地址寫入5.關(guān)于冗余區(qū)域的共用6.關(guān)于fpga結(jié)構(gòu)7.關(guān)于三維網(wǎng)路8.關(guān)于應(yīng)用示例9.關(guān)于應(yīng)用示例(存儲(chǔ)器)10.關(guān)于電子設(shè)備11.關(guān)于攝像裝置的使用示例<關(guān)于層疊結(jié)構(gòu)>根據(jù)本發(fā)明,能夠在具有相同的陣列器件(所述各陣列器件是通過(guò)使用相同的掩模組形成的并且彼此電連接)的半導(dǎo)體器件中提供如下半導(dǎo)體裝置,在該半導(dǎo)體裝置中,通過(guò)使用外部信號(hào)的電位寫入來(lái)識(shí)別層疊器件的沿縱向(z軸)方向的布置地址。諸如存儲(chǔ)器和門陣列等包括陣列布置的器件的結(jié)構(gòu)可以使用其多層結(jié)構(gòu)以進(jìn)行規(guī)模擴(kuò)展。因此,相同的掩模組能夠被多個(gè)器件組共用。這里,將包括這種器件結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置作為示例進(jìn)行說(shuō)明。參考圖1和2,將以層疊3個(gè)芯片的情況為例對(duì)上述的包括所述器件結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置進(jìn)行說(shuō)明。如圖2中所示,層疊有如圖1所示的邏輯電路芯片10、存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30。例如,在邏輯電路芯片10上安裝有輸入輸出單元11、電路單元12和保護(hù)電路13。存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30均為諸如dram等存儲(chǔ)器芯片。如圖1所示,在存儲(chǔ)器芯片20上安裝有存儲(chǔ)單元21和用于讀出來(lái)自存儲(chǔ)單元21的數(shù)據(jù)的解碼器22,且解碼器22分別沿垂直方向和水平方向布置。而且,存儲(chǔ)單元21設(shè)置在附圖中的左側(cè)和右側(cè),且解碼器22與各存儲(chǔ)單元21相對(duì)應(yīng)地設(shè)置。另外,在存儲(chǔ)器芯片20上還安裝有冗余熔絲(fuse)器件24。經(jīng)由貫穿電極(圖2)從外部芯片引入存儲(chǔ)器芯片20的數(shù)據(jù)和控制信號(hào)寫入/讀出線。存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30是具有相同構(gòu)造并且通過(guò)相同掩模產(chǎn)生的芯片。如圖1的右側(cè)所示,在存儲(chǔ)器芯片30的背面上設(shè)置有凸塊41和存儲(chǔ)器連接單元42。凸塊41在背面上設(shè)置有多個(gè)。處理器單元(未示出)經(jīng)由凸塊41連接。假定存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30的存儲(chǔ)容量例如為每芯片500mbit,則當(dāng)層疊2個(gè)芯片時(shí),獲得1gbit,且當(dāng)層疊4個(gè)芯片時(shí),獲得2gbit。以此方式,可以根據(jù)產(chǎn)品規(guī)格改變層數(shù),以將安裝容量設(shè)定至期望的容量。輸入/輸出端子、輸入輸出單元的保護(hù)電路、測(cè)試電路和用于控制層疊芯片的地址的地址控制電路等被安裝至與存儲(chǔ)器不同的晶片中(或位于頂層存儲(chǔ)器的背面上的晶片中),且這些電路和存儲(chǔ)器主體的晶片經(jīng)由貫穿電極彼此電連接。在圖1和2所示的示例中,將存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30作為一個(gè)掩模組能夠被多個(gè)器件組共用和使用的情況的示例。在這種構(gòu)造中,可以分別地設(shè)計(jì)組合有輸入/輸出端子和保護(hù)器件的晶片、組合有產(chǎn)品特有的功能的晶片和層疊有多個(gè)可擴(kuò)展陣列器件的晶片等。輸入/輸出晶片和組合有產(chǎn)品特有的功能的晶片需要針對(duì)每種產(chǎn)品改變規(guī)格并且通過(guò)使用不同的掩模組來(lái)形成,但是一旦半導(dǎo)體芯片的尺寸被固定,就能夠使用相同的掩模組來(lái)制造所有的陣列器件部分。電路晶片和存儲(chǔ)晶片是通過(guò)不同的晶片工藝形成的,且在貼合并集成這些晶片之后,形成電連接單元。在實(shí)現(xiàn)具有這種構(gòu)造的器件時(shí),還存在待解決的問(wèn)題。在層疊通過(guò)使用相同的掩模組形成的晶片的情況下,無(wú)法從外部辨別陣列器件的多個(gè)地址以寫入數(shù)據(jù),因此,需要解決這個(gè)問(wèn)題。在下文中,將對(duì)解決這個(gè)問(wèn)題的本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。<關(guān)于貫穿電極>返回參考圖2,在層疊多個(gè)芯片的情況下,設(shè)置有貫穿電極,且這些芯片經(jīng)由貫穿電極彼此連接。在存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30中分別設(shè)置有貫穿電極51和貫穿電極53。由于貫穿電極51與貫穿電極53的連接,邏輯電路芯片10、存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30彼此連接,從而能夠交換數(shù)據(jù)和傳輸電力。應(yīng)當(dāng)注意,諸如數(shù)據(jù)交換和電力傳輸?shù)裙δ芊謩e被分配給各貫穿電極。這里,除非另有說(shuō)明,將在假定貫穿電極用于數(shù)據(jù)交換的情況下進(jìn)行說(shuō)明。在存儲(chǔ)器芯片20中,設(shè)置有與貫穿電極51連接的貫穿電極52,以將來(lái)自存儲(chǔ)器芯片20的輸出輸出至邏輯電路芯片10或?qū)?lái)自邏輯電路芯片10的輸出輸出至存儲(chǔ)器芯片20。類似地,在存儲(chǔ)器芯片30中,設(shè)置有與貫穿電極52連接的貫穿電極53,以將來(lái)自存儲(chǔ)器芯片30的輸出輸出至邏輯電路芯片10或?qū)?lái)自邏輯電路芯片10的輸出輸出至存儲(chǔ)器芯片30。如上所述的貫穿電極在存儲(chǔ)器芯片20和存儲(chǔ)器芯片30中設(shè)置有多個(gè),以能夠在層疊芯片之間交換數(shù)據(jù)。<關(guān)于層辨別方法>如圖2所示,在層疊多個(gè)芯片的情況下,需要識(shí)別要向哪個(gè)芯片輸出數(shù)據(jù)或數(shù)據(jù)來(lái)自哪個(gè)芯片。因此,在本發(fā)明中,在芯片上形成如下面說(shuō)明的貫穿電極。圖3示出了層疊3個(gè)芯片的情況。在圖3所示的示例中,層疊有芯片60、芯片70和芯片80。芯片60、芯片70和芯片80均例如是與圖1所示的存儲(chǔ)器芯片20和后述的fpga芯片222(圖9a)等相對(duì)應(yīng)的芯片。在芯片60中,在不同的位置設(shè)置有沿縱向方向(附圖中的垂直方向)貫穿芯片60的貫穿電極61和貫穿電極65。而且,在芯片60中,沿橫向方向(附圖中的水平方向)設(shè)置有與諸如保護(hù)二極管和選擇mos等設(shè)置在芯片60中的器件64和69連接的表面配線62和表面配線66。表面配線62和表面配線66根據(jù)它們的位置連接至背面配線63或背面配線68。盡管在圖3所示的示例中,表面配線62不與背面配線63連接,但是表面配線66經(jīng)由貫穿電極67連接至背面配線68。類似地,在芯片70中,在不同的位置設(shè)置有沿縱向方向貫穿芯片70的貫穿電極71和貫穿電極76。設(shè)置在芯片70中的貫穿電極71連接至設(shè)置在芯片60中的貫穿電極61,且貫穿電極76連接至貫穿電極65。而且,在芯片70中,沿橫向方向設(shè)置有與設(shè)置在芯片70中的器件75或79連接的表面配線72和表面配線77。表面配線72經(jīng)由貫穿電極73連接至背面配線74,且表面配線77不與背面配線78連接。類似地,在芯片80中,在不同的位置設(shè)置有沿縱向方向貫穿芯片80的貫穿電極81和貫穿電極85。設(shè)置在芯片80中的貫穿電極81連接至設(shè)置在芯片70中的貫穿電極71,且貫穿電極85連接至貫穿電極76。通過(guò)連接貫穿電極81、貫穿電極71和貫穿電極61,形成了貫穿各個(gè)層的貫穿電極。類似地,通過(guò)連接貫穿電極85、貫穿電極76和貫穿電極65,形成了貫穿各個(gè)層的貫穿電極。而且,在芯片80中,沿橫向方向設(shè)置有與設(shè)置在芯片80中的器件84或88連接的表面配線82和表面配線86。表面配線82不與背面配線83連接,且表面配線86不與背面配線87連接。以此方式,與背面配線連接的貫穿電極在各層中是不同的。在圖3所示的示例中,當(dāng)從底部將這些層計(jì)為第一層、第二層和第三層時(shí),貫穿電極67設(shè)置在第一層的芯片60中的部分b(附圖的右側(cè))中。由于貫穿電極67,器件69、表面配線66、貫穿電極67、背面配線68和貫穿電極65被連接。例如,在層疊邏輯電路芯片10(圖3中未示出)作為芯片60的下層的情況下,能夠?qū)?lái)自器件69的數(shù)據(jù)輸出至與貫穿電極65連接的邏輯電路芯片10。另外,第二層的芯片70或第三層的芯片80不與設(shè)置在部分b中的貫穿電極65連接。因此,獲得了如下結(jié)構(gòu):在該結(jié)構(gòu)中,能夠在數(shù)據(jù)接收側(cè)認(rèn)識(shí)到:經(jīng)由設(shè)置在部分b中的貫穿電極65獲得的數(shù)據(jù)是來(lái)自于第一層的芯片60。類似地,貫穿電極73設(shè)置在第二層的芯片70中的部分a(附圖的左側(cè))中。由于貫穿電極73,器件75、表面配線72、貫穿電極73、背面配線74和貫穿電極71被連接。在這種構(gòu)造下,例如,能夠?qū)?lái)自器件75的數(shù)據(jù)輸出至與貫穿電極71連接的邏輯電路芯片10等(圖3中未示出)。另外,第一層的芯片60或第三層的芯片80不與設(shè)置在部分a中的貫穿電極71連接。因此,獲得了如下結(jié)構(gòu):在該結(jié)構(gòu)中,能夠在數(shù)據(jù)接收側(cè)認(rèn)識(shí)到:經(jīng)由設(shè)置在部分a中的貫穿電極71獲得的數(shù)據(jù)是來(lái)自于第二層的芯片70。以此方式,通過(guò)設(shè)置諸如貫穿電極67等將設(shè)置在芯片上的器件與諸如貫穿電極65等貫穿各層的貫穿電極(第一貫穿電極)連接的貫穿電極(第二貫穿電極),并通過(guò)將第二貫穿電極設(shè)置在各層之中的不同位置,能夠基于其位置對(duì)各層進(jìn)行辨別。此外,如后所述,即使在布置于不同的層中的多個(gè)芯片的情況下,在被提供相同數(shù)據(jù)的芯片中,被提供相同數(shù)據(jù)的芯片的第二貫穿電極被設(shè)置在相同的位置。通過(guò)將第二貫穿電極設(shè)置在相同的位置,可以將已流向與這些第二貫穿電極連接的第一貫穿電極的數(shù)據(jù)同時(shí)提供至多個(gè)芯片。通過(guò)如上所述地將第二貫穿電極設(shè)置在各層中的不同位置,能夠根據(jù)其位置區(qū)別各層,并且通過(guò)將第二貫穿電極設(shè)置在將被提供相同數(shù)據(jù)的芯片中的相同位置,能夠提供相同的數(shù)據(jù)。通過(guò)作為晶片工藝的光刻技術(shù)和干法刻蝕技術(shù)從晶片的背面朝向晶片的正面打開諸如貫穿電極61、71和81等連接圖3所示的層疊芯片的貫穿電極。應(yīng)當(dāng)注意,為了減小背面貫穿連接電極的開口尺寸并縮小開口時(shí)間,期望在不惡化特性的范圍內(nèi)將存儲(chǔ)器基板(例如,芯片60)的晶片厚度制造得盡可能薄。此時(shí),通過(guò)使用不同掩模形成來(lái)與下層晶片的背面配線連接的第一貫穿電極和與相關(guān)晶片的表面配線連接的第二貫穿電極,并將它們處理成具有不同深度的兩種電極。此時(shí),用于形成第一貫穿電極的掩模能夠被待層疊的各晶片共用。對(duì)于用于形成第二貫穿電極的掩模,公共掩模能夠被用于除了用于識(shí)別各層的貫穿電極以及與將被提供不同數(shù)據(jù)的器件連接的貫穿電極之外的部分。這兩種電極都被填充有諸如銅等導(dǎo)電材料并且通過(guò)背面配線彼此連接。通過(guò)這種方法,實(shí)現(xiàn)了下層晶片與相關(guān)晶片之間的電連接,并且可以針對(duì)各個(gè)附接層切換第二貫穿電極的布置。因此,能夠?qū)⒈唤M合到每個(gè)晶片中的器件存在于哪一層作為信息寫入。存儲(chǔ)晶片的成為如上所述的第一貫穿電極和第二貫穿電極的連接路徑的區(qū)域被設(shè)計(jì)成使得引起連接故障的器件結(jié)構(gòu)不重疊。第一貫穿電極被構(gòu)造成被連接至下層晶片的背面配線,且第二貫穿電極被構(gòu)造成連接至存儲(chǔ)晶片內(nèi)的配線。<關(guān)于地址寫入>為了形成每個(gè)層疊芯片的所有信號(hào)線的連接路徑,需要為第二貫穿電極準(zhǔn)備如下數(shù)量的位置:該數(shù)量是通過(guò)僅乘以層疊的層數(shù)獲得的。但是與通常的接觸孔相比,以極大的尺寸繪制了為形成貫穿電極而設(shè)置的連接通孔。因此,布局面積的損失可能會(huì)變大。在這種情況下,如圖4所示,針對(duì)每個(gè)層疊芯片103僅形成芯片地址寫入路徑,且其它數(shù)據(jù)線的連接路徑以在相同位置重疊的方式布置。芯片選擇地址是用于選擇層疊位置為哪一層的解碼器的數(shù)據(jù)線的選擇地址,且在連接4層的存儲(chǔ)器芯片的情況下,需要2位(bit)的芯片地址解碼線101。在所有晶片處理結(jié)束且針對(duì)所有層疊晶片的電連接和外部輸入/輸出端子的形成完成時(shí),將芯片解碼地址寫入各層中的器件中。稍后,將參考圖5和隨后的附圖對(duì)這種寫入進(jìn)行說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)注意,只有對(duì)于芯片選擇地址寫入路徑才需要針對(duì)每個(gè)晶片改變第二貫穿電極的布置。當(dāng)?shù)刂穼懭腚娐繁或?qū)動(dòng)并且位于與地址線相對(duì)應(yīng)的位置處的選擇晶體管被導(dǎo)通時(shí),信息被寫入到與解碼地址相對(duì)應(yīng)的熔絲電路中。此時(shí),需要如下結(jié)構(gòu):在該結(jié)構(gòu)中,信息被寫入到與地址相對(duì)應(yīng)的晶片的熔絲(例如,在圖1所示的存儲(chǔ)器芯片20的情況下,即熔絲器件24)中,而信息不被寫入到不與地址相對(duì)應(yīng)的晶片的熔絲中。因此,可以以如下方式形成掩模:僅在與熔絲的寫入部分中的地址相對(duì)應(yīng)的位置打開貫穿電極,且在其它部分處不打開貫穿電極。一旦數(shù)據(jù)被寫入至芯片地址解碼線中,芯片地址在此后就被永久地識(shí)別,且通過(guò)執(zhí)行與芯片地址解碼線的數(shù)據(jù)比較實(shí)現(xiàn)辨別芯片是否是將數(shù)據(jù)寫入其中或從其中刪除數(shù)據(jù)的芯片。通過(guò)以這種方式預(yù)先寫入層疊芯片的地址信息,能夠同時(shí)存取多個(gè)芯片的任意xy地址,從而能夠應(yīng)對(duì)高速并行處理和冗余區(qū)域的共用等,這在構(gòu)建層疊芯片系統(tǒng)時(shí)具有大的優(yōu)勢(shì)。圖5是用于說(shuō)明將沿z方向(連接層位置)的地址被寫入到每個(gè)晶片中的原理的示圖。在參考圖5進(jìn)行的說(shuō)明中,以在4個(gè)層中層疊4個(gè)芯片的情況作為示例。從如下器件(在下文中,被稱為芯片地址解碼器)提供用于控制層疊芯片的地址的信號(hào),所述器件存在于與形成有諸如圖2所示的芯片60、芯片70和芯片80等陣列器件的晶片不同的層中。地址寫入器件(熔絲、反熔絲等)被裝入各層中,同時(shí)連接至層疊的芯片地址解碼器。如上所述,由于通過(guò)針對(duì)每層改變第二貫穿電極的布置來(lái)切換用于寫入地址信息的熔絲器件的位置,所以當(dāng)控制芯片切換地址信號(hào)時(shí),與地址信號(hào)相對(duì)應(yīng)的地址寫入器件被驅(qū)動(dòng)。例如,在如圖3所示地設(shè)置有貫穿電極的層疊芯片中,設(shè)置在部分b中的貫穿電極65(其對(duì)應(yīng)于第一貫穿電極)和貫穿電極67(其對(duì)應(yīng)于第二貫穿電極)在第一層的芯片60中被連接。貫穿電極65與芯片地址解碼器連接,且地址寫入器件被并入貫穿電極65中。具體地,地址寫入器件被裝入經(jīng)由表面配線66與貫穿電極67連接(即,與貫穿電極65連接)的器件69中。在控制芯片側(cè)切換地址信號(hào)(具體地,例如切換至與第一層芯片60相對(duì)應(yīng)的地址信號(hào))的情況下,與該地址信號(hào)相對(duì)應(yīng)的地址寫入器件(在此情況下是被裝入第一層的芯片60中的地址寫入器件)被驅(qū)動(dòng)。通過(guò)針對(duì)各層執(zhí)行如上所述的地址信號(hào)切換、地址寫入器件的驅(qū)動(dòng)和地址寫入,將表示芯片被層疊在哪一層中的地址寫入到各層疊芯片中。例如,如圖5所示,(00)被寫入以作為第一層的芯片中的地址。在圖5所示的(000/1)中,(00)是層疊地址(stackaddress),且(0/1)在接通(on)狀態(tài)下取1值并且在關(guān)斷(off)狀態(tài)下取0值。層疊地址是芯片在層疊方向(z軸方向)上的地址。接通/關(guān)斷信息是用于如下的信息:在如上所述地接通位于與地址線相對(duì)應(yīng)的位置處的選擇晶體管時(shí),使信息寫入到與解碼地址相對(duì)應(yīng)的熔絲電路中。類似地,(01)被寫入以作為第二層的芯片中的層疊地址,(10)被寫入以作為第三層的芯片中的層疊地址,且(11)被寫入以作為第四層的芯片中的層疊地址。應(yīng)當(dāng)注意,雖然在4層的情況下使用了2位的層疊地址,但是可以根據(jù)層疊芯片的數(shù)量設(shè)定層疊地址的位數(shù)。以此方式,將層疊芯片的地址信息永久地寫入到各個(gè)芯片中。在如上所述的地址寫入之后的操作中,通過(guò)將被寫入到芯片中的層疊芯片地址信息與數(shù)據(jù)將被寫入的芯片的地址信息進(jìn)行比較,能夠?qū)⑽挥谡_的地址位置處的數(shù)據(jù)傳輸至各芯片而不需要經(jīng)由特定的貫穿電極(通孔)。通過(guò)基于這種原理將層識(shí)別地址寫入到各芯片中,能夠執(zhí)行通過(guò)多條路徑發(fā)送數(shù)據(jù)的批量處理,或者形成在不經(jīng)由控制芯片的情況下在各陣列器件之間直接傳輸數(shù)據(jù)的直接路徑,從而帶來(lái)下述巨大優(yōu)勢(shì):器件速度上升且電力消耗降低。<關(guān)于冗余區(qū)域的共用>如上所述,通過(guò)將表示芯片被層疊在哪一層中的地址寫入到各層疊芯片中,例如下述的冗余區(qū)域的共用成為可能。首先,將參考圖6說(shuō)明將具有缺陷的行替換為另一行的情況。圖6分別示出了例如芯片60,且芯片60被假定為存儲(chǔ)器。在芯片60中,由于第2行包含缺陷(附圖中的x標(biāo)記代表缺陷),所以第2行作為缺陷行而無(wú)效。在芯片60中,第15至20行被設(shè)定為冗余行,所述冗余行是這樣的缺陷行的替代行。使被設(shè)定為冗余行的第15行有效以代替作為缺陷行而被無(wú)效的第2行。以此方式,在檢測(cè)到缺陷行的情況下,使冗余行代替缺陷行而有效,從而替換該缺陷行。圖6的b所示的狀態(tài)是7行被檢測(cè)出為缺陷行的狀態(tài)。第2行、第3行、第5行、第6行、第8行、第9行和第12行(即,總共7行)被檢測(cè)出為缺陷行。冗余行是第15行至第20行這6行。在這種狀態(tài)下,第15行替換第2行,第16行替換第3行,第17行替換第5行,第18行替換第6行,第19行替換第8行,且第20行替換第9行。然而,由于沒(méi)有用來(lái)替換第20行的冗余行,所以無(wú)法替換第20行。在這種情況下,芯片60本身作為缺陷被處理。此外,當(dāng)層疊多個(gè)芯片且層疊芯片中包含缺陷芯片60時(shí),在沒(méi)有如上所述的地址寫入(識(shí)別層的方法)的情況下,所有層疊芯片作為缺陷被處理。具體地,因?yàn)橥ǔH能夠在相同的芯片內(nèi)識(shí)別替換冗余地址,所以難以執(zhí)行跨層疊芯片的冗余救濟(jì)。然而,如果如上所述地預(yù)先將層疊芯片選擇地址(z地址,對(duì)應(yīng)于上述的層疊地址)寫入到芯片中,則能夠執(zhí)行平行的層疊芯片上的測(cè)試/冗余救濟(jì),并且只要層疊在相關(guān)芯片上方和下方的芯片中存在一個(gè)未使用的救濟(jì)冗余行,就能夠使用該冗余行來(lái)進(jìn)行替換,從而帶來(lái)如下大的優(yōu)點(diǎn):層疊芯片的良品率提高。將參考圖7對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。在圖7的左側(cè)示出了芯片60,且在右側(cè)示出了芯片70。另外,芯片60和芯片70是如圖3所示地層疊的芯片。圖7的左側(cè)示圖所示的芯片60處于如同在圖6a所示的芯片60中的第2行被檢測(cè)出為缺陷行并且被第15行替換的狀態(tài)。圖7的右側(cè)示圖所示的芯片70處于如同在圖6b所示的芯片60中的如下?tīng)顟B(tài):被檢測(cè)出為缺陷行的第2行被第15行替換,第3行被第16行替換,第5行被第17行替換,第6行被第18行替換,第8行被第19行替換,且第9行被第20行替換。盡管在圖7的右側(cè)示圖所示的芯片70中,第12行也被檢測(cè)出為缺陷行,但是由于設(shè)置在芯片70中的冗余行已經(jīng)被用于其它缺陷行,所以沒(méi)有剩余的冗余行來(lái)替換第12行。雖然芯片70中所以冗余行都被使用,但是在芯片60中,仍然剩余有作為未使用的冗余行的第16至第20行。由于根據(jù)本發(fā)明能夠如上所述地識(shí)別層疊芯片,所以能夠?qū)⒃谛酒?0內(nèi)無(wú)法被分配的缺陷行分配給芯片60中的冗余行。在這種情況下,由芯片60的第16行替換芯片70的第12行。在此之后,將被寫入到芯片70的第12行中的數(shù)據(jù)寫入到替換的芯片60的第16行中。以此方式,即使在現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)各晶片內(nèi)的缺陷行的數(shù)量超過(guò)冗余行的數(shù)量時(shí)無(wú)法進(jìn)行救濟(jì)的情況下,根據(jù)本發(fā)明也可以進(jìn)行救濟(jì)。具體地,根據(jù)本發(fā)明,能夠通過(guò)執(zhí)行跨上下層疊的多個(gè)晶片的測(cè)試來(lái)分配冗余區(qū)域。因此,能夠使因芯片的層疊而導(dǎo)致的良品率損失最小化,并且實(shí)現(xiàn)芯片成本的下降。<關(guān)于fpga結(jié)構(gòu)>接下來(lái),將對(duì)通過(guò)應(yīng)用本發(fā)明來(lái)形成fpga(可編程邏輯陣列)的情況進(jìn)行說(shuō)明。首先,為了說(shuō)明應(yīng)用了本發(fā)明的情況與未應(yīng)用本發(fā)明的情況之間的差異,將參考圖8說(shuō)明未應(yīng)用的情況。圖8所示的層疊芯片是通過(guò)層疊芯片201至205而獲得的。在芯片201上布置有多個(gè)靜態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(staticrandomaccessmemory,sram),在芯片202上布置有多個(gè)聯(lián)合測(cè)試行動(dòng)組(jointtestactiongroup,jtag),且在芯片203上布置有多個(gè)乘法器。在芯片204上形成有時(shí)鐘網(wǎng)路。在芯片205的預(yù)定位置布置有i/o單元、內(nèi)部配線和邏輯單元。在層疊芯片201至205中,邏輯元件布置成陣列,并且由用于寫入邏輯功能的查找表(lookuptable)和存儲(chǔ)單元構(gòu)成。每個(gè)fpga芯片的主要部分由用于連接陣列上的邏輯元件的內(nèi)部配線構(gòu)成,且形成有用于調(diào)整時(shí)序的時(shí)鐘網(wǎng)路和輸入輸出單元等。元件的輸出端連接至通過(guò)時(shí)鐘進(jìn)行同步的觸發(fā)器,且每個(gè)時(shí)序的計(jì)算數(shù)據(jù)被傳輸至隨后的階段。通過(guò)寫入到邏輯元件中的功能程序和用于切換內(nèi)部連接配線的連接目的地的連接程序,通用fpga能夠讀取大型邏輯電路并在刪除的同時(shí)進(jìn)行操作。圖9的a和圖9的b分別示意性地示出了通過(guò)使用本發(fā)明的原理來(lái)形成可編程邏輯陣列的示例。在圖9的a所示的層疊芯片中,在形成有i/f單元的i/f芯片221上層疊有fpga芯片222至224。在fpga芯片222至224中的各者中,布置有多個(gè)可配置邏輯塊(configurablelogicblock,clb)、ram和數(shù)字信號(hào)處理器(digitalsignalprocessor,dsp)等,且布置有用于與各層交換數(shù)據(jù)的接口(i/o單元)。在圖9的b所示的層疊芯片中,在支撐基板241上層疊有fpga芯片242至244。另外,在fpga芯片244上層疊有hm-ip(硬宏ip)芯片245和i/o芯片246。fpga芯片242至244的構(gòu)造類似于fpga芯片222(圖9的a)的構(gòu)造。在hm-ip芯片245上形成有hm-ip單元。在i/o芯片246上形成有i/o單元。在每層中形成有貫穿電極(tsv),且各層通過(guò)tsv連接。在圖9的a所示的層疊芯片中,各層被i/f芯片221支撐,且經(jīng)由該i/f芯片221進(jìn)行與其它處理單元的數(shù)據(jù)交換。在圖9的a所示的層疊芯片中,假定i/f芯片221是底層,則經(jīng)由i/f芯片221輸出來(lái)自作為上層的fpga芯片242至244的數(shù)據(jù)。在此情況下,數(shù)據(jù)從上層向下層流動(dòng)。在圖9的b所示的層疊芯片中,各層被支撐基板241支撐。假定支撐基板241是底層,則經(jīng)由位于頂部的i/o芯片246進(jìn)行與其它處理單元的數(shù)據(jù)交換。在圖9的b所示的層疊芯片中,經(jīng)由作為上層的i/o芯片246輸出來(lái)自作為下層的fpga芯片242至245的數(shù)據(jù)。在此情況下,數(shù)據(jù)從下層向上層流動(dòng)。如上所示,本發(fā)明的應(yīng)用范圍不受以何種方式提取來(lái)自各層的數(shù)據(jù)限制。能夠通過(guò)僅將陣列部層疊成多層來(lái)改變待安裝的邏輯元件的數(shù)量。此外,如下構(gòu)造成為可能:在該構(gòu)造中,在與陣列部的晶片不同的晶片上形成輸入/輸出部和核心邏輯ip部。<關(guān)于三維網(wǎng)路>如上所示,根據(jù)本發(fā)明,可以層疊多個(gè)芯片并且識(shí)別各芯片位于哪一層。例如,可以層疊多個(gè)fpga芯片并且將所述多個(gè)fpga芯片作為一個(gè)芯片進(jìn)行處理。換言之,能夠通過(guò)層疊多個(gè)fpga芯片來(lái)將這些芯片作為能夠沿縱向方向和橫向方向三維地傳輸/接收信號(hào)的一個(gè)芯片進(jìn)行處理。這里,將對(duì)實(shí)現(xiàn)與網(wǎng)路三維地連接的fpga的方法進(jìn)行說(shuō)明。圖10的a是示出了第一層的fpga芯片301的部分構(gòu)造。在fpga芯片301中沿平面方向布置有多個(gè)被稱為clb的邏輯塊。在圖10的a中,圖示了4個(gè)clb312-1至312-4。邏輯塊(clb312)通過(guò)配線組連接。雖然圖10的a圖示了通過(guò)一條線進(jìn)行的連接,但是也可如圖13所示地通過(guò)多條線進(jìn)行連接。此外,在clb312之間還設(shè)置有選擇開關(guān)(sw)311-1至311-4。例如,通過(guò)選擇開關(guān)311-4的切換來(lái)將來(lái)自clb312-4的輸出提供至設(shè)置在附圖左側(cè)的clb312-2或提供至設(shè)置在附圖右側(cè)的clb312-3。通過(guò)在第一層的fpga芯片301中設(shè)置配線和選擇開關(guān),能夠在該層內(nèi)沿縱向方向和橫向方向移動(dòng)數(shù)據(jù)。這里,相同層內(nèi)的橫向方向被稱為x軸方向,且縱向方向被稱為y軸方向。各個(gè)層(在此處為4層)的fpga芯片均包括如圖10的a所示的構(gòu)造。圖10的b是兩個(gè)芯片(即,層疊有fpga芯片301和fpga芯片302)的情況下的第一層和第二層的邏輯合成圖。如同在fpga芯片301中一樣,fpga芯片302也被構(gòu)造成包括選擇開關(guān)321-1至321-4和clb322-1至322-4。另外,當(dāng)進(jìn)行層疊時(shí),還設(shè)置有用于連接各層的clb的選擇開關(guān)。在下文中,層疊方向被稱為z軸方向。z軸方向是與形成有clb的平面垂直的方向。在層疊多個(gè)fpga芯片的情況下,還設(shè)置有用于沿z軸方向傳輸信號(hào)的選擇開關(guān)。在圖10的b所示的示例中,選擇開關(guān)323-1至323-4和選擇開關(guān)324-1至324-4被設(shè)置為用于沿z軸方向傳輸信號(hào)的選擇開關(guān)。以此方式,設(shè)置有用于在芯片內(nèi)傳輸信號(hào)的選擇開關(guān)和用于向/從層疊在芯片上方和下方的芯片傳輸信號(hào)的選擇開關(guān)。在下文中,用于向/從層疊在芯片上方和下方的芯片傳輸信號(hào)的選擇開關(guān)將被稱為z軸方向選擇開關(guān),以與用于在芯片內(nèi)傳輸信號(hào)的選擇開關(guān)進(jìn)行區(qū)分。如圖10的b所示,在層疊兩個(gè)芯片的情況下第一層和第二層的相同圖案實(shí)際上在平面上重疊,并且通過(guò)經(jīng)由z軸方向選擇開關(guān)對(duì)它們進(jìn)行連接,能夠?qū)崿F(xiàn)如同雙倍密度的連接。圖11的a是在通過(guò)層疊兩個(gè)芯片(即,fpga芯片301和fpga芯片302)獲得的層疊芯片上額外地層疊fpga芯片303的情況下的第一層至第三層的邏輯合成圖。與fpga芯片301類似,fpga芯片303也被構(gòu)造成包括選擇開關(guān)331-1至331-4和clb332-1至332-4。在層疊三個(gè)芯片的情況下,以如同在層疊兩個(gè)芯片的情況下的方式設(shè)置z軸方向選擇開關(guān)。在圖11的a所示的3層疊層的情況下,與圖10的b所示的2層疊層相比,額外地設(shè)置有z軸方向選擇開關(guān)333-1至333-4和z軸方向選擇開關(guān)334-1至334-4。圖11的b是以如下方式層疊成4層的狀態(tài)的邏輯合成圖:在圖11的a所示的層疊有fpga芯片301至303的3層層疊芯片上額外地層疊fpga芯片304。如同在fpga芯片301中,fpga芯片304也被構(gòu)造成包括選擇開關(guān)341-1至341-4(在圖11的b中圖示了選擇開關(guān)341-1和341-2)和clb342-1至342-4(在圖11的b中圖示了clb342-1和342-2)。在層疊4個(gè)芯片的芯片下,以如同在層疊兩個(gè)芯片的情況和層疊三個(gè)芯片的情況下的方式設(shè)置z軸方向選擇開關(guān)。在圖11的b所示的4層疊層的情況下,與圖11的a所示的3層疊層相比,額外地設(shè)置有z軸方向選擇開關(guān)343-1至343-4(在圖11的b中圖示了z軸方向選擇開關(guān)343-1和343-2)和z軸方向選擇開關(guān)344-1至344-4(在圖11的b中圖示了z軸方向選擇開關(guān)344-1和344-2)。在層疊4層的情況下,可以獲得具有1/2的clb間隙和4倍密度的電路。通過(guò)以此方式層疊fpga芯片,密度能夠增大為與層疊芯片的數(shù)量相對(duì)應(yīng)的倍數(shù),例如,在兩層的情況下為兩倍,且在四層的情況下為四倍。以此方式,在連接陣列上的各層的邏輯元件的內(nèi)部配線之間,經(jīng)由選擇開關(guān)和貫穿電極形成相對(duì)于(z軸方向)正上方或正下方的晶片的配線層的電連接。邏輯元件的坐標(biāo),能夠由行和列解碼器以及芯片地址解碼器指定位置。相同層內(nèi)的邏輯元件經(jīng)由能夠切換網(wǎng)格狀的內(nèi)部連接配線的連接方向的選擇開關(guān)(即,例如,選擇開關(guān)321)而彼此連接。另外,z軸方向選擇開關(guān)(例如,選擇開關(guān)323)被設(shè)置用來(lái)切換各層之間的連接方向。此外,將參考圖12說(shuō)明選擇開關(guān)和z軸方向選擇開關(guān)的操作。本發(fā)明經(jīng)由通孔連接fpga芯片的內(nèi)部連接配線,并且通過(guò)z軸方向選擇開關(guān)切換相對(duì)于上下層的連接方向。將2位數(shù)據(jù)寫入到用于沿縱向方向(z軸方向)切換至配線的z軸方向選擇開關(guān)中,且能夠通過(guò)寫入到z軸方向選擇開關(guān)中的信息(0,0)、(0,1)、(1,0)和(1,1)單獨(dú)地選擇將哪個(gè)輸入信號(hào)用于相關(guān)地址的輸入或?qū)⒁啬膫€(gè)方向發(fā)送輸出信號(hào)。圖12示出了布置在圖11的a(圖11的b)所示的fpga芯片之中的fpga芯片302的clb322-1、與clb322-1相關(guān)的選擇開關(guān)321-1、z軸方向選擇開關(guān)323-1和z軸方向選擇開關(guān)324-1。選擇開關(guān)321-1是用于控制fpga芯片302內(nèi)的信號(hào)的傳輸/接收的選擇開關(guān)。z軸方向選擇開關(guān)323-1和z軸方向選擇開關(guān)324-1是用于控制向沿z軸方向布置的其它芯片(在此例中為fpga芯片301和fpga芯片303)發(fā)送信號(hào)或控制接收來(lái)自這些芯片的信號(hào)的選擇開關(guān)。另外,z軸方向選擇開關(guān)323-1和z軸方向選擇開關(guān)324-1中的一者控制來(lái)自另一層的fpga芯片的信號(hào)的輸入(in),且另一者控制向另一層的fpga芯片的輸出(out)。這里,在假定z軸方向選擇開關(guān)323-1是用于控制來(lái)自fpga芯片301或fpga芯片303的信號(hào)的輸入的選擇開關(guān)的情況下進(jìn)行說(shuō)明。另外,在假定z軸方向選擇開關(guān)324-1是用于控制向fpga芯片301或fpga芯片303的信號(hào)的輸出的選擇開關(guān)的情況下進(jìn)行說(shuō)明。在參考圖12進(jìn)行的說(shuō)明中,假定fpga芯片301布置在fpga芯片302下方,且fpga芯片303布置在fpga芯片302上方。如上所述,2位的數(shù)據(jù)被寫入到z軸方向選擇開關(guān)323-1和z軸方向選擇開關(guān)324-1中的每者中。參考圖12所示的z軸方向選擇開關(guān)323-1,在相對(duì)于z軸方向選擇開關(guān)323-1的2位的數(shù)據(jù)(d1,d2)被寫入(0,0)的情況下,z軸方向選擇開關(guān)323-1連接至(x,y,z)的配線,即相同層(其在此情況下為fpga芯片302)內(nèi)的配線。在這種狀態(tài)的情況下,輸入至z軸方向選擇開關(guān)323-1的信號(hào)被輸出至相同層的選擇開關(guān)(即,例如,選擇開關(guān)321-1)。在相對(duì)于z軸方向選擇開關(guān)323-1的數(shù)據(jù)(d1,d2)被寫入(0,1)的情況下,z軸方向選擇開關(guān)323-1連接至(x,y,z-1)的配線,即下層(其在此情況下為fpga芯片301)的配線。在這種狀態(tài)的情況下,輸入至z軸方向選擇開關(guān)323-1的信號(hào)被輸出至作為下層的fpga芯片301。在相對(duì)于z軸方向選擇開關(guān)323-1的數(shù)據(jù)(d1,d2)被寫入(1,0)的情況下,z軸方向選擇開關(guān)323-1連接至(x,y,z+1)的配線,即上層(其在此情況下為fpga芯片303)的配線。在這種狀態(tài)的情況下,輸入至z軸方向選擇開關(guān)323-1的信號(hào)被輸出至作為上層的fpga芯片303。在相對(duì)于z軸方向選擇開關(guān)323-1的數(shù)據(jù)(d1,d2)被寫入(1,1)的情況下,z軸方向選擇開關(guān)323-1連接至(x,y,z-1)和(x,y,z+1)的配線,即下層的配線(其在本情況下為fpga芯片301)和上層的配線(其在本情況下為fpga芯片303)。在這種狀態(tài)的情況下,從作為下層的fpga芯片301輸入至z軸方向選擇開關(guān)323-1的信號(hào)被輸出至作為上層的fpga芯片303,且從作為上層的fpga芯片303輸入的信號(hào)被輸出至作為下層的fpga芯片301。而且,圖12所示的z軸方向選擇開關(guān)324-1也是通過(guò)與z軸方向選擇開關(guān)323-1類似的寫入數(shù)據(jù)(d1,d2)來(lái)確定連接目的地。以此方式,通過(guò)寫入到z軸方向選擇開關(guān)中的數(shù)據(jù)(d1,d2)來(lái)確定連接目的地,并且輸入的信號(hào)被輸出至確定的連接目的地。應(yīng)當(dāng)注意,d1(z)≠1例如被設(shè)定用于不具有上層fpga芯片(即,圖11的b所示的示例中的fpga芯片304)的層。此外,d2(z)≠1例如被設(shè)定用于不具有下層fpga芯片(即,圖11的b所示的示例中的fpga芯片301)的層。此外,(x,y,z)的d1和(x,y,z+1)的d2被設(shè)定成相對(duì)于所有(x,y,z)的組合滿足d1(z)=d2(z+1)。以此方式,通過(guò)參考陣列結(jié)構(gòu)的已被寫入到熔絲中的沿z方向的地址信息來(lái)判斷是否寫入數(shù)據(jù)。盡管使用了2位的數(shù)據(jù)被用于開關(guān)控制的示例來(lái)說(shuō)明圖12,但是本發(fā)明還可應(yīng)用于選擇開關(guān)的位(bit)數(shù)和貫穿電極(連接端口)的數(shù)量增大的情況。能夠通過(guò)增大選擇開關(guān)的位數(shù)和貫穿電極的數(shù)量來(lái)任意地設(shè)定能夠被切換的連接部的數(shù)量。然而,需要設(shè)定正上方(z+1)芯片和正下方(z-1)芯片的連接信息以及相關(guān)芯片(z)的連接信息,使得它們不會(huì)相互矛盾。應(yīng)當(dāng)注意,本發(fā)明的z軸方向選擇開關(guān)被設(shè)計(jì)用于陣列器件。因此,底層的fpga芯片無(wú)法沿向下方向選擇連接開關(guān),且頂層的fpga芯片無(wú)法沿向上方向選擇連接開關(guān)。圖13是用于說(shuō)明與z軸方向選擇開關(guān)成組地布置的連接通孔(貫穿電極)的特定結(jié)構(gòu)的示圖。用于連接至上層側(cè)的z軸方向選擇開關(guān)的貫穿電極和用于連接至下層側(cè)的z軸方向選擇開關(guān)的貫穿電極被連接至與作為數(shù)據(jù)寫入的目標(biāo)的邏輯元件被連接的層的z軸方向選擇開關(guān)。參考圖13,例如,將fpga芯片301作為奇數(shù)層(即,第一層)的芯片的例子并且將fpga芯片302作為偶數(shù)層(即,第二層)的芯片的例子進(jìn)行說(shuō)明。在fpga芯片301上形成有clb312和用于控制芯片內(nèi)信號(hào)的輸入/輸出的選擇開關(guān)311。另外,還形成有用于控制芯片之間信號(hào)的輸入/輸出的z軸方向選擇開關(guān)313。此外,還形成有與z軸方向選擇開關(guān)313連接的貫穿電極411和貫穿電極412。類似地,在fpga芯片302上形成有clb322、用于控制芯片內(nèi)信號(hào)的輸入/輸出的選擇開關(guān)321、用于控制芯片之間信號(hào)的輸入/輸出的z軸方向選擇開關(guān)323以及與z軸方向選擇開關(guān)323連接的貫穿電極421和貫穿電極422。這里,將關(guān)注與z軸方向選擇開關(guān)313連接的貫穿電極411和貫穿電極412。在與z軸方向選擇開關(guān)313連接的貫穿電極411和貫穿電極412之中,貫穿電極411是連接至上層的fpga芯片302的選擇開關(guān)的貫穿電極,且貫穿電極412是連接至下層的fpga芯片的選擇開關(guān)(例如,當(dāng)在下層中沒(méi)有fpga芯片時(shí),其為下層中的邏輯電路芯片等的預(yù)定端子)的貫穿電極。在以此方式設(shè)定(設(shè)計(jì))與z軸方向選擇開關(guān)313連接的貫穿電極411和貫穿電極412的情況下,以如下方式設(shè)定(設(shè)計(jì))上層的fpga芯片302的與z軸方向選擇開關(guān)323連接的貫穿電極421和貫穿電極422。具體地,由于貫穿電極411是針對(duì)上層的貫穿電極(上(up)方向的貫穿電極),所以與貫穿電極411連接的貫穿電極421是針對(duì)下層的貫穿電極(下(dn)方向的貫穿電極)。此外,由于貫穿電極412是針對(duì)下層的貫穿電極(下(dn)方向的貫穿電極),所以與貫穿電極412連接的貫穿電極422是針對(duì)上層的貫穿電極(上(up)方向的貫穿電極)。以此方式,由于需要電分離連接z-1層和z層的路徑與連接z+1層和z層的路徑,所以在奇數(shù)層和偶數(shù)層中交替地改變布置。在用于除貫穿電極之外的部分的掩模被共用的情況下,能夠通過(guò)具有z地址的計(jì)算處理進(jìn)行對(duì)它們的切換來(lái)實(shí)現(xiàn)連接信息。當(dāng)設(shè)計(jì)這種fpga芯片時(shí),如果基于這種設(shè)計(jì)規(guī)則對(duì)例如通過(guò)cad工具設(shè)計(jì)的配線的結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化,則能夠?qū)崿F(xiàn)fpga的三維網(wǎng)路連接。根據(jù)本發(fā)明,能夠進(jìn)行設(shè)計(jì)以使得猶如在相同的芯片面積內(nèi)實(shí)質(zhì)上增大了陣列之間的距離或配線的數(shù)量,從而能夠顯著地提高面積使用效率。通過(guò)如上所述的方法,能夠?qū)崿F(xiàn)與網(wǎng)路三維地連接的fpga芯片。因此,僅沿橫向方向通過(guò)配線連接邏輯元件的路徑被添加了縱向(層疊芯片之間)的路徑,從而能夠更有效地使用配線資源。根據(jù)如上所述的本發(fā)明,能夠?qū)盈B通過(guò)使用相同的掩模形成的晶片并且在形成電連接之后形成公共的輸入/輸出端子,從而制造集成有被分割成單片的各芯片的器件。另外,在層疊的晶片中,也能夠類似地實(shí)現(xiàn)單獨(dú)的晶片中已實(shí)現(xiàn)的功能。能夠在存儲(chǔ)器件中沿層疊方向共用存儲(chǔ)區(qū)域和冗余區(qū)域。因此,能夠顯著地提高良品率。能夠在fpga器件中的邏輯元件單元中實(shí)現(xiàn)三維網(wǎng)路連接。因此,能夠顯著地提高配線資源使用效率。應(yīng)當(dāng)注意,上面以存儲(chǔ)器芯片為例說(shuō)明的實(shí)施例也可應(yīng)用于fpga芯片。且上面以fpga芯片為例說(shuō)明的實(shí)施例也可應(yīng)用于存儲(chǔ)器芯片。<關(guān)于應(yīng)用示例>將參考圖14說(shuō)明應(yīng)用了上述實(shí)施例的器件布置。在晶片501上布置有保護(hù)器件511、系統(tǒng)控制器512和內(nèi)置電路513等。系統(tǒng)控制器512包括產(chǎn)生用于控制各單元的時(shí)鐘的時(shí)鐘產(chǎn)生單元、用于控制數(shù)據(jù)的讀取/寫入地址的地址選擇單元、用于控制對(duì)各單元的電力供應(yīng)的電源控制單元、執(zhí)行操作測(cè)試等的測(cè)試單元以及執(zhí)行將缺陷行替換為冗余行等的處理的冗余控制單元等。在晶片501上還形成有外部連接端子(pad)。在晶片502上形成有貫通連接單元521、解碼器522和陣列單元523。晶片503和504具有與晶片502的構(gòu)造類似的構(gòu)造。換言之,晶片502至504是能夠使用相同的掩模制造的晶片。在晶片502至504均是存儲(chǔ)器的情況下,獲得了包括3層的存儲(chǔ)器的芯片。此外,雖然獲得了3層的存儲(chǔ)器,但是由于指定了用于識(shí)別層的地址且缺陷行不僅能夠被相同層的冗余行替換,還能夠被多個(gè)層的冗余行替換,所以這些存儲(chǔ)器能夠以作為一層的存儲(chǔ)器的方式進(jìn)行處理。為了在芯片分割時(shí)不產(chǎn)生無(wú)用的空閑空間,期望晶片501的電路芯片和晶片502至504的陣列芯片以相同的芯片尺寸進(jìn)行構(gòu)造。圖15是示出了應(yīng)用了上述實(shí)施例的圖像傳感器的構(gòu)造的示圖。在圖15所示的圖像傳感器600中,在處理電路601上層疊有3層的存儲(chǔ)器602至604。另外,在存儲(chǔ)器604上層疊有攝像器件605,且在攝像器件605上形成有片上透鏡606。在圖像傳感器600中,由攝像器件605接收的信號(hào)的數(shù)據(jù)被寫入到存儲(chǔ)器602至604中,且處理電路601對(duì)被寫入到存儲(chǔ)器602至604中的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。存儲(chǔ)器602至604均包括例如參考圖1至7說(shuō)明的貫穿電極,且被寫入用于識(shí)別各層的地址,使得這些存儲(chǔ)器能夠如同它們是單個(gè)存儲(chǔ)器般進(jìn)行處理。通過(guò)應(yīng)用上述的實(shí)施例來(lái)實(shí)現(xiàn)在存儲(chǔ)晶片(存儲(chǔ)器602至604)中寫入上層和下層的地址的功能,能夠增大或減小存儲(chǔ)晶片的數(shù)量。通過(guò)這種方式,能夠在不改變電路功能或圖像傳感器的規(guī)格的情況下將待安裝的存儲(chǔ)器的容量變?yōu)閿?shù)倍。在圖15所示的圖像傳感器600中,攝像器件被層疊在通過(guò)層疊多個(gè)陣列器件獲得的器件結(jié)構(gòu)上。圖像傳感器所需的光接收單元(攝像器件605)形成在頂層,在頂層側(cè)形成有設(shè)置在攝像器件605與片上透鏡606之間的濾色器。應(yīng)當(dāng)注意,盡管圖15示出了層疊有片上透鏡606的示例,但是也可以采用不設(shè)置片上透鏡606的結(jié)構(gòu)。圖15所示的圖像傳感器600具有如下結(jié)構(gòu):在該結(jié)構(gòu)中,多個(gè)存儲(chǔ)晶片(存儲(chǔ)器602至604)被層疊在控制電路晶片(處理電路601)上以作為攝像器件605的下層結(jié)構(gòu)的示例。由于具有這種結(jié)構(gòu)的圖像傳感器600成為在內(nèi)部裝有存儲(chǔ)器602至604的圖像傳感器,所以能夠在不經(jīng)由接口的輸出的情況下對(duì)存儲(chǔ)的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行壓縮和校正等處理,從而能夠降低電力消耗并提高圖像處理速度。期望地,此時(shí)要安裝的存儲(chǔ)容量能夠根據(jù)運(yùn)動(dòng)圖像或處理內(nèi)容的記錄時(shí)間而變化,但是就上述的芯片尺寸而言,難以改變平面規(guī)模。然而,在本發(fā)明中,通過(guò)將多個(gè)存儲(chǔ)基板進(jìn)行層疊使用,即使在使用相同的圖像傳感器和電路晶片時(shí),也能夠?qū)⒋惭b的存儲(chǔ)容量變?yōu)閿?shù)倍,使得能夠根據(jù)像素?cái)?shù)數(shù)量和電路尺寸選擇與成本相對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)器安裝容量,從而擴(kuò)大應(yīng)用范圍。另外,如圖16所示,還可以在圖像傳感器620中設(shè)置2層的存儲(chǔ)器,以提高轉(zhuǎn)換速度。在圖16所示的圖像傳感器620中,當(dāng)?shù)讓颖辉O(shè)定為第一層時(shí),在第一層中層疊處理電路621,在第二層中層疊ad轉(zhuǎn)換器件622和存儲(chǔ)器623,在第三層中層疊ad轉(zhuǎn)換器件624和存儲(chǔ)器625,在第四層層疊攝像器件626,且在第五層中層疊透鏡627。每層包括例如參考圖1至7說(shuō)明的貫穿電極,使得能夠經(jīng)由貫穿電極進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。第二層和第三層具有相同的構(gòu)造并且均包括ad轉(zhuǎn)換器件和存儲(chǔ)器。在這種構(gòu)造下,例如,能夠進(jìn)行如圖16的右側(cè)所示的處理。例如,通過(guò)第三層的ad轉(zhuǎn)換器件624對(duì)由攝像器件626捕捉的圖像的信號(hào)進(jìn)行處理,且將處理結(jié)果臨時(shí)地存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器625中。可替代地,通過(guò)第三層的ad轉(zhuǎn)換器件624對(duì)由攝像器件626捕捉的圖像的信號(hào)進(jìn)行處理并接著將其輸出至處理電路621,且將經(jīng)處理電路621處理的處理結(jié)果臨時(shí)地存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器625中。雖然在第三層中進(jìn)行如上所述的處理,但是也可以在第二層中進(jìn)行類似的處理。具體地,雖然將經(jīng)第三層的ad轉(zhuǎn)換器件624轉(zhuǎn)換的結(jié)果或經(jīng)處理電路621處理的結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器625中,但是也可以將經(jīng)第二層的ad轉(zhuǎn)換器件622轉(zhuǎn)換的結(jié)果或經(jīng)處理電路621處理的結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器623中。當(dāng)處理電路621進(jìn)行處理時(shí),將處理結(jié)果臨時(shí)地存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器623或存儲(chǔ)器625中。因此,能夠提高處理速度。另外,通過(guò)構(gòu)造如圖17所示的圖像傳感器,能夠夠提高處理速度。在圖17所示的圖像傳感器640中,當(dāng)?shù)讓颖辉O(shè)定為第一層時(shí),在第一層上層疊處理電路641,在第二層中層疊ad轉(zhuǎn)換器件642,在第三層中層疊ad轉(zhuǎn)換器件643,在第四層層疊有攝像器件644,且在第五層中層疊透鏡645。而且,在此情況下,每層包括例如參考圖1至7說(shuō)明的貫穿電極,使得能夠經(jīng)由貫穿電極進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。第二層和第三層具有相同的構(gòu)造并且均包括ad轉(zhuǎn)換器件。在這種構(gòu)造下,例如,能夠進(jìn)行如圖17的右側(cè)所示的處理。例如,通過(guò)第三層的ad轉(zhuǎn)換器件643對(duì)由攝像器件644捕捉的圖像的信號(hào)進(jìn)行處理,且將處理結(jié)果輸出至處理電路621以進(jìn)行處理。雖然在第三層中進(jìn)行如上所述的處理,但是也可以在第二層中進(jìn)行類似的處理。具體地,雖然將經(jīng)第三層的ad轉(zhuǎn)換器件624轉(zhuǎn)換的結(jié)果輸出至處理電路641,但是也可以通過(guò)第二層的ad轉(zhuǎn)換器件642進(jìn)行轉(zhuǎn)換。例如,在攝像器件644以120fps拍攝圖像的情況下,由于第二層的ad轉(zhuǎn)換器件642和第三層的ad轉(zhuǎn)換器件643能夠分別處理120fps,所以處理電路641能夠以240ftp進(jìn)行處理。具體地,在這種構(gòu)造下,ad轉(zhuǎn)換器件642和ad轉(zhuǎn)換器件643能夠每次120ftp地交替地輸出至處理電路641,以實(shí)現(xiàn)兩倍的轉(zhuǎn)換速度。應(yīng)當(dāng)注意,代替在ad轉(zhuǎn)換器件642和ad轉(zhuǎn)換器件643中進(jìn)行相同的處理,ad轉(zhuǎn)換器件642也可以處理來(lái)自具有長(zhǎng)曝光的像素的信號(hào),且ad轉(zhuǎn)換器件643也可以處理來(lái)自具有短曝光的像素的信號(hào),從而處理來(lái)自具有不同的曝光時(shí)間的像素的信號(hào)。此外,ad轉(zhuǎn)換器件642可執(zhí)行轉(zhuǎn)換以生成靜態(tài)圖像,且ad轉(zhuǎn)換器件643可執(zhí)行轉(zhuǎn)換以生成運(yùn)動(dòng)圖像,從而生成不同的圖像。本發(fā)明的應(yīng)用范圍不限于圖像傳感器,且例如,本發(fā)明還可應(yīng)用于如圖18所示的裝置。圖18所示的裝置660包括第一層中的處理電路661、第二層中的存儲(chǔ)器662、第三層中的存儲(chǔ)器663和第四層中的大型集成部(large-scaleintegration,lsi)664。將由lsi664處理的數(shù)據(jù)或待處理的數(shù)據(jù)暫時(shí)存儲(chǔ)在第二層存儲(chǔ)器662或第三層存儲(chǔ)器663中。lsi664例如是用于高速通信的rf芯片,并且可以是無(wú)法安裝在與處理電路661相同的基板上的電路。在lsi664與存儲(chǔ)器662和663能夠無(wú)需經(jīng)由i/o(輸入/輸出)即可交換數(shù)據(jù)的結(jié)構(gòu)下(即,在存儲(chǔ)器能夠被層疊成多層并且無(wú)需經(jīng)由i/o即可與lsi664進(jìn)行數(shù)據(jù)交換的結(jié)構(gòu)下),能夠減少部件的數(shù)量,并且能夠期待進(jìn)一步小型化以及處理速度的提高。而且,在此情況下,每層包括例如參考圖1至7說(shuō)明的貫穿電極,使得能夠經(jīng)由貫穿電極進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。<關(guān)于應(yīng)用示例(存儲(chǔ)器)>作為使用本發(fā)明的配線連接結(jié)構(gòu)的另一應(yīng)用示例,將說(shuō)明本發(fā)明的配線連接結(jié)構(gòu)應(yīng)用于層疊有多個(gè)存儲(chǔ)器件(即,存儲(chǔ)器芯片或存儲(chǔ)管芯(die))的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)的實(shí)施例。在參考圖1至7說(shuō)明的實(shí)施例中,已經(jīng)例示了如下情況:存儲(chǔ)用于識(shí)別各層存儲(chǔ)器芯片中的每一者層疊在哪一層中的地址以執(zhí)行數(shù)據(jù)的寫入和讀取。相比之下,在本應(yīng)用示例(下述的第一至第五層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu))中,將以各層的各存儲(chǔ)器芯片存儲(chǔ)這樣的地址并進(jìn)行處理的情況和這些存儲(chǔ)器芯片不存儲(chǔ)這樣的地址并進(jìn)行處理的情況為例說(shuō)明額外地層疊存儲(chǔ)器的情況。在下面的實(shí)施例中,將以在8個(gè)層中層疊存儲(chǔ)器的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。此外,將16位的ddr3存儲(chǔ)器作為下述實(shí)施例中使用的存儲(chǔ)器的示例。首先,將對(duì)各層的各存儲(chǔ)器芯片不存儲(chǔ)地址并進(jìn)行處理的情況進(jìn)行說(shuō)明。(第一層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu))第一層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)是通過(guò)層疊多個(gè)存儲(chǔ)器芯片和用于控制所述多個(gè)存儲(chǔ)器芯片的操作的控制芯片而獲得的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)。在第一層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中,用于傳輸將被寫入到存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)或從存儲(chǔ)器中讀出的數(shù)據(jù)的信號(hào)線被獨(dú)立地連接至層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各個(gè)存儲(chǔ)器芯片。用于傳輸如下控制信號(hào)的信號(hào)線由層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各個(gè)存儲(chǔ)器芯片共用(多路復(fù)用),所述控制信號(hào)用于傳輸控制針對(duì)存儲(chǔ)器的寫入操作和讀取操作所必需的地址和指令等。用于傳輸如下信號(hào)的信號(hào)線由層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各個(gè)存儲(chǔ)器芯片共用(多路復(fù)用),所述信號(hào)用于指派或指定用于執(zhí)行寫入操作或讀取操作的存儲(chǔ)器。圖19是示出了層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)700中的配線相對(duì)于各存儲(chǔ)器芯片的連接結(jié)構(gòu)的示意圖。這里,圖19是示出了用于發(fā)送/接收數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)信號(hào)線不被多路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器的構(gòu)造的示圖。應(yīng)當(dāng)注意,所謂“數(shù)據(jù)信號(hào)線不被多路復(fù)用”是指層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中的與存儲(chǔ)器芯片連接的數(shù)據(jù)線針對(duì)各存儲(chǔ)器芯片獨(dú)立地布線的結(jié)構(gòu)。在圖19所示的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)700中,層疊有8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8。圖19的a示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu),圖19的b示出了用于傳輸控制關(guān)于存儲(chǔ)器的寫入操作和讀取操作所必需的地址和指令等的控制信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu),且圖19的c示出了用來(lái)傳輸用于指派或指定執(zhí)行寫入操作或讀取操作的存儲(chǔ)器的信號(hào)的信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu)。應(yīng)當(dāng)注意,作為用于指派或指定將要操作的存儲(chǔ)器的芯片指派信號(hào)線,例如可使用存儲(chǔ)器的芯片指派信號(hào)線或控制信號(hào)線的一部分。圖19所示的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)700包括用于控制針對(duì)存儲(chǔ)器芯片的數(shù)據(jù)寫入操作和讀取操作的控制芯片702。圖19的a至c所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線、控制信號(hào)線和芯片指派信號(hào)線被布線在層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)700中包括的控制芯片702與存儲(chǔ)器芯片之間。如圖19的a所示,數(shù)據(jù)信號(hào)線是分別針對(duì)存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8設(shè)置的。換言之,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1連接至存儲(chǔ)器芯片701-1,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-2連接至存儲(chǔ)器芯片701-2,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-3連接至存儲(chǔ)器芯片701-3,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-4連接至存儲(chǔ)器芯片701-4,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-5連接至存儲(chǔ)器芯片701-5,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-6連接至存儲(chǔ)器芯片701-6,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-7連接至存儲(chǔ)器芯片701-7,且數(shù)據(jù)信號(hào)線711-8連接至存儲(chǔ)器芯片701-8。在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中的每者是16位的ddr3的情況下,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1至711-8均是用于發(fā)送/接收16位的數(shù)據(jù)的信號(hào)線,且這種信號(hào)線分別連接至8個(gè)存儲(chǔ)器(8芯片)。通過(guò)數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1至711-8被并聯(lián)地布線的結(jié)構(gòu),圖19所示的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)700能夠同時(shí)地寫入或讀取16*8位(即,128位)的數(shù)據(jù)。在這種結(jié)構(gòu)下,能夠?qū)崿F(xiàn)高速通信。數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1至711-8被設(shè)置作為上述的貫穿電極。在此情況下,設(shè)置有構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1至711-8的一部分并且在被層疊時(shí)成為貫穿層疊時(shí)的一個(gè)貫穿電極的貫穿電極(第一貫穿電極)。另外,設(shè)置有用于與這些貫穿電極連接的貫穿電極(第二貫穿電極)。在下面的說(shuō)明中,除非需要將數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1至711-8彼此區(qū)分開,否則將數(shù)據(jù)信號(hào)線簡(jiǎn)稱為數(shù)據(jù)信號(hào)線711。類似地,除非需要將存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8彼此區(qū)分開,否則將存儲(chǔ)器芯片簡(jiǎn)稱為存儲(chǔ)器芯片701。這同樣適用于其它部分。應(yīng)當(dāng)注意,盡管在圖19中,存儲(chǔ)器芯片701被圖示成方形且用于連接存儲(chǔ)器芯片701與控制芯片702的數(shù)據(jù)信號(hào)線711被布線在將要與控制芯片702連接的存儲(chǔ)器芯片701的外部,但是這種圖示僅是為了說(shuō)明數(shù)據(jù)信號(hào)線711的配線結(jié)構(gòu),且如稍后參考圖20所述,數(shù)據(jù)信號(hào)線711可被接線在存儲(chǔ)器芯片701的區(qū)域內(nèi)部。此外,如稍后參考圖21所述,存儲(chǔ)器芯片701包括將要布置構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711的第一貫穿電極和第二貫穿電極的區(qū)域。另外,盡管在圖19的b和c中示出了控制信號(hào)線721和芯片指派信號(hào)線731的配線結(jié)構(gòu),但是這些線也像數(shù)據(jù)信號(hào)線711一樣可以布置在存儲(chǔ)器芯片的區(qū)域中。此外,盡管圖19的a、圖19的b和圖19的c中分別圖示了存儲(chǔ)器芯片701,但是這些存儲(chǔ)器芯片僅是為了說(shuō)明而分別地圖示,且數(shù)據(jù)信號(hào)線711、控制信號(hào)線721和芯片指派信號(hào)線731布置在相同(相同的層)的存儲(chǔ)器芯片701的預(yù)定區(qū)域中。返回參考圖19的a,例如,貫穿存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的一個(gè)貫穿電極(其對(duì)應(yīng)于第一貫穿電極)被設(shè)置為數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1的沿縱向方向的貫穿電極。另外,第一貫穿電極連接至僅與存儲(chǔ)器芯片701-1連接的電極(第二貫穿電極)。應(yīng)當(dāng)注意,在一條數(shù)據(jù)信號(hào)線711進(jìn)行16位的并行傳輸?shù)那闆r下,通過(guò)設(shè)置16對(duì)第一貫穿電極和第二貫穿電極來(lái)實(shí)現(xiàn)16位的并行傳輸。盡管在附圖中圖示了一條第一貫穿電極和一條第二貫穿電極(包括第一貫穿電極和第二貫穿電極的數(shù)據(jù)信號(hào)線711),但是為執(zhí)行16位的并行傳輸,設(shè)置有16個(gè)電極。例如,在存儲(chǔ)器芯片701-1對(duì)應(yīng)于圖3所示的芯片60的情況下,沿縱向方向設(shè)置并且構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1的第一貫穿電極是與圖3所示的貫穿電極65相對(duì)應(yīng)的貫穿電極。參考圖3,貫穿電極65、貫穿電極76和貫穿電極85沿縱向方向構(gòu)成一個(gè)貫穿電極,且該貫穿電極被設(shè)置為貫穿芯片60、芯片70和芯片70的電極。以此方式,數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1的縱向方向被設(shè)置為貫穿多個(gè)芯片的一個(gè)貫穿電極。另外,僅與貫穿電極65和存儲(chǔ)器芯片701-1連接的電極(第二貫穿電極)對(duì)應(yīng)于圖3中的沿橫向方向的背面配線68、貫穿電極67和表面配線66(特別地,對(duì)應(yīng)于貫穿電極67)。盡管芯片60中的器件69通過(guò)背面配線68、貫穿電極67和表面配線66連接至貫穿電極65,但是這種電極(配線)被設(shè)置為構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1的一部分的配線。將參考圖20對(duì)此做進(jìn)一步說(shuō)明。圖20是用于說(shuō)明數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1至711-8與貫穿電極之間的關(guān)系的示圖,且該示圖示出了層疊有存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的狀態(tài)下的數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1至711-8。在圖20中,附有符號(hào)“a”的部分對(duì)應(yīng)于第一貫穿電極,并且例如對(duì)應(yīng)于圖3所示的貫穿電極61和貫穿電極65。而且,在圖20中,附有符號(hào)“b”的部分對(duì)應(yīng)于背面配線,并且例如對(duì)應(yīng)于圖3所示的背面配線63和背面配線68。而且,在圖20中,附有符號(hào)“c”的部分對(duì)應(yīng)于表面配線,并且例如對(duì)應(yīng)于圖3所示的表面配線62和表面配線66。而且,在圖20中,附有符號(hào)“d”的部分對(duì)應(yīng)于第二貫穿電極,并且例如對(duì)應(yīng)于圖3所示的貫穿電極67和貫穿電極73。在構(gòu)成層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)700的存儲(chǔ)器芯片701-1中形成有貫穿電極701-1a-1至701-1a-8、背面配線701-1b-1至701-1b-8、表面配線701-1c-1至701-1c-8和貫穿電極701-1d。應(yīng)當(dāng)注意,盡管在圖20中沒(méi)有圖示例如與圖3所示的器件64相對(duì)應(yīng)的器件,但是也設(shè)置有與表面配線701-1c連接的器件。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-2中形成有貫穿電極701-2a-1至701-2a-8、背面配線701-2b-1至701-2b-8、表面配線701-2c-1至701-2c-8和貫穿電極701-2d。應(yīng)當(dāng)注意,在圖20中省略了對(duì)一部分符號(hào)的說(shuō)明。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-3中形成有貫穿電極701-3a-1至701-3a-8、背面配線701-3b-1至701-3b-8、表面配線701-3c-1至701-3c-8和貫穿電極701-3d。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-4中形成有貫穿電極701-4a-1至701-4a-8、背面配線701-4b-1至701-4b-8、表面配線701-4c-1至701-4c-8和貫穿電極701-4d。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-5中形成有貫穿電極701-5a-1至701-5a-8、背面配線701-5b-1至701-5b-8、表面配線701-5c-1至701-5c-8和貫穿電極701-5d。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-6中形成有貫穿電極701-6a-1至701-6a-8、背面配線701-6b-1至701-6b-8、表面配線701-6c-1至701-6c-8和貫穿電極701-6d。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-7中形成有貫穿電極701-7a-1至701-7a-8、背面配線701-7b-1至701-7b-8、表面配線701-7c-1至701-7c-8和貫穿電極701-7d。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-8中形成有貫穿電極701-8a-1至701-8a-8、背面配線701-8b-1至701-8b-8、表面配線701-8c-1至701-8c-8和貫穿電極701-8d。存儲(chǔ)器芯片701-1的貫穿電極701-1a-1、存儲(chǔ)器芯片701-2的貫穿電極701-2a-1、存儲(chǔ)器芯片701-3的貫穿電極701-3a-1、存儲(chǔ)器芯片701-4的貫穿電極701-4a-1、存儲(chǔ)器芯片701-5的貫穿電極701-5a-1、存儲(chǔ)器芯片701-6的貫穿電極701-6a-1、存儲(chǔ)器芯片701-7的貫穿電極701-7a-1和存儲(chǔ)器芯片701-8的貫穿電極701-8a-1彼此連接,并且構(gòu)成一個(gè)第一貫穿電極(在下文中,被適當(dāng)?shù)胤Q為第一貫穿電極711-1)。第一貫穿電極711-1是構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1的一部分的電極。數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1連接至存儲(chǔ)器芯片701-1。貫穿電極701-1d形成在存儲(chǔ)器芯片701-1中。貫穿電極701-1d對(duì)應(yīng)于第二貫穿電極。貫穿電極701-1d連接至背面配線701-1b-1和表面配線701-1c-1。背面配線701-1b-1連接至貫穿電極701-1a-1(第一貫穿電極711-1)。因此,存儲(chǔ)器芯片701-1的與表面配線701-1c-1連接的器件(未示出)經(jīng)由表面配線701-1c-1、貫穿電極701-1d和背面配線701-1b-1連接至第一貫穿電極711-1。與第一貫穿電極711-1連接的第二貫穿電極僅是存儲(chǔ)器芯片701-1中的貫穿電極701-1d。換言之,在表面配線701-1c-1至701-1c-8之中,僅表面配線701-1c-1連接至第一貫穿電極711-1。因此,在將數(shù)據(jù)傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線711-1時(shí),包括被提供數(shù)據(jù)的器件的存儲(chǔ)器芯片701是具有與第一貫穿電極711-1連接的表面配線的存儲(chǔ)器芯片701-1,且數(shù)據(jù)不被提供至其它的存儲(chǔ)器芯片701-2至701-8。類似地,貫穿電極701-2d被設(shè)置在存儲(chǔ)器芯片701-2中以作為與第二貫穿電極相對(duì)應(yīng)的貫穿電極。貫穿電極701-2d連接至構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-2的第一貫穿電極711-2(第一貫穿電極711-2中包括的貫穿電極701-2a-2)。因此,在將數(shù)據(jù)傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線711-2時(shí),包括被提供數(shù)據(jù)的器件的存儲(chǔ)器芯片701是具有與第一貫穿電極711-2連接的表面配線的存儲(chǔ)器芯片701-2。類似地,其它數(shù)據(jù)信號(hào)線711-3至711-8由均貫穿多個(gè)芯片的貫穿電極(第一貫穿電極)和用于分別連接第一貫穿電極與存儲(chǔ)器芯片701-2至701-8的電極(第二貫穿電極、表面配線、背面配線)構(gòu)成。由于下述的信號(hào)線也類似地由均貫穿多個(gè)芯片的第一貫穿電極和用于分別與第一貫穿電極連接的第二貫穿電極構(gòu)成,所以將省略對(duì)它們的說(shuō)明。在每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中,貫穿多個(gè)芯片的第一貫穿電極被設(shè)置在8個(gè)位置以作為用于傳輸1位數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)信號(hào)線711,且與第一貫穿電極連接的第二貫穿電極被設(shè)置在一個(gè)位置。在各存儲(chǔ)器芯片701內(nèi),設(shè)置在每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中的第一貫穿電極被設(shè)置在相同的位置,且對(duì)于每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701,第二貫穿電極被設(shè)置在不同的位置。在執(zhí)行16位的并行傳輸?shù)那闆r下,128(16*8)個(gè)第一貫穿電極被設(shè)置用于數(shù)據(jù)信號(hào)線711,且在每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中設(shè)置有16個(gè)第二貫穿電極。在所有存儲(chǔ)器芯片701中,設(shè)置在每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中的128個(gè)第一貫穿電極被設(shè)置在相同的位置,且對(duì)于每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701,16個(gè)第二貫穿電極被設(shè)置在不同的位置。這里,將參考圖21說(shuō)明存儲(chǔ)器芯片701(在圖21中以存儲(chǔ)器芯片701-1為例)和控制芯片702的構(gòu)造。首先對(duì)圖21的右側(cè)所示的存儲(chǔ)器芯片701-1的構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。存儲(chǔ)器芯片701-1由布置有存儲(chǔ)單元陣列的存儲(chǔ)單元陣列區(qū)域705、布置有存儲(chǔ)器芯片701-1中包括的存儲(chǔ)單元陣列的驅(qū)動(dòng)電路和第二貫穿電極的第二貫穿電極布置區(qū)域706以及布置有存儲(chǔ)器芯片701-1的第一貫穿電極的第一貫穿電極布置區(qū)域707構(gòu)成。在第一貫穿電極布置區(qū)域707中,設(shè)置有分別與圖20的貫穿電極701-1a-1相對(duì)應(yīng)的16個(gè)貫穿電極,從而能夠執(zhí)行16位的并行傳輸。換言之,如圖21所示,在第一貫穿電極布置區(qū)域707中形成有16個(gè)第一貫穿電極,即貫穿電極701-1a-1-1至701-1a-1-16。在存儲(chǔ)器芯片701-1中,貫穿電極701-1a-1-1至701-1a-1-16連接至第二貫穿電極,第二貫穿電極也被設(shè)置在16個(gè)位置以能夠執(zhí)行16位的并行傳輸。具體地,如圖21所示,在第二貫穿電極布置區(qū)域706中形成有16個(gè)第二貫穿電極701-1d-1至701-1d-16。在存儲(chǔ)器芯片701-1中,貫穿電極701-1a-1-1至701-1a-1-16分別經(jīng)由背面配線701-1b-1-1至701-1b-1-16連接至貫穿電極701-1d-1至701-1d-16。在存儲(chǔ)器芯片701-1的第一貫穿電極布置區(qū)域707中,還形成有與貫穿電極701-1a-2至701-1a-8相關(guān)的貫穿電極。換言之,在第一貫穿電極布置區(qū)域707中形成有構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-2的一部分的貫穿電極701-1a-2-1至701-1a-2-16。類似地,在第一貫穿電極布置區(qū)域707中形成有構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-3的一部分的貫穿電極701-1a-3-1至701-1a-3-16、構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-4的一部分的貫穿電極701-1a-4-1至701-1a-4-16和構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-5的一部分的貫穿電極701-1a-5-1至701-1a-5-16。此外,在第一貫穿電極布置區(qū)域707中形成有構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-6的一部分的貫穿電極701-1a-6-1至701-1a-6-16、構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-7的一部分的貫穿電極701-1a-7-1至701-1a-7-16和構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711-8的一部分的貫穿電極701-1a-8-1至701-1a-8-16。以此方式,在存儲(chǔ)器芯片701-1的情況下,在存儲(chǔ)器芯片701-1中設(shè)置與第一貫穿電極相對(duì)應(yīng)的貫穿電極701-1a-1至701-1a-8,且每個(gè)貫穿電極701-1a被設(shè)置在16個(gè)位置,以能夠執(zhí)行16位的并行傳輸。因此,第一貫穿電極被單獨(dú)地設(shè)置在128(=8*16)個(gè)位置。被接線在第一貫穿電極布置區(qū)域707中的第一貫穿電極都連接至控制芯片702。參考圖21的左側(cè)示圖,控制芯片702由布置有各種電路(其安裝在控制芯片702上)的控制電路單元703和布置有第一貫穿電極的第一貫穿電極布置區(qū)域704構(gòu)成。在控制芯片702的第一貫穿電極布置區(qū)域704中,第一貫穿電極與布置在存儲(chǔ)器芯片701-1的第一貫穿電極布置區(qū)域707中的第一貫穿電極相同,并且形成在相同的位置。另外,布置在控制芯片702的第一貫穿電極布置區(qū)域704中的每個(gè)第一貫穿電極連接至控制電路單元703。以此方式,第一貫穿電極被布置在控制芯片702中。此外,第一貫穿電極和第二貫穿電極被布置在存儲(chǔ)器芯片701-1中。而且,如同在存儲(chǔ)器芯片701-1中,存儲(chǔ)器芯片701-2至701-8也均由存儲(chǔ)單元陣列區(qū)域705、第二貫穿電極布置區(qū)域706和第一貫穿電極布置區(qū)域707構(gòu)成。盡管沒(méi)有示出,但是例如,在存儲(chǔ)器芯片701-2的第一貫穿電極布置區(qū)域707中,第一貫穿電極被布置在與圖21所示的存儲(chǔ)器芯片701-1的第一貫穿電極布置區(qū)域707中布置的第一貫穿電極相同的位置。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-2的第二貫穿電極布置區(qū)域706中布置有貫穿電極701-2d-1至701-2d-16。布置在第二貫穿電極布置區(qū)域706中的貫穿電極701-2d-1至701-2d-16經(jīng)由背面配線701-2b-1-1至701-2b-1-16連接至布置在第一貫穿電極布置區(qū)域707中的貫穿電極701-2a-1至701-2a-16。以此方式,在存儲(chǔ)器芯片701-1的情況下,在存儲(chǔ)器芯片701-1中設(shè)置與第一貫穿電極相對(duì)應(yīng)的貫穿電極701-1a-1至701-1a-8,且每個(gè)貫穿電極701-1a被設(shè)置在16個(gè)位置,以能夠執(zhí)行16位的并行傳輸。因此,第一貫穿電極被單獨(dú)地設(shè)置在128(=8*16)個(gè)位置。對(duì)于與第二貫穿電極相對(duì)應(yīng)的貫穿電極,在存儲(chǔ)器芯片701-1中僅設(shè)置有貫穿電極701-1d。因此,為了使貫穿電極701-1d能夠執(zhí)行16位的并行傳輸,將該貫穿電極設(shè)置在16個(gè)位置。因此,在存儲(chǔ)器芯片701-1中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線711設(shè)置有128個(gè)第一貫穿電極和16個(gè)第二貫穿電極(即,總共144個(gè)貫穿電極)。而且,在其它存儲(chǔ)器芯片701-2至701-8中,也針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線711設(shè)置有144個(gè)貫穿電極。以此方式,能夠通過(guò)單獨(dú)地形成與構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線711的第一貫穿電極連接的第二貫穿電極的位置來(lái)獲得用于并行地發(fā)送/接收信號(hào)的多層半導(dǎo)體存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)。返回至圖19的b的說(shuō)明,參考圖19的b,地址(address)信號(hào)線、指令(command)信號(hào)線、vdd信號(hào)線和vss信號(hào)線被設(shè)置為由8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8共用的一條信號(hào)線(在下文中,被稱為控制信號(hào)線721)。控制信號(hào)線721是由8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701共用的信號(hào)線(多路復(fù)用的信號(hào)線),且在所有芯片中,貫穿8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701的一條貫穿電極(第一貫穿電極)和將該貫穿電極連接至各個(gè)存儲(chǔ)器芯片701的電極(第二貫穿電極)都形成在相同的位置。換言之,控制信號(hào)線721設(shè)置在兩個(gè)位置(即第一貫穿電極和第二貫穿電極),且在所有存儲(chǔ)器芯片701中,第一貫穿電極和第二貫穿電極都被設(shè)置在相同的位置。注意,像數(shù)據(jù)信號(hào)線711的貫穿電極一樣,用于控制信號(hào)線721的貫穿電極的數(shù)量也根據(jù)將要并行地傳輸?shù)目刂茢?shù)據(jù)的位數(shù)而變化。例如,在并行地傳輸8位數(shù)據(jù)作為控制數(shù)據(jù)的情況下,在一個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中,用于控制信號(hào)線721的貫穿電極針對(duì)第一貫穿電極和第二貫穿電極的各者設(shè)置有8個(gè),即,總共16個(gè)。以此方式,控制信號(hào)線721被設(shè)置為由層疊成8層的存儲(chǔ)器芯片701共用的被8路復(fù)用的信號(hào)線。如圖19的c所示,芯片指派信號(hào)線731被設(shè)定為由存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8共用,芯片指派信號(hào)線731傳輸用于針對(duì)存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8指定寫入/讀取數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器。另外,芯片指派信號(hào)線731是傳輸1位數(shù)據(jù)的信號(hào)線。由于芯片指派信號(hào)線731是傳輸1位數(shù)據(jù)的信號(hào)線,所以在一個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中設(shè)置有一個(gè)第一貫穿電極和一個(gè)第二貫穿電極。例如,在將“1”作為數(shù)據(jù)傳輸至芯片指派信號(hào)線731的情況下,執(zhí)行向存儲(chǔ)器芯片701的寫入或從存儲(chǔ)器芯片701的讀取。在如圖19所示的構(gòu)造的情況下,不是針對(duì)每個(gè)芯片控制存儲(chǔ)器芯片701(芯片)選擇,而是同時(shí)操作8個(gè)芯片。在一條數(shù)據(jù)信號(hào)線711進(jìn)行16位的并行傳輸?shù)那闆r下,能夠通過(guò)同時(shí)操作8個(gè)芯片來(lái)進(jìn)行128(=16*8)位的同時(shí)寫入或讀取。因此,能夠?qū)崿F(xiàn)高速的數(shù)據(jù)寫入和讀取。(第二層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu))第二層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)是通過(guò)層疊多個(gè)存儲(chǔ)器芯片和用于控制所述多個(gè)存儲(chǔ)器芯片的操作的控制芯片而獲得的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)。在第二層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中,用于傳輸將被寫入到存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)或從存儲(chǔ)器讀出的數(shù)據(jù)的信號(hào)線被多路復(fù)用并連接至層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各個(gè)存儲(chǔ)器芯片。用于傳輸如下控制信號(hào)的信號(hào)線被層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各存儲(chǔ)器芯片共用,所述控制信號(hào)用于傳輸控制關(guān)于各存儲(chǔ)器的寫入操作和讀取操作所必需的地址和指令等。用于傳輸如下信號(hào)的信號(hào)線被多路復(fù)用并連接至層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各存儲(chǔ)器芯片,所述信號(hào)用于指派或指定用來(lái)執(zhí)行寫入操作或讀取操作的存儲(chǔ)器。圖22是分別示出了第二層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)750中的配線相對(duì)于存儲(chǔ)器芯片的連接結(jié)構(gòu)的示意圖。圖22是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線被多路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器的構(gòu)造的示圖。圖22的a是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu)的示圖。圖22的a示出了4路復(fù)用(即,與控制芯片702連接的一條信號(hào)線被分支并連接至4個(gè)存儲(chǔ)器芯片)的情況下的數(shù)據(jù)信號(hào)線的配線。存儲(chǔ)器芯片701-1至701-4被多路復(fù)用,且針對(duì)這4個(gè)存儲(chǔ)器芯片701設(shè)置有一條數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1。此外,存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8被多路復(fù)用,且針對(duì)4個(gè)存儲(chǔ)器芯片701接線有一條數(shù)據(jù)信號(hào)線761-2。在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中的每者是16位的ddr3的情況下,數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1和761-2均是用于發(fā)送/接收16位數(shù)據(jù)的信號(hào)線,且這些信號(hào)線被多路復(fù)用并連接至8個(gè)存儲(chǔ)器(8個(gè)芯片)。通過(guò)數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1和761-2中的每者被多路復(fù)用地進(jìn)行布線的結(jié)構(gòu),圖22所示的第二層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)750能夠同時(shí)地寫入或讀取32位的數(shù)據(jù)(其是16位的兩倍)。在這種結(jié)構(gòu)下,能夠?qū)崿F(xiàn)高速通信。16位的數(shù)據(jù)d0至d15例如被傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1,且16位的數(shù)據(jù)d16至d31例如被傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線761-2。具體地,在此情況下,能夠通過(guò)數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1和數(shù)據(jù)信號(hào)線761-2同時(shí)地寫入或讀取32位的數(shù)據(jù)。另外,例如,在32位的數(shù)據(jù)之中,存儲(chǔ)器芯片701-1至701-4可存儲(chǔ)低位的數(shù)據(jù)(datalower),且存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8可存儲(chǔ)高位的數(shù)據(jù)(dataupper)。與圖19的a所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線711類似,數(shù)據(jù)信號(hào)線761均被構(gòu)造成包括貫穿多個(gè)芯片的貫穿電極和用于與該貫穿電極連接的貫穿電極。例如,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-1貫穿電極)作為數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-4中分別設(shè)置有用于與1-1貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-1貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-2貫穿電極)以作為數(shù)據(jù)信號(hào)線761-2的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中分別設(shè)置有用于與1-2貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-2貫穿電極)。應(yīng)當(dāng)注意,在一條數(shù)據(jù)信號(hào)線761進(jìn)行16位的并行傳輸?shù)那闆r下,通過(guò)設(shè)置16個(gè)第一貫穿電極和16個(gè)第二貫穿電極來(lái)實(shí)現(xiàn)16位的并行傳輸。在一個(gè)芯片(在本情況下,即存儲(chǔ)器芯片701-1)中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線761形成有總共3種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極和2-1貫穿電極。而且,與存儲(chǔ)器芯片701-1類似,在存儲(chǔ)器芯片701-2至701-4中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線761形成有總共3種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極和2-1貫穿電極。在執(zhí)行16位的并行傳輸?shù)那闆r下,在存儲(chǔ)器芯片701-1中,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-1貫穿電極,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-2貫穿電極,且16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為2-1貫穿電極。因此,在存儲(chǔ)器芯片701-1中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線761設(shè)置有48(=16+16+16)個(gè)貫穿電極。類似地,而且,在存儲(chǔ)器芯片701-2至701-4中,也針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線761設(shè)置有48(=16+16+16)個(gè)貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-4中的每者中,48個(gè)貫穿電極被設(shè)置的相同位置。因此,在制造時(shí),例如,可通過(guò)使用相同的掩模來(lái)制造4個(gè)存儲(chǔ)器芯片701-1至701-4。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線761形成有總共3種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極和2-2貫穿電極在存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中的每者中,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-1貫穿電極,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-2貫穿電極,且16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為2-2貫穿電極。因此,在存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線761設(shè)置有48(=16+16+16)個(gè)貫穿電極。對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1的一部分的1-1貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中沒(méi)有形成1-1貫穿電極的情況下,針對(duì)存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中的數(shù)據(jù)信號(hào)線761總共形成有兩種類型的貫穿電極,即1-2貫穿電極和2-2貫穿電極。在此情況下,在存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中的每者中,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-2貫穿電極,且16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為2-2貫穿電極,因此,在存儲(chǔ)器芯片701-5至701-8中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線761設(shè)置有32個(gè)貫穿電極。參考圖22的b,地址(address)信號(hào)線、指令(command)信號(hào)線、vdd信號(hào)線和vss信號(hào)線被設(shè)置為一條信號(hào)線,且該信號(hào)線由8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8共用。由于這種構(gòu)造類似于圖19的b所示的情況的構(gòu)造,所以將省略對(duì)它的說(shuō)明。以此方式,控制信號(hào)線721被設(shè)置為由8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701(8個(gè)芯片)共用的被8路復(fù)用的信號(hào)線。在數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1如圖22的a所示地被4路復(fù)用且控制信號(hào)線721如圖22的b所示地被8路復(fù)用的情況下,如圖22的c所示地設(shè)置用來(lái)傳輸用于選擇寫入數(shù)據(jù)或讀取數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線。如圖22的c所示,用來(lái)傳輸用于選擇存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線均被2路復(fù)用,并且相對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8設(shè)置。換言之,示出了如下芯片指派信號(hào)線的配線:其中,與控制芯片702連接的每條芯片指派信號(hào)線被分支以連接至兩個(gè)存儲(chǔ)器芯片。芯片指派信號(hào)線771-1連接至存儲(chǔ)器芯片701-1和701-5,芯片指派信號(hào)線771-2連接至存儲(chǔ)器芯片701-2和701-6,芯片指派信號(hào)線771-3連接至存儲(chǔ)器芯片701-3和701-7,且芯片指派信號(hào)線771-4連接至存儲(chǔ)器芯片701-4和701-8。芯片指派信號(hào)線771均被設(shè)置為由兩個(gè)存儲(chǔ)器芯片701共用的信號(hào)線,均被2路復(fù)用,并且能夠通過(guò)4條芯片指派信號(hào)線771傳輸4位的并行信號(hào)(例如,4位信號(hào)a0-a3)。例如,將被傳輸至與將要執(zhí)行數(shù)據(jù)寫入(讀取)的芯片相對(duì)應(yīng)的芯片指派信號(hào)線771的數(shù)據(jù)設(shè)定為“1”,且將被傳輸至其它芯片指派信號(hào)線的數(shù)據(jù)設(shè)定為“0”。例如,在將被傳輸至芯片指派信號(hào)線771-1的數(shù)據(jù)a0設(shè)定為“1”且將被傳輸至芯片指派信號(hào)線771-2至771-4的數(shù)據(jù)a1至a3設(shè)定為“0”的情況下,低位數(shù)據(jù)d0至d15被寫入至存儲(chǔ)器芯片701-1(或低位數(shù)據(jù)d0至d15被從存儲(chǔ)器芯片701-1中讀出),且高位數(shù)據(jù)d16至d31被寫入至存儲(chǔ)器芯片701-5(或高位數(shù)據(jù)d16至d31被從存儲(chǔ)器芯片701-5中讀出)而且,與圖19的a所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線711類似,芯片指派信號(hào)線771均被構(gòu)造成包括貫穿多個(gè)芯片的貫穿電極和用于與該貫穿電極連接的貫穿電極。例如,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-1貫穿電極)以作為芯片指派信號(hào)線771-1的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-1和701-5中分別設(shè)置有用于與1-1貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-1貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-2貫穿電極)以作為芯片指派信號(hào)線771-2的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-2和701-6中分別設(shè)置有用于與1-2貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-2貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-3貫穿電極)以作為芯片指派信號(hào)線771-3的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-3和701-7中分別設(shè)置有用于與1-3貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-3貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-4貫穿電極)以作為芯片指派信號(hào)線771-4的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-4和701-8中分別設(shè)置有用于與1-4貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-4貫穿電極)。在存儲(chǔ)器芯片701-1和701-5中的每者中,針對(duì)芯片指派信號(hào)線771形成有總共5個(gè)貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-1貫穿電極。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-2和701-6中的每者中,針對(duì)芯片指派信號(hào)線771形成有總共5個(gè)貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-2貫穿電極。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-3和701-7中的每者中,針對(duì)芯片指派信號(hào)線771形成有總共5個(gè)貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-3貫穿電極。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-4和701-8中的每者中,針對(duì)芯片指派信號(hào)線771形成有總共5個(gè)貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-4貫穿電極。由于在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中均形成有1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極和1-4貫穿電極,所以能夠使用相同的掩模等來(lái)形成這些第一貫穿電極。對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-6,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成構(gòu)成芯片指派信號(hào)線771-1的一部分的1-1貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-6中沒(méi)有形成1-1貫穿電極的情況下,還可以在存儲(chǔ)器芯片701-6中形成總共4種類型的貫穿電極,即1-2貫穿電極至1-4貫穿電極以及2-2貫穿電極。另外,對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-7,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成構(gòu)成芯片指派信號(hào)線771-1的一部分的1-1貫穿電極和構(gòu)成芯片指派信號(hào)線771-2的一部分的1-2貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-7中沒(méi)有形成1-1貫穿電極和1-2貫穿電極的情況下,還可以在存儲(chǔ)器芯片701-7中形成總共3種類型的貫穿電極,即1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-3貫穿電極。另外,對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-8,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成分別構(gòu)成芯片指派信號(hào)線771-1至芯片指派信號(hào)線771-3的一部分的1-1貫穿電極至1-3貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-8中沒(méi)有形成1-1貫穿電極至1-3貫穿電極的情況下,還可以在存儲(chǔ)器芯片701-8中形成總共2種類型的貫穿電極,即1-4貫穿電極和2-4貫穿電極。應(yīng)當(dāng)注意,盡管構(gòu)成圖22的c所示的存儲(chǔ)器芯片701-2的芯片指派信號(hào)線771-2的一部分的第一貫穿電極與第二貫穿電極被圖示為跨越了芯片指派信號(hào)線771-1,但是在實(shí)際布線中,這些貫穿電極以避開芯片指派信號(hào)線771-1的方式布置并連接。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-6中設(shè)置有1-1貫穿電極的情況下,上述貫穿電極也以避開芯片指派信號(hào)線771-1的方式布置并連接。類似地,應(yīng)當(dāng)注意,盡管構(gòu)成存儲(chǔ)器芯片701-3的芯片指派信號(hào)線771-3的一部分的第一貫穿電極與第二貫穿電極被圖示為跨越芯片指派信號(hào)線771-1和芯片指派信號(hào)線771-2,但是在實(shí)際配線中,這些貫穿電極以避開芯片指派信號(hào)線771-1和芯片指派信號(hào)線771-2的方式布置并連接。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-7中設(shè)置有1-1貫穿電極的情況下,上述貫穿電極也以避開芯片指派信號(hào)線771-1的方式布置并連接。類似地,應(yīng)當(dāng)注意,盡管構(gòu)成存儲(chǔ)器芯片701-4的芯片指派信號(hào)線771-4的一部分的第一貫穿電極與第二貫穿電極被圖示為跨越芯片指派信號(hào)線771-1至芯片指派信號(hào)線771-3的方式圖示,但是在實(shí)際配線中,這些貫穿電極以避開芯片指派信號(hào)線771-1至芯片指派信號(hào)線771-3的方式布置并連接。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-8中設(shè)置有1-1貫穿電極的情況下,上述貫穿電極也以避開芯片指派信號(hào)線771-1的方式布置并連接。如上所述,盡管數(shù)據(jù)信號(hào)線761具有嚴(yán)格的ac標(biāo)準(zhǔn),但是根據(jù)本發(fā)明,即使當(dāng)層疊存儲(chǔ)器芯片701時(shí),也能夠通過(guò)貫穿電極來(lái)連接存儲(chǔ)器芯片701而無(wú)需在每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中設(shè)置線焊盤,因此,輸入/輸出容量變小,使得即使當(dāng)將數(shù)據(jù)信號(hào)線761被多路復(fù)用時(shí),也可滿足ac標(biāo)準(zhǔn)。在圖22所示的示例中,數(shù)據(jù)信號(hào)線761均被4路復(fù)用,用于傳輸?shù)刂泛椭噶畹目刂菩盘?hào)線721被8路復(fù)用,且用于選擇芯片(存儲(chǔ)器芯片701)的芯片指派信號(hào)線771均被2路復(fù)用。以此方式,數(shù)據(jù)信號(hào)線761、控制信號(hào)線721和芯片指派信號(hào)線771具有不同的多路復(fù)用度,且這些多路復(fù)用度滿足如下關(guān)系:控制信號(hào)線的多路復(fù)用度>數(shù)據(jù)信號(hào)線的多路復(fù)用度>芯片指派信號(hào)線的多路復(fù)用度。通過(guò)將數(shù)據(jù)信號(hào)線761多路復(fù)用,能夠減少數(shù)據(jù)信號(hào)線761的數(shù)量,并且還能夠減少用于設(shè)置數(shù)據(jù)信號(hào)線761的貫穿電極的數(shù)量。因此,能夠減小配線所述的面積,且能夠使層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)750小型化。而且,通過(guò)將數(shù)據(jù)信號(hào)線761多路復(fù)用,能夠使被多路復(fù)用的存儲(chǔ)器芯片701執(zhí)行冗余處理。關(guān)于冗余處理,可以應(yīng)用參考圖6和圖7說(shuō)明的冗余處理。換言之,存儲(chǔ)器芯片701-1至701-4能夠共用冗余區(qū)域。此外,例如,當(dāng)在存儲(chǔ)器芯片701-1中出現(xiàn)缺陷行時(shí),能夠例如使用共用的冗余區(qū)域(即,存儲(chǔ)器芯片701-2的冗余區(qū)域)來(lái)代替存儲(chǔ)器芯片701-1的冗余行。因此,如同在參考圖7說(shuō)明的情況下,能夠使因芯片的層疊而產(chǎn)生的良品率損失最小化,并且實(shí)現(xiàn)芯片成本的下降。(第三層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu))第三層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)是通過(guò)層疊多個(gè)存儲(chǔ)器芯片和用于控制所述多個(gè)存儲(chǔ)器芯片的操作的控制芯片而獲得的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)。在第三層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中,用于傳輸將被寫入到存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)或從存儲(chǔ)器讀出的數(shù)據(jù)的信號(hào)線被多路復(fù)用并連接至層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各個(gè)存儲(chǔ)器芯片。用于傳輸如下控制信號(hào)的信號(hào)線被層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的存儲(chǔ)器芯片共用,所述控制信號(hào)用于傳輸控制針對(duì)存儲(chǔ)器的寫入操作和讀取操作所必需的地址和指令等。用于傳輸如下信號(hào)的信號(hào)線被多路復(fù)用并連接至層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)中包括的各個(gè)存儲(chǔ)器芯片,所述信號(hào)用于指派或指定執(zhí)行寫入操作或讀取操作的存儲(chǔ)器。參考圖23,將對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線被2路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器進(jìn)行說(shuō)明。圖23是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線被2路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器800的構(gòu)造的示圖。圖23的a是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu)的示圖。圖23的a示出了2路復(fù)用(即,與控制芯片702連接的一條信號(hào)線被分支并被連接至2個(gè)存儲(chǔ)器芯片)的情況下的數(shù)據(jù)信號(hào)線的配線。存儲(chǔ)器芯片701-1和701-2被多路復(fù)用,且一條數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1針對(duì)這2個(gè)存儲(chǔ)器芯片701布線。此外,存儲(chǔ)器芯片701-3和701-4被多路復(fù)用,且一條數(shù)據(jù)信號(hào)線811-2針對(duì)這2個(gè)存儲(chǔ)器芯片701布線。另外,存儲(chǔ)器芯片701-5和701-6被多路復(fù)用,且一條數(shù)據(jù)信號(hào)線811-3針對(duì)這2個(gè)存儲(chǔ)器芯片701布線。此外,存儲(chǔ)器芯片701-7和701-8被多路復(fù)用,且一條數(shù)據(jù)信號(hào)線811-4針對(duì)這2個(gè)存儲(chǔ)器芯片701布線。在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中的每者是16位的ddr3的情況下,數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1至811-4均是用于傳輸/接收16位的數(shù)據(jù)的信號(hào)線,且這些信號(hào)線被多路復(fù)用并連接至8個(gè)存儲(chǔ)器(8個(gè)芯片)。通過(guò)數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1至811-4中的每者被多路復(fù)用地布線的結(jié)構(gòu),圖23所示的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)800能夠同時(shí)地寫入或讀取64位的數(shù)據(jù)(其是16位的四倍)。在這種結(jié)構(gòu)下,能夠?qū)崿F(xiàn)高速通信。例如,16位的數(shù)據(jù)d0至d15被傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1,16位的數(shù)據(jù)d16至d31被傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線811-2,16位的數(shù)據(jù)d32至d47被傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線811-3,且16位的數(shù)據(jù)d48至d63被傳輸至數(shù)據(jù)信號(hào)線811-4。具體地,在此情況下,數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1至811-4充當(dāng)用于傳輸數(shù)據(jù)d0至d63的64位數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)信號(hào)線811。另外,例如,在64位的數(shù)據(jù)之中,存儲(chǔ)器芯片701-1和存儲(chǔ)器芯片701-2可存儲(chǔ)低位數(shù)據(jù)(datalower),存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4可存儲(chǔ)中低位數(shù)據(jù)(datamiddlelower),存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6可存儲(chǔ)中高位數(shù)據(jù)(datamiddleupper),且存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8可存儲(chǔ)高位數(shù)據(jù)(dataupper)。與圖19的a所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線711類似,數(shù)據(jù)信號(hào)線811也均被構(gòu)造成包括貫穿多個(gè)芯片的貫穿電極和用于與該貫穿電極連接的貫穿電極。例如,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-1貫穿電極)以作為數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-1和701-2中分別設(shè)置有用于與1-1貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-1貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-2貫穿電極)以作為數(shù)據(jù)信號(hào)線811-2的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-3和701-4中分別設(shè)置有用于與1-2貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-2貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-3貫穿電極)以作為數(shù)據(jù)信號(hào)線811-3的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-5和701-6中分別設(shè)置有用于與1-3貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-3貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-4貫穿電極)以作為數(shù)據(jù)信號(hào)線811-4的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-7和701-8中分別設(shè)置有用于與1-4貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-4貫穿電極)。應(yīng)當(dāng)注意,在一條數(shù)據(jù)信號(hào)線761執(zhí)行16位的并行傳輸?shù)那闆r下,通過(guò)設(shè)置16個(gè)第一貫穿電極和16個(gè)第二貫穿電極來(lái)實(shí)現(xiàn)16位的并行傳輸。在存儲(chǔ)器芯片701-1和存儲(chǔ)器芯片701-2中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811總共形成有5種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-1貫穿電極。在此情況下,在存儲(chǔ)器芯片701-1和存儲(chǔ)器芯片701-2中的每者中,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-1貫穿電極,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-2貫穿電極,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-3貫穿電極,16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為1-4貫穿電極,且16個(gè)貫穿電極被設(shè)置為2-1貫穿電極。因此,在存儲(chǔ)器芯片701-1和存儲(chǔ)器芯片701-2中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811設(shè)置有80(=16+16+16+16+16)個(gè)貫穿電極。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811總共形成有5種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-2貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811設(shè)置有80個(gè)貫穿電極。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811總共形成有5種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-3貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811設(shè)置有80個(gè)貫穿電極。類似地,在存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8的各者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811總共形成有5種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極、1-4貫穿電極和2-4貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811設(shè)置有80個(gè)貫穿電極。由于在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中均形成有1-1貫穿電極、1-2貫穿電極、1-3貫穿電極和1-4貫穿電極,所以能夠使用相同的掩模等來(lái)形成這些第一貫穿電極。對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1的一部分的1-1貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4中沒(méi)有形成1-1貫穿電極的情況下,在存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4中的每者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811總共形成有4種類型的貫穿電極,即1-2貫穿電極至1-4貫穿電極以及2-2貫穿電極。在此情況下,由于在存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4的各者中設(shè)置有16個(gè)1-2貫穿電極、16個(gè)1-3貫穿電極、16個(gè)1-4貫穿電極和16個(gè)2-2貫穿電極,所以在存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4的各者中針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811形成有64個(gè)貫穿電極。在此情況下,在制造時(shí),能夠通過(guò)使用相同的掩模來(lái)形成存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-4。對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成分別構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1和數(shù)據(jù)信號(hào)線811-2的一部分的1-1貫穿電極和1-2貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6中沒(méi)有形成1-1貫穿電極和1-2貫穿電極的情況下,在存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6的各者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811形成有總共3種類型的貫穿電極,即1-3貫穿電極、1-4貫穿電極以及2-3貫穿電極。在此情況下,由于在存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6的各者中設(shè)置有16個(gè)1-3貫穿電極、16個(gè)1-4貫穿電極和16個(gè)2-3貫穿電極,所以在存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6的各者中針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811形成有48個(gè)貫穿電極。在此情況下,在制造時(shí),能夠通過(guò)使用相同的掩模來(lái)形成存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-6。對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成分別構(gòu)成數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1至數(shù)據(jù)信號(hào)線811-3的一部分的1-1貫穿電極至1-3貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8中沒(méi)有形成1-1貫穿電極至1-3貫穿電極的情況下,在存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8的各者中,針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811形成有總共2種類型的貫穿電極,即1-4貫穿電極以及2-4貫穿電極。在此情況下,由于在存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8的各者中設(shè)置有16個(gè)1-4貫穿電極和16個(gè)2-4貫穿電極,所以在存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8的各者中針對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線811形成有32個(gè)貫穿電極。在此情況下,在制造時(shí),能夠通過(guò)使用相同的掩模來(lái)形成存儲(chǔ)器芯片701-7和存儲(chǔ)器芯片701-8。參考圖23的b,地址(address)信號(hào)線、指令(command)信號(hào)線、vdd信號(hào)線和vss信號(hào)線被設(shè)置為一條信號(hào)線,且該信號(hào)線由8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8共用。由于這種構(gòu)造類似于圖19的b所示的情況的構(gòu)造,所以將省略對(duì)它的說(shuō)明。以此方式,控制信號(hào)線721被設(shè)置為被8路復(fù)用的信號(hào)線以被8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701(8個(gè)芯片)共用。在各個(gè)數(shù)據(jù)信號(hào)線711如圖23的a所示地被2路復(fù)用且控制信號(hào)線721如圖23的b所示地被8路復(fù)用的情況下,如圖22的c所示地設(shè)置用來(lái)傳輸用于選擇寫入數(shù)據(jù)或讀取數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線。如圖23的c所示,用于傳輸用于選擇存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線均被4路復(fù)用,并且相對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8設(shè)置。換言之,示出了如下芯片指派信號(hào)線的配線:其中,與控制芯片702連接的每條芯片指派信號(hào)線被分支以與4個(gè)存儲(chǔ)器芯片連接。芯片指派信號(hào)線821-1連接至存儲(chǔ)器芯片701-1、存儲(chǔ)器芯片701-3、存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-7,且芯片指派信號(hào)線821-2連接至存儲(chǔ)器芯片701-2、存儲(chǔ)器芯片701-4、存儲(chǔ)器芯片701-6和存儲(chǔ)器芯片701-8。芯片指派信號(hào)線821均被設(shè)置為由4個(gè)存儲(chǔ)器芯片701共用的信號(hào)線,并且均被4路復(fù)用,并且能夠通過(guò)兩條芯片指派信號(hào)線821來(lái)傳輸2位的并行信號(hào)(例如,2位信號(hào)數(shù)據(jù)a0和a1)。例如,被傳輸至與將要執(zhí)行數(shù)據(jù)寫入(讀取)的芯片相對(duì)應(yīng)的芯片指派信號(hào)線821的數(shù)據(jù)被設(shè)定為“1”,且被傳輸至其它芯片指派信號(hào)線的數(shù)據(jù)被設(shè)定為“0”。例如,在將被傳輸至芯片指派信號(hào)線821-1的數(shù)據(jù)a0設(shè)定為“1”且將被傳輸至芯片指派信號(hào)線821-2的數(shù)據(jù)a1設(shè)定為“0”的情況下,低位數(shù)據(jù)d0至d15被寫入至存儲(chǔ)器芯片701-1(或低位數(shù)據(jù)d0至d15被從存儲(chǔ)器芯片701-1中讀出),中低位數(shù)據(jù)d16至d31被寫入至存儲(chǔ)器芯片701-3(或中低位數(shù)據(jù)d16至d31被從存儲(chǔ)器芯片701-3中讀出),中高位數(shù)據(jù)d32至d47被寫入至存儲(chǔ)器芯片701-5(中高位數(shù)據(jù)d32至d47被從存儲(chǔ)器芯片701-5中讀出),且高位數(shù)據(jù)d48至d63被寫入至存儲(chǔ)器芯片701-7(高位數(shù)據(jù)d48至d63被從存儲(chǔ)器芯片701-7讀出)。而且,與圖19的a所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線711類似,數(shù)據(jù)信號(hào)線821均被構(gòu)造成包括貫穿多個(gè)芯片的貫穿電極和用于與該貫穿電極連接的貫穿電極。例如,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-1貫穿電極)以作為芯片指派信號(hào)線821-1的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-1、存儲(chǔ)器芯片701-3、存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-7中分別設(shè)置有用于與1-1貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-1貫穿電極)。類似地,從存儲(chǔ)器芯片701-1至存儲(chǔ)器芯片701-8設(shè)置有一條貫穿電極(被稱為1-2貫穿電極)以作為芯片指派信號(hào)線821-2的沿縱向方向的貫穿電極。此外,在存儲(chǔ)器芯片701-2、存儲(chǔ)器芯片701-4、存儲(chǔ)器芯片701-6和存儲(chǔ)器芯片701-8中分別設(shè)置有用于與1-2貫穿電極連接的貫穿電極(被稱為2-2貫穿電極)。在存儲(chǔ)器芯片701-1、存儲(chǔ)器芯片701-3、存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-7的各者中,針對(duì)芯片指派信號(hào)線821總共形成有3種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極和2-1貫穿電極。而且,在存儲(chǔ)器芯片701-2、存儲(chǔ)器芯片701-4、存儲(chǔ)器芯片701-6和存儲(chǔ)器芯片701-8的各者中,針對(duì)芯片指派信號(hào)線821總共形成有3種類型的貫穿電極,即1-1貫穿電極、1-2貫穿電極和2-2貫穿電極。由于在存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中均形成有1-1貫穿電極和1-2貫穿電極,所以能夠使用相同的掩模來(lái)形成與芯片指派信號(hào)線821相關(guān)的這些第一貫穿電極。對(duì)于存儲(chǔ)器芯片701-8,還可以采用如下構(gòu)造:在該構(gòu)造中,不形成構(gòu)成芯片指派信號(hào)線821-1的一部分的1-1貫穿電極。在存儲(chǔ)器芯片701-8中沒(méi)有形成1-1貫穿電極的情況下,可以在存儲(chǔ)器芯片701-6中總共形成有2種類型的貫穿電極,即1-2貫穿電極以及2-2貫穿電極。應(yīng)當(dāng)注意,盡管構(gòu)成圖23的c所示的存儲(chǔ)器芯片701-2、存儲(chǔ)器芯片701-4和存儲(chǔ)器芯片701-6的芯片指派信號(hào)線821-2的一部分的第一貫穿電極與第二貫穿電極被圖示為跨越芯片指派信號(hào)線821-1,但是在實(shí)際布線中,這些貫穿電極以避開芯片指派信號(hào)線821-1的方式布置并連接。如上所述,盡管數(shù)據(jù)信號(hào)線811具有嚴(yán)格的ac標(biāo)準(zhǔn),但是根據(jù)本發(fā)明,即使當(dāng)層疊存儲(chǔ)器芯片701時(shí),也能夠通過(guò)貫穿電極來(lái)連接存儲(chǔ)器芯片701而無(wú)需在每個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中設(shè)置線焊盤,因此,輸入/輸出容量變小,使得即使當(dāng)將數(shù)據(jù)信號(hào)線811被多路復(fù)用時(shí),也可滿足ac標(biāo)準(zhǔn)。在圖23所示的示例中,數(shù)據(jù)信號(hào)線811均被2路復(fù)用,用于傳輸?shù)刂泛椭噶畹目刂菩盘?hào)線721被8路復(fù)用,且用于選擇芯片(存儲(chǔ)器芯片701)的芯片指派信號(hào)線821均被4路復(fù)用。以此方式,數(shù)據(jù)信號(hào)線811、控制信號(hào)線721和芯片指派信號(hào)線821具有不同的多路復(fù)用度,且這些多路復(fù)用度滿足如下關(guān)系:控制信號(hào)線的多路復(fù)用度>芯片指派信號(hào)線的多路復(fù)用度>數(shù)據(jù)信號(hào)線的多路復(fù)用度。通過(guò)將數(shù)據(jù)信號(hào)線811多路復(fù)用,能夠減少數(shù)據(jù)信號(hào)線811的數(shù)量,并且還能夠減少用于設(shè)置數(shù)據(jù)信號(hào)線811的貫穿電極的數(shù)量。因此,能夠減小配線所需的面積,且能夠使層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)800小型化。而且,通過(guò)將數(shù)據(jù)信號(hào)線811多路復(fù)用,能夠使被多路復(fù)用的存儲(chǔ)器芯片701執(zhí)行冗余處理。關(guān)于冗余處理,可以應(yīng)用參考圖6和圖7說(shuō)明的冗余處理。換言之,冗余區(qū)域可例如被存儲(chǔ)器芯片701-1和701-2共用。此外,例如,當(dāng)在存儲(chǔ)器芯片701-1中出現(xiàn)缺陷行時(shí),能夠例如使用共用的冗余區(qū)域(即,存儲(chǔ)器芯片701-2的冗余區(qū)域)來(lái)代替存儲(chǔ)器芯片701-1的冗余行。因此,如同在參考圖7說(shuō)明的情況下,能夠使因芯片的層疊而產(chǎn)生的良品率損失最小化,并且實(shí)現(xiàn)芯片成本的下降。(第四層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu))第四層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)與第二層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)相同,但不同之處在于:芯片指派信號(hào)線傳輸解碼后的數(shù)據(jù)。參考圖24,將對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線被4路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器進(jìn)行說(shuō)明。圖24是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線被4路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器850的構(gòu)造的示圖,且圖24所示的層疊存儲(chǔ)器850的構(gòu)造與圖22所示的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)750的構(gòu)造類似,但是不同之處在于:芯片指派信號(hào)線傳輸解碼后的數(shù)據(jù)。圖24的a是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu)的示圖,但是由于該配線結(jié)構(gòu)與圖22的a所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線761的配線結(jié)構(gòu)相同,所以將省略對(duì)它的說(shuō)明。此外,由于圖24的b所示的控制信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu)與圖22的b所示的控制信號(hào)線721的配線結(jié)構(gòu)相同,所以將省略對(duì)它的說(shuō)明。在數(shù)據(jù)信號(hào)線711如圖24的a所示地被4路復(fù)用且控制信號(hào)線721如圖24的b所示地被8路復(fù)用的情況下,如圖24的c所示地設(shè)置用來(lái)傳輸用于選擇執(zhí)行數(shù)據(jù)寫入或數(shù)據(jù)讀取的存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線。如圖24的c所示,用來(lái)傳輸用于選擇存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線被8路復(fù)用,并且被設(shè)置成被存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8共用。換言之,芯片指派信號(hào)線861連接至存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中的各者。芯片指派信號(hào)線861是用于傳輸例如通過(guò)解碼數(shù)據(jù)a0至a3而獲得的2位解碼信號(hào)的信號(hào)線。如上面參考圖4和5所述,寫入用于識(shí)別各芯片(存儲(chǔ)器芯片701)被層疊在哪一層中的數(shù)據(jù)(層疊地址),且將層疊地址傳輸至芯片指派信號(hào)線861。然而,在圖24所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線761均被4路復(fù)用的情況下,如上面參考圖22所述,選擇8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中的兩個(gè),且將高位和低位分別寫入到這兩個(gè)存儲(chǔ)器芯片701,因此,相同的層疊地址被寫入(存儲(chǔ))在作為將被寫入高位和低位的一對(duì)存儲(chǔ)器芯片701的兩個(gè)存儲(chǔ)器芯片701。因此,由于僅需要區(qū)分4對(duì)存儲(chǔ)器芯片701,所以可以使用2位的數(shù)據(jù)作為層疊地址。例如,將“00”作為層疊地址分配至存儲(chǔ)器芯片701-1和存儲(chǔ)器芯片701-5,將“01”作為層疊地址分配至存儲(chǔ)器芯片701-2和存儲(chǔ)器芯片701-6,將“01”作為層疊地址分配至存儲(chǔ)器芯片701-3和存儲(chǔ)器芯片701-7,且將“11”作為層疊地址分配至存儲(chǔ)器芯片701-4和存儲(chǔ)器芯片701-8。以此方式分配層疊地址,并且如上面例如參考圖5所述地通過(guò)熔絲將層疊地址寫入到存儲(chǔ)器芯片701中。另外,在例如將“00”作為層疊地址傳輸至芯片指派信號(hào)線861的情況下,存儲(chǔ)器芯片701-1和存儲(chǔ)器芯片701-5判定它們已經(jīng)被選擇,并且寫入分別由數(shù)據(jù)信號(hào)線761-1和761-2傳輸?shù)男盘?hào)。由于以此方式將解碼后的數(shù)據(jù)(層疊地址)傳輸至芯片指派信號(hào)線861,所以一條信號(hào)線就足夠。因此,能夠減小配線所需的面積,并且能夠使層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)850小型化。應(yīng)當(dāng)注意,由于在此情況下芯片指派信號(hào)線861傳輸2位的數(shù)據(jù),所以芯片指派信號(hào)線861是兩條信號(hào)線,并且由兩個(gè)貫穿電極構(gòu)成。盡管在圖22所示的示例中,設(shè)置有4條芯片指派信號(hào)線771,且因而設(shè)置有4個(gè)貫穿電極,但是由于在圖24所示的示例中,芯片指派信號(hào)線861由兩個(gè)貫穿電極構(gòu)成,所以如上所述,能夠減小配線所需的面積,并且能夠使層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)850小型化。在圖24所示的示例中,數(shù)據(jù)信號(hào)線761均被4路復(fù)用,用于傳輸?shù)刂泛椭噶畹目刂菩盘?hào)線721被8路復(fù)用,且用于選擇芯片(存儲(chǔ)器芯片701)的芯片指派信號(hào)線861被8路復(fù)用。以此方式,數(shù)據(jù)信號(hào)線811、控制信號(hào)線721和芯片指派信號(hào)線821具有不同的多路復(fù)用度,且這些多路復(fù)用度滿足如下關(guān)系:控制信號(hào)線的多路復(fù)用度=芯片指派信號(hào)線的多路復(fù)用度>數(shù)據(jù)信號(hào)線的多路復(fù)用度。通過(guò)將數(shù)據(jù)信號(hào)線761多路復(fù)用,能夠使被多路復(fù)用的存儲(chǔ)器芯片701執(zhí)行冗余處理。對(duì)于冗余處理,可以應(yīng)用參考圖6和圖7說(shuō)明的冗余處理。換言之,冗余區(qū)域可例如被存儲(chǔ)器芯片701-1至701-4共用。此外,例如,當(dāng)在存儲(chǔ)器芯片701-1中出現(xiàn)缺陷行時(shí),能夠例如使用共用的冗余區(qū)域(即,存儲(chǔ)器芯片701-2的冗余區(qū)域)來(lái)代替存儲(chǔ)器芯片701-1的冗余行。因此,如同在參考圖7說(shuō)明的情況下,能夠使因芯片的層疊而產(chǎn)生的良品率損失最小化,并且實(shí)現(xiàn)芯片成本的下降。(第五層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu))雖然第五層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)與第三層疊存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)相同,但是不同之處在于:芯片指派信號(hào)線傳輸解碼后的數(shù)據(jù)。參考圖25,將對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線被2路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器進(jìn)行說(shuō)明。圖25是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線被2路復(fù)用的情況下的層疊存儲(chǔ)器900的構(gòu)造的示圖,且圖25所示的層疊存儲(chǔ)器900的構(gòu)造與圖23所示的層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)800的構(gòu)造類似,但是不同之處在于:芯片指派信號(hào)線傳輸解碼后的數(shù)據(jù)。圖25的a是示出了數(shù)據(jù)信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu)的示圖,但是由于該配線結(jié)構(gòu)與圖23的a所示的數(shù)據(jù)信號(hào)線811的配線結(jié)構(gòu)相同,所以將省略對(duì)它的說(shuō)明。此外,由于圖25的b所示的控制信號(hào)線的配線結(jié)構(gòu)與圖23的b所示的控制信號(hào)線721的配線結(jié)構(gòu)相同,所以將省略對(duì)它的說(shuō)明。在數(shù)據(jù)信號(hào)線811如圖25的a所示地被2路復(fù)用且控制信號(hào)線721如圖25的b所示地被8路復(fù)用的情況下,如圖25的c所示地設(shè)置用來(lái)傳輸用于選擇執(zhí)行數(shù)據(jù)寫入或數(shù)據(jù)讀取的存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線。如圖25的c所示,用來(lái)傳輸用于選擇存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8的選擇信號(hào)的芯片指派信號(hào)線被8路復(fù)用,并且被設(shè)置成被存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8共用。換言之,芯片指派信號(hào)線861連接至存儲(chǔ)器芯片701-1至701-8中的各者。芯片指派信號(hào)線911是用于傳輸1位的解碼信號(hào)的信號(hào)線。如上面參考圖4和5所述,寫入用于識(shí)別各芯片(存儲(chǔ)器芯片701)被層疊在哪一層中的數(shù)據(jù)(層疊地址),且將層疊地址傳輸至芯片指派信號(hào)線911。然而,在圖25所示的各數(shù)據(jù)信號(hào)線811被2路復(fù)用的情況下,如上面參考圖23所述,選擇8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中的4個(gè)并且分別寫入高位、中高位、中低位和低位,因此,相同的層疊地址被寫入(存儲(chǔ))在作為將被寫入高位、中高位、中低位和低位的一組存儲(chǔ)器芯片701的4個(gè)存儲(chǔ)器芯片701中。因此,由于僅需要區(qū)分2組存儲(chǔ)器芯片701,所以可以使用1位的數(shù)據(jù)作為層疊地址。例如,將“0”作為層疊地址分配至存儲(chǔ)器芯片701-1、存儲(chǔ)器芯片701-3、存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-7,且將“1”作為層疊地址分配至存儲(chǔ)器芯片701-2、存儲(chǔ)器芯片701-4、存儲(chǔ)器芯片701-6和存儲(chǔ)器芯片701-8。以此方式分配層疊地址,并且如上面例如參考圖5所述地通過(guò)熔絲將層疊地址寫入到存儲(chǔ)器芯片701中。另外,在例如將“0”作為層疊地址傳輸至芯片指派信號(hào)線911的情況下,存儲(chǔ)器芯片701-1、存儲(chǔ)器芯片701-3、存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-7判定它們已經(jīng)被選擇,并且寫入分別由數(shù)據(jù)信號(hào)線811-1至811-4傳輸?shù)男盘?hào)。由于以此方式將解碼后的數(shù)據(jù)(層疊地址)傳輸至芯片指派信號(hào)線911,所以一條信號(hào)線就足夠。因此,能夠減小配線所需的面積,并且能夠使層疊存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)900小型化。在圖25所示的示例中,數(shù)據(jù)信號(hào)線811均被2路復(fù)用,用于傳輸?shù)刂泛椭噶畹目刂菩盘?hào)線721被8路復(fù)用,且用于選擇芯片(存儲(chǔ)器芯片701)的芯片指派信號(hào)線911被8路復(fù)用。以此方式,數(shù)據(jù)信號(hào)線811、控制信號(hào)線721和芯片指派信號(hào)線911具有不同的多路復(fù)用度,且這些多路復(fù)用度滿足如下關(guān)系:控制信號(hào)線的多路復(fù)用度=芯片指派信號(hào)線的多路復(fù)用度>數(shù)據(jù)信號(hào)線的多路復(fù)用度。通過(guò)將數(shù)據(jù)信號(hào)線811多路復(fù)用,能夠使被多路復(fù)用的存儲(chǔ)器芯片701執(zhí)行冗余處理。對(duì)于冗余處理,可以應(yīng)用參考圖6和圖7說(shuō)明的冗余處理。換言之,冗余區(qū)域可例如被存儲(chǔ)器芯片701-1、存儲(chǔ)器芯片701-3、存儲(chǔ)器芯片701-5和存儲(chǔ)器芯片701-7共用。此外,例如,當(dāng)在存儲(chǔ)器芯片701-1中出現(xiàn)缺陷行時(shí),能夠例如使用共用的冗余區(qū)域(即,存儲(chǔ)器芯片701-3的冗余區(qū)域)來(lái)代替存儲(chǔ)器芯片701-1的冗余行。因此,如同在參考圖7說(shuō)明的情況下,能夠使因芯片的層疊而產(chǎn)生的良品率損失最小化,并且實(shí)現(xiàn)芯片成本的下降。應(yīng)當(dāng)注意,盡管在上面的說(shuō)明中例示了層疊8個(gè)存儲(chǔ)器芯片701的情況下,但是即使是8層之外的層疊,也可以應(yīng)用本發(fā)明,因此,本發(fā)明的應(yīng)用范圍不限于8層。例如,本發(fā)明還可應(yīng)用于10個(gè)存儲(chǔ)器芯片701被層疊并被2路復(fù)用且設(shè)置有5數(shù)據(jù)信號(hào)線的構(gòu)造,或者9個(gè)存儲(chǔ)器芯片701被層疊并被3路復(fù)用且設(shè)置有3數(shù)據(jù)信號(hào)線的構(gòu)造.如上所述,根據(jù)本實(shí)施例,能夠通過(guò)層疊陣列器件部來(lái)應(yīng)對(duì)規(guī)模擴(kuò)展,且通過(guò)分離內(nèi)置邏輯電路的晶片,僅進(jìn)行邏輯電路部的功能變型的產(chǎn)品掩模的支持變得容易。此外,陣列器件部的規(guī)格可被制成可由不同的器件共用的標(biāo)準(zhǔn)化布置。另外,即使當(dāng)層疊的陣列器件的數(shù)量增大/改變時(shí),也能夠共用輸入/輸出引腳、保護(hù)器件和輸入開關(guān)選擇器件等。這些部件可被形成在與陣列器件不同的晶片中,并且經(jīng)由貫穿電極連接至陣列器件。即使沒(méi)有在陣列器件側(cè)布置通用esd保護(hù)電路,但只要連接有作為應(yīng)對(duì)通孔部的加工損傷的對(duì)策的緊湊型保護(hù)二極管,作為器件保護(hù)功能而言就足夠了。通過(guò)采用如上所述的方法形成半導(dǎo)體器件,能夠以相同的掩模組制造對(duì)應(yīng)于各種功能和規(guī)格的器件,并且能夠通過(guò)芯片的小型化來(lái)減小安裝面積。因此,能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低和開發(fā)時(shí)間縮短等。<電子設(shè)備的構(gòu)造>例如,參考圖15說(shuō)明的圖像傳感器600可應(yīng)用于諸如攝像裝置(例如,數(shù)碼相機(jī)和攝像機(jī))、具有攝像功能的移動(dòng)終端裝置(例如,便攜式電話)和在圖像讀取單元中使用攝像裝置的復(fù)印機(jī)等在攝像單元(光電轉(zhuǎn)換單元)中使用攝像器件的普通電子設(shè)備。圖26是示出了根據(jù)本發(fā)明的諸如攝像裝置等電子設(shè)備的構(gòu)造示例的框圖。如圖26所示,根據(jù)本發(fā)明的攝像裝置1000包括包含透鏡組1001等的光學(xué)系統(tǒng)、攝像器件1002、dsp電路1003、幀存儲(chǔ)器1004、顯示裝置1005、記錄裝置1006、操作系統(tǒng)1007和供電系統(tǒng)1008等。dsp電路1003、幀存儲(chǔ)器1004、顯示裝置1005、記錄裝置1006、操作系統(tǒng)1007和供電系統(tǒng)1008經(jīng)由總線1009彼此連接。透鏡組1001攝取來(lái)自被攝體的入射光(圖像光)并將其成像在攝像裝置1002的攝像表面上。攝像裝置1002將通過(guò)透鏡組1001在攝像表面上成像的入射光的光量轉(zhuǎn)換成像素單位中的電信號(hào),并將該信號(hào)作為像素信號(hào)輸出。顯示裝置1005由諸如液晶顯示裝置和有機(jī)電致發(fā)光(electroluminescence,el)顯示裝置等面板型顯示裝置構(gòu)成,并且顯示由攝像器件1002拍攝的運(yùn)動(dòng)圖像或靜態(tài)圖像。記錄裝置1006將由攝像器件1002捕獲的運(yùn)動(dòng)圖像或靜態(tài)圖像記錄在諸如數(shù)字化通用光盤(digitalversatiledisk,dvd)和硬盤驅(qū)動(dòng)器(harddiskdrive,hdd)等記錄介質(zhì)上。操作系統(tǒng)1007基于用戶操作輸出關(guān)于攝像裝置的各種功能的操作指令。供電系統(tǒng)1008將用作dsp電路1003、幀存儲(chǔ)器1004、顯示單元1005、記錄單元1006和操作系統(tǒng)1007的操作電源的各種電源供應(yīng)至供應(yīng)目標(biāo)。具有上述構(gòu)造的攝像裝置可被用作諸如攝像機(jī)、數(shù)碼相機(jī)和用于移動(dòng)裝置(例如,便攜式電話)的數(shù)碼模塊等攝像裝置。此外,在該攝像裝置中,可將上述圖像傳感器用作攝像器件1002。此外,作為圖像傳感器,可以包括上述芯片。<攝像裝置的應(yīng)用示例>圖27是示出了使用上述圖像傳感器600(攝像器件)或包含攝像器件的電子設(shè)備的應(yīng)用示例的示圖。上述的攝像器件可在感測(cè)諸如可見(jiàn)光、紅外光、紫外光和x射線等光的各種情況下用作如下裝置:諸如數(shù)碼相機(jī)和配備有攝像機(jī)的移動(dòng)裝置之類的用于拍攝要觀察的圖像的裝置;諸如用于拍攝汽車的前面、后面、外圍和內(nèi)部的車載傳感器,用于監(jiān)控行駛車輛和道路的監(jiān)控?cái)z像機(jī)以及用于測(cè)量車輛之間的距離的測(cè)距傳感器之類的出于例如安全駕駛(諸如自動(dòng)停車和駕駛員的狀態(tài)識(shí)別等)的目的的交通用裝置;用于諸如電視機(jī)、冰箱和空調(diào)等家電的拍攝用戶的手勢(shì)并根據(jù)這些手勢(shì)執(zhí)行設(shè)備操作的家電用裝置;諸如內(nèi)窺鏡和用于通過(guò)接收紅外光拍攝血管的裝置之類的醫(yī)療保健用裝置;諸如用于預(yù)防犯罪的監(jiān)控?cái)z像機(jī)和用于個(gè)人身份驗(yàn)證的攝像機(jī)之類的安全用裝置;諸如用于拍攝皮膚的皮膚測(cè)量裝置和用于拍攝頭皮的顯微鏡之類的美容護(hù)理用裝置;諸如出于運(yùn)動(dòng)的目的的動(dòng)作攝像機(jī)和穿戴式攝像機(jī)之類的運(yùn)動(dòng)用裝置;以及諸如用于監(jiān)控田地和農(nóng)作物的狀態(tài)的攝像機(jī)之類的農(nóng)業(yè)用裝置。應(yīng)當(dāng)注意,說(shuō)明書中說(shuō)明的效果僅是示例,并且不限于此,且可以獲得其它效果。應(yīng)當(dāng)注意,本發(fā)明的實(shí)施例不限于上述實(shí)施例,并且能夠在不偏離本發(fā)明的主旨的情況下進(jìn)行各種變型。應(yīng)當(dāng)注意,本發(fā)明也可采用以下構(gòu)造。(1)一種半導(dǎo)體裝置,其層疊并集成有多個(gè)半導(dǎo)體裝置,包括:第一貫穿電極,其用于與其它半導(dǎo)體裝置連接;以及第二貫穿電極,其連接所述第一貫穿電極與內(nèi)部器件,對(duì)于每個(gè)層疊的所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極布置在不同的位置。(2)如(1)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,所述第二貫穿電極表示層疊時(shí)的層疊位置。(3)如(1)或(2)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,在層疊之后,通過(guò)使用外部信號(hào)進(jìn)行的寫入來(lái)識(shí)別層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置的沿層疊方向的地址。(4)如(1)至(3)中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,通過(guò)使用所述半導(dǎo)體裝置的熔絲或反熔絲器件與所述第二貫穿電極的組合由外部信號(hào)寫入沿層疊方向的地址。(5)如(1)至(4)中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,所述半導(dǎo)體裝置以晶片狀態(tài)層疊,并且在形成所述第一貫穿電極和所述第二貫穿電極之后被分割成單片。(6)如(1)至(5)中任一項(xiàng)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其中,所述半導(dǎo)體裝置是存儲(chǔ)器,且通過(guò)用于表示層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置的層疊位置的z地址與所述存儲(chǔ)器中使用的xy地址的組合來(lái)確定數(shù)位位置。(7)如(6)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,層疊的多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置共用存儲(chǔ)區(qū)域和冗余區(qū)域。(8)如(1)至(5)中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,所述半導(dǎo)體裝置是fpga(可編程邏輯陣列),且通過(guò)用于指定所述半導(dǎo)體裝置中的位置的xy地址和用于指定各所述半導(dǎo)體裝置間的位置的z地址來(lái)指定用于寫入電路功能的邏輯元件的布置。(9)如(8)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,沿層疊方向的配線陣列經(jīng)由添加有可編程選擇開關(guān)的貫穿電極而被連接,且以所述邏輯元件為單元構(gòu)成沿三維方向的網(wǎng)路連接。(10)如(8)所述的半導(dǎo)體裝置,其還包括:用于控制所述半導(dǎo)體裝置內(nèi)的信號(hào)的流動(dòng)的開關(guān);以及用于控制層疊的所述半導(dǎo)體裝置之間的信號(hào)的流動(dòng)的開關(guān)。(11)如(1)至(10)中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,所述半導(dǎo)體裝置層疊有其中形成有外部連接端子和保護(hù)器件的半導(dǎo)體裝置,層疊的所述半導(dǎo)體裝置通過(guò)所述第一貫穿電極相互連接,且所述外部連接端子和所述保護(hù)器件由層疊的多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置共用。(12)如(1)至(10)中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,層疊有攝像器件,所述半導(dǎo)體裝置是用于存儲(chǔ)由所述攝像器件捕獲的信號(hào)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器,且在所述存儲(chǔ)器下方層疊有對(duì)來(lái)自所述存儲(chǔ)器的信號(hào)進(jìn)行處理的處理單元。(13)一種半導(dǎo)體裝置,其包括:多個(gè)平面狀的可構(gòu)造邏輯陣列,其沿與所述平面正交的正交方向?qū)盈B,每個(gè)所述可構(gòu)造邏輯陣列包括:邏輯元件;單元配線,其在所述平面內(nèi)沿縱向方向和橫向方向布置;和第一開關(guān),其用于使沿所述縱向方向和所述橫向方向布置的所述單元配線連接和斷開;重復(fù)單元,其包括在所述平面內(nèi)沿所述縱向方向和所述橫向方向重復(fù)地布置的所述邏輯元件、所述單元配線和所述第一開關(guān),在所述重復(fù)單元中,所述可構(gòu)造邏輯陣列還包括第二開關(guān),所述第二開關(guān)用于使所述重復(fù)單元中的所述單元配線與沿所述正交方向和所述可構(gòu)造邏輯陣列相鄰的另一可構(gòu)造邏輯陣列中包含的所述重復(fù)單元中的所述單元配線連接和斷開;以及邏輯電路,其經(jīng)由所述第一開關(guān)和所述第二開關(guān)沿由所述平面方向和所述正交方向構(gòu)成的三維方向進(jìn)行構(gòu)造。(14)一種用于制造層疊并集成有多個(gè)半導(dǎo)體裝置的半導(dǎo)體裝置的制造方法,所述方法包括以下步驟:形成用于與其它半導(dǎo)體裝置連接的第一貫穿電極和連接所述第一貫穿電極與內(nèi)部器件的第二貫穿電極,對(duì)于層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極形成在不同的位置。(15)一種電子設(shè)備,其包括:半導(dǎo)體裝置,其層疊并集成有多個(gè)半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置包括:第一貫穿電極,其用于與其它半導(dǎo)體裝置連接;以及第二貫穿電極,其連接所述第一貫穿電極與內(nèi)部器件,對(duì)于層疊的每個(gè)所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極布置在不同的位置。(16)一種半導(dǎo)體裝置,其包括:層疊的多個(gè)半導(dǎo)體裝置;數(shù)據(jù)信號(hào)線,其用于將數(shù)據(jù)傳輸至所述半導(dǎo)體裝置或接收來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的數(shù)據(jù);以及控制信號(hào)線,其用于將地址傳輸至所述半導(dǎo)體裝置或接收來(lái)自所述半導(dǎo)體裝置的地址,所述數(shù)據(jù)信號(hào)線和所述控制信號(hào)線被多路復(fù)用,且所述數(shù)據(jù)信號(hào)線的多路復(fù)用度低于所述控制信號(hào)線的多路復(fù)用度。(17)如(16)所述的半導(dǎo)體裝置,其還包括:芯片指派信號(hào)線,其用來(lái)發(fā)送或接收用于選擇多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置之中的進(jìn)行數(shù)據(jù)發(fā)送或接收的半導(dǎo)體裝置的選擇信號(hào),其中,所述芯片指派信號(hào)線被多路復(fù)用,且所述芯片指派信號(hào)線的多路復(fù)用度等于或低于所述控制信號(hào)線的多路復(fù)用度。(18)如(17)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,多個(gè)所述半導(dǎo)體裝置中的各者存儲(chǔ)被分配的沿層疊方向的地址,且所述芯片指派信號(hào)線用來(lái)發(fā)送或接收解碼后的沿所述層疊方向的地址。(19)如(16)或(17)所述的半導(dǎo)體裝置,其中,所述半導(dǎo)體裝置是存儲(chǔ)器,所述存儲(chǔ)器被層疊成8層,且所述存儲(chǔ)器均被4路復(fù)用,且8層所述存儲(chǔ)器之中的2層所述存儲(chǔ)器被同時(shí)驅(qū)動(dòng)。(20)如(16)至(19)中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其還包括用于所述數(shù)據(jù)信號(hào)線的第一貫穿電極和第二貫穿電極,所述第一貫穿電極用于與其它半導(dǎo)體裝置連接;且所述第二貫穿電極用于與所述第一貫穿電極連接,對(duì)于被提供不同的數(shù)據(jù)的各所述半導(dǎo)體裝置,所述第二貫穿電極布置在不同的位置。附圖標(biāo)記列表10邏輯電路芯片20,30存儲(chǔ)器芯片51-54貫穿電極60芯片61貫穿電極62表面配線63背面配線64器件65貫穿電極66表面配線67貫穿電極68背面配線69器件70芯片71貫穿電極72表面配線73貫穿電極74背面配線75器件76貫穿電極77表面配線78背面配線79器件80芯片81貫穿電極82表面配線83背面配線84器件85貫穿電極86表面配線87背面配線88器件301-304fpga芯片311選擇開關(guān)312clb313z軸方向選擇開關(guān)321選擇開關(guān)322clb323z軸方向選擇開關(guān)324z軸方向選擇開關(guān)700層疊存儲(chǔ)器701存儲(chǔ)器711數(shù)據(jù)信號(hào)線721控制信號(hào)線731芯片指派信號(hào)線當(dāng)前第1頁(yè)12當(dāng)前第1頁(yè)12