本發(fā)明涉及電解電容器的制造方法，詳細(xì)而言，涉及具有低ESR特性的電解電容器的制造方法。
背景技術(shù)：
：隨著電子設(shè)備的數(shù)字化，對其中使用的電容器，也逐漸要求小型且大容量、在高頻區(qū)域中的等效串聯(lián)電阻(ESR)小。作為小型且大容量、低ESR的電容器，有希望的是將聚吡咯、聚噻吩、聚呋喃、聚苯胺等導(dǎo)電性高分子作為陰極材料使用的電解電容器。提出了例如在形成有電介質(zhì)層的陽極箔(陽極體)上設(shè)置導(dǎo)電性高分子層作為陰極材料的電解電容器。專利文獻1提出了一種使具備間隔件的元件含浸導(dǎo)電性高分子的分散體而形成導(dǎo)電性固體層，然后使其含浸電解液，從而制造具備導(dǎo)電性固體層和電解液的電解電容器的方法。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2008-010657號公報技術(shù)實現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的課題但是，近年來要求進一步降低ESR。根據(jù)形成包含導(dǎo)電性高分子的導(dǎo)電性固體層時的條件，有時難以降低ESR。用于解決課題的方案本發(fā)明的一個方面涉及一種電解電容器的制造方法，包含：準(zhǔn)備具備具有電介質(zhì)層的陽極體的電容器元件的第1工序，使前述電容器元件含浸至少包含導(dǎo)電性高分子和第1溶劑的第1處理液的第2工序，和在前述第2工序之后，使前述電容器元件在殘留有前述第1溶劑的至少一部分的狀態(tài)下含浸包含凝聚化劑的第2處理液從而使前述導(dǎo)電性高分子凝聚的第3工序。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可獲得ESR降低的電解電容器。附圖說明圖1是通過本發(fā)明的一個實施方式涉及的制造方法獲得的電解電容器的截面示意圖。圖2是用于說明圖1的電解電容器中的電容器元件的構(gòu)成的概略圖。具體實施方式以下一邊適當(dāng)參照附圖一邊對本發(fā)明的電解電容器的制造方法的實施方式進行說明。但是，以下的實施方式并非對本發(fā)明進行限定?！峨娊怆娙萜鳌穲D1是通過本發(fā)明的一個實施方式涉及的制造方法獲得的電解電容器的截面示意圖。圖2是將該電解電容器所涉及的電容器元件的一部分展開的概略圖。圖1中，電解電容器包含：具備形成有電介質(zhì)層的陽極體21的電容器元件10，和覆蓋電介質(zhì)層的至少一部分表面(或附著于至少一部分表面)的導(dǎo)電性高分子(未圖示)。并且，電容器元件10以電介質(zhì)層的至少一部分表面被導(dǎo)電性高分子覆蓋的狀態(tài)收容于外裝殼體中。外裝殼體具備：將電容器元件10收容于內(nèi)部的有底殼體11，將有底殼體11的開口封閉的絕緣性的密封部件12，和覆蓋密封部件12的座板13。有底殼體11的開口端附近向內(nèi)側(cè)進行了縮頸加工，開口端進行了卷曲加工以緊固密封部件12。例如，圖2所示的電容器元件10被稱為卷繞體。該電容器元件10具備：與極耳15A連接的陽極體21，與極耳15B連接的陰極體22，和間隔件23。陽極體21及陰極體22隔著間隔件23而進行卷繞。電容器元件10的最外周通過止卷帶24而被固定。需要說明的是，圖2示出了將電容器元件10的最外周固定前的、一部分展開的狀態(tài)。陽極體21具備進行了粗面化而表面具有凹凸的金屬箔，在具有凹凸的金屬箔上形成有電介質(zhì)層。電解電容器中，導(dǎo)電性高分子按照覆蓋形成于陽極體21上的電介質(zhì)層的至少部分表面的方式而附著，但并不限于這種情況，也可以附著在陽極體21和陰極體22之間的任意位置。例如，導(dǎo)電性高分子可以覆蓋形成于陽極體21上的電介質(zhì)層的至少部分表面，進而覆蓋陰極體22的至少部分表面和/或間隔件23的至少部分表面。需要說明的是，電解電容器中，有時將通常覆蓋陽極體、陰極體和間隔件等的至少部分表面的導(dǎo)電性高分子(具體而言，包含導(dǎo)電性高分子的覆膜)稱為導(dǎo)電性高分子層。電解電容器也可以進一步包含電解液。此時，電解液與電介質(zhì)層的至少部分表面被導(dǎo)電性高分子覆蓋的電容器元件10一起收容在外裝殼體(具體而言，有底殼體11)內(nèi)?！峨娊怆娙萜鞯闹圃旆椒ā芬韵轮饌€工序地對本發(fā)明的實施方式涉及的電解電容器的制造方法的一例進行說明。(i)準(zhǔn)備電容器元件10的工序(第1工序)(i-1)準(zhǔn)備具有電介質(zhì)層的陽極體21的工序首先，準(zhǔn)備作為陽極體21的原料的金屬箔。金屬的種類沒有特別限定，但從容易形成電介質(zhì)層的觀點出發(fā)，優(yōu)選使用鋁、鉭、鈮等閥作用金屬或包含閥作用金屬的合金。然后，對金屬箔的表面進行粗面化。通過粗面化，在金屬箔的表面形成多個凹凸。粗面化優(yōu)選通過對金屬箔進行蝕刻處理來進行。蝕刻處理可以通過例如直流電解法或交流電解法等來進行。然后，在進行了粗面化的金屬箔的表面形成電介質(zhì)層。電介質(zhì)層的形成方法沒有特別限定，可以通過對金屬箔進行化成處理來形成?；商幚砜梢酝ㄟ^例如將金屬箔浸漬在己二酸銨溶液等化成液中來進行。在化成處理中，根據(jù)需要，可在將金屬箔浸漬于化成液的狀態(tài)下施加電壓。通常，從量產(chǎn)性的觀點出發(fā)，對由大片的閥作用金屬等形成的金屬箔進行粗面化處理和化成處理。這種情況下，通過將處理后的箔裁切為期望的尺寸而準(zhǔn)備陽極體21。(i-2)準(zhǔn)備陰極體22的工序與陽極體同樣地，陰極體22也可以使用金屬箔。金屬的種類沒有特別限定，優(yōu)選使用鋁、鉭、鈮等閥作用金屬或包含閥作用金屬的合金。根據(jù)需要，也可以對金屬箔的表面進行粗面化。另外，陰極體22的表面可以設(shè)置化成皮膜，也可以設(shè)置與構(gòu)成陰極體的金屬不同的金屬(異種金屬)、非金屬的覆膜。作為異種金屬、非金屬，可以列舉例如：鈦之類的金屬、炭之類的非金屬等。(i-3)制作電容器元件10(卷繞體)的工序然后，使用陽極體21和陰極體22制作電容器元件10。電容器元件通過將陽極體21和陰極體22隔著間隔件23重疊而獲得。通過將陽極體21和陰極體22隔著間隔件卷繞，可以形成如圖2所示的卷繞體。此時，通過一邊卷入極耳15A、15B一邊進行卷繞，如圖2所示，可使卷繞體植入豎立有極耳15A、15B。作為間隔件23，可以使用包含例如纖維素、聚對苯二甲酸乙二醇酯、維尼綸、聚酰胺(例如，脂肪族聚酰胺、芳綸等芳香族聚酰胺)的纖維的無紡布等。極耳15A、15B的材料也沒有特別限定，只要是導(dǎo)電性材料即可。極耳15A、15B的表面可以進行化成處理。另外，極耳15A、15B與封口體12接觸的部分以及與引線14A、14B的連接部分可以被樹脂材料覆蓋。與極耳15A、15B分別連接的引線14A、14B的材料也沒有特別限定，可以使用導(dǎo)電性材料等。然后，在陽極體21、陰極體22以及間隔件23中，對位于卷繞體的最外層的構(gòu)件(圖2中，陰極體22)的外側(cè)表面的端部配置止卷帶24，并用止卷帶24進行固定。需要說明的是，在通過將大片金屬箔裁斷而準(zhǔn)備陽極體21時，為了在陽極體21的裁斷面設(shè)置電介質(zhì)層，可以進一步對卷繞體等狀態(tài)的電容器元件進行化成處理。(ii)使電容器元件(卷繞體)10含浸第1處理液的工序(第2工序)然后，使電容器元件10含浸第1處理液。第1處理液向電容器元件10的含浸只要可以至少對陽極體(特別是至少電介質(zhì)層)賦予第1處理液就沒有特別限定，例如，可以在第1處理液中浸漬電容器元件，也可以在電容器元件中注入第1處理液。含浸可以在大氣壓下進行，也可以在減壓下、例如10～100kPa、優(yōu)選40～100kPa的氛圍下進行。含浸根據(jù)需要還可以在超聲波振動下進行。含浸時間取決于電容器元件10的尺寸，為例如1秒～5小時、優(yōu)選為1分鐘～30分鐘。通過該工序，第1處理液被賦予至電容器元件10。作為導(dǎo)電性高分子，可以列舉：聚吡咯、聚噻吩、聚呋喃、聚苯胺、聚乙炔、聚亞苯基、聚苯乙炔、聚并苯、聚噻吩乙炔(日文：ポリチオフエンビニレン)等。這些可以單獨使用，也可以將2種以上組合使用，還可以是2種以上單體的共聚物。需要說明的是，本說明書中，聚吡咯、聚噻吩、聚呋喃、聚苯胺等是指分別以聚吡咯、聚噻吩、聚呋喃、聚苯胺等為基本骨架的高分子。因此，聚吡咯、聚噻吩、聚呋喃、聚苯胺等中還可以包含各自的衍生物。例如，聚噻吩中包含聚(3，4-乙烯二氧噻吩)等。導(dǎo)電性高分子還可以包含摻雜劑。作為摻雜劑，可以使用聚陰離子。作為聚陰離子的具體例，可以列舉聚乙烯基磺酸、聚苯乙烯磺酸、聚烯丙基磺酸、聚丙烯酰基磺酸、聚甲基丙烯?；撬?、聚(2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸)、聚異戊二烯磺酸、聚丙烯酸等陰離子。其中，優(yōu)選來自聚苯乙烯磺酸的聚陰離子。這些可以單獨使用，也可以將2種以上組合使用。另外，這些可以是單一單體的聚合物，也可以是2種以上單體的共聚物。聚陰離子的重均分子量沒有特別限定，為例如1,000～1,000,000。包含這種聚陰離子的導(dǎo)電性高分子容易均勻地分散在包含第1溶劑的液體溶劑中，容易均勻地附著在電介質(zhì)層的表面。第1處理液至少包含導(dǎo)電性高分子和含有第1溶劑的液體溶劑即可。另外，第1處理液可以是在液體溶劑中溶解有導(dǎo)電性高分子的溶液和在液體溶劑中分散有導(dǎo)電性高分子的分散液中的任一種。分散液中，導(dǎo)電性高分子以粒子的狀態(tài)分散在液體溶劑中。作為分散液，可以使用如下獲得的分散液：在液體溶劑中，在摻雜劑存在下，使導(dǎo)電性高分子的原料(例如，導(dǎo)電性高分子的單體和/或低聚物等前體)聚合，生成包含摻雜劑的導(dǎo)電性高分子的粒子，由此而獲得分散液。另外，作為分散液，也可以使用在液體溶劑中使導(dǎo)電性高分子的原料聚合、生成導(dǎo)電性高分子的粒子從而獲得的分散液、或?qū)㈩A(yù)先合成的導(dǎo)電性高分子的粒子分散在液體溶劑中從而獲得的分散液。第1處理液的液體溶劑至少包含第1溶劑即可，也可以包含除第1溶劑以外的溶劑。第1處理液中包含的液體溶劑也可以包含種類不同的多種第1溶劑。第1溶劑例如可以占第1處理液的液體溶劑的30質(zhì)量％以上，優(yōu)選50質(zhì)量％以上，更優(yōu)選70質(zhì)量％以上。第1溶劑沒有特別限定，可以是水，也可以是非水溶劑。需要說明的是，非水溶劑是除了水和包含水的液體以外的液體的統(tǒng)稱，包括有機溶劑、離子性液體。其中，第1溶劑優(yōu)選為極性溶劑。極性溶劑可以是質(zhì)子性溶劑，也可以是非質(zhì)子性溶劑。作為質(zhì)子性溶劑，可以列舉例如：甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇(EG)、丙二醇(PG)、聚乙二醇(PEG)、二乙二醇單丁醚、甘油、1-丙醇、丁醇、聚甘油等醇類、甲醛和水等。作為非質(zhì)子性溶劑，可以列舉例如：N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮等酰胺類，乙酸甲酯等酯類，甲基乙基酮、γ-丁內(nèi)酯(γBL)等酮類，1，4-二噁烷等醚類，二甲亞砜、環(huán)丁砜(SL)等含硫化合物，碳酸丙二醇酯等碳酸酯化合物等。其中，第1溶劑優(yōu)選為質(zhì)子性溶劑。第1溶劑特別優(yōu)選為水。此時，第1處理液的處理性、導(dǎo)電性高分子的分散性提高。另外，水為低粘度，因此可以期待在作為后續(xù)工序的第3工序中，導(dǎo)電性高分子和凝聚化劑的接觸性提高。第1溶劑為水時，水優(yōu)選占第1處理液的液體溶劑的50質(zhì)量％以上，進一步優(yōu)選占70質(zhì)量％以上，特別優(yōu)選占90質(zhì)量％以上。就分散在分散液中的導(dǎo)電性高分子的粒子而言，通過基于動態(tài)光散射法的粒徑測定裝置所測定的體積粒度分布中的中值粒徑(以下，簡稱為基于動態(tài)光散射法的中值粒徑)優(yōu)選為0.01～0.5μm。導(dǎo)電性高分子的粒徑可以通過聚合條件、分散條件等來調(diào)整。第1處理液中的導(dǎo)電性高分子(包括摻雜劑或聚陰離子)濃度優(yōu)選為0.5～10質(zhì)量％。這種濃度的第1處理液適合于附著適量的導(dǎo)電性高分子，并且容易對電容器元件10進行含浸，因此在提高生產(chǎn)率方面也是有利的。在第2工序之后，也可以根據(jù)需要除去第1溶劑等液體溶劑，但重要的是，在電容器元件(特別是陽極體)中殘留有至少部分液體溶劑的狀態(tài)下供于第3工序。在第2工序后除去液體溶劑的情況下，液體溶劑可以通過在加熱下蒸發(fā)而除去，也可以根據(jù)需要在減壓下除去。在第2工序后除去液體溶劑的情況下，期望對除去量進行調(diào)節(jié)以使除去后的液體溶劑的殘留量為后述的范圍。(iii)使導(dǎo)電性高分子凝聚的工序(第3工序)在第3工序中，使被賦予了第1處理液的電容器元件含浸包含凝聚化劑的第2處理液，從而使導(dǎo)電性高分子凝聚。在供于第3工序的電容器元件中，液體溶劑的殘留量優(yōu)選為5質(zhì)量％以上(例如，5～100質(zhì)量％)，更優(yōu)選為20質(zhì)量％以上(例如，20～100質(zhì)量％)或50質(zhì)量％以上(例如，50～100質(zhì)量％)。液體溶劑的殘留量在這樣的范圍時，在第3工序中，凝聚化劑容易滲透到導(dǎo)電性高分子間(具體而言，導(dǎo)電性高分子的粒子間)，因此容易使導(dǎo)電性高分子更均勻地附著在電介質(zhì)層的表面。因此，可以進一步提高ESR值的降低效果。需要說明的是，液體溶劑的殘留量是指：供于第3工序的電容器元件中包含的液體溶劑的質(zhì)量相對于第2工序中含浸于電容器元件的第1處理液中包含的液體溶劑的質(zhì)量的比例(質(zhì)量％)。重要的是，在第3工序中，在電容器元件(特別是陽極體)殘留有至少部分第1溶劑的狀態(tài)下使其含浸第2處理液從而使導(dǎo)電性高分子凝聚。凝聚化劑對導(dǎo)電性高分子的親和性比第1溶劑低，因此變成導(dǎo)電性高分子的粒子容易凝聚的狀態(tài)。通過導(dǎo)電性高分子的粒子發(fā)生凝聚，導(dǎo)電性變高，因此可以降低ESR。在至少殘留有水的狀態(tài)下進行時，特別容易獲得這種效果。因此，優(yōu)選在第1處理液中使用至少包含水作為第1溶劑的液體溶劑。使用包含水作為第1溶劑的液體溶劑時，第1處理液的穩(wěn)定性也變高，因此從這種觀點來看也是有利的。需要說明的是，本說明書中將滿足以下條件的物質(zhì)作為凝聚化劑：在包含導(dǎo)電性高分子的溶液、分散液中，相對于導(dǎo)電性高分子100質(zhì)量份添加1000質(zhì)量份，在室溫下分別測定添加初期的粘度η1和18小時后的粘度η2，η2為η1的1.5倍以上。需要說明的是，粘度可以使用振動式粘度計(例如，(株)SEKONIC制、VISCOMATEVM-100A)來測定。凝聚化劑的沸點優(yōu)選高于第1溶劑的沸點。凝聚化劑的沸點和第1溶劑的沸點之差為例如20～200℃，優(yōu)選為50～150℃。作為凝聚化劑，優(yōu)選使用例如與第1處理液中包含的液體溶劑混合，對導(dǎo)電性高分子的親和性比液體溶劑低的液體。這里，與液體溶劑混合的液體是指可以與液體溶劑混在一起而形成均質(zhì)的狀態(tài)的液體。凝聚化劑優(yōu)選為非質(zhì)子性。作為非質(zhì)子性的凝聚化劑，可以使用例如通常稱為非質(zhì)子性溶劑的各種化合物。其中，優(yōu)選極性化合物、即非質(zhì)子性極性溶劑。作為這樣的凝聚化劑，可以列舉例如：具有氧代基(＝O)作為取代基的環(huán)狀化合物，例如具有羰基(＞C＝O)作為環(huán)的構(gòu)成單元的環(huán)狀化合物(例如，內(nèi)酯、環(huán)酮、環(huán)狀碳酸酯、以及內(nèi)酰胺等)、具有磺酰基(＞S(＝O)2)作為環(huán)的構(gòu)成單元的環(huán)狀化合物(即，環(huán)狀砜)等。構(gòu)成環(huán)狀化合物的環(huán)優(yōu)選為例如4～8元環(huán)，進一步優(yōu)選為4～6元環(huán)。環(huán)狀化合物可以在環(huán)上具有取代基[甲基等烷基(C1-4烷基等)等]。凝聚化劑可以單獨使用一種或?qū)煞N以上組合使用。作為內(nèi)酯，可以列舉例如：γ-丁內(nèi)酯、γ-戊內(nèi)酯、δ-戊內(nèi)酯等。作為環(huán)酮，可以列舉例如：環(huán)己酮等飽和環(huán)酮，環(huán)己酮、異佛爾酮等不飽和環(huán)酮等。作為環(huán)狀碳酸酯，可以列舉例如：碳酸乙烯酯、碳酸丙二醇酯等飽和環(huán)狀碳酸酯，碳酸亞乙烯酯等不飽和環(huán)狀碳酸酯等。作為內(nèi)酰胺，可以列舉例如：γ-丁內(nèi)酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、δ-戊內(nèi)酰胺、ε-己內(nèi)酰胺等。作為環(huán)狀砜，可以列舉例如：磺酸內(nèi)酯、亞烷基砜等。作為磺酸內(nèi)酯，可以列舉：1，3-丙磺酸內(nèi)酯、1，4-丁磺酸內(nèi)酯、1，5-戊磺酸內(nèi)酯、2，5-戊磺酸內(nèi)酯等。作為亞烷基砜，可以列舉例如：環(huán)丁砜、3-甲基環(huán)丁砜等。相對于電容器元件含浸的導(dǎo)電性高分子的質(zhì)量，電容器元件含浸的凝聚化劑的質(zhì)量優(yōu)選為2～100倍，進一步優(yōu)選為3～80倍。質(zhì)量比在這樣的范圍時，容易獲得使導(dǎo)電性高分子凝聚化的效果，因此使附著于電介質(zhì)層的表面等的導(dǎo)電性高分子更致密的效果進一步提高。因此，容易獲得降低ESR的效果。第2處理液可以根據(jù)需要進一步包含溶劑和/或添加劑等。第2處理液中的凝聚化劑的量過少時，有時難以獲得由凝聚化劑帶來的凝聚效果。優(yōu)選第2處理液整體上具有凝聚化作用。因此，優(yōu)選第2處理液中的凝聚化劑的比例為例如50～100質(zhì)量％，優(yōu)選為70～100質(zhì)量％或85～100質(zhì)量％。作為第2處理液所含的除凝聚化劑以外的溶劑，可以列舉：作為第1處理液的第1溶劑所例示的非水溶劑，以及甘油、聚甘油等具有3個以上羥基的多元醇(脂肪族多元醇等)，二乙二醇單丁醚等亞烷基二醇(或聚亞烷基二醇)的單烷基醚，二甲亞砜等鏈狀砜等。這些可以單獨使用一種或使用兩種以上組合作為第2處理液中所含的溶劑。作為第2處理液中所含的溶劑，優(yōu)選醇類、多元醇類等質(zhì)子性有機溶劑，其中優(yōu)選聚乙二醇。(iv)除去溶劑成分的工序(第4工序)在第3工序之后，可以將電容器元件中殘留的溶劑成分通過第4工序除去。第4工序中，可以除去溶劑成分中的至少一部分，也可以將溶劑成分全部除去。通過在第4工序中除去溶劑成分，導(dǎo)電性高分子進一步凝聚，可以使膜質(zhì)更致密。需要說明的是，這里所說的溶劑成分是指：第1處理液中包含的液體溶劑、第2處理液中包含的凝聚化劑以及這些以外的溶劑。第4工序中，溶劑成分可以通過在加熱下蒸發(fā)而除去，且既可以在大氣壓下除去，根據(jù)需要也可以在減壓下除去。除去溶劑成分時的溫度可以是例如40～250℃。除去溶劑成分時的溫度可以是第1溶劑的沸點以上，可以是低于凝聚化劑的沸點。溶劑成分的除去可以通過例如溫度不同的多個階段(例如，2個階段或3個階段以上)來進行，也可以邊升溫邊進行。由此，導(dǎo)電性高分子附著在陽極體21和陰極體22之間(特別是電介質(zhì)層的表面)，制作附著有導(dǎo)電性高分子的電容器元件10。需要說明的是，附著在電介質(zhì)層的表面的導(dǎo)電性高分子作為事實上的陰極材料發(fā)揮作用。導(dǎo)電性高分子優(yōu)選按照覆蓋電介質(zhì)層的至少部分表面的方式而附著。此時，不僅電介質(zhì)層的表面，陰極體22和/或間隔件23的表面也可以附著有導(dǎo)電性高分子。另外，根據(jù)需要，可以將選自以下工序中的至少1個工序重復(fù)進行2次以上：使具備具有電介質(zhì)層的陽極體21的電容器元件10含浸第1處理液的第2工序(ii)、第2工序后的液體溶劑的除去工序(任選工序)、使導(dǎo)電性高分子凝聚的第3工序(iii)、以及除去溶劑成分的第4工序(iv)(任選工序)。也可以將從這些工序中選擇的工序作為系列工序并重復(fù)進行2次以上。例如，可以將第2工序重復(fù)多次后進行其他工序，也可以將第2工序、根據(jù)需要進行的液體溶劑除去工序和第3工序作為系列工序并重復(fù)多次。從容易提高導(dǎo)電性高分子對電介質(zhì)層的覆蓋率的觀點出發(fā)，至少將第1工序重復(fù)多次是有利的。也可以從第3工序或第4工序中獲得的電容器元件10除去全部的溶劑成分。另外，第3工序或第4工序中獲得的電容器元件10也可以是殘留有溶劑成分的狀態(tài)。在殘留有溶劑成分的狀態(tài)時，可以提高電介質(zhì)層的修復(fù)功能，進一步提高ESR降低效果。另外，殘留的溶劑成分存在于導(dǎo)電性高分子的粒子間，因此在第5工序中使電容器元件含浸電解液時，電解液容易滲透到導(dǎo)電性高分子的粒子間。因此，還容易獲得由電解液帶來的電介質(zhì)層修復(fù)功能。(v)使電容器元件10(卷繞體)含浸電解液工序(第5工序)第5工序中，可以在第3工序之后進一步使電容器元件10含浸電解液。第5工序只要在第3工序之后就沒有特別限制，可以接著第3工序而進行，也可以在第3工序之后進行其它工序(例如，第4工序)，然后進行第5工序。第5工序并非是必須的，但通過含浸電解液，可以提高電介質(zhì)層的修復(fù)功能，進一步提高ESR降低效果。作為電解液，可以使用非水溶劑，也可以使用包含非水溶劑以及溶解在非水溶劑中的離子性物質(zhì)(溶質(zhì))的溶液。作為非水溶劑，可以使用有機溶劑，也可以使用離子性液體。作為非水溶劑，期望為高沸點的非水溶劑，作為高沸點的非水溶劑，可以使用離子性液體、和/或高沸點的有機溶劑。非水溶劑的沸點例如高于100℃，優(yōu)選為150℃以上，進一步優(yōu)選為200℃以上。作為有機溶劑，可以列舉例如：作為第1處理液的第1溶劑而例示的有機溶劑、作為凝聚化劑而例示的具有氧代基作為取代基的環(huán)狀化合物、以及作為第2處理液而例示的溶劑等。非水溶劑可以單獨使用一種或?qū)煞N以上組合使用。非水溶劑中，優(yōu)選EG、PG等亞烷基二醇，PEG、甘油類(甘油、聚甘油等)、內(nèi)酯、環(huán)狀砜、甲醛、醚類、酰胺類、酯類、以及酮類等。其中，優(yōu)選聚乙二醇、和/或甘油類等。作為溶質(zhì)，使用陰離子和陽離子的鹽，優(yōu)選陰離子和陽離子中的至少一者為有機物的有機鹽。作為有機鹽，可以例示馬來酸三甲胺、硼二水楊酸三乙胺、鄰苯二甲酸乙基二甲基胺、鄰苯二甲酸單1，2，3，4-四甲基咪唑啉、鄰苯二甲酸單1，3-二甲基-2-乙基咪唑啉等。溶質(zhì)可以單獨使用一種或?qū)煞N以上組合使用。電解液向電容器元件10中的含浸沒有特別限制，可以通過公知的方法進行。例如，可以在電解液中浸漬電容器元件，也可以在收容有電容器元件10的容器內(nèi)注入電解液。電解液向電容器元件10中的含浸根據(jù)需要也可以在減壓下(例如，10～100kPa)進行。(vi)對電容器元件10(卷繞體)進行密封的工序然后，對電容器元件10進行密封。具體而言，首先，按照使引線14A、14B位于有底殼體11開口的上表面的方式將電容器元件10收納到有底殼體11中。作為有底殼體11的材料，可以使用鋁、不銹鋼、銅、鐵、黃銅等金屬或它們的合金。然后，將按照引線14A、14B貫穿的方式形成的密封部件12，配置在電容器元件10的上方，并將電容器元件10密封在有底殼體11內(nèi)。密封部件12只要是絕緣性物質(zhì)即可。作為絕緣線物質(zhì)，優(yōu)選彈性體，其中，優(yōu)選耐熱性高的硅橡膠、氟橡膠、乙丙橡膠、海帕倫橡膠、丁基橡膠、異戊二烯橡膠等。然后，對有底殼體11的開口端附近實施橫縮頸加工，并將開口端緊固到密封部件12并進行卷曲加工。然后，在卷曲部分配置座板13，從而完成圖1所示的電解電容器。其后，可以一邊施加額定電壓一邊進行老化處理。上述實施方式中，對卷繞型的電解電容器進行了說明，但本發(fā)明的適用范圍不受上述限定，也可以適用于其它電解電容器，例如使用金屬燒結(jié)體作為陽極體的芯片型電解電容器、使用金屬板作為陽極體的層疊型電解電容器。實施例以下，基于實施例及比較例更具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受以下的實施例限定?！秾嵤├?》按照下述步驟制作圖1所示的額定電壓35V、額定靜電容量47μF的卷繞型的電解電容器(直徑6.3mm、長度5.8mm)并進行評價。(1)電解電容器的制造(具有電介質(zhì)層的陽極體的準(zhǔn)備)對厚度100μm的鋁箔進行蝕刻處理，并對鋁箔的表面進行粗面化。其后，在鋁箔的表面，通過使用己二酸銨水溶液的化成處理形成電介質(zhì)層，準(zhǔn)備具有電介質(zhì)層的陽極體。(陰極體的準(zhǔn)備)對厚度50μm的鋁箔進行蝕刻處理，并對鋁箔的表面進行粗面化，準(zhǔn)備陰極體。(電容器元件(卷繞體)的制作)在陽極體和陰極體上連接陽極極耳和陰極極耳，將陽極體和陰極體一邊卷入極耳一邊隔著間隔件進行卷繞，獲得電容器元件。在從電容器元件突出的各極耳的端部，分別連接陽極引線和陰極引線。然后，對所制作的電容器元件再次進行化成處理，并在陽極體被切斷的端部形成電介質(zhì)層。然后，將電容器元件的外側(cè)表面的端部用止卷帶固定。(第1處理液的含浸)制備將3，4-乙烯二氧噻吩和作為摻雜劑的聚苯乙烯磺酸溶解于離子交換水(第1溶劑)的混合溶液。一邊攪拌所獲得的混合溶液，一邊添加溶解在離子交換水中的氧化劑(硫酸鐵和過硫酸鈉)，進行聚合反應(yīng)。反應(yīng)后，對獲得的反應(yīng)液進行透析，從而除去未反應(yīng)單體和過量的氧化劑，獲得包含含有約5質(zhì)量％的摻雜有聚苯乙烯磺酸的聚乙烯二氧噻吩的分散液的第1處理液。然后，使前述電容器元件含浸所獲得的第1處理液5分鐘。(第2處理液的含浸)然后，使電容器元件含浸第2處理液。作為第2處理液中所含的凝聚化劑，使用γ-丁內(nèi)酯。需要說明的是，在含浸于第2處理液中之前的階段，電容器元件中的溶劑成分(第1溶劑(水))的殘留量為約100質(zhì)量％。電容器元件含浸的凝聚化劑的質(zhì)量為電容器元件含浸的導(dǎo)電性高分子的質(zhì)量的5倍。然后，將電容器元件在150℃下加熱20分鐘從而除去溶劑成分。由此制作了附著有導(dǎo)電性高分子的電容器元件。(電解液的含浸)然后，使電容器元件在減壓下含浸電解液。作為電解液，使用按照PEG∶γBL∶SL∶鄰苯二甲酸單(乙基二甲基胺)(溶質(zhì))＝25∶25∶25∶25(質(zhì)量比)的比例混合的溶液。(電容器元件的密封)將含浸有電解液的電容器元件收容于如圖1所示的外裝殼體中并密封，制作電解電容器。同樣地制作總計300個電解電容器。(2)性能評價作為電解電容器的初期特性，測定靜電容量(μF)。具體而言，對電解電容器，用4端子測定用的LCR計測定頻率120Hz時的初期靜電容量(μF)。另外，作為電解電容器的初期特性，測定ESR值(mΩ)。具體而言，對電解電容器，用4端子測定用的LCR計測定頻率100kHz時的ESR值(mΩ)。初期靜電容量和ESR值分別對隨機選擇的120個電解電容器進行測定并算出平均值?！侗容^例1》使電容器元件含浸第1處理液后，不進行第2處理液的含浸，在150℃下加熱30分鐘，從而除去溶劑成分，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價?！侗容^例2》使電容器元件含浸第1處理液后，在150℃下加熱30分鐘，從而將溶劑成分完全除去(電容器元件的溶劑成分的殘留量：0質(zhì)量％)，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價?！侗容^例3》使用聚乙二醇代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價?！秾嵤├?》使用環(huán)丁砜代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價?！秾嵤├?》使用1-甲基-2-吡咯烷酮代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價?！秾嵤├?》使用二乙二醇二甲醚代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價?！秾嵤├?》使用1-丁醇代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價。《實施例6》使用以75：25的質(zhì)量比包含γ-丁內(nèi)酯(凝聚化劑)和聚乙二醇的混合液代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價。電容器元件含浸的凝聚化劑的質(zhì)量為電容器元件含浸的導(dǎo)電性高分子的質(zhì)量的3.75倍?！秾嵤├?》使用以50∶50的質(zhì)量比包含γ-丁內(nèi)酯(凝聚化劑)和聚乙二醇的混合液代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價。電容器元件含浸的凝聚化劑的質(zhì)量為電容器元件含浸的導(dǎo)電性高分子的質(zhì)量的2.5倍?！秾嵤├?》使用以25∶75的質(zhì)量比包含γ-丁內(nèi)酯(凝聚化劑)和聚乙二醇的混合液代替作為第2處理液的γ-丁內(nèi)酯，除此以外，與實施例1同樣地制作電解電容器并進行性能評價。電容器元件含浸的凝聚化劑的質(zhì)量為電容器元件含浸的導(dǎo)電性高分子的質(zhì)量的1.25倍。將實施例和比較例的結(jié)果示于表1。表1中一并示出第2處理液的構(gòu)成成分。需要說明的是，本實施例使用的包含摻雜有聚苯乙烯磺酸的聚乙烯二氧噻吩的分散液中，相對于導(dǎo)電性高分子100質(zhì)量份添加γ-丁內(nèi)酯1000質(zhì)量份并在室溫下分別測定添加初期的粘度η1和18小時后的粘度η2，結(jié)果η2為η1的1.5倍以上。另外，關(guān)于環(huán)丁砜、1-甲基-2-吡咯烷酮、二乙二醇二甲醚、以及丁醇，各自的η2也為η1的1.5倍以上。另一方面，同樣測定的結(jié)果，聚乙二醇的η2小于η1的1.5倍。[表1]第2處理液靜電容量/μFESR/mΩ實施例1γ-丁內(nèi)酯41.223.2實施例2環(huán)丁砜41.824.3實施例31-甲基-2-吡咯烷酮41.025.2實施例4二乙二醇二甲醚41.525.5實施例5正丁醇41.325.1比較例1一27.564.3比較例2γ-丁內(nèi)酯29.855.4比較例3聚乙二醇41.567.2實施例6γ-丁內(nèi)酯(75)+聚乙二醇(25)41.624.2實施例7γ-丁內(nèi)酯(50)+聚乙二醇(50)41.425.8實施例8γ-丁內(nèi)酯(25)+聚乙二醇(75)41.635.2如表1所示，實施例1中，ESR值低，獲得較大靜電容量。與此相對，不使電容器元件含浸第2處理液時，ESR變得非常高，靜電容量也變小(比較例1)。另外，使電容器元件含浸第2處理液時未殘留第1溶劑的情況下，即使含浸第2處理液也幾乎得不到ESR降低效果，且靜電容量與比較例1相比也基本沒有變化(比較例2)。使用聚乙二醇來代替凝聚化劑的比較例3中，靜電容量雖然提高，但ESR變得比比較例1更大。在使用其他凝聚化劑代替γ-丁內(nèi)酯的實施例2～5中，也與實施例1同樣地，ESR值低，靜電容量變大。另外，使用除了γ-丁內(nèi)酯以外還包含聚乙二醇的第2處理液時，ESR也降低，也獲得較大靜電容量。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明可用于使用導(dǎo)電性高分子作為陰極材料的電解電容器。符號說明10：電容器元件、11：有底殼體、12：密封部件、13：座板、14A，14B：引線、15A，15B：極耳、21：陽極體、22：陰極體、23：間隔件、24：止卷帶。當(dāng)前第1頁1 2 3