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半導(dǎo)體制作工藝、平面場效晶體管及鰭狀場效晶體管的制作方法

文檔序號:12129292閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體制作工藝,包含有:

提供一基底,包含一主動區(qū);

進(jìn)行一第一蝕刻制作工藝,圖案化該主動區(qū)的該基底,以形成一鰭狀結(jié)構(gòu)的一頂部;

覆蓋一掩模于該基底的一保留區(qū);

進(jìn)行一第二蝕刻制作工藝,蝕刻該基底以加深該鰭狀結(jié)構(gòu)的該頂部,但保留該保留區(qū),因而形成該鰭狀結(jié)構(gòu),具有一延伸部突出自該鰭狀結(jié)構(gòu);

移除該掩模;以及

形成一柵極跨設(shè)該鰭狀結(jié)構(gòu),其中該柵極直接于該延伸部上。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制作工藝,其中該頂部的一高度為該鰭狀結(jié)構(gòu)的一高度的一半。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制作工藝,在移除該掩模之后,還包含:

全面覆蓋一絕緣材料;以及

平坦化該絕緣材料至暴露出鰭狀結(jié)構(gòu),再蝕刻該絕緣材料至暴露出該延伸部,因而形成一絕緣結(jié)構(gòu)于該鰭狀結(jié)構(gòu)以及該延伸部側(cè)邊,其中該絕緣結(jié)構(gòu)的一頂面與該延伸部的一頂面齊平。

4.一種平面場效晶體管,包含有:

基底,包含主動區(qū),其中該主動區(qū)包含框架區(qū)、貫穿區(qū)穿過該框架區(qū);以及

柵極,跨設(shè)該主動區(qū),其中該柵極直接設(shè)置于該貫穿區(qū)上,且位于該柵極至少一側(cè)邊的該框架區(qū)構(gòu)成一源/漏極,并環(huán)繞一孤立絕緣島。

5.如權(quán)利要求4所述的平面場效晶體管,還包含:

至少一延伸區(qū),自該貫穿區(qū)延伸且突出自該框架區(qū)。

6.如權(quán)利要求5所述的平面場效晶體管,其中單一的該延伸區(qū)自該貫穿區(qū)的一端延伸且突出自該框架區(qū)。

7.如權(quán)利要求5所述的平面場效晶體管,其中二該延伸區(qū)自該貫穿區(qū)的相對兩端延伸且突出自該框架區(qū)。

8.如權(quán)利要求5所述的平面場效晶體管,其中該框架區(qū)、該貫穿區(qū)以及該延伸區(qū)位于同一平面。

9.如權(quán)利要求5所述的平面場效晶體管,其中該貫穿區(qū)以及該延伸區(qū)的長度大于該柵極的一長度。

10.如權(quán)利要求5所述的平面場效晶體管,其中該延伸區(qū)的一寬度等于該柵極的一長度。

11.如權(quán)利要求5所述的平面場效晶體管,其中全部的該柵極直接設(shè)置于該貫穿區(qū)以及該延伸區(qū)上且不接觸該孤立絕緣島。

12.一種鰭狀場效晶體管,包含有:

基底,包含主動區(qū),其中該主動區(qū)包含鰭狀結(jié)構(gòu),具有至少一延伸部突出自該鰭狀結(jié)構(gòu);以及

柵極跨設(shè)該鰭狀結(jié)構(gòu),其中該柵極直接設(shè)置于該延伸部上。

13.如權(quán)利要求12所述的鰭狀場效晶體管,其中該鰭狀場效晶體管包含二該鰭狀結(jié)構(gòu),且該二鰭狀結(jié)構(gòu)的該二延伸部合并為一體。

14.如權(quán)利要求12所述的鰭狀場效晶體管,其中該柵極側(cè)邊的該鰭狀結(jié)構(gòu)構(gòu)成一源/漏極。

15.如權(quán)利要求12所述的鰭狀場效晶體管,其中該延伸部的高度小于該鰭狀結(jié)構(gòu)的高度。

16.如權(quán)利要求12所述的鰭狀場效晶體管,其中該延伸部的長度大于該柵極的長度。

17.如權(quán)利要求16所述的鰭狀場效晶體管,其中該延伸部的該長度為該柵極的該長度的兩倍。

18.如權(quán)利要求12所述的鰭狀場效晶體管,其中該延伸部的寬度等于該柵極的長度。

19.如權(quán)利要求12所述的鰭狀場效晶體管,還包含:

絕緣結(jié)構(gòu)設(shè)置于具有該延伸部的該鰭狀結(jié)構(gòu)的側(cè)邊,其中該絕緣結(jié)構(gòu)的頂面與該延伸部的頂面齊平。

20.如權(quán)利要求19所述的鰭狀場效晶體管,其中全部的該柵極直接設(shè)置于該延伸部上且不接觸該絕緣結(jié)構(gòu)。

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