本發(fā)明涉及一種具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線的左右臂的襯底搬送機(jī)器人及其運(yùn)轉(zhuǎn)方法。

背景技術(shù)：

以往，作為用以搬送半導(dǎo)體晶片等襯底的襯底搬送機(jī)器人，已知具備左右臂的襯底搬送機(jī)器人。襯底搬送機(jī)器人的各臂具有：第1連桿部件，能夠繞回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；第2連桿部件，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于第1連桿部件的前端部；及襯底保持部件(手部)，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于第2連桿部件的前端部。

為了簡(jiǎn)化機(jī)器人構(gòu)造等，在具備左右臂的襯底搬送機(jī)器人中，有將左右臂的回轉(zhuǎn)軸線共用化的襯底搬送機(jī)器人(專利文獻(xiàn)1)。在該類型的襯底搬送機(jī)器人中，以同樣長(zhǎng)度構(gòu)成第1連桿部件與第2連桿部件，并將左右的襯底保持部件配置于不同高度。

另一方面，在襯底搬送機(jī)器人中將左右臂的回轉(zhuǎn)軸線共用化，并將左右襯底保持部件配置于相同高度的情況下，如果將第1連桿部件與第2連桿部件設(shè)定為相同長(zhǎng)度，則在使臂從該等的伸長(zhǎng)狀態(tài)向收縮狀態(tài)變化時(shí)，有左右臂的第2連桿部件彼此干涉，或第2連桿部件與回轉(zhuǎn)軸干涉的問(wèn)題。

為了解決此種第2連桿部件彼此干涉，或第2連桿部件與回轉(zhuǎn)軸干涉的問(wèn)題，考慮將第2連桿部件的長(zhǎng)度設(shè)定為短于第1連桿部件的長(zhǎng)度。

此外，在將第1連桿部件與第2連桿部件設(shè)定為相同長(zhǎng)度的情況下，通過(guò)將第1連桿部件繞回轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)速度，與第2連桿部件繞第1連桿部件前端部的第1旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)速度設(shè)定為1:2，能夠使第2連桿部件前端部的移動(dòng)軌跡為直線狀。

而且，通過(guò)將第2連桿部件繞第1旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)速度、與第2連桿部件前端部的襯底保持部件繞第2旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)速度設(shè)定為2:1，能夠?qū)⒈凵炜s動(dòng)作中的襯底保持部件的姿勢(shì)維持為固定，使襯底保持部件的移動(dòng)軌跡為直線狀。

[先前技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開平5-109866號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

[發(fā)明所要解決的問(wèn)題]

另一方面，在為了解決左右臂的第2連桿部件彼此干涉的問(wèn)題，或第2連桿部件與回轉(zhuǎn)軸干涉的問(wèn)題，而將第2連桿部件的長(zhǎng)度設(shè)定為短于第1連桿部件的長(zhǎng)度的情況下，存在臂伸縮動(dòng)作時(shí)的第2連桿部件前端部的移動(dòng)軌跡成為較大地偏離直線的曲線狀的問(wèn)題。伴隨此，難以將襯底保持部件的姿勢(shì)維持為固定，襯底保持部件的移動(dòng)軌跡成為較大地偏離直線的曲線狀。

在無(wú)法充分確保襯底保持部件的移動(dòng)軌跡的直線性的情況下，難以將襯底保持部件位置對(duì)準(zhǔn)于目標(biāo)位置。尤其，在第1連桿部件、第2連桿部件、及襯底保持部件以通過(guò)包含滑輪及皮帶的動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)連動(dòng)的方式構(gòu)成的情況下，難以在前后方向(X方向)及左右方向(Y方向)上以充分高的自由度調(diào)整襯底保持部件的位置。

本發(fā)明是鑒于所述以往技術(shù)的問(wèn)題而完成者，其目的在于，在具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線的左右臂，且具有配置于相同高度的左右襯底保持部件的襯底搬送機(jī)器人中，使臂伸縮動(dòng)作時(shí)的襯底搬送部件的移動(dòng)軌跡為大致直線狀。

此外，本發(fā)明的目的在于，在具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線的左右臂，且具有配置于相同高度的左右襯底保持部件的襯底搬送機(jī)器人中，能夠在前后方向(X方向)及左右方向(Y方向)上以充分高的自由度調(diào)整襯底保持部件的位置。

[解決問(wèn)題的技術(shù)手段]

為了解決所述問(wèn)題，本發(fā)明第1態(tài)樣的襯底搬送機(jī)器人的特征在于具備：左右臂，具有共用的回轉(zhuǎn)軸線；臂驅(qū)動(dòng)器件，用以驅(qū)動(dòng)所述左右臂；及控制器件，用以控制所述臂驅(qū)動(dòng)器件；所述左右臂各者具有：第1連桿部件，在基端部具有所述回轉(zhuǎn)軸線，在前端部具有第1旋轉(zhuǎn)軸線；第2連桿部件，在基端部具有所述第1旋轉(zhuǎn)軸線，在前端部具有第2旋轉(zhuǎn)軸線；及襯底保持部件，能夠保持襯底地構(gòu)成，且能夠繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；所述左右臂的所述襯底保持部件彼此配置于互為相同的高度，所述第2旋轉(zhuǎn)軸線較所述第1旋轉(zhuǎn)軸線位于更靠左右方向內(nèi)側(cè)；所述臂驅(qū)動(dòng)器件具有：第1驅(qū)動(dòng)部，用以使所述第1連桿部件繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；回轉(zhuǎn)滑輪，能夠從所述第1連桿部件獨(dú)立而繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；第1滑輪，能夠與所述第2連桿部件一體地繞所述第1旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；皮帶，連結(jié)所述回轉(zhuǎn)滑輪與所述第1滑輪；第2滑輪，位置對(duì)準(zhǔn)于所述第1旋轉(zhuǎn)軸線而配置，且固定于所述第1連桿部件；第3滑輪，能夠與所述襯底保持部件一體地繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；及皮帶，連結(jié)所述第2滑輪與所述第3滑輪；以在將所述回轉(zhuǎn)滑輪固定的狀態(tài)下通過(guò)所述第1驅(qū)動(dòng)部使所述第1連桿部件繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)而使所述臂伸縮時(shí)的所述襯底保持部件的移動(dòng)軌跡成為大致直線狀的方式，設(shè)定所述回轉(zhuǎn)滑輪、所述第1滑輪、所述第2滑輪、及所述第3滑輪間的滑輪比。

本發(fā)明第2態(tài)樣是根據(jù)第1態(tài)樣，其特征在于：所述滑輪比以所述臂的實(shí)際適用行程范圍內(nèi)的所述襯底保持部件的所述移動(dòng)軌跡成為大致直線狀的方式設(shè)定。

本發(fā)明第3態(tài)樣是根據(jù)第2態(tài)樣，其特征在于：滑輪比以所述臂的所述實(shí)際適用行程范圍中的前方區(qū)域的行程范圍的所述襯底保持部件的所述移動(dòng)軌跡成為大致直線狀的方式設(shè)定。

本發(fā)明第4態(tài)樣是根據(jù)第1至第3中任一態(tài)樣，其特征在于：所述控制器件具有以下功能，即，通過(guò)使所述回轉(zhuǎn)滑輪旋轉(zhuǎn)，而使所述第2連桿部件繞所述第1旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，并且使所述襯底保持部件繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)整所述襯底保持部件的位置。

為了解決所述問(wèn)題，本發(fā)明第5態(tài)樣的襯底搬送機(jī)器人的特征在于具備：左右臂，具有共用的回轉(zhuǎn)軸線；臂驅(qū)動(dòng)器件，用以驅(qū)動(dòng)所述左右臂；及控制器件，用以控制所述臂驅(qū)動(dòng)器件；所述左右臂各者具有：第1連桿部件，在基端部具有所述回轉(zhuǎn)軸線，在前端部具有第1旋轉(zhuǎn)軸線；第2連桿部件，在基端部具有所述第1旋轉(zhuǎn)軸線，在前端部具有第2旋轉(zhuǎn)軸線；及襯底保持部件，能夠保持襯底地構(gòu)成，且能夠繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；所述左右臂的所述襯底保持部件彼此配置于互為相同的高度，所述第2旋轉(zhuǎn)軸線較所述第1旋轉(zhuǎn)軸線位于更靠左右方向內(nèi)側(cè)；所述臂驅(qū)動(dòng)器件具有：第1驅(qū)動(dòng)部，用以使所述第1連桿部件繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；回轉(zhuǎn)滑輪，能夠從所述第1連桿部件獨(dú)立而繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；第1滑輪，能夠與所述第2連桿部件一體地繞所述第1旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；皮帶，連結(jié)所述回轉(zhuǎn)滑輪與所述第1滑輪；第2滑輪，位置對(duì)準(zhǔn)于所述第1旋轉(zhuǎn)軸線而配置，且固定于所述第1連桿部件；第3滑輪，能夠與所述襯底保持部件一體地繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；及皮帶，連結(jié)所述第2滑輪與所述第3滑輪；所述控制裝置具有以下功能：通過(guò)使所述回轉(zhuǎn)滑輪旋轉(zhuǎn)而使所述第2連桿部件繞所述第1軸線旋轉(zhuǎn)，并且使所述襯底保持部件繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)整所述襯底保持部件的位置。

本發(fā)明第6態(tài)樣是根據(jù)第1至第5中任一態(tài)樣，其特征在于具備上下兩組所述左右臂。

本發(fā)明第7態(tài)樣是根據(jù)第6態(tài)樣，其特征在于：上級(jí)的所述左右臂中的任一臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪、與下級(jí)的所述左右臂中的任一臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪以相互一體地旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)。

本發(fā)明第8態(tài)樣是根據(jù)第7態(tài)樣，其特征在于：上級(jí)左側(cè)的所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪與下級(jí)右側(cè)的所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪連結(jié)，并且上級(jí)右側(cè)的所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪與下級(jí)左側(cè)的所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪連結(jié)。

本發(fā)明第9態(tài)樣是根據(jù)第1至第8中任一態(tài)樣，其特征在于：在使所述左右臂的狀態(tài)從使所述臂繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)時(shí)的回轉(zhuǎn)半徑為最大的臂伸長(zhǎng)狀態(tài)向所述回轉(zhuǎn)半徑為最小的臂收縮狀態(tài)變化時(shí)，所述第2旋轉(zhuǎn)軸線越過(guò)所述回轉(zhuǎn)軸線的位置而從前側(cè)向后側(cè)移動(dòng)。

本發(fā)明第10態(tài)樣是根據(jù)第1至第9中任一態(tài)樣，其特征在于：所述臂驅(qū)動(dòng)器件以能夠獨(dú)立驅(qū)動(dòng)所述左右臂各者的方式構(gòu)成。

本發(fā)明第11態(tài)樣是根據(jù)第1至第10中任一態(tài)樣，其特征在于：所述控制器件具有以下功能，即，在所述臂的伸縮動(dòng)作中，使所述回轉(zhuǎn)滑輪及所述第1連桿部件同時(shí)或以不同的時(shí)序旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明第12態(tài)樣是根據(jù)第1至第11中任一態(tài)樣，其特征在于進(jìn)而具有用以使所述臂沿著所述回轉(zhuǎn)軸線升降的升降驅(qū)動(dòng)器件。

本發(fā)明第13態(tài)樣是根據(jù)第1至第12中任一態(tài)樣，其特征在于：所述皮帶是鋼帶。

為了解決所述問(wèn)題，本發(fā)明第14態(tài)樣是一種具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線的左右臂、與用以驅(qū)動(dòng)所述左右臂的臂驅(qū)動(dòng)器件的襯底搬送機(jī)器人的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于：所述左右臂各者包含：第1連桿部件，在基端部具有所述回轉(zhuǎn)軸線，在前端部具有第1旋轉(zhuǎn)軸線；第2連桿部件，在基端部具有所述第1旋轉(zhuǎn)軸線，在前端部具有第2旋轉(zhuǎn)軸線；襯底保持部件，能夠保持襯底地構(gòu)成，且能夠繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；所述左右臂的所述襯底保持部件彼此配置于互為相同的高度，所述第2旋轉(zhuǎn)軸線較所述第1旋轉(zhuǎn)軸線位于更靠左右方向內(nèi)側(cè)；所述臂驅(qū)動(dòng)器件包含：第1驅(qū)動(dòng)部，用以使所述第1連桿部件繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；回轉(zhuǎn)滑輪，能夠從所述第1連桿部件獨(dú)立而繞所述回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；第1滑輪，能夠與所述第2連桿部件一體地繞所述第1旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；皮帶，連結(jié)所述回轉(zhuǎn)滑輪與所述第1滑輪；第2滑輪，位置對(duì)準(zhǔn)于所述第1旋轉(zhuǎn)軸線而配置，并且固定于所述第1連桿部件；第3滑輪，能夠與所述襯底保持部件一體地繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)；及皮帶，連結(jié)所述第2滑輪與所述第3滑輪；通過(guò)使所述回轉(zhuǎn)滑輪旋轉(zhuǎn)而使所述第2連桿部件繞所述第1軸線旋轉(zhuǎn)，并且使所述襯底保持部件繞所述第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)整所述襯底保持部件的位置。

本發(fā)明第15態(tài)樣是根據(jù)第14態(tài)樣，其特征在于：所述襯底搬送機(jī)器人具備上下兩組所述左右臂，并且將上級(jí)的所述左右臂中的任一臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪、與下級(jí)的所述左右臂中的任一臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪以相互一體地旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)。

本發(fā)明第16態(tài)樣是根據(jù)第15態(tài)樣，其特征在于：連結(jié)上級(jí)左側(cè)所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪與下級(jí)右側(cè)所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪，并且連結(jié)上級(jí)右側(cè)所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪與下級(jí)左側(cè)所述臂的所述回轉(zhuǎn)滑輪。

本發(fā)明第17態(tài)樣是根據(jù)第14至第16中任一態(tài)樣，其特征在于：獨(dú)立驅(qū)動(dòng)所述左右臂各者。

本發(fā)明第18態(tài)樣是根據(jù)第14至第17中任一態(tài)樣，其特征在于：在所述臂的伸縮動(dòng)作中，使所述回轉(zhuǎn)滑輪及所述第1連桿部件同時(shí)或以不同的時(shí)序旋轉(zhuǎn)。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明，在具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線的左右臂、且具有配置于相同高度的左右襯底保持部件的襯底搬送機(jī)器人中，能夠使臂伸縮動(dòng)作時(shí)的襯底搬送部件的移動(dòng)軌跡成為大致直線狀。

根據(jù)本發(fā)明，在具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線的左右臂、且具有配置于相同高度的左右襯底保持部件的襯底搬送機(jī)器人中，能夠在前后方向(X方向)及左右方向(Y方向)上以充分高的自由度調(diào)整襯底保持部件的位置。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人的概略構(gòu)成的俯視圖。

圖2是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的概略構(gòu)成的另一俯視圖。

圖3是表示圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的概略構(gòu)成的后視圖。

圖4是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的臂驅(qū)動(dòng)器件的縱剖視圖。

圖5是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的臂驅(qū)動(dòng)器件的另一縱剖視圖。

圖6是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的臂驅(qū)動(dòng)器件的側(cè)視圖。

圖7是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的臂伸縮動(dòng)作的俯視圖。

圖8是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的滑輪比的最佳化方法的圖。

圖9是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的滑輪比的最佳化方法的另一圖。

圖10是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的滑輪比的最佳化方法的另一圖。

圖11是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的另一運(yùn)轉(zhuǎn)方法的俯視圖。

圖12是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的襯底保持部件的位置調(diào)整動(dòng)作的俯視圖。

圖13是用以說(shuō)明圖1所示的襯底搬送機(jī)器人的襯底保持部件的位置調(diào)整動(dòng)作的另一俯視圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明一實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人及其運(yùn)轉(zhuǎn)方法進(jìn)行說(shuō)明。

如圖1至圖4所示，本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1包含：上級(jí)的左右臂2La、2Ra，具有共用的回轉(zhuǎn)軸線L0；及下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb，具有共用的回轉(zhuǎn)軸線L0。上級(jí)的左右臂2La、2Ra的共用回轉(zhuǎn)軸線L0與下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb的共用回轉(zhuǎn)軸線L0一致。

在圖1中，上級(jí)的左右臂2La、2Ra處于臂收縮狀態(tài)，下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb處于臂伸長(zhǎng)狀態(tài)。此處，臂收縮狀態(tài)為使臂繞回轉(zhuǎn)軸線L0旋轉(zhuǎn)時(shí)的回轉(zhuǎn)半徑為最小的狀態(tài)，臂伸長(zhǎng)狀態(tài)為使臂繞回轉(zhuǎn)軸線L0旋轉(zhuǎn)時(shí)的回轉(zhuǎn)半徑為最大的狀態(tài)。

上級(jí)的左右臂2La、2Ra與下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb在臂收縮狀態(tài)下從上下方向觀察相互重合，兩者具有共用的最小回轉(zhuǎn)半徑。此外，上級(jí)的左右臂2La、2Ra與下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb即便在臂伸長(zhǎng)狀態(tài)下從上下方向觀察也相互重合，兩者具有共用的最大伸臂范圍。

如圖1所示，上級(jí)的左右臂2La、2Ra各自包含中空的第1連桿部件3a、中空的第2連桿部件4a及襯底保持部件(手部)5a。

第1連桿部件3a在基端部具有回轉(zhuǎn)軸線A0，在前端部具有第1旋轉(zhuǎn)軸線A1a，能夠繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)。第2連桿部件4a在基端部具有第1旋轉(zhuǎn)軸線A1a，在前端部具有第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a，能夠繞第1旋轉(zhuǎn)軸線A1a旋轉(zhuǎn)。第2連桿部件4a前端部的第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a較第1連桿部件3a前端部的第1旋轉(zhuǎn)軸線A1a位于更靠左右方向內(nèi)側(cè)。

同樣地，下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb各者具備中空的第1連桿部件3b、中空的第2連桿部件4b、及襯底保持部件(手部)5b。

第1連桿部件3b在基端部具有回轉(zhuǎn)軸線A0，在前端部具有第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b，能夠繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)。第2連桿部件4b在基端部具有第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b，在前端部具有第2旋轉(zhuǎn)軸線A2b，能夠繞第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b旋轉(zhuǎn)。第2連桿部件4b前端部的第2旋轉(zhuǎn)軸線A2b，較第1連桿部件3b前端部的第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b位于更靠左右方向內(nèi)側(cè)。

襯底保持部件5a、5b能夠保持半導(dǎo)體晶片等襯底S地構(gòu)成，在基端部具有第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a、A2b，能夠繞第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a、A2b旋轉(zhuǎn)。

如圖3及圖4所示，構(gòu)成上級(jí)的右臂2Ra的各部件從上依序?yàn)橹锌盏牡?連桿部件3a、中空的第2連桿部件4a、及襯底保持部件(手部)5a。上級(jí)的左臂2La也為相同的構(gòu)成。

此外，構(gòu)成下級(jí)的右臂2Rb的各部件從下依序?yàn)橹锌盏牡?連桿部件3b、中空的第2連桿部件4b、及襯底保持部件(手部)5b。下級(jí)的左臂2Lb也為相同的構(gòu)成。

如圖4所示，在下級(jí)的右臂2Rb的第1連桿部件3b的基端部下表面，固定有用以使第1連桿部件3b繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)的臂驅(qū)動(dòng)軸(第1驅(qū)動(dòng)部)6Rb的上端。在第1連桿部件3b的基端部?jī)?nèi)部，設(shè)置有能夠從第1連桿部件3b獨(dú)立而繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)滑輪7Rb。在回轉(zhuǎn)滑輪7Rb的中央下表面，固定有用以使回轉(zhuǎn)滑輪7Rb繞回轉(zhuǎn)軸A0旋轉(zhuǎn)的滑輪驅(qū)動(dòng)軸8B的上端。

在筒狀的臂驅(qū)動(dòng)軸6Rb的內(nèi)部插通有筒狀的滑輪驅(qū)動(dòng)軸8B，臂驅(qū)動(dòng)軸6Rb與滑輪驅(qū)動(dòng)軸8B以回轉(zhuǎn)軸線A0為中心同心狀地配置。

在第1連桿部件3b的前端部?jī)?nèi)部，設(shè)置有能夠從第1連桿部件3b獨(dú)立而繞第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b旋轉(zhuǎn)的第1滑輪9Rb。第1滑輪9Rb的上表面經(jīng)由連結(jié)軸連結(jié)于第2連桿部件4b的基端部下表面。第1滑輪9Rb與第2連桿部件4b一體地繞第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b旋轉(zhuǎn)。

回轉(zhuǎn)滑輪7Rb與第1滑輪9Rb通過(guò)第1皮帶10Rb連結(jié)，兩滑輪7Rb、9Rb經(jīng)由第1皮帶10Rb連動(dòng)旋轉(zhuǎn)。第1皮帶10Rb優(yōu)選為鋼帶。通過(guò)使用鋼帶而抑制產(chǎn)生微粒，此外，能夠抑制產(chǎn)生逸出氣體，故適合于在半導(dǎo)體制造裝置的處理室等清潔度較高的環(huán)境或真空區(qū)域的使用。

另外，在本發(fā)明的襯底搬送機(jī)器人中能夠使用的皮帶并非僅限于鋼帶，還能夠使用例如橡膠制的正時(shí)皮帶。

在第2連桿部件4b的基端部?jī)?nèi)部，設(shè)置有能夠從第2連桿部件4b獨(dú)立而繞第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b旋轉(zhuǎn)的第2滑輪11Rb。第2滑輪11Rb的下表面經(jīng)由連結(jié)軸固定于第1連桿部件3b。第2滑輪11Rb的連結(jié)軸插通于第1滑輪9Rb的筒狀連結(jié)軸的內(nèi)部，第1滑輪9Rb與第2滑輪11Rb以第1旋轉(zhuǎn)軸線A1b為中心同心狀地配置。

在第2連桿部件4b的前端部?jī)?nèi)部，設(shè)置有能夠從第2連桿部件4b獨(dú)立而繞第2旋轉(zhuǎn)軸線A2b旋轉(zhuǎn)的第3滑輪12Rb。第3滑輪12Rb的上表面經(jīng)由連結(jié)軸連結(jié)于襯底保持部件5b的基端部下表面。第3滑輪12Rb與襯底保持部件5b繞第2旋轉(zhuǎn)軸線A2b一體旋轉(zhuǎn)。

第2滑輪11Rb與第3滑輪12Rb通過(guò)第2皮帶13Rb連結(jié)，兩滑輪11Rb、12Rb經(jīng)由第2皮帶13Rb連動(dòng)旋轉(zhuǎn)。第2皮帶13Rb優(yōu)選為鋼帶。如上所述，通過(guò)使用鋼帶，能夠抑制產(chǎn)生微粒。

所述臂驅(qū)動(dòng)軸6Rb、滑輪驅(qū)動(dòng)軸8B、回轉(zhuǎn)滑輪7Rb、第1滑輪9Rb、第2滑輪11Rb、第3滑輪12Rb、第1皮帶10Rb、及第2皮帶13Rb構(gòu)成下級(jí)的右臂2Rb的臂驅(qū)動(dòng)器件。

以上，對(duì)下級(jí)的右臂2Rb及其臂驅(qū)動(dòng)器件的構(gòu)成進(jìn)行了說(shuō)明，如圖4所示，上級(jí)的右臂2Ra及其臂驅(qū)動(dòng)器件的構(gòu)成基本上為如下構(gòu)成，即，對(duì)于除臂驅(qū)動(dòng)軸及滑輪驅(qū)動(dòng)軸以外的部分，使下級(jí)的右臂2Rb及其臂驅(qū)動(dòng)器件的構(gòu)成上下反轉(zhuǎn)。

上級(jí)的右臂2Ra及其驅(qū)動(dòng)器件作為內(nèi)部構(gòu)造，與所述下級(jí)的右臂2Rb同樣具備回轉(zhuǎn)滑輪7Ra、第1滑輪9Ra、第1皮帶10Ra、第2滑輪11Ra、第3滑輪12Ra、及第2皮帶13Ra。

此外，下級(jí)的左臂2Lb及其臂驅(qū)動(dòng)器件的構(gòu)成基本上為如下構(gòu)成，即，使下級(jí)的右臂2Rb及其臂驅(qū)動(dòng)器件的構(gòu)成左右反轉(zhuǎn)。此外，上級(jí)的左臂2La及其臂驅(qū)動(dòng)器件的構(gòu)成為基本上使上級(jí)的右臂2Ra的構(gòu)成左右反轉(zhuǎn)的構(gòu)成。

如圖3所示，下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb的襯底保持部件5b彼此配置于互為相同的高度，此外，上級(jí)的左右臂2La、2Ra的襯底保持部件5a彼此配置于互為相同的高度。

上級(jí)的左右臂2La、2Ra的各臂驅(qū)動(dòng)器件以能夠獨(dú)立驅(qū)動(dòng)左右臂2La、2Ra各者的方式構(gòu)成。同樣地，下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb的各臂驅(qū)動(dòng)器件以能夠獨(dú)立驅(qū)動(dòng)左右臂2Lb、2Rb各者的方式構(gòu)成。

如圖5所示，在襯底搬送機(jī)器人1的臂驅(qū)動(dòng)器件中，繞回轉(zhuǎn)軸線A0同心狀地配置有4根臂驅(qū)動(dòng)軸6La、6Ra、6Lb、6Rb，及2根滑輪驅(qū)動(dòng)軸8A、8B。

上級(jí)的右臂2Ra的臂驅(qū)動(dòng)軸6Ra配置于最內(nèi)側(cè)，在其外側(cè)配置有上級(jí)的左臂2La的臂驅(qū)動(dòng)軸6La。

在上級(jí)的左臂2La的臂驅(qū)動(dòng)軸6La的外側(cè)，配置有下級(jí)的右臂2Rb的滑輪驅(qū)動(dòng)軸8B。下級(jí)的右臂2Rb的回轉(zhuǎn)滑輪7Rb與上級(jí)的左臂2La的回轉(zhuǎn)滑輪7La通過(guò)滑輪連結(jié)部件14A連結(jié)，且兩滑輪7Rb、7La一體旋轉(zhuǎn)。因此，能夠通過(guò)單一驅(qū)動(dòng)源使兩個(gè)滑輪7Rb、7La同時(shí)旋轉(zhuǎn)。

在滑輪驅(qū)動(dòng)軸8B的外側(cè)設(shè)置有下級(jí)的右臂2Rb的臂驅(qū)動(dòng)軸6Rb，在其外側(cè)配置有下級(jí)的左臂2Lb的臂驅(qū)動(dòng)軸6Lb。

在下級(jí)的左臂2Lb的臂驅(qū)動(dòng)軸6Lb的外側(cè)配置有下級(jí)的左臂2Lb的滑輪驅(qū)動(dòng)軸8A。下級(jí)的左臂2Lb的回轉(zhuǎn)滑輪7Lb與上級(jí)的右臂2Ra的回轉(zhuǎn)滑輪7Ra通過(guò)滑輪連結(jié)部件14B連結(jié)，且兩滑輪7Lb、7Ra一體旋轉(zhuǎn)。因此，能夠利用單一驅(qū)動(dòng)源使兩滑輪7Lb、7Ra同時(shí)旋轉(zhuǎn)。

另外，臂驅(qū)動(dòng)軸6La、6Ra、6Lb、6Rb及滑輪驅(qū)動(dòng)軸8A、8B的排列并非僅限于圖5所示的排列，可采用各種排列。

在上級(jí)的左右臂2La、2Ra的回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra分別安裝有第1皮帶10La、10Ra。在下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb的回轉(zhuǎn)滑輪7Lb、7Rb分別安裝有第1皮帶10Lb、10Rb。

各臂驅(qū)動(dòng)軸6La、6Ra、6Lb、6Rb及各滑輪驅(qū)動(dòng)軸8A、8B通過(guò)各軸承部件15能夠旋轉(zhuǎn)地支持。各臂驅(qū)動(dòng)軸6La、6Ra、6Lb、6Rb及各滑輪驅(qū)動(dòng)軸8A、8B在各下端部形成有各動(dòng)力傳遞部16。對(duì)各動(dòng)力傳遞部16傳遞來(lái)自各伺服電動(dòng)機(jī)(未圖示)的動(dòng)力，由此，各臂驅(qū)動(dòng)軸6La、6Ra、6Lb、6Rb及各滑輪驅(qū)動(dòng)軸8A、8B各自獨(dú)立地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。

如圖6所示，本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1具備用以使上級(jí)及下級(jí)的左右臂2La、2Ra、2Lb、2Rb全體沿著回轉(zhuǎn)軸線A0升降的升降驅(qū)動(dòng)器件17。升降驅(qū)動(dòng)器件17優(yōu)選具有伺服電動(dòng)機(jī)作為驅(qū)動(dòng)源。上級(jí)及下級(jí)的左右臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的各臂驅(qū)動(dòng)器件的驅(qū)動(dòng)源及升降驅(qū)動(dòng)器件的驅(qū)動(dòng)源由機(jī)器人控制器(控制器件)18控制。

在本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1中，在將滑輪驅(qū)動(dòng)軸8A、8B固定而將回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb固定的狀態(tài)下，當(dāng)使臂驅(qū)動(dòng)軸6La、6Ra、6Lb、6Rb旋轉(zhuǎn)而使第1連桿部件3a、3b繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)時(shí)，動(dòng)力通過(guò)包含滑輪及皮帶的動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)傳遞至第2連桿部件4a、4b及襯底保持部件5a、5b，由此，如圖7所示，進(jìn)行臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的伸縮動(dòng)作。

如此，通過(guò)在將回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb固定的狀態(tài)下使第1連桿部件3a、3b旋轉(zhuǎn)，而在臂伸縮動(dòng)作時(shí)將襯底保持部件5a、5b的姿勢(shì)維持為固定。因此，能夠切實(shí)地防止襯底搬送時(shí)的與周圍構(gòu)造物等的干涉，或向襯底收納部(FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式單元匣)、加載互鎖室內(nèi)的襯底載置架等)插入襯底時(shí)的與襯底收納部的內(nèi)壁面的干涉。

另外，在本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1中，在使上級(jí)及下級(jí)的臂2La、2Ra、2Lb、2Rb全體繞回轉(zhuǎn)軸線A0回轉(zhuǎn)時(shí)，使臂驅(qū)動(dòng)軸6La、6Ra、6Lb、6Rb及滑輪驅(qū)動(dòng)軸8a、8b以相同的旋轉(zhuǎn)速度同時(shí)旋轉(zhuǎn)。

在本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1中以如下方式構(gòu)成：當(dāng)使左右的臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的狀態(tài)從使臂2La、2Ra、2Lb、2Rb繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)時(shí)的回轉(zhuǎn)半徑為最大的臂伸長(zhǎng)狀態(tài)向回轉(zhuǎn)半徑為最小的臂收縮狀態(tài)變化時(shí)，第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a、A2b越過(guò)回轉(zhuǎn)軸線A0的位置而從前側(cè)向后側(cè)移動(dòng)。

因此，能夠?qū)⒁r底搬送部件5a、5b大幅地向后方引入，即便在使用如圖1所示的前后方向的尺寸相對(duì)較大的襯底搬送部件5a、5b的情況下，也能夠確保所期望的最小回轉(zhuǎn)半徑。

接下來(lái)，在本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1中，以如下的方式設(shè)定回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb、第1滑輪9Ra、9Rb、第2滑輪11Ra、11Rb、及第3滑輪12Ra、12Rb間的滑輪比，即，在將回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb固定的狀態(tài)下，通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)軸(第1驅(qū)動(dòng)部)6La、6Ra、6Lb、6Rb使第1連桿部件3a、3b繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)而使臂2La、2Ra、2Lb、2Rb伸縮時(shí)的襯底保持部件5a、5b的移動(dòng)軌跡成為大致直線狀。

以下，對(duì)本實(shí)施方式的滑輪比的最佳化方法進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb、第1滑輪9Ra、9Rb、第2滑輪11Ra、11Rb、及第3滑輪12Ra、12Rb間的滑輪比以如下的方式設(shè)定，即，臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的實(shí)際適用行程范圍內(nèi)的襯底保持部件5a、5b的移動(dòng)軌跡成為大致直線狀。

首先，參照?qǐng)D8對(duì)臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的實(shí)際適用行程進(jìn)行說(shuō)明。在圖8中，正交坐標(biāo)的原點(diǎn)O對(duì)應(yīng)于回轉(zhuǎn)軸線A0的位置，且X軸表示與回轉(zhuǎn)軸線A0位置的前后方向距離，Y軸表示與回轉(zhuǎn)軸線A0位置的左右方向的距離。另外，在本實(shí)施方式中，襯底保持部件5a、5b的姿勢(shì)與X軸平行。

如圖8所示，在使臂2La、2Ra、2Lb、2Rb繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)時(shí)的回轉(zhuǎn)半徑為最小的臂收縮狀態(tài)下，臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a、A2b位于前后方向的最后側(cè)(X軸方向的最左側(cè))。另一方面，在使臂2La、2Ra、2Lb、2Rb繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)時(shí)的回轉(zhuǎn)半徑為最大的臂伸張狀態(tài)下，臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a、A2b位于前后方向的最前側(cè)(X軸方向的最右側(cè))。

臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的實(shí)際適用行程相當(dāng)于第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a、A2b的從最后側(cè)位置至最前側(cè)位置為止的前后方向的距離ST。在本實(shí)施方式中，實(shí)際適用行程整體中的較回轉(zhuǎn)軸線A0位置(坐標(biāo)原點(diǎn)O)屬于更前方區(qū)域的行程ST1、與較回轉(zhuǎn)軸線A0位置屬于更后方區(qū)域的行程ST2相同(ST1＝ST2)。

在本實(shí)施方式中，以臂伸張狀態(tài)(或臂收縮狀態(tài))的襯底保持部件5a、5b的位置為基準(zhǔn)，以在實(shí)際適用行程范圍內(nèi)臂伸縮時(shí)的襯底保持部件5a、5b的軌道軌跡成為大致直線狀的方式將滑輪比最佳化。

圖9表示與處于臂伸張狀態(tài)的臂2La、2Ra、2Lb、2Rb相關(guān)的各種設(shè)計(jì)參數(shù)。各個(gè)符號(hào)的含義如下所述。

O：坐標(biāo)原點(diǎn)(對(duì)應(yīng)于回轉(zhuǎn)軸線A0的位置)

P：襯底保持部件的基準(zhǔn)點(diǎn)

L₁：從第1旋轉(zhuǎn)軸線至第2旋轉(zhuǎn)軸線為止的長(zhǎng)度

L₂：從第2旋轉(zhuǎn)軸線至第3旋轉(zhuǎn)軸線為止的長(zhǎng)度

L₃：從第3旋轉(zhuǎn)軸線至襯底保持部件的基準(zhǔn)點(diǎn)為止的長(zhǎng)度

θ₁₀：由長(zhǎng)度L₁的線段與Y軸規(guī)定的內(nèi)角的角度

θ₂₀：由長(zhǎng)度L₁的線段與長(zhǎng)度L₂的線段規(guī)定的內(nèi)角的角度

θ₃₀：由長(zhǎng)度L₃的線段與正交于長(zhǎng)度L₂的線段規(guī)定的內(nèi)角的角度

l'：從坐標(biāo)原點(diǎn)至第3旋轉(zhuǎn)軸線為止的長(zhǎng)度

Φ：由長(zhǎng)度l'的線段與Y軸規(guī)定的內(nèi)角的角度

X₁₀，Y₁₀：第1旋轉(zhuǎn)軸線的X、Y坐標(biāo)

X₂₀，Y₂₀：第2旋轉(zhuǎn)軸線的X、Y坐標(biāo)

X₃₀，Y₃₀：襯底保持部件的基準(zhǔn)點(diǎn)的X、Y坐標(biāo)

ST1：實(shí)際適用行程全體中的屬于前方區(qū)域的部分

另外，襯底保持部件5a、5b的基準(zhǔn)點(diǎn)P于在圖9中從第2旋轉(zhuǎn)軸線的位置(X₂₀，Y₂₀)引平行于X軸的直線的情況下，對(duì)應(yīng)于相對(duì)該直線從保持于襯底保持部件5a、5b的襯底(晶片)S的中心引垂線時(shí)的交點(diǎn)。

然后，關(guān)于所述設(shè)計(jì)參數(shù)，在X₂₀>0時(shí)以下算式成立。

X₂₀＝ST₁

Y₂₀＝L₁-L₂

Φ＝tan^-1(-X₂₀/Y₂₀)

l'＝(X₂₀²+Y₂₀²)^1/2

θ₁₀＝Φ+cos^-1((l'²+L₁²-L₂²)/(2×l'×L₁))

θ₂₀＝cos^-1((L₁²+L₂²-l'²)/(2×L₁×L₂))

而且，當(dāng)將回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb的相對(duì)于第1滑輪9Ra、9Rb的滑輪比(滑輪的直徑比)設(shè)為K₁，將第2滑輪11Ra、11Rb的相對(duì)于第3滑輪12Ra、12Rb的滑輪比(滑輪的直徑比)設(shè)為K₂時(shí)，則為：

θ₂₀＝-K₁×θ₁₀→K₁＝-θ₂₀/θ₁₀

此外，由于使襯底保持部件5a、5b的姿勢(shì)平行于X軸，故為：

θ₁₀+θ₂₀+θ₃₀＝0→θ₃₀＝-θ₁₀-θ₂₀

因此，

θ₃₀＝-K₂×θ₂₀→K₂＝-θ₃₀/θ₂₀

此處，由于如上所述：

θ₃₀＝-θ₁₀-θ₂₀

故：

K₂＝-(-θ₁₀-θ₂₀)/θ₂₀

＝(θ₁₀+θ₂₀)/θ₂₀

根據(jù)本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1，通過(guò)如上所述般將滑輪比K₁、K₂最佳化，如圖10所示，能夠在實(shí)際適用行程ST的范圍內(nèi)，使臂伸縮動(dòng)作時(shí)的襯底搬送部件5a、5b的移動(dòng)軌跡為大致直線狀。另外，在圖10中，表示本實(shí)施方式的實(shí)線及表示比較例的虛線各自的右端相當(dāng)于將第1連桿部件及第2連桿部件在前方區(qū)域直線狀延伸的情況，左端相當(dāng)于在將襯底保持部件朝向前方的狀態(tài)下，將臂的第1連桿部件及第2連桿部件在后方區(qū)域直線狀延伸的情況。

在將滑輪比(滑輪的直徑比)單純?cè)O(shè)為1:2(K₁＝2、K₂＝0.5)的比較例的情況下，如圖10以虛線所示，臂伸縮動(dòng)作時(shí)的襯底搬送部件的移動(dòng)軌跡大幅偏離直線而為曲線狀。另一方面，在本實(shí)施方式中，由于已將滑輪比K₁、K₂如上所述最佳化，故如圖10以實(shí)線所示，能夠使臂伸縮動(dòng)作時(shí)的襯底保持部件5a、5b的移動(dòng)軌跡在臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的實(shí)際適用行程ST范圍內(nèi)為大致直線狀。

另外，在本實(shí)施方式中，如圖8所示，將前方區(qū)域的行程ST1與后方區(qū)域的行程ST2設(shè)定為相同，但作為變化例，還可使前方行程ST1與后方行程ST2不同。如此，在前方行程ST1與后方行程ST2不同的情況下，選擇前方行程ST1或后方行程ST2的任一者作為滑輪比最佳化的基準(zhǔn)行程。

通常，在襯底搬送時(shí)，由于前方行程ST1的移動(dòng)軌跡的直線性較重要，故在前方行程ST1與后方行程ST2不同的情況下，優(yōu)選選擇前方行程ST1進(jìn)行滑輪比的最佳化。

作為本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1的臂伸縮動(dòng)作的另一運(yùn)轉(zhuǎn)方法也可為如下，即，利用機(jī)器人控制器(控制器件)18，在臂2La、2Ra、2Lb、2Rb的伸縮動(dòng)作中，使第1連桿部件3a、3b及回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb同時(shí)或以不同的時(shí)序旋轉(zhuǎn)。例如，在臂伸縮動(dòng)作的中途使回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb旋轉(zhuǎn)，如圖11所示能夠使襯底保持部件5a、5b的軌道在左右方向移位。此種運(yùn)轉(zhuǎn)方法在例如需要避開處于移動(dòng)路徑中途的障礙物時(shí)等有效。

接下來(lái)，對(duì)本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1中調(diào)整襯底保持部件5a、5b的位置而位置對(duì)準(zhǔn)于目標(biāo)位置的方法進(jìn)行說(shuō)明。

如果在將回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb固定的狀態(tài)下使第1連桿部件3a、3b旋轉(zhuǎn)而使臂2La、2Ra、2Lb、2Rb伸張，使襯底保持部件5a、5b移動(dòng)至目標(biāo)位置附近，則使回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb旋轉(zhuǎn)而使第2連桿部件4a、4b繞第1旋轉(zhuǎn)軸線A1a、A1b旋轉(zhuǎn)，并且使襯底保持部件5a、5b繞第2旋轉(zhuǎn)軸線A2a、A2b旋轉(zhuǎn)。由此，能夠在前后方向(X方向)及左右方向(Y方向)上以充分高的自由度調(diào)整襯底保持部件5a、5b的位置，即襯底S的位置。

另外，也能夠在襯底保持部件5a、5b到達(dá)目標(biāo)位置附近之前，使回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行襯底保持部件5a、5b的位置調(diào)整。

圖12表示調(diào)整上級(jí)的左臂2La的襯底保持部件5a的位置的情況，此時(shí)，下級(jí)的右臂2Rb的襯底保持部件5b也同時(shí)擺動(dòng)。但是，下級(jí)的右臂2Rb的襯底保持部件5b如圖12所示，由于處在臂收縮狀態(tài)，故即便擺動(dòng)也無(wú)特別問(wèn)題。

例如，如果將上級(jí)的左右臂2La、2Ra的襯底保持部件5a用于搬送處理前的襯底S，且將下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb的襯底保持部件5b用于搬送處理后的襯底S，則無(wú)須同時(shí)實(shí)施上級(jí)的臂2La、2Ra的襯底保持部件5a的位置調(diào)整、與下級(jí)的臂2Lb、2Rb的襯底保持部件5b的位置調(diào)整。

另外，在當(dāng)處在收縮狀態(tài)的臂的襯底保持部件擺動(dòng)時(shí)，存在與周圍的構(gòu)造物干涉，或超出最小回轉(zhuǎn)半徑等問(wèn)題的情況下，使處在收縮狀態(tài)的臂的第1連桿部件結(jié)合于回轉(zhuǎn)滑輪的旋轉(zhuǎn)以相同的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)。由此，處在收縮狀態(tài)的臂整體僅繞回轉(zhuǎn)軸線A0旋轉(zhuǎn)，可抑制處在收縮狀態(tài)的臂的襯底保持部件的擺動(dòng)動(dòng)作，故能夠防止襯底保持部件與周圍的構(gòu)造物干涉，或超出最小回轉(zhuǎn)半徑。

而且，在本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1中，由于通過(guò)滑輪連結(jié)部件14A、14B連結(jié)上下兩個(gè)回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb，故能夠利用單一驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)兩個(gè)回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb，故有能夠削減所需驅(qū)動(dòng)源的數(shù)量的優(yōu)勢(shì)。

圖13表示調(diào)整上級(jí)的左右臂2La、2Ra的各襯底保持部件5a的位置的情況。由于能夠相互獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)上級(jí)的左右臂2La、2Ra的各回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra，故能夠相互獨(dú)立地調(diào)整左右襯底保持部件5a的位置。

如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1，由于如上所述般將滑輪比最佳化，故在具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線A0的左右臂2La、2Ra、2Lb、2Rb，且具有配置于相同高度的左右襯底保持部件5a、5b的襯底搬送機(jī)器人1中，能夠使臂伸縮動(dòng)作時(shí)的襯底搬送部件5a、5b的移動(dòng)軌跡在實(shí)際適用行程范圍內(nèi)為大致直線狀。

此外，根據(jù)本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1，由于通過(guò)使回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb旋轉(zhuǎn)而調(diào)整襯底保持部件5a、5b的位置，即襯底S的位置，故在具備具有共用的回轉(zhuǎn)軸線A0的左右臂2La、2Ra、2Lb、2Rb，且具有配置于相同高度的左右襯底保持部件5a、5b的襯底搬送機(jī)器人1中，能夠在前后方向(X方向)及左右方向(Y方向)上以充分高的自由度調(diào)整襯底保持部件5a、5b的位置。

此外，根據(jù)本實(shí)施方式的襯底搬送機(jī)器人1，由于以滑輪連結(jié)部件14A連結(jié)下級(jí)的右臂2Rb的回轉(zhuǎn)滑輪7Rb與上級(jí)的左臂2La的回轉(zhuǎn)滑輪7La，以滑輪連結(jié)部件14B連結(jié)下級(jí)的左臂2Lb的回轉(zhuǎn)滑輪7Lb與上級(jí)的右臂2Ra的回轉(zhuǎn)滑輪7Ra，且連結(jié)的兩個(gè)回轉(zhuǎn)滑輪相互一體旋轉(zhuǎn)，故能夠?qū)⒂靡则?qū)動(dòng)回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb的所需驅(qū)動(dòng)源的數(shù)量減半。

另外，作為回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra、7Lb、7Rb的連結(jié)方法，也可連結(jié)上級(jí)的右臂2Ra的回轉(zhuǎn)滑輪7Ra與下級(jí)的右臂2Rb的回轉(zhuǎn)滑輪7Rb，并且連結(jié)上級(jí)的左臂2La的回轉(zhuǎn)滑輪7La與下級(jí)的左臂2Lb的回轉(zhuǎn)滑輪7Lb。

總而言之，只要將上級(jí)的左右臂2La、2Ra中的任一臂的回轉(zhuǎn)滑輪7La、7Ra與下級(jí)的左右臂2Lb、2Rb中的任一臂的回轉(zhuǎn)滑輪7Lb、7Rb以滑輪連結(jié)部件連結(jié)，且相互一體旋轉(zhuǎn)即可。

[符號(hào)的說(shuō)明]

1 襯底搬送機(jī)器人

2La、2Ra 上級(jí)的左臂

2Lb、2Rb 下級(jí)的左臂

3a 上級(jí)的左右臂的第1連桿部件

3b 下級(jí)的左右臂的第1連桿部件

4a 上級(jí)的左右臂的第2連桿部件

4b 下級(jí)的左右臂的第2連桿部件

5a 上級(jí)的左右臂的襯底保持部件(手部)

5b 下級(jí)的左右臂的襯底保持部件(手部)

6La、6Ra 上級(jí)的左臂的臂驅(qū)動(dòng)軸(第1驅(qū)動(dòng)部)

6Lb、6Rb 下級(jí)的左臂的臂驅(qū)動(dòng)軸(第1驅(qū)動(dòng)部)

7La、7Ra 上級(jí)的左臂的回轉(zhuǎn)滑輪

7Lb、7Rb 下級(jí)的左臂的回轉(zhuǎn)滑輪

8A、8B 滑輪驅(qū)動(dòng)軸

9Ra 上級(jí)的右臂的第1滑輪

9Ra 下級(jí)的右臂的第1滑輪

10La、10Ra 上級(jí)的左臂的第1皮帶

10Lb、10Rb 下級(jí)的左臂的第1皮帶

11Ra 上級(jí)的右臂的第2滑輪

11Rb 下級(jí)的右臂的第2滑輪

12Ra 上級(jí)的右臂的第3滑輪

12Rb 下級(jí)的右臂的第3滑輪

13Ra 上級(jí)的右臂的第2皮帶

13Rb 下級(jí)的右臂的第2皮帶

14A、14B 滑輪連結(jié)部件

15 軸承部件

16 動(dòng)力傳遞部

17 升降驅(qū)動(dòng)器件

18 機(jī)器人控制器(控制器件)

A0 回轉(zhuǎn)軸線

A1a 上級(jí)的左右臂的第1旋轉(zhuǎn)軸線

A1b 下級(jí)的左右臂的第1旋轉(zhuǎn)軸線

A2a 上級(jí)的左右臂的第2旋轉(zhuǎn)軸線

A2b 下級(jí)的左右臂的第2旋轉(zhuǎn)軸線

S 襯底(晶片)