本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板搬送機(jī)器人。

背景技術(shù)：

機(jī)器人(Robot)是自動(dòng)執(zhí)行工作的機(jī)器裝置，它既可以接受人類(lèi)指揮，又可以運(yùn)行預(yù)先編排的程序，也可以根據(jù)以人工智能技術(shù)制定的原則綱領(lǐng)行動(dòng)。可用于生產(chǎn)中協(xié)助或取代人類(lèi)的工作。其中，在LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示屏)制造行業(yè)中，廣泛采用基板搬送機(jī)器人進(jìn)行基板搬送。

基板搬送機(jī)器人包括控制模塊以及機(jī)械手臂，在控制模塊的控制下，通過(guò)將機(jī)械手臂插入到基板的下方，并將基板固定于機(jī)械手臂上，再進(jìn)行基板搬送。

基板搬送機(jī)器人的工作流程為：機(jī)械手臂在取片位置取片后，旋轉(zhuǎn)至另外一側(cè)放片，再旋轉(zhuǎn)回最初的取片位置進(jìn)行下一片的取片，依次循環(huán)下去，使得搬運(yùn)效率低下，從而導(dǎo)致當(dāng)需要大批量生產(chǎn)，且生產(chǎn)時(shí)間較短時(shí)，只能通過(guò)增加基板搬送機(jī)器人數(shù)量或增加基板搬送機(jī)器人的工作時(shí)間來(lái)完成。

然而，通過(guò)增加基板搬送機(jī)器人數(shù)量的方法，需要額外購(gòu)買(mǎi)新設(shè)備，此外，需要占用較大空間，從而使得成本增加；通過(guò)增加基板搬送機(jī)器人每天工作時(shí)間的方法，容易導(dǎo)致基板搬送機(jī)器人過(guò)度疲勞，從而影響基板搬送機(jī)器人的使用壽命。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種基板搬送機(jī)器人，可提高搬運(yùn)效率。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

提供一種基板搬送機(jī)器人，包括基座、設(shè)置在所述基座上的立柱，還包括多個(gè)由所述立柱向不同方向伸出的機(jī)械手臂組、以及與所述機(jī)械手臂組一一對(duì)應(yīng)且固定連接的升降機(jī)構(gòu)；多個(gè)所述機(jī)械手臂組在與其連接的所述升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下，分別沿所述立柱的延伸方向移動(dòng)；其中，所述機(jī)械手臂組包括至少一個(gè)機(jī)械手臂。

可選的，所述升降機(jī)構(gòu)包括固定在所述立柱內(nèi)的第一軸芯、套設(shè)于所述第一軸芯上的第一軸芯套、以及與所述第一軸芯套連接的第一控制裝置；所述第一軸芯的軸向與所述立柱的延伸方向一致，所述第一控制裝置用于帶動(dòng)所述第一軸芯套沿所述第一軸芯的軸向移動(dòng)；其中，所述機(jī)械手臂組與所述第一軸芯套相連。

可選的，所述升降機(jī)構(gòu)包括固定在所述立柱內(nèi)的第一軸芯、套設(shè)于所述第一軸芯上的第一軸芯套、與所述第一軸芯套連接的第一控制裝置、與所述第一軸芯套相連且位于所述立柱外側(cè)的移動(dòng)件、固定在所述移動(dòng)件內(nèi)的第二軸芯、套設(shè)于所述第二軸芯上的第二軸芯套、以及與所述第二軸芯套連接的第二控制裝置；所述移動(dòng)件內(nèi)部中空，所述第一軸芯和所述第二軸芯的軸向與所述立柱的延伸方向一致，所述第一控制裝置用于帶動(dòng)所述第一軸芯套沿所述第一軸芯的軸向移動(dòng)，所述第二控制裝置用于帶動(dòng)所述第二軸芯套沿所述第二軸芯的軸向移動(dòng)；其中，所述機(jī)械手臂組與所述第二軸芯套相連。

優(yōu)選的，所述升降機(jī)構(gòu)還包括與所述第一軸芯套連接的第三控制裝置；所述第一軸芯套的下端面相對(duì)所述移動(dòng)件的下端面更靠近所述基座；所述第一控制裝置帶動(dòng)所述第一軸芯套向上移動(dòng)，使所述移動(dòng)件的下端面與所述立柱的上端面平齊或超過(guò)所述立柱的上端面時(shí)，所述第三控制裝置用于帶動(dòng)所述第一軸芯套轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選的，所述立柱為正四棱柱；所述基板搬送機(jī)器人包括兩個(gè)所述機(jī)械手臂組，兩個(gè)所述機(jī)械手臂組在與其連接的所述升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下，分別沿所述立柱的相鄰兩個(gè)側(cè)面上下移動(dòng)。

優(yōu)選的，所述機(jī)械手臂組包括兩個(gè)機(jī)械手臂。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述機(jī)械手臂包括多個(gè)子臂，相鄰兩個(gè)所述子臂之間活動(dòng)連接，且每個(gè)所述子臂可平行于所述基座轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選的，所述基板搬送機(jī)器人還包括設(shè)置在所述基座中心的旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述立柱連接，用于帶動(dòng)所述立柱旋轉(zhuǎn)；其中，所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向與所述立柱的延伸方向相同。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述基板搬送機(jī)器人還包括連接條，所述連接條的延伸方向與所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向垂直，所述連接條的一端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接，另一端與所述立柱連接；其中，所述立柱設(shè)置在所述連接條遠(yuǎn)離所述基座的表面。

基于上述，優(yōu)選的，所述機(jī)械手臂組包括固定座，所述機(jī)械手臂組通過(guò)所述固定座與所述升降機(jī)構(gòu)固定連接。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種基板搬送機(jī)器人，通過(guò)在基板搬送機(jī)器人上設(shè)置多個(gè)機(jī)械手臂組，并設(shè)置多個(gè)與機(jī)械手臂組一一對(duì)應(yīng)且固定連接的升降機(jī)構(gòu)。使得基板搬送機(jī)器人在工作過(guò)程中，當(dāng)?shù)谝粋€(gè)升降機(jī)構(gòu)控制一個(gè)機(jī)械手臂組上升到一定高度取片后，旋轉(zhuǎn)至另外一側(cè)放片時(shí)，第二個(gè)升降機(jī)構(gòu)可以控制另一個(gè)機(jī)械手臂組取片，而當(dāng)?shù)谝粋€(gè)升降機(jī)構(gòu)控制機(jī)械手臂組旋轉(zhuǎn)回最初的取片位置進(jìn)行下一片的取片時(shí)，第二個(gè)升降機(jī)構(gòu)可以控制另一組機(jī)械手臂組旋轉(zhuǎn)至另一側(cè)放片。這樣一來(lái)，本實(shí)用新型中多個(gè)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)多個(gè)機(jī)械手臂組同時(shí)工作，與現(xiàn)有技術(shù)中只有一個(gè)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)一個(gè)機(jī)械手臂組工作相比，在不增加生產(chǎn)成本并且不降低基板搬送機(jī)器人使用壽命的情況下，可提高基板搬送機(jī)器人的搬運(yùn)效率。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的俯視示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖三；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖四；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖五；

圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖六；

圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種機(jī)械手臂的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的側(cè)視示意圖；

圖10為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種基板搬送機(jī)器人的結(jié)構(gòu)示意圖七。

附圖標(biāo)記

10-基座；20-立柱；30-機(jī)械手臂組；31-機(jī)械手臂；311-支壁；32-固定座；40-升降機(jī)構(gòu)；41-第一軸芯；42-第一軸芯套；43-第一控制裝置；44-移動(dòng)件；45-第二軸芯；46-第二軸芯套；47-第二控制裝置；48-第三控制裝置；50-旋轉(zhuǎn)軸；60-連接條。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種基板搬送機(jī)器人，如圖1所示，包括基座10、設(shè)置在基座10上的立柱20，還包括多個(gè)由立柱20向不同方向伸出的機(jī)械手臂組30、以及與機(jī)械手臂組30一一對(duì)應(yīng)且固定連接的升降機(jī)構(gòu)40；多個(gè)機(jī)械手臂組30在與其連接的升降機(jī)構(gòu)40的帶動(dòng)下，分別沿立柱20的延伸方向(圖1中第一方向)移動(dòng)；其中，機(jī)械手臂組30包括至少一個(gè)機(jī)械手臂31。

需要說(shuō)明的是，第一，每個(gè)機(jī)械手臂組30包括至少一個(gè)機(jī)械手臂31，如圖1所示，每個(gè)機(jī)械手臂組30包括兩個(gè)機(jī)械手臂31，位于同一個(gè)機(jī)械手臂組30中的兩個(gè)機(jī)械手臂31由立柱20向外伸出的方向相同。

其中，機(jī)械手臂組30由立柱20向外伸出的方向，是指機(jī)械手臂組20的根部與立柱20的連線所指的方向，如圖2所示，兩個(gè)機(jī)械手臂組30分別沿圖2中箭頭所指的方向由立柱20向外延伸。

第二，多個(gè)機(jī)械手臂組30可以位于立柱20的同一表面向不同方向伸出，也可以位于不同表面向不同方向伸出，每個(gè)機(jī)械手臂組30通過(guò)一個(gè)升降機(jī)構(gòu)40帶動(dòng)其上下移動(dòng)。圖1中僅以基板搬送機(jī)器人包括兩個(gè)機(jī)械手臂組30，且兩個(gè)機(jī)械手臂組30分別位于立柱20相鄰的兩個(gè)表面進(jìn)行示意。

第三，多個(gè)升降機(jī)構(gòu)40分別帶動(dòng)與其相連的機(jī)械手臂組30沿立柱20的延伸方向移動(dòng)時(shí)，多個(gè)升降機(jī)構(gòu)40可以是同步移動(dòng)，也可以是不同步移動(dòng)。位于同一機(jī)械手臂組30內(nèi)的多個(gè)機(jī)械手臂31同步移動(dòng)。

第四，升降機(jī)構(gòu)40可以設(shè)置在立柱20內(nèi)部，也可以如圖1所示設(shè)置在立柱20外部，在升降機(jī)構(gòu)40的帶動(dòng)下，機(jī)械手臂組30沿立柱20的不同表面上下移動(dòng)。

第五，不對(duì)立柱20的具體形狀進(jìn)行限定，圖1和圖2中立柱20的形狀僅為示意。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種基板搬送機(jī)器人，通過(guò)在基板搬送機(jī)器人上設(shè)置多個(gè)機(jī)械手臂組30，并設(shè)置多個(gè)與機(jī)械手臂組30一一對(duì)應(yīng)且固定連接的升降機(jī)構(gòu)40。使得基板搬送機(jī)器人在工作過(guò)程中，當(dāng)?shù)谝粋€(gè)升降機(jī)構(gòu)40控制一個(gè)機(jī)械手臂組30上升到一定高度取片后，旋轉(zhuǎn)至另外一側(cè)放片時(shí)，第二個(gè)升降機(jī)構(gòu)40可以控制另一個(gè)機(jī)械手臂組30取片，而當(dāng)?shù)谝粋€(gè)升降機(jī)構(gòu)40控制機(jī)械手臂組30旋轉(zhuǎn)回最初的取片位置進(jìn)行下一片的取片時(shí)，第二個(gè)升降機(jī)構(gòu)40可以控制另一組機(jī)械手臂組30旋轉(zhuǎn)至另一側(cè)放片。這樣一來(lái)，本實(shí)用新型中多個(gè)升降機(jī)構(gòu)40帶動(dòng)多個(gè)機(jī)械手臂組30同時(shí)工作，與現(xiàn)有技術(shù)中只有一個(gè)升降機(jī)構(gòu)40帶動(dòng)一個(gè)機(jī)械手臂組30工作相比，在不增加生產(chǎn)成本并且不降低基板搬送機(jī)器人使用壽命的情況下，可提高基板搬送機(jī)器人的搬運(yùn)效率。

此外，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)40控制機(jī)械手臂組30上下移動(dòng)，可使基板搬送機(jī)器人同時(shí)具備對(duì)不同高度的基板的取放功能，提高基板搬送機(jī)器人的適用范圍。

可選的，如圖3所示，升降機(jī)構(gòu)40包括固定在立柱20內(nèi)的第一軸芯41、套設(shè)于第一軸芯41上的第一軸芯套42、以及與第一軸芯套42連接的第一控制裝置43；第一軸芯41的軸向與立柱20的延伸方向一致，第一控制裝置43用于帶動(dòng)第一軸芯套42沿第一軸芯41的軸向移動(dòng)；其中，機(jī)械手臂組30與第一軸芯套42相連。

其中，圖3中僅以基板搬送機(jī)器人中的一個(gè)升降機(jī)構(gòu)40進(jìn)行示意。

此處，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，第一軸芯41位于立柱20內(nèi)，因此第一軸芯套42也位于立柱20內(nèi)，第一軸芯套42在第一控制裝置43的控制下帶動(dòng)與其連接的機(jī)械手臂組30在立柱30的表面沿第一方向移動(dòng)，立柱30對(duì)應(yīng)有機(jī)械手臂組30的表面應(yīng)設(shè)置有類(lèi)似與滑槽的結(jié)構(gòu)，使得機(jī)械手臂組30可以沿立柱20的表面移動(dòng)。

此外，第一控制結(jié)構(gòu)43例如可以為馬達(dá)，通過(guò)控制芯片控制馬達(dá)絲桿帶動(dòng)第一軸芯套42沿第一方向移動(dòng)。

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)采用第一控制裝置43控制套設(shè)在第一軸芯41上的第一軸芯套42來(lái)帶動(dòng)機(jī)械手臂組30沿第方向移動(dòng)，可以使第一軸芯41對(duì)第一軸芯套42的移動(dòng)軌跡起一定的限制作用，避免第一軸芯套42發(fā)生偏移，影響機(jī)械手臂組30的移動(dòng)精度。

可選的，如圖4所示，升降機(jī)構(gòu)40包括固定在立柱20內(nèi)的第一軸芯41、套設(shè)于第一軸芯41上的第一軸芯套42、與第一軸芯套42連接的第一控制裝置43、與第一軸芯套42相連且位于立柱20外側(cè)的移動(dòng)件44、固定在移動(dòng)件44內(nèi)的第二軸芯45、套設(shè)于第二軸芯45上的第二軸芯套46、以及與第二軸芯套46連接的第二控制裝置47；移動(dòng)件44內(nèi)部中空，第一軸芯41和第二軸芯45的軸向與立柱20的延伸方向一致，第一控制裝置43用于帶動(dòng)第一軸芯套42沿第一軸芯41的軸向移動(dòng)，第二控制裝置47用于帶動(dòng)第二軸芯套46沿第二軸芯45的軸向移動(dòng)；其中，機(jī)械手臂組30與第二軸芯套46相連。

其中，如圖4所示，機(jī)械手臂組30沿第一方向的移動(dòng)可以通過(guò)第一控制裝置43和第二控制裝置47配合完成。具體的，可以是第二控制裝置47不動(dòng)，第一控制裝置43帶動(dòng)第一軸芯套42沿第一方向移動(dòng)，從而帶動(dòng)移動(dòng)件44沿第一方向移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)與移動(dòng)件44連接的機(jī)械手臂組30沿第一方向移動(dòng)。

也可以是第一控制裝置43不動(dòng)，由第二控制裝置47帶動(dòng)第二軸芯套46沿第一方向移動(dòng)，從而帶動(dòng)與其連接機(jī)械手臂組30沿第一方向移動(dòng)。

當(dāng)然，還可以是先通過(guò)第一控制裝置43帶動(dòng)第一軸芯套42沿第一方向移動(dòng)到最高位置，此時(shí)與其連接的移動(dòng)件44也上升到最高位置。在此基礎(chǔ)上，通過(guò)第二控制裝置47帶動(dòng)第二軸芯套46沿第一方向移動(dòng)，從而帶動(dòng)與其連接機(jī)械手臂組30沿第一方向移動(dòng)。

此外，同一個(gè)升降機(jī)構(gòu)40內(nèi)的第一控制裝置43和第二控制裝置47可以通過(guò)同一個(gè)控制芯片控制，也可以通過(guò)單獨(dú)的控制芯片分別控制。

再者，如圖5所示，多個(gè)升降機(jī)構(gòu)40的第一軸芯41均設(shè)置在立柱20內(nèi)，移動(dòng)件44位于立柱20的不同表面。不同升降機(jī)構(gòu)40中的第一控制裝置43和第二控制裝置47可以通過(guò)同一個(gè)控制芯片控制，也可以通過(guò)單獨(dú)的控制芯片控制。

此處，由于軸芯越長(zhǎng)越不穩(wěn)定，而液晶半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)精度要求非常高，需要穩(wěn)定和精度，所以本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)設(shè)置兩個(gè)軸芯，第一軸芯41作為主軸，第二軸芯45作為輔助軸來(lái)使機(jī)械手臂組30上升到更高的高度，并且可使機(jī)械手臂組30在上升到較高位置后比較穩(wěn)固，不會(huì)因?yàn)樯仙咴斐蓛A斜，從而確保取片的精度。

進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖6所示，升降機(jī)構(gòu)40還包括與第一軸芯套42連接的第三控制裝置48；第一軸芯套42的下端面相對(duì)移動(dòng)件44的下端面更靠近基座10；第一控制裝置43帶動(dòng)第一軸芯套42向上移動(dòng)，如圖7所示，使移動(dòng)件44的下端面與立柱20的上端面平齊或超過(guò)立柱20的上端面時(shí)，第三控制裝置48用于帶動(dòng)第一軸芯套42轉(zhuǎn)動(dòng)。

其中，如圖6所示，當(dāng)基座10的表面為平面時(shí)，第一軸芯套42的下端面相對(duì)移動(dòng)件44的下端面更靠近基座10，是指第一軸芯套42的下端到基座10的距離小于移動(dòng)件44的下端面到基座10的距離。此處，第一軸芯套42的下端面是指第一軸芯套42靠近基座10的端面，移動(dòng)件44的下端面是指移動(dòng)件44靠近基座10的端面。

此外，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，第一控制裝置43帶動(dòng)第一軸芯套42向上移動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)件44的下端面與立柱20的上端面平齊或超過(guò)立柱20的上端面時(shí)，第一軸芯套42應(yīng)依舊套設(shè)在第一軸芯41上。此時(shí)，第三控制裝置48用于帶動(dòng)第一軸芯套42轉(zhuǎn)動(dòng)，則必然是帶動(dòng)第一軸芯套42沿平行于第一軸芯41的端面的方向水平轉(zhuǎn)動(dòng)，使移動(dòng)件44位于立柱20上方。

本實(shí)用新型實(shí)施例在移動(dòng)件44移動(dòng)到最高位置后，通過(guò)第三控制裝置48帶動(dòng)第一軸芯套42將移動(dòng)件44轉(zhuǎn)動(dòng)到立柱20上端，可向移動(dòng)件44提供支撐力，進(jìn)一步提高升降機(jī)構(gòu)40的穩(wěn)固性。

優(yōu)選的，如圖1、圖2和圖5所示，立柱10為正四棱柱；基板搬送機(jī)器人包括兩個(gè)機(jī)械手臂組30，兩個(gè)機(jī)械手臂組30在與其連接的升降機(jī)構(gòu)40的帶動(dòng)下，分別沿立柱20的相鄰兩個(gè)側(cè)面上下移動(dòng)。

即，基板搬送機(jī)器人包括兩個(gè)升降機(jī)構(gòu)40和兩個(gè)機(jī)械手臂組30。

為了進(jìn)一步提高搬運(yùn)效率，本實(shí)用新型實(shí)施例進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖1、圖3和圖4所示，機(jī)械手臂組30包括兩個(gè)機(jī)械手臂31。

其中，一個(gè)機(jī)械手臂組30內(nèi)的兩個(gè)機(jī)械手臂31同步運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖8所示，機(jī)械手臂31包括多個(gè)子臂311，相鄰兩個(gè)子臂311之間活動(dòng)連接，且每個(gè)子臂311可平行于基座10轉(zhuǎn)動(dòng)。

其中，不對(duì)子臂311的個(gè)數(shù)進(jìn)行限定，例如每個(gè)機(jī)械手臂31可以包括3個(gè)子臂311。

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)使一個(gè)機(jī)械手臂31包括多個(gè)子臂311，可以通過(guò)控制子臂311的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)基板搬送機(jī)器人工作過(guò)程中機(jī)械手臂31的360°旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選的，如圖9所示，所述基板搬送機(jī)器人還包括設(shè)置在基座10中心的旋轉(zhuǎn)軸50，旋轉(zhuǎn)軸50與立柱10連接，用于帶動(dòng)立柱10旋轉(zhuǎn)；其中，旋轉(zhuǎn)軸50的軸向與立柱10的延伸方向相同。

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)在基座10中心設(shè)置旋轉(zhuǎn)軸50，可使立柱10整體旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)機(jī)械手臂31旋轉(zhuǎn)，從而使基板搬送機(jī)器人實(shí)現(xiàn)對(duì)不同位置的基板10的取放功能。

進(jìn)一步優(yōu)選的，如圖10所示，所述基板搬送機(jī)器人還包括連接條60，連接條60的延伸方向與旋轉(zhuǎn)軸50的軸向垂直，連接條60的一端與旋轉(zhuǎn)軸50連接，另一端與立柱20連接；其中，立柱20設(shè)置在連接條60遠(yuǎn)離基座10的表面。

其中，連接條60例如可以是扁平條、圓柱條、等規(guī)則形狀的結(jié)構(gòu)，也可以是不規(guī)則的結(jié)構(gòu)。

此外，如圖10所示，連接條60遠(yuǎn)離基座10的表面即為連接條60的上表面。

基于上述，優(yōu)選的，如圖9和圖10所示，機(jī)械手臂組30包括固定座32，機(jī)械手臂組30通過(guò)固定座32與升降機(jī)構(gòu)40固定連接。

本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)采用固定座32將機(jī)械手臂31與升降機(jī)構(gòu)40連接，可便于對(duì)機(jī)械手臂31之間的位置關(guān)系進(jìn)行調(diào)整，進(jìn)一步提高基板搬送機(jī)器人的適用范圍。

以上所述，僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。