旋轉(zhuǎn)工作臺的吸嘴升降驅(qū)動機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】旋轉(zhuǎn)工作臺的吸嘴升降驅(qū)動機構(gòu)，涉及半導(dǎo)體元件生產(chǎn)領(lǐng)域。包括電機支架，電機支架上安裝有電機，電機支架的下端面固定有豎向設(shè)置的滑軌座，滑軌座上固定有豎向的滑軌，滑軌上設(shè)置有滑塊，滑塊上固定有頂桿滑塊座，頂桿滑塊座的下端固定有用于連接吸嘴裝置的頂桿；所述頂桿滑塊座的一側(cè)連接有水平設(shè)置的固定軸，固定軸上連接有軸承，電機的輸出軸上連接有升降凸輪；所述滑軌座與頂桿滑塊座之間連接有復(fù)位壓簧。本實用新型的吸嘴升降是通過電機驅(qū)動升降凸輪下壓軸承實現(xiàn)的，通過升降凸輪的圓弧曲面逐漸下壓軸承，避免了吸嘴的快速下行對半導(dǎo)體元件造成的沖擊，減少了半導(dǎo)體元件的損壞，提高了經(jīng)濟效益。
【專利說明】旋轉(zhuǎn)工作臺的吸嘴升降驅(qū)動機構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體元件生產(chǎn)領(lǐng)域，具體為一種旋轉(zhuǎn)工作臺的吸嘴升降驅(qū)動機構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，有一種用于半導(dǎo)體元件檢測并篩選的檢測裝置，包括有旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤包括轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤的環(huán)周均布有若干吸嘴，在吸嘴的上端連接有用于帶動吸嘴升降的驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)是通過氣缸帶動吸嘴升降，因為氣缸的工作速度較快，沖擊力較高，容易造成吸嘴下端吸取的半導(dǎo)體元件損壞。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是提供一種吸嘴升降驅(qū)動機構(gòu)，該機構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)吸嘴下降加速度的連續(xù)變化，減小對半導(dǎo)體元件的沖擊。
[0004]實現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案是:旋轉(zhuǎn)工作臺的吸嘴升降驅(qū)動機構(gòu)，包括電機支架，電機支架上安裝有電機，電機支架的下端面固定有豎向設(shè)置的滑軌座，滑軌座上固定有豎向的滑軌，滑軌上設(shè)置有滑塊，滑塊上固定有頂桿滑塊座，頂桿滑塊座的下端固定有用于連接吸嘴裝置的頂桿；所述頂桿滑塊座的一側(cè)連接有水平設(shè)置的固定軸，固定軸上連接有軸承，所述電機的輸出軸向下延伸到電機支架的下方，電機的輸出軸上連接有升降凸輪，所述升降凸輪包括空心圓柱體，空心圓柱體的下端一側(cè)設(shè)置有升降壓塊，所述升降壓塊與電機旋轉(zhuǎn)方向相同的一側(cè)端面為弧形曲面，電機旋轉(zhuǎn)帶動升降壓塊的弧形曲面下壓軸承帶動頂桿滑塊座下行；所述滑軌座與頂桿滑塊座之間連接有復(fù)位壓簧。
[0005]本實用新型的吸嘴升降是通過電機驅(qū)動升降凸輪下壓軸承實現(xiàn)的，升降凸輪的下端一側(cè)設(shè)置有升降壓塊，升降壓塊與電機旋轉(zhuǎn)方向相同的一側(cè)端面為弧形曲面，通過升降凸輪的圓弧曲面逐漸下壓軸承，避免了吸嘴的快速下行對半導(dǎo)體元件造成的沖擊，減少了半導(dǎo)體元件的損壞，提高了經(jīng)濟效益。
[0006]本實用新型電機轉(zhuǎn)動控制吸嘴升降，頻率高、速度快，同時本實用新型可以通過更換不同高度的升降凸輪來調(diào)節(jié)吸嘴的升降高度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2為圖1的右視圖；
[0009]圖3為升降凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0010]如圖1、2所示，包括電機支架1，電機支架I上安裝有電機2，電機支架I的下端面固定有豎向設(shè)置的滑軌座3，滑軌座3上固定有豎向的滑軌4，滑軌4上設(shè)置有滑塊5，滑塊5上固定有頂桿滑塊座6，頂桿滑塊座6的下端固定有用于連接吸嘴裝置的頂桿7。
[0011]頂桿滑塊座6的一側(cè)連接有水平設(shè)置的固定軸8，固定軸8上連接有軸承9，電機2的輸出軸向下延伸到電機支架I的下方，電機2的輸出軸上連接有升降凸輪10 ;滑軌座3的下部設(shè)置有彈簧座14，彈簧座14上連接有導(dǎo)桿15，導(dǎo)桿15上套置有復(fù)位彈簧16，復(fù)位彈簧16的上端與頂桿滑塊座6連接。
[0012]如圖3所示，升降凸輪10包括空心圓柱體11，空心圓柱體11的下端一側(cè)設(shè)置有弧形的升降壓塊12，所述升降壓塊12與電機2旋轉(zhuǎn)方向相同的一側(cè)端面為弧形曲面13。吸嘴下行時，電機2旋轉(zhuǎn)帶動升降壓塊12的弧形曲面13下壓軸承9帶動頂桿滑塊座6下行；吸嘴上行時，電機2旋轉(zhuǎn)帶動升降壓塊12轉(zhuǎn)動，使升降凸輪10未設(shè)置升降壓塊12 —側(cè)端面朝向軸承9，頂桿滑塊座6在復(fù)位彈簧16的作用下上行。
【權(quán)利要求】
1.旋轉(zhuǎn)工作臺的吸嘴升降驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于:包括電機支架，電機支架上安裝有電機，電機支架的下端面固定有豎向設(shè)置的滑軌座，滑軌座上固定有豎向的滑軌，滑軌上設(shè)置有滑塊，滑塊上固定有頂桿滑塊座，頂桿滑塊座的下端固定有用于連接吸嘴裝置的頂桿；所述頂桿滑塊座的一側(cè)連接有水平設(shè)置的固定軸，固定軸上連接有軸承，所述電機的輸出軸向下延伸到電機支架的下方，電機的輸出軸上連接有升降凸輪，所述升降凸輪包括空心圓柱體，空心圓柱體的下端一側(cè)設(shè)置有升降壓塊，所述升降壓塊與電機旋轉(zhuǎn)方向相同的一側(cè)端面為弧形曲面，電機旋轉(zhuǎn)帶動升降壓塊的弧形曲面下壓軸承帶動頂桿滑塊座下行；所述滑軌座與頂桿滑塊座之間連接有復(fù)位壓簧。
【文檔編號】H01L21/67GK204230212SQ201420641028
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月31日
【發(fā)明者】李永備, 蔣艷麗, 張磊 申請人:揚州澤旭電子科技有限責(zé)任公司