一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置及調(diào)整方法
【專利摘要】一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置及調(diào)整方法，涉及外腔半導(dǎo)體激光器。調(diào)整裝置設(shè)有半導(dǎo)體增益器件、準(zhǔn)直透鏡、分束鏡、分光元件、聚焦透鏡、CCD攝像機(jī)和顯示屏。調(diào)整方法：將分束鏡移入光路中；將半導(dǎo)體增益器件激射后的激光準(zhǔn)直后射向分束鏡；透射光在分光元件上發(fā)生多級衍射，通過調(diào)節(jié)分光元件的角度將一級衍射光反饋到半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面附近；通過調(diào)節(jié)聚焦透鏡將經(jīng)過分束鏡的反射光聚焦于CCD攝像機(jī)中，通過對準(zhǔn)直透鏡和分光元件進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，調(diào)節(jié)反饋光斑的尺寸和位置，最終使反饋光斑和內(nèi)腔腔面完全重合，獲得外腔激光器光路的最佳狀態(tài)；光路調(diào)整完成后，再次將分束鏡移出光路，避免外腔激光器的輸出光損失。
【專利說明】一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置及調(diào)整方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及外腔半導(dǎo)體激光器，尤其是涉及通過在外腔半導(dǎo)體激光器的光路中外加微區(qū)圖像分析光路，對外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器件的內(nèi)腔腔面進(jìn)行觀察和分析的一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置及調(diào)整方法。

【背景技術(shù)】
[0002]外腔半導(dǎo)體激光器是以外部光學(xué)元件作為光反饋、選模元件而制作的一類激光光源，該類激光光源具有光譜純度高、激射波長可調(diào)諧、效率高、可靠性好等優(yōu)點(diǎn)，在光通信、光學(xué)測量、光存儲等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。其中，將外部反饋光準(zhǔn)確的反饋回半導(dǎo)體增益器件有源區(qū)，使之與有源介質(zhì)發(fā)生相互作用，對外腔半導(dǎo)體激光器的輸出功率、穩(wěn)定性等具有重要的影響。
[0003]傳統(tǒng)的外腔半導(dǎo)體激光器的光路調(diào)試，是依靠肉眼直接觀察光束的準(zhǔn)直狀態(tài)和反饋光的位置，通過對外部光學(xué)元件的多維狀態(tài)微調(diào)整，使外部反饋光與半導(dǎo)體增益器件的內(nèi)腔腔面重合，從而引起輸出光束強(qiáng)度的突然增大，最終實(shí)現(xiàn)外腔激射。在采用傳統(tǒng)方法調(diào)試外腔光路過程中，對反饋回半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面上光斑的尺寸和具體位置均無法判斷，很難得到外腔光路的最優(yōu)狀態(tài)，難以實(shí)現(xiàn)內(nèi)外腔之間的最佳耦合。因此，開發(fā)一種方便實(shí)用的外腔光路調(diào)試方法，對于提升外腔半導(dǎo)體激光器的性能極為重要。
[0004]郭曙光(郭曙光.緊湊光子源研究.南開大學(xué)博士學(xué)位論文，2001年4月，26-28)介紹了一些關(guān)于改善激光器性能方面的工作和內(nèi)容，包括:對800nm波段Littrow和Littman結(jié)構(gòu)的弱耦合可調(diào)諧外腔半導(dǎo)體激光器的實(shí)驗(yàn)研究；系統(tǒng)分析了外腔半導(dǎo)體激光器無跳模調(diào)諧結(jié)構(gòu)的定位誤差對無跳模調(diào)諧范圍的影響并設(shè)計(jì)了一套大范圍無跳模調(diào)諧外腔半導(dǎo)體激光器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)；分析了光柵光譜儀器中的三類正弦機(jī)構(gòu)并設(shè)計(jì)了可實(shí)現(xiàn)波長線性標(biāo)度的Littrow和Littman外腔半導(dǎo)體激光器調(diào)諧機(jī)構(gòu)；采用光纖Bragg光柵作為外腔反饋元件后對可調(diào)諧光纖光柵外腔半導(dǎo)體激光器的性能研究；將Littrow光柵調(diào)諧技術(shù)應(yīng)用到摻Y(jié)b3+雙包層光纖激光器中的特性；描述了兩種類型的光學(xué)鎮(zhèn)定器。并給出在SOOnm波段弱耦合光柵外腔半導(dǎo)體激光器的實(shí)驗(yàn)研究部分有談及外腔半導(dǎo)體激光器的調(diào)試方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置及調(diào)整方法。
[0006]所述外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置設(shè)有半導(dǎo)體增益器件、準(zhǔn)直透鏡、分束鏡、分光元件、聚焦透鏡、(XD攝像機(jī)和顯示屏；
[0007]所述半導(dǎo)體增益器件、準(zhǔn)直透鏡、分束鏡、分光元件依次同軸排列，聚焦透鏡和CXD攝像機(jī)依次設(shè)在分束鏡的反射光路上，CCD攝像機(jī)的輸出端口接顯示屏的輸入端。
[0008]所述半導(dǎo)體增益器件為具有光增益的半導(dǎo)體發(fā)光器件，包括但不限于邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器、超輻射發(fā)光二極管、光放大器等。
[0009]所述準(zhǔn)直透鏡為具有光學(xué)準(zhǔn)直作用的光學(xué)鏡片，能將半導(dǎo)體增益器件發(fā)出的光束準(zhǔn)直為平行光束，包括但不限于非球面透鏡、雙膠合透鏡、物鏡鏡頭等。
[0010]所述分束鏡為厚度小于1_，可將入射光束分成具有透射與反射兩束光的光學(xué)兀件，所述透射與反射兩束光的光強(qiáng)比優(yōu)選1:1;所述分束鏡被安裝在一置物臺上，可在光路系統(tǒng)中移進(jìn)移出，即調(diào)整外腔光路時將其移入光路系統(tǒng)，調(diào)整完畢將其移出光路系統(tǒng)，避免外腔激光器使用時的光損失。由于分束鏡厚度較小，可忽略移進(jìn)移出分束鏡對外腔光路系統(tǒng)的影響。
[0011]所述分光元件可采用衍射光柵。
[0012]所述聚焦透鏡為具有光學(xué)聚焦作用的光學(xué)鏡片，能將光束聚焦于CCD攝像機(jī)中，包括但不限于焦距為5cm的凸透鏡或平凸透鏡等。
[0013]所述CXD攝像機(jī)位于聚焦透鏡的焦點(diǎn)上，使外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器的內(nèi)腔腔面成像于CCD攝像機(jī)表面。
[0014]所述顯示屏與CXD攝像機(jī)相連接，在顯示屏上可觀察成像于CXD攝像機(jī)中的外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面的圖像。
[0015]所述外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置能將經(jīng)分光元件反饋后的光斑和半導(dǎo)體增益器件的內(nèi)腔腔面直觀地反映在顯示屏上，在顯示屏上圖像的指導(dǎo)下，可對準(zhǔn)直透鏡和分光元件進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，從而方便地調(diào)節(jié)反饋光斑的尺寸和位置，最終使反饋光斑和半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面重合，獲得最佳的外腔激光器光路，從而改善外腔半導(dǎo)體激光器的性能。
[0016]所述外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整方法，包括以下步驟:
[0017]步驟1:當(dāng)對外腔半導(dǎo)體激光器進(jìn)行光路調(diào)整時，通過平移或旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡移入光路中；
[0018]步驟2:將半導(dǎo)體增益器件激射后的激光通過準(zhǔn)直透鏡進(jìn)行準(zhǔn)直后射向分束鏡，此時一部分激光光強(qiáng)透過分束鏡射向分光元件，另一部分激光光強(qiáng)被分束鏡反射后射向聚焦透鏡；
[0019]步驟3:透射光在分光元件上發(fā)生多級衍射，通過調(diào)節(jié)分光元件的角度將一級衍射光反饋到半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面附近；
[0020]步驟4:通過調(diào)節(jié)聚焦透鏡將經(jīng)過分束鏡的反射光聚焦于CXD攝像機(jī)中，此時在顯示屏上可顯示出半導(dǎo)體增益器件的內(nèi)腔腔面以及經(jīng)分光元件的外腔反饋光斑，通過對準(zhǔn)直透鏡和分光元件進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，調(diào)節(jié)反饋光斑的尺寸和位置，最終使反饋光斑和內(nèi)腔腔面完全重合，獲得外腔激光器光路的最佳狀態(tài)；
[0021]步驟5:當(dāng)對外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整完成后，通過再次平移或旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡移出光路，避免外腔激光器的輸出光損失。
[0022]本發(fā)明可以應(yīng)用于利特羅、利特曼光柵外腔半導(dǎo)體激光器以及由其它元件構(gòu)成的外腔半導(dǎo)體激光器所使用的光路中，用于輔助其光路調(diào)整。
[0023]本發(fā)明通過CXD攝像機(jī)對外腔反饋光斑和半導(dǎo)體增益器件的內(nèi)腔腔面進(jìn)行成像，從而在顯示屏上能夠觀察到反饋光斑在半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面上的尺寸和位置，通過對組成外腔的光學(xué)元件進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，使外部反饋光斑準(zhǔn)確的反饋回有源區(qū)，使之與有源介質(zhì)發(fā)生有效的相互作用，有利于提高外腔半導(dǎo)體激光器的功率、穩(wěn)定性等性能。
[0024]本發(fā)明能將外腔反饋光斑和半導(dǎo)體增益器件的內(nèi)腔腔面直觀地反映在顯示屏上，便于調(diào)整二者重合，有助于外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整，進(jìn)而提高外腔光反饋調(diào)節(jié)精度，改善外腔半導(dǎo)體激光器性能。本發(fā)明簡單、直觀、有效，具有較強(qiáng)的實(shí)用價值。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為本發(fā)明的外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖2為本發(fā)明在利特羅型光柵外腔半導(dǎo)體激光器光路中應(yīng)用(實(shí)施例2)的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0028]實(shí)施例1
[0029]參見圖1，外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置實(shí)施例設(shè)有半導(dǎo)體增益器件1、準(zhǔn)直透鏡2、分束鏡3、分光元件4、聚焦透鏡5、CXD攝像機(jī)6和顯示屏7。
[0030]所述半導(dǎo)體增益器件1、準(zhǔn)直透鏡2、分束鏡3、分光元件4依次同軸排列，聚焦透鏡5和CXD攝像機(jī)6依次設(shè)在分束鏡3的反射光路上，CXD攝像機(jī)6的輸出端口接顯示屏7的輸入端。
[0031]所述半導(dǎo)體增益器件I為具有光增益的半導(dǎo)體發(fā)光器件，包括但不限于邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器、超輻射發(fā)光二極管、光放大器等。
[0032]所述準(zhǔn)直透鏡2為具有光學(xué)準(zhǔn)直作用的光學(xué)鏡片，能將半導(dǎo)體增益器件I發(fā)出的光束準(zhǔn)直為平行光束，包括但不限于非球面透鏡、雙膠合透鏡、物鏡鏡頭等。
[0033]所述分束鏡3為厚度小于1mm，可將入射光束分成具有透射與反射兩束光的光學(xué)元件，所述透射與反射兩束光的光強(qiáng)比優(yōu)選1:1。
[0034]所述分束鏡3被安裝在一置物臺上，可在光路系統(tǒng)中移進(jìn)移出，即調(diào)整外腔光路時將其移入光路系統(tǒng)，調(diào)整完畢將其移出光路系統(tǒng)，避免外腔激光器使用時的光損失。由于分束鏡3厚度較小，可忽略移進(jìn)移出分束鏡3對外腔光路系統(tǒng)的影響。
[0035]所述分光元件4采用衍射光柵。
[0036]所述聚焦透鏡5為具有光學(xué)聚焦作用的光學(xué)鏡片，能將光束聚焦于CCD攝像機(jī)6中，包括但不限于焦距為5cm的凸透鏡或平凸透鏡等。
[0037]所述CXD攝像機(jī)6位于聚焦透鏡5的焦點(diǎn)上，使外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器件I的內(nèi)腔腔面成像于CCD攝像機(jī)6表面。
[0038]所述顯示屏7與CXD攝像機(jī)6相連接，在顯示屏7上可觀察成像于CXD攝像機(jī)6中的外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器件I內(nèi)腔腔面的圖像。
[0039]所述外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置能將經(jīng)分光元件4反饋后的光斑和半導(dǎo)體增益器件I的內(nèi)腔腔面直觀地反映在顯示屏7上，在顯示屏7上圖像的指導(dǎo)下，可對準(zhǔn)直透鏡2和分光元件4進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，從而方便地調(diào)節(jié)反饋光斑的尺寸和位置，最終使反饋光斑和半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面重合，獲得最佳的外腔激光器光路，從而改善外腔半導(dǎo)體激光器的性能。
[0040]本實(shí)施例的外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整方法，包括以下步驟:
[0041]步驟1:當(dāng)對外腔半導(dǎo)體激光器進(jìn)行光路調(diào)整時，通過平移或旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡3移入光路中；
[0042]步驟2:將半導(dǎo)體增益器件I激射后的激光通過準(zhǔn)直透鏡2進(jìn)行準(zhǔn)直后射向分束鏡3，此時一部分激光光強(qiáng)透過分束鏡3射向分光元件4，另一部分激光光強(qiáng)被分束鏡3反射后射向聚焦透鏡5 ；
[0043]步驟3:透射光在分光元件4上發(fā)生多級衍射，通過調(diào)節(jié)分光元件4的角度將一級衍射光反饋到半導(dǎo)體增益器件I內(nèi)腔腔面附近；
[0044]步驟4:通過調(diào)節(jié)聚焦透鏡5將經(jīng)過分束鏡3的反射光聚焦于CXD攝像機(jī)6中，此時在顯示屏7上可顯示出半導(dǎo)體增益器件I的內(nèi)腔腔面以及經(jīng)分光元件4的外腔反饋光斑，通過對準(zhǔn)直透鏡2和分光元件4進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，調(diào)節(jié)反饋光斑的尺寸和位置，最終使反饋光斑和內(nèi)腔腔面完全重合，獲得外腔激光器光路的最佳狀態(tài)；
[0045]步驟5:當(dāng)對外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整完成后，通過再次平移或旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡3移出光路，避免外腔激光器的輸出光損失。
[0046]實(shí)施中，該調(diào)整裝置能將半導(dǎo)體增益器件I發(fā)光經(jīng)分光元件4反饋后的光斑和半導(dǎo)體增益器件I內(nèi)腔腔面直觀地反映在顯示屏7上，便于調(diào)整二者重合，有助于外腔半導(dǎo)體激光器的光路調(diào)整，進(jìn)而提高外腔光反饋調(diào)節(jié)精度，改善外腔半導(dǎo)體激光器性能。
[0047]本發(fā)明提供的一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置及調(diào)整方法可以應(yīng)用于利特羅、利特曼光柵外腔半導(dǎo)體激光器以及由其它元件構(gòu)成的外腔半導(dǎo)體激光器所使用的光路中，用以改善外腔半導(dǎo)體激光器的性能。
[0048]實(shí)施例2
[0049]如圖2所示，與實(shí)施例1類似，其區(qū)別在于分光元件采用衍射光柵41，將本發(fā)明應(yīng)用于利特羅型光柵外腔半導(dǎo)體激光器的光路中，主要包括:半導(dǎo)體增益器件11、準(zhǔn)直透鏡21、分束鏡31、衍射光柵41、聚焦透鏡51、CXD攝像機(jī)61和顯示屏71。
[0050]所述半導(dǎo)體增益器件11為具有光增益的半導(dǎo)體發(fā)光器件，可選擇出光腔面鍍有增透膜的邊發(fā)射半導(dǎo)體激光二極管。
[0051]所述準(zhǔn)直透鏡21為具有光學(xué)準(zhǔn)直作用的光學(xué)鏡片，能將半導(dǎo)體增益器件11發(fā)出的光束準(zhǔn)直為平行光束，可選擇數(shù)值孔徑為0.5的非球面透鏡。
[0052]所述分束鏡31為厚度小于1mm，可將入射光束分成具有一定光強(qiáng)比的透射與反射兩束光的光學(xué)元件，可選擇透射與反射光強(qiáng)比為1:1。
[0053]所述分束鏡31被安裝在一旋轉(zhuǎn)置物臺上，可在光路系統(tǒng)中移進(jìn)移出，即調(diào)整外腔光路時將分束鏡31移入外腔光路，調(diào)整完畢將其移出光路系統(tǒng)，避免外腔激光器使用時的光損失。由于分束鏡31厚度較小，可忽略移進(jìn)移出分束鏡31對外腔光路系統(tǒng)的影響。
[0054]所述衍射光柵41為具有色散分光作用的光學(xué)元件，其一級衍射光可沿入射光方向反饋回半導(dǎo)體增益器件。
[0055]所述聚焦透鏡51為具有光學(xué)聚焦作用的光學(xué)鏡片，能將光束聚焦于CCD攝像機(jī)61中，可選擇焦距為5cm的凸透鏡。
[0056]所述CXD攝像機(jī)61位于聚焦透鏡51的焦點(diǎn)上，使外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器件11的內(nèi)腔腔面成像于CCD攝像機(jī)61表面。
[0057]所述所述顯示屏71與CXD攝像機(jī)61相連接，在顯示屏71上可觀察成像于CXD攝像機(jī)61中的外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器件11內(nèi)腔腔面的圖像。
[0058]本實(shí)施例提供的一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整方法，包括以下步驟:
[0059]步驟1:當(dāng)對利特羅型光柵外腔半導(dǎo)體激光器進(jìn)行光路調(diào)整時，通過旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡31移入光路中。
[0060]步驟2 ;將半導(dǎo)體增益器件11工作電流調(diào)大至其激射，所發(fā)激光通過準(zhǔn)直透鏡21進(jìn)行準(zhǔn)直后射向分束鏡31，此時一部分激光光強(qiáng)透過分束鏡31射向衍射光柵41，另一部分激光光強(qiáng)被分束鏡31反射后射向聚焦透鏡51 ;在此選用厚度小于Imm的分束鏡31，避免移出分束鏡31后引起外腔光路發(fā)生變化。
[0061]步驟3:透射光在衍射光柵41上發(fā)生多級衍射，通過調(diào)節(jié)衍射光柵41的角度將一級衍射光反饋到半導(dǎo)體增益器件11的內(nèi)腔腔面附近。
[0062]步驟4:通過調(diào)節(jié)聚焦透鏡51將經(jīng)過分束鏡31的反射光聚焦于CXD攝像機(jī)61中，此時在顯示屏71上可顯示出半導(dǎo)體增益器件11的內(nèi)腔腔面以及經(jīng)衍射光柵41的外腔反饋光斑，通過對準(zhǔn)直透鏡21和衍射光柵41進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，可使衍射光斑和內(nèi)腔腔面完全重合，獲得外腔光路的最佳狀態(tài)。
[0063]步驟5:當(dāng)對利特羅型光柵外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整完成后，通過旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡31移出光路，避免外腔激光器的輸出光損失。
【權(quán)利要求】
1.一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于設(shè)有半導(dǎo)體增益器件、準(zhǔn)直透鏡、分束鏡、分光元件、聚焦透鏡、CXD攝像機(jī)和顯示屏； 所述半導(dǎo)體增益器件、準(zhǔn)直透鏡、分束鏡、分光元件依次同軸排列，聚焦透鏡和CCD攝像機(jī)依次設(shè)在分束鏡的反射光路上，CCD攝像機(jī)的輸出端口接顯示屏的輸入端。
2.如權(quán)利要求1所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于所述半導(dǎo)體增益器件為具有光增益的半導(dǎo)體發(fā)光器件，包括但不限于邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器、超輻射發(fā)光二極管、光放大器。
3.如權(quán)利要求1所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于所述準(zhǔn)直透鏡為具有光學(xué)準(zhǔn)直作用的光學(xué)鏡片，能將半導(dǎo)體增益器件發(fā)出的光束準(zhǔn)直為平行光束，包括但不限于非球面透鏡、雙膠合透鏡、物鏡鏡頭。
4.如權(quán)利要求1所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于所述分束鏡為厚度小于1mm，可將入射光束分成具有透射與反射兩束光的光學(xué)兀件；所述分束鏡被安裝在一置物臺上，可在光路系統(tǒng)中移進(jìn)移出，即調(diào)整外腔光路時將其移入光路系統(tǒng)。
5.如權(quán)利要求4所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于所述透射與反射兩束光的光強(qiáng)比為1:1。
6.如權(quán)利要求1所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于所述分光元件米用衍射光柵。
7.如權(quán)利要求1所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于所述聚焦透鏡為具有光學(xué)聚焦作用的光學(xué)鏡片，能將光束聚焦于CCD攝像機(jī)中，包括但不限于焦距為5cm的凸透鏡或平凸透鏡。
8.如權(quán)利要求1所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，其特征在于所述CCD攝像機(jī)位于聚焦透鏡的焦點(diǎn)上，使外腔反饋光斑及半導(dǎo)體增益器的內(nèi)腔腔面成像于CCD攝像機(jī)表面。
9.一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整方法，其特征在于采用如權(quán)利要求1?7中任一所述一種外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整裝置，所述調(diào)整方法包括以下步驟: 步驟1:當(dāng)對外腔半導(dǎo)體激光器進(jìn)行光路調(diào)整時，通過平移或旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡移入光路中； 步驟2:將半導(dǎo)體增益器件激射后的激光通過準(zhǔn)直透鏡進(jìn)行準(zhǔn)直后射向分束鏡，此時一部分激光光強(qiáng)透過分束鏡射向分光元件，另一部分激光光強(qiáng)被分束鏡反射后射向聚焦透鏡; 步驟3:透射光在分光元件上發(fā)生多級衍射，通過調(diào)節(jié)分光元件的角度將一級衍射光反饋到半導(dǎo)體增益器件內(nèi)腔腔面附近； 步驟4:通過調(diào)節(jié)聚焦透鏡將經(jīng)過分束鏡的反射光聚焦于CCD攝像機(jī)中，此時在顯示屏上顯示出半導(dǎo)體增益器件的內(nèi)腔腔面以及經(jīng)分光元件的外腔反饋光斑，通過對準(zhǔn)直透鏡和分光元件進(jìn)行多維狀態(tài)微調(diào)整，調(diào)節(jié)反饋光斑的尺寸和位置，最終使反饋光斑和內(nèi)腔腔面完全重合，獲得外腔激光器光路的最佳狀態(tài)； 步驟5:當(dāng)對外腔半導(dǎo)體激光器光路調(diào)整完成后，通過再次平移或旋轉(zhuǎn)置物臺將分束鏡移出光路，避免外腔激光器的輸出光損失。
【文檔編號】H01S5/14GK104393486SQ201410804687
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年12月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月22日
【發(fā)明者】呂雪芹, 王霏 申請人:廈門大學(xué)