一種氮氣加熱裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種氮氣加熱裝置，包括：加熱器件，空心管，噴嘴，溫度感應(yīng)器和透蓋，其特征在于：所述空心管的內(nèi)部設(shè)置有臺階；臺階兩側(cè)的空心管壁內(nèi)腔的截面積不同;空心管內(nèi)腔的截面積較大一側(cè)為紊流區(qū)域;紊流區(qū)域一側(cè)的末端裝有透蓋；透蓋和臺階之間裝有噴嘴;所述溫度感應(yīng)器安裝在透蓋上，并且其感應(yīng)端靠近噴嘴；空心管內(nèi)腔截面積較小的一側(cè)的端部裝有加熱器件。所述加熱器件的末端與空心管腔內(nèi)部的臺階在同一個管截面上。所述透蓋和加熱器件通過螺紋連接或通過盈配合安裝到空心管上。本發(fā)明的有益效果是：通過提高輸出的氮氣溫度的控制精度，提高裝置的相應(yīng)速度，有利于改善對設(shè)備的生產(chǎn)效率。
【專利說明】一種氮氣加熱裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種用于晶圓烘干的氮氣加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓的清洗和烘干是半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中必不可少的工藝要求。目前行業(yè)內(nèi)普遍采用的烘干方式是將氮氣加熱后用來烘干晶圓。加熱氮氣所采用的技術(shù)方案為:將氮氣通入一個一端裝有加熱器件，另一端用悶蓋堵起來的空心管內(nèi)；氮氣輸入口開在空心管上靠近固定加熱器件的一端；在靠近悶蓋的一端設(shè)有安裝孔，用于安裝噴嘴；在空心管壁上安裝溫度傳感器，用于檢測和反饋加熱器件的溫度。該方案的工作原理是:常溫氮氣通過輸入口輸入到空心管內(nèi)，氮氣在空心管內(nèi)流通過程中與加熱器件接觸并被加熱；加熱后的氮氣從另一端的噴嘴處噴出，吹在晶圓上將晶圓烘干。安裝在空心管壁上的溫度傳感器用于檢測到管壁的溫度，并反饋給控制器，控制器調(diào)節(jié)加熱器件的功率以達(dá)到輸出設(shè)定溫度的氮氣的目的。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)方案存在以下缺陷:1溫度傳感器檢測到的是管壁的溫度而非管內(nèi)氮氣的溫度，由于溫度場的存在，造成檢測結(jié)果與氮氣的實際溫度存在偏差；2即使有些改進(jìn)方案可以檢測到氮氣的溫度，但由于傳感器安裝在管壁上而非氮氣噴出處，而這兩者之間往往存在一定距離，因此感應(yīng)器反饋的溫度仍非噴嘴噴出的氮氣的溫度；3氮氣在被加熱時，往往存在受熱不均勻，安裝在空心管壁上的溫度感應(yīng)器只能感應(yīng)到一點的溫度，而空心管內(nèi)氮氣的整體溫度水平。由于上述三項缺陷的存在造成采用現(xiàn)有技術(shù)方案時，裝置的實際溫度控制效果不理想。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目是提供一種能改善氮氣受熱不均勻，同時能準(zhǔn)確檢測到輸出端氮氣溫度的氮氣加熱裝置。
[0005]本發(fā)明為達(dá)到上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種氮氣加熱裝置，包括:加熱器件，空心管，噴嘴，溫度感應(yīng)器和透蓋，其特征在于:所述空心管的內(nèi)部設(shè)置有臺階；臺階兩側(cè)的空心管壁內(nèi)腔的截面直徑不同；空心管內(nèi)腔的截面直徑較大一側(cè)為紊流區(qū)域；紊流區(qū)域一側(cè)的末端裝有透蓋；透蓋和臺階之間裝有噴嘴；所述溫度感應(yīng)器安裝在透蓋上，并且其感應(yīng)端靠近噴嘴；空心管內(nèi)腔截面直徑較小的一側(cè)的端部裝有加熱器件。
[0006]所述加熱器件的末端與空心管腔內(nèi)部的臺階在同一個管截面上。
[0007]所述透蓋和加熱器件通過螺紋連接或通過盈配合安裝到空心管上。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:通過提高輸出的氮氣溫度的控制精度，提高裝置的相應(yīng)速度，有利于改善對設(shè)備的生產(chǎn)效率。
[0009]【專利附圖】

【附圖說明】[0010]圖1是本發(fā)明所述的一種氮氣加熱裝置的接頭示意圖圖；
圖2是本發(fā)明所述的一種氮氣加熱裝置的剖視圖；
圖中:1、透蓋，2、溫度感應(yīng)器，3、噴嘴，4、空心管，5、加熱器件，6、氮氣輸入接頭，7、與加熱器件末端對應(yīng)的臺階，8紊流區(qū)域。
[0011]
【具體實施方式】
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0012]如附圖1所示，空心管4的一端裝有加熱器件5 ;靠近加熱器件5的管壁上設(shè)有安裝孔，用于安裝氮氣輸入接頭6 ;在與加熱器件相對應(yīng)的另一端裝有透蓋I ;在透蓋I上裝有溫度感應(yīng)器2 ;在空心管4靠近透蓋I的一端開有安裝孔，用于安裝噴嘴3。
[0013]如附圖2所示，在空心管4上設(shè)有一個臺階7，臺階7與加熱器件5的末端對應(yīng)。臺階7與透蓋I之間的部分為紊流區(qū)域8;空心管4從噴嘴3到臺階7之間的部分的截面積大于從氮氣輸入接頭到臺階7之間的截面積。
[0014]工作時，常溫的氮氣從氮氣輸入接頭6輸入到空心管4的內(nèi)部，氣流接觸到加熱器件5時受熱，溫度升高并向空心管4的另一端流動。如圖2所示，氮氣流經(jīng)臺階7時由于空間的突然增大，在臺階7與噴嘴之間產(chǎn)生紊流，紊流效應(yīng)可以改善氮氣在受熱時存在的溫度不均勻。受熱的氮氣在壓力作用下從噴嘴3內(nèi)噴出。溫度感應(yīng)器I的感應(yīng)端位于噴嘴的出氣口處，檢測到的溫度為紊流效應(yīng)之后并且噴出時的氮氣溫度。
[0015]以上是對本發(fā)明的描述而非限定，基于本發(fā)明思想的其他實施例，亦均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之中。
【權(quán)利要求】
1.一種氮氣加熱裝置，包括:加熱器件，空心管，噴嘴，溫度感應(yīng)器和透蓋，其特征在于:所述空心管的內(nèi)部設(shè)置有臺階，臺階兩側(cè)的空心管壁內(nèi)腔的截面積不同；空心管內(nèi)腔的截面積較大一側(cè)為紊流區(qū)域；紊流區(qū)域一側(cè)的末端裝有透蓋；透蓋和臺階之間裝有噴嘴；所述溫度感應(yīng)器安裝在透蓋上，并且其感應(yīng)端靠近噴嘴；空心管內(nèi)腔截面積較小的一側(cè)的端部裝有加熱器件。
2.如權(quán)利要求1所述的一種氮氣加熱裝置，其特征在于:所述加熱器件的末端與空心管腔內(nèi)部的臺階在同一個管截面上。
3.如權(quán)利要求1所述的一種氮氣加熱裝置，其特征在于:所述透蓋和加熱器件通過螺紋連接或通過盈配合安裝到空心管上。
【文檔編號】H01L21/67GK103943538SQ201410168681
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】田英干 申請人:蘇州天霖電子科技有限公司