技術(shù)總結(jié)
在三維(3D)非易失性存儲(chǔ)器中，存儲(chǔ)器元件布置成三維圖案，由具有x、y和z方向的直角坐標(biāo)限定，并且在z方向，從底平面到頂平面的多個(gè)平行平面堆疊在半導(dǎo)體基板之上；多個(gè)局部位線，在z方向延伸通過多個(gè)層，并且布置成位線柱的二維矩形陣列，具有在x方向的行和在y方向的列；該3D非易失性存儲(chǔ)器還具有多個(gè)階梯字線，在y方向分隔開且在該多個(gè)位線柱之間并在多個(gè)交叉點(diǎn)與該多個(gè)位線柱分開，各階梯字線的每一個(gè)具有一系列的交替臺(tái)階和階升，該一系列的交替臺(tái)階和階升分別在x方向和z方向延伸，橫穿過在z方向的該多個(gè)平面，每個(gè)平面有一段。

技術(shù)研發(fā)人員：R-A.塞爾尼;G.薩馬奇薩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：桑迪士克科技有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201380041348
技術(shù)研發(fā)日：2013.06.12
技術(shù)公布日：2017.07.28