離子束照射裝置制造方法
【專利摘要】離子束照射裝置(10)具備:真空槽(14),其收容對基板(S)進(jìn)行保持的輸送托盤(T);輸送部,其在真空槽(14)內(nèi)向輸送方向輸送輸送托盤(T);離子束照射部(21L、21U),其向真空槽(14)內(nèi)的預(yù)定的照射位置照射離子束;以及位置檢測部(23A-23D),其檢測輸送托盤(T)的位置。位置檢測部(23A-23D)通過輸送托盤(T)的輸送而在預(yù)定的拍攝位置對表示輸送托盤(T)上的部位的、沿輸送方向排列且彼此不同的多個指標(biāo)分別進(jìn)行拍攝,基于所拍攝到的指標(biāo)來檢測出輸送托盤(T)相對于拍攝位置的位置。
【專利說明】離子束照射裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及向各種基板、例如構(gòu)成大型FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)的 基板等照射離子束的離子束照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 有機(jī)EL顯示器或液晶板顯示器等大型FPD經(jīng)過向構(gòu)成大型FPD的基板照射離子 束的處理而被制造。作為進(jìn)行這樣的離子束照射處理的裝置,已知有例如如專利文獻(xiàn)1所 記載的一種裝置,其使用多個離子源,并且只使基板向輸送方向輸送,就可以多次進(jìn)行離子 束的照射。根據(jù)這樣的構(gòu)成,與由單個的離子源進(jìn)行離子束照射的構(gòu)成相比,能夠容易使照 射到基板上的離子束的劑量或能量等照射特性多樣化。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004] 專利文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2011-129332號公報
[0006] 可是,在如上述的離子束照射裝置中,隨著基板的大型化的普及,會有不少的這樣 的情況:離子束對基板的照射時間超過離子源的輸出被維持的時間。在這樣的情況下,在正 在對基板照射離子束的中途,來自離子源的輸出下降或停止,其結(jié)果,會產(chǎn)生這樣的問題: 離子束的照射量在基板的面內(nèi)產(chǎn)生偏差。這點,若是上述專利文獻(xiàn)1所記載的構(gòu)成的話,可 以考慮通過增加基板的輸送次數(shù)、調(diào)整各個離子源的輸出、或通過并用這些等的方法來彌 補(bǔ)照射量的不足,即使在基板面內(nèi)上的照射量均勻。
[0007] 另一方面,基板在如上述的裝置中的輸送通常是通過配置在輸送路徑上的輸送滾 子的轉(zhuǎn)動,即、使輸送滾子轉(zhuǎn)動的電機(jī)的轉(zhuǎn)動來進(jìn)行。并且,如果在離子源的輸出下降時或 輸出停止時離子束多次重疊照射在以這樣的狀態(tài)被輸送的基板上,在面內(nèi)的照射量均勻的 基礎(chǔ)上,需要在每次照射時準(zhǔn)確地檢測出離子束在基板上的照射位置。但是,在上述的輸送 系統(tǒng)中,由于保持基板的輸送托盤相對于輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行滑動的情況也不少,所以單從電機(jī) 的轉(zhuǎn)動位置檢測出基板位置的方式中,基板位置的檢測結(jié)果本身產(chǎn)生偏差。
[0008] 其結(jié)果,只要這樣的基板位置的檢測誤差不減少,即使采取如上述的任何方法,基 板面內(nèi)的照射量的偏差依然不會減少。所以,在離子束照射裝置中要求更準(zhǔn)確地檢測出在 基板上的照射位置。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0009] 本發(fā)明是鑒于這樣的實情而做出的,其目的在于,提供一種能夠提高離子束在基 板上的照射位置的檢測精度的離子束照射裝置。
[0010] 以下,記載用于解決上述課題的方法及其作用效果。
[0011] 根據(jù)本發(fā)明的第1方式為,一種離子束照射裝置,具備:真空槽,其收容對基板進(jìn) 行保持的輸送托盤;輸送部,其在所述真空槽內(nèi)向輸送方向輸送所述輸送托盤;離子束照 射部,其向所述真空槽內(nèi)的預(yù)定的照射位置照射離子束;以及位置檢測部,其檢測所述輸送 托盤的位置,其中,所述位置檢測部通過所述輸送托盤的輸送而在預(yù)定的拍攝位置對表示 所述輸送托盤上的部位并沿所述輸送方向排列的彼此不同的多個指標(biāo)分別進(jìn)行拍攝,基于 所拍攝到的所述指標(biāo)來檢測出所述輸送托盤相對于所述攝像位置的位置。
[0012]在本發(fā)明的第1方式中,通過對表示在輸送托盤上的各個部位的多個指標(biāo)分別進(jìn) 行拍攝,從而檢測出輸送托盤相對于拍攝位置的位置。這時,拍攝指標(biāo)的拍攝位置和離子束 照射的照射位置的相對關(guān)系在輸送托盤被輸送的期間也被維持在預(yù)定的關(guān)系。因此,在每 次由位置檢測部檢測出輸送托盤上的指標(biāo)時,檢測出輸送托盤相對于拍攝位置的位置、即 輸送托盤相對于照射位置的位置。并且,與從輸送輸送托盤的輸送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動量等檢測出 輸送托盤的位置的方式相比,可以直接檢測出輸送托盤相對于照射位置輸送托盤的位置。 其結(jié)果,即使在輸送輸送托盤的輸送機(jī)構(gòu)和輸送托盤上產(chǎn)生偏差的情況下,也能抑制因為 這樣的偏差而產(chǎn)生檢測位置的誤差。進(jìn)而,能夠提高被保持在輸送托盤上的照射位置的檢 測精度。
[0013]在本發(fā)明的第2方式中,所述離子束照射部具備:輸出檢測部,其檢測離子束的輸 出;取得部,其以預(yù)定的周期取得所述位置檢測部的檢測結(jié)果和所述輸出檢測部的檢測結(jié) 果;以及存儲部,其將所述位置檢測部的檢測結(jié)果和所述輸出檢測部的檢測結(jié)果以彼此關(guān) 聯(lián)的方式存儲,所述位置檢測的檢測結(jié)果和所述輸出檢測部的檢測結(jié)果是所述取得部取得 的檢測結(jié)果。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的第2方式,由于位置檢測部的檢測結(jié)果和輸出檢測部的檢測結(jié)果以 彼此對應(yīng)的方式存儲,所以可以從被存儲在存儲部中的信息掌握以所需輸出照射離子束的 基板的部位。換句話來講,可以掌握以所需輸出以外的輸出照射離子束的基板的部位、或沒 有照射離子束的基板的部位。因此,可以以高精度對離子束照射不足的基板的部位進(jìn)行用 于彌補(bǔ)照射不足的進(jìn)一步的照射處理。
[0015]在本發(fā)明的第3方式中,所述輸出檢測部檢測離子束的輸出停止。
[0016]根據(jù)本f明的第3方式,可以掌握基板上的照射位置中的、成為輸出停止的位置。 因此,即使對于離子束變成輸出停止的位置也能提高檢測精度,進(jìn)而可以以高精度對離子 束沒有照射的基板的部位再次進(jìn)行照射處理。
[0017] 在本發(fā)明的第4方式中,所述輸送部在輸送處理的開始位置和該輸送處理的結(jié)束 位置之間輸送所述輸送托盤,所述輸送部具備控制部,該控制部控制所述輸送部的輸送,所 述存儲部將所述位置檢測部的檢測結(jié)果中的、與所述輸出停止進(jìn)行關(guān)聯(lián)的檢測結(jié)果作為停 止位置而存儲,在所述輸出檢測部檢測出輸出停止時,所述控制部以使所述輸送托盤在所 述開始位置和所述結(jié)束位置之間進(jìn)行往返的方式驅(qū)動所述輸送部,所述離子束照射部基于 所述停止位置和所述位置檢測部的檢測結(jié)果,而向所述基板上的離子束未照射部位照射離 子束。
[0018] 如上所述,隨著為離子束的照射對象的基板的大型化,會有不少這樣的情況,即基 板在橫穿離子束的照射位置的途中,會產(chǎn)生離子束的輸出停止。
[0019] 這點,在本發(fā)明的第4方式中,在檢測出離子束的輸出停止時,這時的輸送托盤相 對于拍攝位置的位置作為與輸出停止進(jìn)行關(guān)聯(lián)的停止位置而被存儲在存儲部中。并且,在 輸送托盤相對于拍攝位置的位置處于停止位置和結(jié)束位置之間時,再度輸出離子束。因此, 對于離子束沒有照射的部位,以較高的位置精度再次進(jìn)行離子束的照射。
[0020] 在本發(fā)明的第5方式中,在所述輸出檢測部檢測出輸出停止時,所述控制部向所 述輸送方向輸送所述輸送托盤直到所述輸送托盤相對于所述拍攝位置的位置處于離子束 沒有照射在所述基板上的非照射位置后,從所述非照射位置向所述輸送方向的反方向輸送 所述輸送托盤,所述離子束照射部在所述輸送托盤相對于所述拍攝位置的位置到達(dá)所述非 照射位置時再次開始離子束的照射,并在所述輸送托盤相對于所述拍攝位置的位置到達(dá)所 述停止位置時停止所述離子束的照射。
[0021] 在離子束照射部中,通常,使離子束的輸出到達(dá)所需的設(shè)定值的為止所需的時間 比企圖停止離子束的輸出所需的時間長。
[0022] 這點,在本發(fā)明的第5方式中,在檢測出離子束的輸出停止時,這時的輸送托盤相 對于拍攝位置的位置作為與輸出停止進(jìn)行關(guān)聯(lián)的停止位置而被存儲在存儲部中。并且,在 輸送托盤被輸送到非照射位置后,再次開始離子束的照射,之后開始向與之前進(jìn)行離子束 的照射時相反的方向輸送輸送托盤,并在輸送托盤相對于拍攝位置的位置到達(dá)停止位置 時,停止離子束的照射。因此,可以對基板上的沒有進(jìn)行離子束的照射的部位,以高位置精 度再次進(jìn)行離子束的照射。
[0023] 并且,在對離子束的照射不足的部位再次照射離子束的方式中列舉了如下方式: 從停止位置向輸送方向輸送輸送托盤,從而對基板掃描離子束;以及,朝向與輸送方向相反 的方向輸送輸送托盤直到停止位置,從而對基板掃描離子束。這些方式中的、在從停止位置 向輸送方向輸送輸送托盤的方式中,由于需要在輸送托盤配置在停止位置之前再次開始離 子束的輸出,所以對已經(jīng)照射離子束的位置會有一點點被再次照射離子束。
[0024] 這點,在本發(fā)明的第5方式中,在發(fā)生了輸出停止后的離子束的照射通過向與輸 送方向相反的方向輸送輸送托盤來進(jìn)行。因此,與從停止位置向輸送方向輸送輸送托f的 方式相比,以離子束的輸出維持在設(shè)定值的狀態(tài)對基板進(jìn)行離子束的照射。由此,即使離子 束的輸出在照射的途中停止,也可以從基板上的輸送方向的一端到另一端抑制離子束的照 射量的偏差的同時,能夠從基板上的輸送方向的一端到另一端進(jìn)行離子束的照射。
[0025] 在本發(fā)明的第6方式中,所述多個指標(biāo)分別為條形碼,并且其在所述輸送托盤的 輸送方向上從所述輸送托盤的一端排列到另一端。
[0026] 在本發(fā)明的第6方式中,多個條形碼被排列在輸送托盤上,而且該多個條形碼在 所述輸送托盤的輸送方向上從輸送托盤的一端排列到另一端。若是這樣的方式的話,由于 可以從輸送托盤的一端到另一端獲得輸送托盤相對于拍攝位置的位置,所以即使處于在輸 送托盤上的輸送方向的任意的位置,也能夠進(jìn)一步提高輸送托盤的位置的檢測精度。
[0027]在本發(fā)明的第7方式中,所述離子束照射部具備輸出離子束的離子源,所述位置 檢測部相對于所述輸送托盤被配置在所述離子源的相反側(cè)上。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的第7方式,由于位置檢測部相對于輸送托盤被配置在離子源的相反 側(cè)上,所以被這樣的位置檢測部拍攝的指標(biāo)也理所當(dāng)然相對于輸送托盤被配置在與位置檢 測部相同的一側(cè)上。如果是這樣的方式的話,因為指標(biāo)被配置在輸送托盤上的沒有照射離 子束的一側(cè)上,所以可以抑制由于離子束的熱等而使指標(biāo)的輪廓劣化。所以,抑制因為指標(biāo) 的輪廓劣化而導(dǎo)致離子束的照射位置的檢測精度下降。
[0029]在本發(fā)明的第8方式中,所述位置檢測部被配置在與所述離子源的照射位置不對 置的位置上。
[0030] 根據(jù)本發(fā)明的第8方式,由于位置檢測部被配置在與離子源的照射位置不對置的 位置上,所以可以抑制因為離子束的熱等而使位置檢測部的拍攝機(jī)構(gòu)熱性劣化。所以,抑制 因為指標(biāo)的輪廓劣化而是使離子束的照射位置的檢測精度降低。
[0031]在本發(fā)明的第9方式中,所述離子束照射部的照射位置由在與所述輸送方向交叉 的交叉方向上被劃分且彼此接觸的第1照射位置和第2照射位置組成,所述離子束照射部 具備:第1離子源,其向所述第1照射位置照射離子束;以及第2離子源,其向所述第2照射 位置照射離子束。
[0032] 在本發(fā)明的第9方式中,離子束照射部的照射位置由第1照射位置和第2照射位 置組成、且在第1照射位置和第2照射位置上由不同的離子源進(jìn)行離子束的照射。因此, 由于由多個離子源對上述照射位置照射離子束,所以相比于用單個離子源進(jìn)行離子束的照 射,可以以多種方式對上述照射位置照射離子束。所以,離子束容易以所需的照射量照射在 上述照射區(qū)域內(nèi)。
[0033] 另一方面,離子束的照射位置由第1照射位置和第2照射位置組成、且在存在這些 的一部分重疊的重復(fù)區(qū)域的情況下,對該重復(fù)區(qū)域的離子束的照射量為來自第1離子源的 照射量與來自第2離子源的照射量之和。因此,在向上述照射位置內(nèi)照射預(yù)定量的離子束 的情況下,來自第1離子源及第2離子源的離子束的照射方式需要考慮在另一個離子源上 的離子束的照射方式而設(shè)定。
[0034] 這點,在上述本發(fā)明的第9方式中,由于第1照射位置和第2照射位置以鄰接的方 式被配置,所以在第1離子源及第2離子源上的離子束的照射方式不需要考慮如上述的重 復(fù)區(qū)域而設(shè)定、即能夠個別設(shè)定第1離子源及第2離子源的離子束的照射方式。所以,離子 束在第1離子源及第2離子源上的照射方式成為更簡單的方式,并且還能提高離子束照射 工序的吞吐量。
[0035] 在本發(fā)明的第10方式中,所述多個指標(biāo)分別為條形碼,所述輸送托盤具有2個條 形碼群,該條形碼群由多個所述條形碼構(gòu)成,所述2個所述條形碼群在所述交叉方向上以 夾著所述第1照射位置和第2照射位置的方式配置,并且其由所述第1照射位置側(cè)的第1 條形碼群和所述第2照射位置側(cè)的第2條形編碼群構(gòu)成,所述位置檢測部由第1位置檢測 部和第2位置檢測部構(gòu)成,所述第1位置檢測部被配置在與所述第1條形碼群彼此對置的 位置上并拍攝所述第1條形碼群,所述第2位置檢測部被配置在與所述第2條形碼群彼此 對置的位置上并拍攝所述第2條形碼群,在所述第1離子源輸出時,所述離子照射部取得第 2位置檢測部的檢測結(jié)果,在所述第2離子源輸出時,所述離子照射部取得第1位置檢測部 的檢測結(jié)果。
[0036] 在本發(fā)明的第10方式中,輸送托盤具有被設(shè)置在輸送托盤上的第1照射位置側(cè)上 的第1條形碼群、及被設(shè)置在輸送托盤上的第2照射位置側(cè)上的第2條形碼群。并且,在向 第1照射位置照射離子束時拍攝條形碼的第2位置檢測部讀取第1條形碼群,另一方面在 向第2照射位置照射離子束時拍攝條形碼的第1位置檢測部讀取第1條形碼群。因此,可 以抑制從離子束照射部輸出的離子束在到達(dá)基板之前被位置檢測部妨礙、即可以抑制從離 子束照射部輸出的離子束照射在位置檢測部上。正因為這樣,對于基板的離子束的照射不 被妨礙,并能提高離子束照射位置的檢測精度。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0037] 圖1 (a)是表示將離子束照射裝置具體化的一個實施方式的平面構(gòu)造的俯視圖, 是用實線表示被收容于其內(nèi)部的輸送托盤的圖。 _
[0038] 圖1(b)是表示相同實施方式的側(cè)面構(gòu)造的側(cè)視圖,是同樣地用虛線表示被收容 于其內(nèi)部的輸送托盤的概要構(gòu)成圖。
[0039] 圖2是將處理室的內(nèi)部構(gòu)造與輸送托盤的側(cè)面構(gòu)造一起示出的構(gòu)成圖。
[0040] 圖3(a)是放大表示上部條形碼局部的放大圖。
[0041] 圖3(b)是表示第1條形碼讀取部從上部條形碼讀取到的信息的圖。
[0042] 圖4是表示離子束照射裝置的電氣構(gòu)成的框圖。
[0043] 圖5是表示離子束照射處理的順序的時序圖。
[0044] 圖6是表示反向輸送處理的順序的時序圖。
[0045] 圖7(a)?(f)是表示輸送托盤在離子束照射處理中的動作的作用圖。
[0046] 圖8 (a)?(e)是表示輸送托盤在離子束照射處理中的動作的作用圖。
[0047] 圖9(a)?(f)是表示輸送托盤在反向輸送處理中的動作的作用圖。
[0048] 圖10(a)?(c)是表不輸送托盤在反向輸送處理中的動作的作用圖。
[0049] 圖11是放大表示變形例中的上部條形碼的局部的放大圖。
【具體實施方式】
[0050] 以下,參照圖1-圖10,對將本發(fā)明的離子束照射裝置具體化的一個實施方式進(jìn)行 說明。
[0051] [離子束照射裝置的整體構(gòu)成]
[0052] 首先,參照圖1對離子束照射裝置的整體構(gòu)成進(jìn)行說明。
[0053] 如圖1(a)所示,在離子束照射裝置10上搭載有裝卸室11、加載互鎖真空室 (load-lock chamber) 12、緩沖室13、以及處理室14,并且這些室11-14各自通過閘閥15而 與相鄰的室連接。
[0054] 在離子束照射裝置10中彼此平行地鋪設(shè)有:為輸送路徑的去路R1,其從裝卸室11 向處理室14延伸;以及為輸送路徑的回路R2,其從處理室14向裝卸室11延伸。呈矩形板 狀的多個輸送托盤T沿去路R1及回路R2輸送。
[0055] 在裝卸室11中,將從外部搬入的處理前的基板S安裝到處于放倒?fàn)顟B(tài)的輸送托盤 T上,并且將輸送托盤T以豎立的狀態(tài)搬出到加載互鎖真空室12中。在裝卸室11中,將從 加載互鎖真空室12搬入的輸送托盤T變成放倒?fàn)顟B(tài),并且從輸送托盤T卸下處理后的基板 S并將其搬出到外部。裝卸室11在大氣壓下進(jìn)行這樣的基板S在輸送托盤T上的裝卸、及 輸送托盤T的姿勢的變更。
[0056] 輸送托盤T具有與輸送路徑相互平行的、上下呈一對的上部框及下部框。在輸送 托盤T被豎立時,在對基板S的上端進(jìn)行保持的上部框上貼有上部條形碼群C1,該上部條形 碼群C1由表示上部框上的各個部位的多個條形碼形成,而另一方面,在對基板S的下端進(jìn) 行保持的下部框上貼有下部條形碼群C 2,該下部條形碼群C2由表示下部框上的各個部位 的多個條形碼形成。條形碼群C1、C2被粘貼在上部框及下部框上的從輸送方向的一端到另 一端的整個區(qū)域上。條形碼群C1、C 2例如為在由聚酯形成的膠帶上印字有多個條形碼的條 形碼群(參照圖3(a))。
[0057] 加載互鎖真空室12在將內(nèi)部變成大氣壓的狀態(tài)下,沿去路R1從裝卸室11搬入輸 送托盤T,并且在對內(nèi)部進(jìn)行減壓的狀態(tài)下,將輸送托盤T沿去路R1搬出到緩沖部13中。 加載互鎖真空室12在對內(nèi)部進(jìn)行減壓的狀態(tài)下,沿回路R2從緩沖室13搬入輸送托盤T,并 在將內(nèi)部設(shè)為大氣壓的狀態(tài)下,將輸送托盤T沿回路R2搬出到裝卸室11中。
[0058] 緩沖室13在將內(nèi)部減壓成與上述加載互鎖真空室12同等的壓力的狀態(tài)下,沿去 路R1從加載互鎖真空室12搬入輸送托盤T,并且沿回路R 2從處理室14搬入輸送托盤T。
[0059] 在處理室14中的去路R1的終端側(cè)上,且在去路R1和回路R2之間搭載有一對轉(zhuǎn) 換部TR。轉(zhuǎn)換部TR使被輸送到去路R1的終端附近的輸送托盤T移動到回路R2的始端附 近,從而使輸送托盤T的輸送路徑從去路R1轉(zhuǎn)換為回路R2。
[0060] 在處理室14中,在沿上述輸送方向延伸的兩個側(cè)壁部中的、回路R2側(cè)的側(cè)壁部上 搭載有向處理室14內(nèi)照射離子束的第1離子源21L,上述輸送方向是室11-14的連接方向。 并且,在上述側(cè)壁部上的比第1離子源21L更靠回路R2的始端側(cè)的位置上,同樣地搭載有 向處理室14內(nèi)照射離子束的第 2離子源21U。第1離子源21L和第2離子源21U例如以隔 開輸送托盤T在輸送方向上的寬度的方式配置。一方面,第1離子源21L被配置在其被搭 載的側(cè)壁部的下側(cè),而另一方面,第2離子源21U被配置在其被搭載的側(cè)壁部的上側(cè)。
[0061] 另外,在下文中,在處理室14內(nèi),將依照離子束對輸送托盤T的照射處理的順序輸 送該輸送托盤T的方向設(shè)定為正方向。另一方面,將與離子束對輸送托盤T的照射處理的順 序相反地輸送該輸送托盤τ的方向設(shè)定為反方向。即、在輸送托盤τ在去路R1上輸送時, 向離開緩沖室13的方向的輸送為向正方向的輸送,另一方面,在輸送托盤T在回路R 2上輸 送時,向緩沖室13的方向的輸送為向正方向的輸送。并且,向與這些相反的方向的輸送為 向反方向的輸送。另外,圖1的白色空心箭頭表示向上述正方向的輸送。
[0062] 第1離子源21L向為真空槽的處理室14內(nèi)的預(yù)定的第1照射位置照射離子束,并 對于被安裝在輸送托盤T上的基板S,通過輸送托盤T的輸送而向該基板S上的下側(cè)一半 的部分、即下部區(qū)域SL照射離子束。第2離子源21U向處理室14內(nèi)的預(yù)定的第2照射位 置照射離子束,并對于被安裝在輸送托盤T上的基板S,通過輸送托盤T的輸送而向該基板 S的上側(cè)一半的部分、即上部區(qū)域SU照射離子束。離子源21L、21U分別對被安裝到在去路 R1上輸送的輸送托盤T上的基板S照射離子束,并且向被安裝到在回路R2上輸送的輸送 托盤T上的基板S照射離子束。即、離子源21L、 21U分別以不同的時機(jī)對被安裝在同一個 輸送托盤T上的一個基板S的相互不同的部位進(jìn)行兩次離子束的照射。離子源21L、21U由 于對輸送中的輸送托盤T進(jìn)行離子束的照射,所以基板S上的離子束照射部位沿輸送托盤 T的輸送方向,而在基板S上相對地移動。
[0063] 如此,基板S由上部區(qū)域SU和下部區(qū)域SL構(gòu)成,且在上部區(qū)域SU和下部區(qū)域SL 上由不同的離子源21L、21U以不同的時機(jī)進(jìn)行兩次離子束的照射。因此,與由單個離子源 對基板S進(jìn)行離子束的照射的情況、或?qū)Ω鱾€區(qū)域SU、SL只進(jìn)行一次離子束的照射的情況 相比,能夠以更多種的方式進(jìn)行對基板S的離子束的照射。所以,離子束容易以所需的照射 量照射在基板面內(nèi)。各個區(qū)域SU、SL彼此接觸,并且由不同的離子源21L、21U對各個區(qū)域 照射離子束。因此,與離子束的照射區(qū)域重疊的構(gòu)成相比,能夠個別地設(shè)定各個離子源21L、 21U的離子束的照射方式,使得離子束在各個離子源 21L、21U上的照射方式變得更簡單,并 能夠提高離子束照射工序的吞吐量。
[0064] 另外,為了便于圖示,離子源21L、21U都被示出在離開處理室14的位置上。但是 實際上離子源21L、21U為被設(shè)置在處理室14的外部的離子源經(jīng)由離子束所通過的通路而 被連接在處理室14上的構(gòu)成。
[0065] 在處理室14內(nèi),測量第1離子源21L輸出的離子束的第1輪廓測量部22L以在俯 視時夾著去路R1和回路R2而與第1離子源 21L對置的方式配置。并且,測量第2離子源 21U輸出的離子束的第2輪廓測量部22U以在俯視時夾著去路R1和回路R2而與第2離子 源21U對置的方式配置。第1輪廓測量部22L及第2輪廓測量部2邪測量被檢測出的離子 束的輪廓、例如離子束的輸出分布等。
[0066] 在處理室14中以沿著在室11-14的連接方向延伸的側(cè)壁部中的、去路R1側(cè)的側(cè) 壁部的方式搭載有第1條形碼讀取部23A,該第1條形碼讀取部23A將構(gòu)成上部條形碼群 C1的多個條形碼分別讀取。第1條形碼讀取部23A在俯視時與上述第1離子源21L、及第 1離子源21L的第1照射位置處于同一直線上的拍攝位置拍攝條形碼。并且,在去路R1上 的輸送托盤T到達(dá)第1照射位置時,第1條形碼讀取部23A在該拍攝位置檢測出上部條形 碼群C1的一端。這樣,第1條形碼讀取部23A構(gòu)成在處理室14內(nèi)的預(yù)定的拍攝位置拍攝 在去路R1上的輸送托盤T的條形碼的第2位置檢測部。
[0067] 在處理室14中,在上述側(cè)壁部上的比第1條形碼讀取部23A更靠近去路R1的終 端側(cè)上搭載有第2條形碼讀取部23B,該條形碼讀取部23B將構(gòu)成下部條形碼群C2的多個 條形碼分別讀取。第2條形碼讀取部23B在俯視時與上述第2離子源21U、及第2離子源 21U的第2照射位置處于同一直線上的拍攝位置拍攝條形碼。在去路R1上的輸送托盤T到 達(dá)第2照射位置時,第2條形碼讀取部23B在該拍攝位置檢測下部條形碼群C2的一端。這 樣,第2條形碼讀取部23B構(gòu)成在處理室14內(nèi)的預(yù)定的拍攝位置拍攝在去路R1上的輸送 托盤T的條形碼的第1位置檢測部。
[0068] 另外,為了便于圖示,條形碼讀取部23A、23B都被示出在離開處理室14的位置上。 但是實際上第1條形碼讀取部23A以沿上述側(cè)壁部的內(nèi)側(cè)面的方式被安裝在處理室14的 上壁的外側(cè)上,而另一方面,第2條形碼讀取部23B以沿側(cè)壁部的內(nèi)側(cè)面的方式被安裝在處 理室14的底壁的外側(cè)上。
[0069] 在處理室14內(nèi),在俯視時被上述去路R1和回路R2夾著的區(qū)域上搭載有第3條形 碼讀取部23C,該第3條形碼讀取部23C讀取構(gòu)成下部條形碼群C2的多個條形碼的各個條 形碼。第3條形碼讀取部23C在俯視時與上述第2離子源21U、及第2離子源21U的第2照 射位置處于同一直線上的拍攝位置拍攝條形碼。在回路R2上的輸送托盤T到達(dá)第2照射 位置時,第3條形碼讀取部23C在該拍攝位置檢測出下部條形碼群C2的一端。這樣,第3 條形碼讀取部23C構(gòu)成在處理室14內(nèi)的預(yù)定的拍攝位置拍攝在回路R2上的輸送托盤T的 條形碼的第1位置檢測部。
[0070] 在處理室14內(nèi),在俯視時被上述去路R1和回路R2夾著的區(qū)域上的回路R2的終 端側(cè)搭載有第4條形碼讀取部23D,該第4條形碼讀取部23D讀取構(gòu)成上部條形碼群C1的 ^個條形碼的各個條形碼。第4條形碼讀取部23D在俯視時與上述第1離子源21L、及第1 離子源 21L的第1照射位置處于同一直線上的拍攝位置拍攝條形碼。并且,在回路R2上的 輸送托盤T到達(dá)第1照射位置時,第4條形碼讀取部23D在該拍攝位置上檢測出上部條形 碼群Cl的一端。這樣,第4條形碼讀取部23D構(gòu)成在處理室14內(nèi)的預(yù)定的拍攝位置拍攝 在回路R2上的輸送托盤T的條形碼的第2位置檢測部。
[0071] 另外,第3條形碼讀取部23C與上述第2條形碼讀取部2邪同樣地被安裝在處理 室14的底壁的外側(cè)上,而另一方面,第4條形碼讀取部23D與上述第1條形碼讀取部 23A 同樣地被安裝在處理室Η的上壁的外側(cè)上。
[0072] 詳細(xì)地講,如圖1(b)所示,第1離子源21L的照射位置的大小為在與上述輸送方 向正交的高度方向上劃分基板S而成的兩個區(qū)域中的、下部區(qū)域SL上的高度方向的整體重 疊的大小。檢測出該離子束的上述第1輪廓測量部22L被設(shè)置在與上述第1照射位置相互 對置的位置上。另一方面,第2離子源21U的第2照射位置的大小為與上述兩個區(qū)域中的、 上部區(qū)域SU上的高度方向的整體重疊的大小。檢測出該離子束的上述第2輪廓測量部22U 被設(shè)置在與上述第2照射位置相互對置的位置上。
[0073] 這樣,由多個條形碼構(gòu)成的條形碼群C1、C2被設(shè)置在輸送托盤T上,而且該條形碼 群C1、C2在輸送托盤T的輸送方向上、例如正方向上從前端連續(xù)到后端。因此,能夠通過各 個讀取部23A-23D,在輸送托盤T的從一端到另一端的整個區(qū)域得到輸送托盤T相對于拍攝 位置的位置。所以,在輸送托盤T被輸送的方向、即正方向及反方向的兩個輸送方向上,無 論是位于輸送托盤T上的哪個位置,都可以由各個讀取部23A-23D直接得到輸送托盤T相 對于拍攝位置的位置,并能夠進(jìn)一步提高在輸送托盤T上的位置的檢測精度。
[0074] 輸送托盤T具有:作為第2條形碼群的上部條形碼群C1,其被設(shè)置在基板S上的 上部區(qū)域SU側(cè);以及作為第1條形碼群的下部條形碼群C2,其被設(shè)置在基板S上的下部區(qū) 域SL側(cè)。當(dāng)離子束照射在上部區(qū)域SU上時,作為第1位置檢測部的第2條形碼讀取部23B 及第3條形碼讀取部23C讀取下部條形碼群C2。另一方面,當(dāng)離子束照射在下部區(qū)域SL上 時,作為第2位置檢測部的第1條形碼讀取部23A及第4條形碼群23D讀取上部條形碼群 C1。因此,從離子源21L、21U輸出的離子束在不受到條形碼讀取部23A-23D妨礙的狀態(tài)下 到達(dá)基板S。所以,能夠抑制到達(dá)基板S的離子束在照射區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)輸出的偏差。由于能夠 避免離子束被照射在條形碼讀取部23A-23D上,所以能夠抑制因為離子束的熱等而使條形 碼讀取部23A-23D劣化。
[0075] 這樣的處理室14以將內(nèi)部減壓成比上述緩沖室13更低的壓力的狀態(tài)下,沿去路 R1從緩沖室13搬入輸送托盤T,并向被安裝在輸送托盤T上的基板S照射離子束。處理室 14進(jìn)行從去路R1向回路R2的輸送托盤T的輸送。處理室14在向被安裝在輸送托盤T上 的基板S照射離子束后,將輸送托盤T沿回路R2搬出至緩沖室13。
[0076][輸送托盤的詳細(xì)構(gòu)成]
[0077] 參照圖2對關(guān)于上述輸送托盤T、及輸送托盤T的輸送的構(gòu)成進(jìn)行說明。另外,由 于關(guān)于輸送托盤T的去路R1的構(gòu)成、和關(guān)于輸送托盤T的回路R2的構(gòu)成為如上述同樣的 構(gòu)成,所以在下文中只對關(guān)于輸送托盤T的去路R1的構(gòu)成詳細(xì)地進(jìn)行說明。在圖2中示出 了處理室14的內(nèi)部構(gòu)成、和在去路R1上被輸送的輸送托盤τ的構(gòu)成中的、從沒有照射上述 離子束的一側(cè)看時的構(gòu)成。
[0078] 如圖2所示,輸送托盤τ的托盤框31為具有與基板S大致相同形狀的安裝孔31a 的四角形的筐體。托盤框31由對基板S的上端進(jìn)行保持的上部框31b、對基板S的下端進(jìn) 行保持的下部框3lc、及對基板S的側(cè)部進(jìn)行保持的兩個側(cè)部框31d構(gòu)成。其中,在上部框 31b上,在上部框31b的整個輸送方向上貼有上部條形碼群Cl。在下部框31c上,在下部框 31c的整個輸送方向上貼有下部條形碼群C2。上部條形碼群C1和下部條形碼群C2被貼在 托盤框31上的、不被照射離子束的一面?zhèn)壬稀T谶@樣的構(gòu)成中,由于離子束不直接照射在 各個條形碼群Cl、C2上,所以能夠抑制因離子束的熱等造成的條形碼的劣化。
[0079] 被輸送托盤T保持的基板S是,例如,寬度W1為2200mm,高度Η為2400mm,并且各 個側(cè)部框3ld的寬度W2例如為25〇mm。因此,上部條形碼群C1及下部條形碼群C2所包含 的各個條形碼表示粘貼有該條形碼的框上的從一端起的部位的指標(biāo),表示從0mm到2700mm 的某一個數(shù)值、即表示輸送托盤T在輸送方向上的絕對位置。例如,表示〇mm的條形碼被貼 在輸送托盤T的正方向上的前端上,而另一方面,表示2700mm的條形碼被貼在輸送托盤T 的正方向上的后端上。在輸送托盤T到達(dá)離子束的照射位置時,由第1條形碼讀取部23A 對上部條形碼群C1進(jìn)行拍攝。因此,從條形碼表示的位置、即從輸送托盤T相對于拍攝位 置的位置減去側(cè)部框31d的寬度W2、即250mm而得到的值為基板S上的照射部位。
[0080] 如此,離子束照射裝置10具備第1條形碼讀取部23A,該第1條形碼讀取部23A對 離子束在基板S上的照射位置被唯一確定的上部條形碼群C1進(jìn)行拍攝。因此,可以抑制基 板S上的實際的照射部位、與檢測出該照射部位的位置檢測部的檢測結(jié)果產(chǎn)生偏差。所以, 能夠提高掌握基板S上的照射位置的精度。
[0081] 在輸送托盤T上的上側(cè)端面上安裝有托盤磁石32,并且在該輸送托盤T上的下側(cè) 端面上安裝有圓柱狀的托盤滑塊33。
[0082] 在處理室14的底面?zhèn)妊厣鲜鋈ヂ稲1配置有多個輸送滾子41。輸送滾子41分別 具有與上述托盤滑塊33的寬度大致相同的厚度,并在輸送滾子41的圓周方向的端面上形 成有保持托盤滑塊33的槽部。在輸送滾子41上連接有使輸送滾子41轉(zhuǎn)動的輸送滾子電 機(jī),并且輸送滾子41根據(jù)輸送滾子電機(jī)的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。輸送滾子電機(jī)為可以向正方向及反 方向的任意方向轉(zhuǎn)動的電機(jī),輸送滾子電機(jī)轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)動方向,從而來轉(zhuǎn)換輸送滾子的轉(zhuǎn)動方 向。
[0083] S卩、在輸送托盤T沿去路R1向正方向被輸送時,多個輸送滾子41向同一方向轉(zhuǎn) 動,由此,托盤滑塊33進(jìn)而輸送托盤T向正方向輸送。在輸送托盤T沿去路R1向上述反方 向輸送時,多個輸送滾子41向與上述方向相反的方向轉(zhuǎn)動,由此,輸送托盤T向反方向輸 送。
[0084] 在處理室14的上壁部搭載有多個保持部42,該保持部42在與輸送滾子41對置的 一側(cè)的端部上具有保持磁石42M。保持磁石42M與到達(dá)該保持磁石42M的下方的上述托盤 磁石32相互作用,從而來維持沿去路R1輸送的輸送托盤T的姿勢。輸送托盤T在沿去路 R1輸送時,例如被維持在從相對于處理室14的底壁垂直的狀態(tài)向上述離子源21L、21U的 相反側(cè)傾斜預(yù)定的角度、例如3°的狀態(tài)。因此,即使因為離子束對基板S的照射使得該基 板S產(chǎn)生振動,與將輸送托盤T以垂直于處理室14的底壁部的狀態(tài)輸送的情況相比,基板 S不易從輸送托盤T脫落。
[0085] 另外,關(guān)于輸送托盤T在加載互鎖真空室12及緩沖室13的去路R1及回路R2上 的輸送的構(gòu)成,與從被設(shè)置在上述處理室14內(nèi)的構(gòu)成省略了保持部42的構(gòu)成相同。
[0086] [條形碼的詳細(xì)構(gòu)成]
[0087] 參照圖3對被貼在上述輸送托盤T上的條形碼群Cl、C2詳細(xì)地進(jìn)行說明。另外, 上部條形碼群Cl和下部條形碼群C2雖然被貼的位置彼此不同,但是由于關(guān)于表示托盤框 31的部位的構(gòu)成相同,所以在下文中使用上部條形碼群C1的一部分對其進(jìn)行說明。在圖3 中示出從第1條形碼讀取部2:3A側(cè)看上部條形碼群C1時的構(gòu)成。
[0088] 如圖3 (a)所示,上部條形碼群C1具有多個條形碼Cla。在各個條形碼Cla的下方 印字有數(shù)值部Clb,該數(shù)值部Clb表示從上部框31b的正方向上的前端到該條形碼Cla被貼 的部位的長度。各個條形碼Cla的周圍被空白部分Clc包圍。
[0089]讀取這樣的上部條形碼群C1的第1條形碼讀取部23A及第4條形碼讀取部23D 具有拍攝部,該拍攝部以預(yù)定的周期拍攝上部條形碼群C1,并從由拍攝部得到的上部條形 碼群C1的圖像檢測出輸送托盤T相對于拍攝位置的位置。
[0090] 在由拍攝部得到的圖像包含圖3(a)所示的"000183"、即表示從上述上部框31b 的一端離開183mm的位置的條形碼Cla及該條形碼Cla的兩側(cè)的一部分時,條形碼讀取部 23A、23D將該圖像變換為在圖3(b)示出的二進(jìn)制數(shù)據(jù)。條形碼讀取部23A、23D對這樣的二 進(jìn)制數(shù)據(jù)進(jìn)行譯碼,并以上述的預(yù)定的周期檢測出從上部框31b的正方向上的前端到拍攝 位置的長度、即輸送相托盤T相對于拍攝位置的位置。另外,通過檢測出從正方向的前端到 拍攝位置的長度,也能檢測出從反方向的前端到拍攝位置的長度。即、可以檢測出從包含正 方向及反方向的輸送方向上的一端到拍攝位置的長度。
[0091] 另外,讀取上述下部條形碼群C2的第2條形碼讀取部23B、及第3條形碼讀取部 23C的構(gòu)成雖然在處理室14中的搭載位置有所不同,但與上述第1條形碼讀取部23A、及第 4條形碼讀取部23D相同。
[0092] 作為如上所述檢測絕對位置的、所謂的絕對型線性編碼器,已知有例如電磁誘導(dǎo) 式線性編碼器。電磁誘導(dǎo)式線性編碼器具備:分度尺,其為刻有刻度的膠帶等;以及讀取 部,其一邊改變相對于分度尺的位置一邊檢測出刻度,如果讀取部與分度尺的距離不在幾 _程度的范圍內(nèi)的話,讀取部就不能檢測出刻度。
[0093] 在此,在輸送托盤T以大致垂直于處理室14的底壁部的狀態(tài)被輸送的情況下,輸 送托盤T因沿與輸送方向大致垂直的方向搖動,所以被安裝在輸送托盤T上的分度尺和讀 取部的距離會產(chǎn)生變化。由于讀取部可以檢測的范圍如上所述為幾 mm程度,所以輸送托盤 T搖動,會導(dǎo)致被安裝在輸送托盤T上的分度尺和讀取部的距離容易超過讀取部可以檢測 的范圍。所以,在電磁誘導(dǎo)式線性編碼器中,被檢測出的距離的信賴性會變低。
[0094] 由于讀取部必須配置在處于真空狀態(tài)的處理室14內(nèi),所以在讀取部上需要保證: 釋放出的氣體量限制為預(yù)定量內(nèi)、在讀取部上沒有附著成為顆粒的粒子等。
[0095] 相對于此,本實施方式的條形碼讀取部23A-23D不與作為分度尺的條形碼群C1、 C2接觸,且為使用了拍攝部的光學(xué)型線性編碼器。因此,與電磁誘導(dǎo)式線性編碼器相比,可 以由條形碼讀取部23A-23D檢測出的條形碼Cla的距離變大,并且即使是如上述輸送托盤 T搖動,也能夠檢測出條形碼Cla。所以,根據(jù)本實施方式的條形碼讀取部23A-23D和條形 碼群C1、C2,檢測出絕對位置的同時,能夠提高被檢測出的距離的信賴性。
[0096] 并且,將條形碼讀取部23A-23D設(shè)置在處理室14外側(cè),并使條形碼群Cl、C2相對 于條形碼讀取部23A-23D的位置根據(jù)條形碼群Cl、C2的移動而變化。因此,通過使用條形 碼讀取部23A-23D,從而能夠在消除了使用電磁誘導(dǎo)式線性編碼器時的制約的同時,檢測出 絕對位置。
[0097][離子束照射裝置的電氣構(gòu)成]
[0098] 參照圖4對離子束照射裝置10的電氣構(gòu)成進(jìn)行說明。另外,在圖4中,示出電氣構(gòu) 成中的、關(guān)于在上述處理室14中進(jìn)行的離子束的照射及輸送托盤T的輸送的構(gòu)成。在下文 中,對這樣的構(gòu)成進(jìn)行說明,并省略對關(guān)于其他的電氣構(gòu)成、例如在處理室14以外的室11、 12、13進(jìn)行的輸送托盤T的輸送、和各個閘閥15開閉的構(gòu)成的說明。
[0099] 被搭載在離子束照射裝置10上的主控制部50主要由微計算機(jī)構(gòu)成,該微計算機(jī) 具有中央處理裝置(CPU)、非易失性存儲器(ROM)、及易失性存儲器(RAM)。主控制部50基 于被儲存在上述ROM及上述RAM中的各種數(shù)據(jù)及程序,來進(jìn)行關(guān)于離子束照射裝置1〇的動 作的各種控制。
[0100] 在主控制部50上連接有電機(jī)控制部60,該電機(jī)控制部60控制被搭載于處理室14 內(nèi)的各種電機(jī)、特別是進(jìn)行輸送托盤T的輸送的電機(jī)的驅(qū)動。在電機(jī)控制部60上連接有: 驅(qū)動電路61D,其使被連接在上述輸送滾子41上的輸送滾子電機(jī)61M轉(zhuǎn)動驅(qū)動;以及編碼 器61E,其檢測輸送滾子電機(jī)61M的轉(zhuǎn)動位置。電機(jī)控制部60基于從主控制部50輸入的驅(qū) 動指令和從編碼器61E輸入的轉(zhuǎn)動位置來生成位置指令,并將該位置指令輸出至驅(qū)動電路 61D。
[0101] 驅(qū)動電路61D基于從電機(jī)控制部60輸入的位置指令來生成輸送滾子電機(jī)61M的 驅(qū)動電流,并將該驅(qū)動電流輸出至輸送滾子電機(jī)61M。輸送滾子電機(jī)61M進(jìn)行與被輸入的驅(qū) 動電流相應(yīng)的轉(zhuǎn)動,從而使上述輸送滾子41進(jìn)行自轉(zhuǎn)。另外,驅(qū)動電路61D及編碼器61E 被設(shè)置在各個輸送滾子電機(jī)61M上。
[0102] 電機(jī)控制部60在從編碼器61E輸入的轉(zhuǎn)動位置與位置指令的偏差在預(yù)定值以下 時,生成表示基于上述驅(qū)動指令的輸送滾子電機(jī)61M驅(qū)動已完成的完成信號,并將該完成 信號輸出至主控制部50,等待來自主控制部50的進(jìn)一步的驅(qū)動指令。
[0103] 在電機(jī)控制部60上連接有:驅(qū)動電路62D,其對上述轉(zhuǎn)換部TR所具備的轉(zhuǎn)換電機(jī) 62M進(jìn)行轉(zhuǎn)動驅(qū)動;以及編碼器62E,其檢測轉(zhuǎn)換電機(jī)62M的轉(zhuǎn)動位置。電機(jī)控制部60基于 從主控制部50輸入的驅(qū)動指令、和從編碼器62E輸入的轉(zhuǎn)動位置來算出位置指令,并將該 位置指令輸出至驅(qū)動電路62D。
[0104] 驅(qū)動電路62D基于從電機(jī)控制部60輸入的位置指令來生成轉(zhuǎn)換電機(jī)62M的驅(qū)動 電流,并將該驅(qū)動電流輸出至轉(zhuǎn)換電機(jī)62M。轉(zhuǎn)換電機(jī)62M進(jìn)行與被輸入的驅(qū)動電流相應(yīng)的 轉(zhuǎn)動,從而驅(qū)動上述轉(zhuǎn)換部TR。另外,驅(qū)動電路62D及編碼器62E被設(shè)置在構(gòu)成轉(zhuǎn)換部TR 的多個電機(jī)的各個電機(jī)上。
[0105] 電機(jī)控制部60在從編碼器62E輸入的轉(zhuǎn)動位置與位置指令的偏差在預(yù)定值以下 時,生成表示基于上述驅(qū)動指令的轉(zhuǎn)換電機(jī)62M的驅(qū)動已完成的完成信號,并將該完成信 號輸出至主控制部50,等待來自主控制部50的進(jìn)一步的驅(qū)動指令。另外,輸送部由電機(jī)控 制部60、驅(qū)動電路61D、輸送滾子電機(jī)61M、輸送滾子41、及編碼器61E構(gòu)成。
[0106] 在主控制部50上連接有離子束控制部70,該離子束控制部70控制上述離子源 21L、21U的驅(qū)動。在離子束控制部70上連接有:驅(qū)動電路71D,其使第1離子源21L輸出離 子束;第1輸出傳感器71s,其檢測第1離子源21L的輸出;以及上述第1輪廓測量部22L。
[0107] 離子束控制部70基于從主控制部50輸入的驅(qū)動指令、和從第1輪廓測量部22L 輸入的測量數(shù)據(jù)來生成輸出指令,并將該輸出指令輸出至驅(qū)動電路71D。另外,第1輪廓測 量部22L生成與離子束的強(qiáng)度分布等的測量結(jié)果相應(yīng)的測量數(shù)據(jù),并將該測量數(shù)據(jù)輸出至 離子束控制部70。
[0108] 驅(qū)動電路71D基于從離子束控制部70輸入的輸出指令來生成第1離子源21L的 驅(qū)動電流,并將該驅(qū)動電流輸出至第1離子源21L。第1離子源21L進(jìn)行與被輸入的驅(qū)動電 流相應(yīng)的離子束的輸出。
[0109] 離子束控制部70在基于上述驅(qū)動指令的第1離子源21L的驅(qū)動已完成時生成完 成信號,并將該完成信號輸出至主控制部50,等待來自主控制部50的進(jìn)一步的驅(qū)動指令。
[0110] 上述第1輸出傳感器71S例如為檢測在第1離子源21L的燈絲流動的電流的傳感 器。第1輸出傳感器71S在被檢測出的電流值小于預(yù)定的設(shè)置值的情況下,生成表示離子 束的輸出已停止的輸出停止信號,并將該輸出停止信號輸出至離子束控制部7〇。
[0111] 在離子束控制部70上連接有:第1條形碼讀取部23A,其讀取上述輸送托盤T的 上部條形碼群C1 ;以及第4條形碼讀取部23D,其讀取該上部條形碼群C1。第1條形碼讀 取部23A及第4條形碼讀取部23D由在拍攝位置拍攝到的上部條形碼群C1的一部分檢測 出上述絕對位置,并以預(yù)定的周期生成與該絕對位置相應(yīng)的位置數(shù)據(jù),將該位置數(shù)據(jù)輸出 至離子束控制部70。在第1輸出傳感器71S輸出了輸出停止信號時,在該輸出停止信號被 輸出的拍攝周期中的位置數(shù)據(jù)被存儲至離子束控制部70所具有的存儲部70a中。即、被輸 入到離子束控制部70中的位置數(shù)據(jù)以與第1輸出傳感器71S的檢測結(jié)果進(jìn)行關(guān)聯(lián)的狀態(tài) 被存儲至存儲器70a中。
[0112] 在離子束控制部70上連接有:驅(qū)動電路72D,其使第2離子源21U輸出離子束;第 2輸出傳感器72S,其檢測第2離子源21U的輸出;以及上述第2輪廓測量部22U。
[0113] 離子束控制部70基于從主控制部50輸入的驅(qū)動指令、和從第2輪廓測量部22U 輸入的測量數(shù)據(jù)來生成輸出指令,并將該輸出指令輸出至驅(qū)動電路72D。另外,第2輪廓測 量部22U生成與上述第1輪廓測量部22L同樣的測量數(shù)據(jù),并將該測量數(shù)據(jù)輸出至離子束 控制部70。
[0114] 驅(qū)動電路72D基于從離子束控制部70輸入的輸出指令來生成第2離子源21U的 驅(qū)動電流,并將該驅(qū)動電流輸出至第2離子源21U。第2離子源21U進(jìn)行與被輸入的驅(qū)動電 流相應(yīng)的離子束的輸出。
[0115] 離子束控制部70在基于上述驅(qū)動指令的第2離子源21U的驅(qū)動已完成時生成完 成信號,并將該完成信號輸出至主控制部50,等待來自主控制部50的進(jìn)一步的驅(qū)動指令。 [0116] 上述第2輸出傳感器72S例如為檢測在第2離子源21U的燈絲流動的電流的傳感 器。第2輸出傳感器72S在被檢測出的電流值小于預(yù)定的設(shè)定值的情況下生成表示離子束 的輸出已停止的輸出停止信號,并將該輸出停止信號輸出至離子束控制部70。
[0117] 在離子束控制部7〇上連接有:第2條形碼讀取部23B,其讀取上述輸送托盤τ的 下部條形碼群C2 ;以及第3條形碼讀取部23C,其讀取該下部條形碼群C2。第2條形碼讀 取部23B及第2條形碼讀取部 23C由在拍攝位置拍攝到的下部條形碼群C2的一部分檢測 出上述絕對位置,并生成與該絕對位置相應(yīng)的位置數(shù)據(jù),并將該位置數(shù)據(jù)輸出至離子束控 制部70。在第2輸出傳感器72S輸出了輸出停止信號時,在該輸出停止信號被輸出的拍攝 周期中的位置數(shù)據(jù)被存儲至離子束控制部70所具有的存儲部70a中。即、被輸入到離子束 控制部70中的位置數(shù)據(jù)以與第2輸出傳感器 72S的輸出結(jié)果進(jìn)行關(guān)聯(lián)的狀態(tài)被存儲至存 儲部70a中。
[0118] 如此,在控制離子束的驅(qū)動的離子束控制部70上連接有條形碼讀取部23A-23D, 該條形碼讀取部2M-23D檢測出輸送托盤T相對于拍攝位置的位置。因此,表示離子束是 否以所需的輸出而輸出的數(shù)據(jù)、和輸送托盤T相對于拍攝位置的位置、即關(guān)于照射離子束 的部位的數(shù)據(jù)以預(yù)定的拍攝周期被輸入到同一控制部中。所以,與這些數(shù)據(jù)被輸入到個別 的控制部中的情況相比,能夠降低離子束停止時的輸送托盤T相對于拍攝位置的位置、即 停止位置與該離子束的照射位置的偏差。
[0119] 另外,離子束照射部由離子束控制部70、離子源21L、21U、驅(qū)動電路71D、72D、及輸 出傳感器71S、72S構(gòu)成。輸出檢測部由輸出傳感器71S、72S構(gòu)成,而取得部由離子束控制 部70構(gòu)成。
[0120] [離子束照射裝置的作用]
[0121] 參照圖5-圖10,對離子束裝置10進(jìn)行的動作中的、關(guān)于在上述處理室14中進(jìn)行 的離子束的照射的動作進(jìn)行說明。另外,在緩沖室13中的輸送托盤T的輸送動作、閘閥15 的開閉動作、及從緩沖室13向處理室14的輸送托盤T的搬入動作等在以下說明的離子束 照射處理之前,按照其他的處理工序來進(jìn)行。并且,在離子源21U21U對基板S進(jìn)行離子 束的照射時,將發(fā)生離子束的無意地停止時等、從上述傳感器71S、72S輸出有輸出停止信 號時視為異常停止時,而另一方面,將沒有發(fā)生這樣的停止的情況視為正常照射時。在圖 7_圖10中,用白色空心箭頭來表示輸送托盤T1、T2向正方向的輸送。在圖9中,用黑色實 心箭頭來表示輸送托盤Τ1向反方向的輸送。
[0122] [正常照射時]
[0123] 在離子束照射處理開始時,輸送托盤Τ處于停止在處理室14內(nèi)的預(yù)定的停止位置 上的狀態(tài)。在處理室14內(nèi)收容有一個或兩個輸送托盤Τ(參照圖7(a))。另外,在下文中, 以由第1離子源21L對被安裝在后續(xù)的輸送托盤Τ2上的處理前的基板S進(jìn)行離子束照射 處理的情況為例進(jìn)行說明。此時,還進(jìn)行第2離子源21U對被安裝在先行的輸送托盤Τ1上 的基板S的離子束的照射。對該輸送托盤Τ1的離子束照射處理按照用于進(jìn)行與在下文中 進(jìn)行說明的離子束照射處理同樣的處理的其他的處理工序來進(jìn)行。
[0124] 在離子束照射處理中,首先,主控制部50生成對離子束控制部70的驅(qū)動指令并輸 出該驅(qū)動指令,從而離子束控制部70生成基于驅(qū)動指令的輸出指令,并將該驅(qū)動指令輸出 至驅(qū)動電路71D。驅(qū)動電路71D生成基于輸出指令的驅(qū)動電流并將該驅(qū)動電流輸出到第1 離子源21L,從而開始從第1離子源21L照射下側(cè)離子束BL (步驟S101)(參照圖7(b))。
[0125] 當(dāng)下側(cè)離子束BL的照射開始時,第1輪廓測量部22L生成與檢測出的下側(cè)離子束 BL相應(yīng)的測量數(shù)據(jù),并將該測量數(shù)據(jù)輸出至離子束控制部7〇。在下側(cè)離子束BL以與輸出 指令相應(yīng)的預(yù)定的輪廓輸出時(步驟S102 :是),離子束控制部70生成表示離子束的輸出 被調(diào)整的完成信號,將該完成信號輸出至主控制部50。
[0126] 當(dāng)離子束控制部70除了上述完成信號,還在預(yù)定時間內(nèi)輸出表示第2離子源21U 輸出的上側(cè)離子束BU的調(diào)整已完成的完成信號時(步驟S103 :是),主控制部5〇生成用于 將輸送托盤Τ沿正方向輸送的驅(qū)動指令,并將該驅(qū)動指令輸出至電機(jī)控制部60。當(dāng)電機(jī)控 制部60基于被輸入的驅(qū)動指令和來自編碼器61Ε的轉(zhuǎn)動位置來生成位置指令并將該位置 指令輸出至驅(qū)動電路61D時,驅(qū)動電路61D生成與位置指令相應(yīng)的驅(qū)動電流并將該驅(qū)動電 流輸出至輸送滾子電機(jī)61M。由此,開始輸送托盤T2的輸送(步驟S104)。這時,也同樣地 開始輸送托盤Τ1向正方向的輸送。
[0127] 另外,輸送滾子電機(jī)61Μ的驅(qū)動從被設(shè)置在去路R1的始端側(cè)上的輸送滾子41的 輸送滾子電機(jī)61開始。當(dāng)該輸送滾子電機(jī)61Μ轉(zhuǎn)動到被預(yù)先決定的預(yù)定的轉(zhuǎn)動位置時,被 鄰接設(shè)置在去路R1的終端側(cè)上的輸送滾子41的輸送滾子電機(jī)61Μ開始驅(qū)動。各個輸送滾 子電機(jī)61Μ的驅(qū)動在進(jìn)行到預(yù)定的轉(zhuǎn)動位置、例如輸送滾子41不與托盤滑塊33接觸的轉(zhuǎn) 動位置時會被停止。如此,輸送滾子電機(jī)61Μ的驅(qū)動從去路R1的始端側(cè)依次進(jìn)行,從而使 輸送托盤Τ2沿從去路R1的始端側(cè)向終端側(cè)的正方向輸送。
[0128] 當(dāng)輸送托盤Τ2被輸送而使表示輸送托盤Τ2的上部條形碼群C1的正方向上的前 端、例如從輸送托盤Τ的前端起的長度為0_的條形碼到達(dá)第1條形碼讀取部23Α的拍攝 位置時,開始上部條形碼群C1的拍攝、即開始檢測輸送托盤Τ2相對于拍攝位置的位置(步 驟S105)(參照圖7(c))。
[0129] 在基于第1條形碼讀取部23Α的上部條形碼群C1的拍攝開始時,也進(jìn)行離子束對 輸送托盤Τ2的照射。這時,在由第1條形碼讀取部23Α檢測出表示從輸送托盤Τ的上述前 端起的長度為250mm的條形碼時,開始下側(cè)離子束BL對基板S的的照射。
[0130] 在來自第1離子源21L的下側(cè)離子束BL的照射被維持的狀態(tài)下,由第1條形碼讀 取部23A檢測出表示從輸送托盤T的前端起的長度為2700mm的條形碼(步驟S106 :是、步 驟S107 :是)。接著,離子束控制部70生成用于停止第1離子源21L的輸出的輸出指令,并 將該信號輸出至驅(qū)動電路71D。驅(qū)動電路71D基于被輸入的輸出指令來生成驅(qū)動電流,并將 該驅(qū)動電流輸出至第1離子源21L。在第1離子源21L中,根據(jù)被輸入的驅(qū)動電流,來停止 下側(cè)離子束BL的輸出(步驟S108)。當(dāng)?shù)?輸出傳感器71S將表示第1離子源21L的輸出 電流為0A的信號輸入至離子束控制部70時,離子束控制部70生成表示基于上述驅(qū)動指令 的離子束的照射已完成的完成信號,將該完成信號輸出至主控制部50,等待進(jìn)一步的驅(qū)動 指令。
[0131] 當(dāng)下側(cè)離子束BL的照射停止時,主控制部50生成用于在將輸送托盤T2向正方向 輸送預(yù)定距離之后使該輸送停止的驅(qū)動指令,并將該指令輸出至電機(jī)控制部60。上述預(yù)定 距離被設(shè)定為,例如被輸送該預(yù)定距離的輸送托盤T2位于第1離子源21L的照射位置、和 第2離子源21U的照射位置之間的距離。
[0132] 電機(jī)控制部60基于上述驅(qū)動指令和來自編碼器61E的轉(zhuǎn)動位置來生成位置指令, 并將該位置指令輸出至驅(qū)動電路61D。驅(qū)動電路61D基于被輸入的位置指令來生成驅(qū)動電 流,并將該驅(qū)動電流輸出至輸送滾子電機(jī)61M。輸送滾子電機(jī)61M進(jìn)行與驅(qū)動電流相應(yīng)的轉(zhuǎn) 動。
[0133] 當(dāng)被從編碼器61E輸入的轉(zhuǎn)動位置相對于上述位置指令的偏差小于預(yù)定值時,電 機(jī)控制部60生成用于使輸送滾子電機(jī)61M的轉(zhuǎn)動停止的位置指令,并將該位置指令輸出至 驅(qū)動電路61D。驅(qū)動電路61D基于被輸入的位置指令來生成驅(qū)動電流,并將該驅(qū)動電流輸出 至輸送滾子電機(jī)61M。由此,輸送滾子電機(jī)61M的轉(zhuǎn)動被停止,從而輸送托盤T2的輸送結(jié)束 (步驟 S109)。
[0134] 這時,在輸送托盤T2的輸送結(jié)束時,如果表示第2離子源21U的輸出停止的信號 輸入至主控制部50 (步驟S110 :否),主控制部50就生成用于使輸送托盤T2向正方向的輸 送再開始延遲預(yù)定期間的驅(qū)動指令,并將該驅(qū)動指令輸出至電機(jī)控制部60。電機(jī)控制部60 基于驅(qū)動指令和來自編碼器61E的轉(zhuǎn)動位置來生成位置指令,并將該位置指令輸出至驅(qū)動 電路61D。驅(qū)動電路61D基于位置指令來生成驅(qū)動電流,并將該位置指令輸出至輸送滾子 電機(jī)61M。輸送滾子電機(jī)61M根據(jù)被輸入的驅(qū)動電流,而變成轉(zhuǎn)動在預(yù)定位置停止的狀態(tài)。 由此,輸送托盤T2成為在輸送處理的結(jié)束位置待機(jī)的狀態(tài)(步驟S151)。輸送停止持續(xù)的 時間、即待機(jī)時間是指到完成在下文中說明的異常停止時的反向輸送處理為止的時間。由 此,主控制部50暫先結(jié)束離子束照射處理。
[0135] 另外,在輸送托盤T2從處理室14搬出之前,除了上述第1次的下側(cè)離子束BL的 照射,還以第1次的上側(cè)離子束BU的照射、第2次的上側(cè)離子束BU的照射、及第2次下側(cè) 離子束BL的照射的順序?qū)斔屯斜PT2進(jìn)行離子束的照射。并且,在各個離子束的照射中, 成為驅(qū)動對象的離子源21L、21U、或輸送滾子電機(jī)61M等雖不同,但是根據(jù)與上述同樣的處 理工序來進(jìn)行離子束照射處理。
[0136] 詳細(xì)地講,在進(jìn)行第1次上側(cè)離子束BU的照射時,如圖7(d) -圖7(f)所示,首先, 測量從第2離子源21U輸出的上側(cè)離子束BU的輪廓。接著,通過輸送托盤T2向去路R1的 終端側(cè)沿正方向輸送,而使上側(cè)離子束BU照射在基板S上的上部區(qū)域SU上。另外,在第1 次的上側(cè)離子束BU的照射中,在被輸送到去路R1的終端側(cè)的輸送托盤T2通過轉(zhuǎn)換部TR 而被配置在回路R2上后,結(jié)束該輸送托盤T2的輸送。這時,輸送托盤T1的搬出處理、輸送 托盤T3的搬入處理、及閘閥15的開閉處理按照其他的處理工序來進(jìn)行。
[0137] 接著,在進(jìn)行第2次上側(cè)離子束BU的照射時,如圖8(a)及圖8(b)所示,首先,測 量從第2離子源21U輸出的上側(cè)離子束BU的輪廓。接著,輸送托盤T2通過向去路R2的終 端側(cè)沿正方向輸送,從而使得上側(cè)離子束即照射在基板S上的上部區(qū)域SU上。
[0138] 在進(jìn)行第2次下側(cè)離子束BL的照射時,如圖8(c)-圖8(e)所示,首先,測量從第1 離子源21L輸出的下側(cè)離子束BL的輪廓。輸送托盤T 2通過向回路R2的終端側(cè)沿正方向 輸送,從而使得下側(cè)離子束BL照射在基板S上的下部區(qū)域SL上。
[0139] [異常停止時]
[0140] 如上所述,當(dāng)輸送托盤T2到達(dá)第1離子源21L的照射位置時,開始對被安裝在輸 送托盤T2上的基板S照射下側(cè)離子束BL(參照圖9(a))。當(dāng)在輸送托盤T2橫穿第1離子 源21L的照射位置的期間停止下側(cè)離子束BL的照射時(參照圖9(b)),第1輸出傳感器71S 生成關(guān)于第1離子源21L的輸出停止信號,并將該信號輸出至離子束控制部70。
[0141] 離子束控制部70基于上述輸出停止信號的輸入來生成表示第1離子源21L的輸 出被異常停止的異常停止信號,并將該異常停止信號輸出至主控制部 50 (步驟S106 :否)。 由此,在上述處理室14中進(jìn)行反向輸送處理(步驟S141)。
[0142] 以下,參照圖6對進(jìn)行輸送托盤T2向反方向的輸送的反向輸送處理進(jìn)行說明。另 夕卜,在下文中,將上側(cè)離子束對輸送托盤T1的照射視為正常進(jìn)行的離子束的照射。
[0143] 離子束控制部70在被從第1輸出傳感器71S輸入上述輸出停止信號時,將在該信 號被輸入的拍攝周期中的位置數(shù)據(jù)作為下側(cè)離子束BL的照射停止的停止位置而存儲(步 驟 S201)。
[0144] 接著,與第1離子源21L的照射正常的情況同樣地,主控制部5〇生成用于使輸送 托盤T2輸送到該輸送處理的結(jié)束位置的驅(qū)動指令,并將該驅(qū)動指令輸出至電機(jī)控制部60。 電機(jī)控制部60基于驅(qū)動指令和來自編碼器61E的轉(zhuǎn)動位置來生成位置指令并將其輸出至 驅(qū)動電路61D,驅(qū)動電路61D基于位置指令來生成驅(qū)動電流。驅(qū)動電路61D將該驅(qū)動電流輸 出至輸送滾子電機(jī)61M,由此,輸送滾子電機(jī) 6讀根據(jù)驅(qū)動電流而進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
[0145] 當(dāng)輸送托盤T2沿正方向輸送到輸送處理的結(jié)束位置時,輸送托盤T2的輸送停止 (步驟S202)(參照圖9(c))。這時,與前面的步驟S151同樣地,主控制部50生成用于使輸 送托盤Τ1在結(jié)束位置待機(jī)的驅(qū)動指令,并將該驅(qū)動指令輸出至電機(jī)控制部 60。
[0146] 接著,主控制部50對于離子束控制部70生成用于從第1離子源21L輸出下側(cè)離 子束BL的驅(qū)動指令,并將該驅(qū)動指令輸出至離子束控制部70。離子束控制部70生成基于 驅(qū)動指令的輸出指令并將該輸出指令輸出至上述驅(qū)動電路 71D,驅(qū)動電路71D生成與輸出 指令相應(yīng)的驅(qū)動電流并將其輸出至第1離子源21L。第1離子源21L根據(jù)驅(qū)動電流輸出下 側(cè)離子束BL (步驟S2〇3)(參照圖9 (d))。
[0147] 當(dāng)輸出下側(cè)離子束BL時,與前面的步驟Sl〇2、或步驟S121同樣地,下側(cè)離子束BL 的輸出輪廓被調(diào)整,由此,離子束控制部70生成表示輸出調(diào)整已完成的完成信號,將該完 成信號輸出至主控制部50,等待進(jìn)一步的驅(qū)動指令(步驟S240 :是)。
[0148] 當(dāng)完成信號被輸入時,主控制部50生成用于向反方向輸送輸送托盤T2的驅(qū)動指 令,并將該驅(qū)動指令輸出至電機(jī)控制部60。電機(jī)控制部60基于被輸入的驅(qū)動指令和來自編 碼器61E的轉(zhuǎn)動位置來生成位置指令并將其輸出至驅(qū)動電路61D,驅(qū)動電路61D基于被輸入 的位置指令來生成驅(qū)動電流并將該驅(qū)動電流輸出至輸送滾子電機(jī)61M。由此,輸送托盤T2 沿去路R1向反方向輸送(步驟S205)(參照圖9(e))。
[0149] 在表示從輸送托盤T的正方向上的前端起的長度為2700mm的條形碼到達(dá)上述第 1條形碼讀取部23A的拍攝位置時,與上述步驟S105同樣地,進(jìn)行上部條形碼群C1的拍攝 和輸送托盤T相對于拍攝位置的位置的檢測(步驟S206)。另外,在步驟Sl〇 5中,由第1條 形碼讀取部23A以從表示從輸送托盤T的一端起的長度為〇mm的條形碼向表示從輸送托盤 T的一端起的長度為2700mm的條形碼的方式進(jìn)行拍攝。相對于此,在步驟S206中,由第1 條形碼讀取部23A以從表示從輸送托盤T的上述前端起的長度為2700mm的條形碼向表示 〇mm的條形碼的方式進(jìn)行拍攝。
[0150] 這時,離子束控制部70對由第1條形碼讀取部23A檢測出的輸送托盤T的位置、和 在上述步驟S210被存儲在存儲部70中的停止位置進(jìn)行比較(步驟S207)(參照圖9(f))。 當(dāng)被存儲的停止位置與輸送托盤相對于拍攝位置的位置一致時,離子束控制部70生成用 于使第1離子源21L停止輸出離子束的輸出指令,并將該輸出指令輸出至驅(qū)動電路71D。 驅(qū)動電路71D基于被輸入的輸出指令來生成驅(qū)動電流,并將該驅(qū)動電流輸出至第1離子源 21L。在第1離子源21L中,根據(jù)被輸入的驅(qū)動電流而停止離子束的輸出(步驟S208)。
[0151] 當(dāng)離子束的輸出被停止且表示第1離子源21L的輸出電流為0A的信號被從第1 輸出傳感器71S輸入至離子束控制部70時,離子束控制部70生成表示離子束的照射已完 成的完成信號,將該信號輸出至主控制部50,等待進(jìn)一步的驅(qū)動指令。主控制部50基于被 輸入的完成信號來生成用于在使輸送托盤T2向反方向輸送預(yù)定距離后停止輸送托盤T2的 輸送的驅(qū)動指令,將該驅(qū)動指令輸出至上述電機(jī)控制部60。另外,上述預(yù)定距離是指使被輸 送該預(yù)定距離的輸送托盤T2位于比第1離子源21L的照射位置更靠近閘閥15側(cè)的距離。 [0152] 電機(jī)控制部60基于被輸入的驅(qū)動指令和來自編碼器61E的轉(zhuǎn)動位置來生成位置 指令并將該位置指令輸出至驅(qū)動電路61D,驅(qū)動電路61D基于被輸入的位置指令來生成驅(qū) 動電流并將該驅(qū)動電流輸出至輸送滾子電機(jī)61M。輸送滾子電機(jī)61M進(jìn)行與被輸入的驅(qū)動 電流相應(yīng)的轉(zhuǎn)動,從而使得輸送托盤T 2在被輸送到上述預(yù)定位置后在該預(yù)定位置停止(步 驟 S209)(參照圖 10(a))。
[0153] 在從編碼器61E輸入至電機(jī)控制部6〇的轉(zhuǎn)動位置相對于上述位置指令的偏差在 預(yù)定值以下時,電機(jī)控制部60生成用于使輸送滾子電機(jī)61M停止轉(zhuǎn)動的位置指令,并將該 位置指令輸出至驅(qū)動電路61D。驅(qū)動電路61D基于被輸入的位置指令來生成驅(qū)動電流,將該 驅(qū)動電流輸出至輸送滾子電機(jī)61M。由此,輸送滾子電機(jī)61M的轉(zhuǎn)動被停止。電機(jī)控制部 60生成表示根據(jù)上述驅(qū)動指令的輸送滾子電機(jī)61M的驅(qū)動已完成的完成信號,將該完成信 號輸出至主控制部50,等待進(jìn)一步的驅(qū)動指令。
[0154] 接著,主控制部50基于完成信號的輸入來生成用于使輸送托盤T2向去路R1的終 端側(cè)沿正方向輸送預(yù)定距離的驅(qū)動指令,將該驅(qū)動指令輸出至電機(jī)控制部60。
[0155] 電機(jī)控制部60基于被輸入的驅(qū)動指令和來自編碼器61E的轉(zhuǎn)動位置來生成位置 指令,將該位置指令輸出至驅(qū)動電路61D。驅(qū)動電路61D基于被輸入的位置指令來生成驅(qū)動 電流,將該驅(qū)動電流輸出至輸送滾子電機(jī)61M。輸送滾子電機(jī)61M基于被輸入的驅(qū)動電流 而向與上述反向輸送(步驟S205-步驟S209)相反的方向轉(zhuǎn)動,由此,輸送托盤T2沿去路 R1向正方向輸送(步驟S210)(參照圖10(b))。另外,上述規(guī)定距離是指被輸送該預(yù)定距 離的輸送托盤T2停止在去路R1上的第1照射位置和第2照射位置之間、g卩、使其被輸送到 與停止在回路R2上的輸送托盤T1對置的位置的距離。由此,輸送托盤T2在被輸送到上述 位置后,被停止在該位置上(步驟S211)(參照圖10 (c))。
[0156] 當(dāng)編碼器61E向電機(jī)控制部60輸出的轉(zhuǎn)動位置相對于上述位置指令的偏差在預(yù) 定值以下時,電機(jī)控制部60生成表示根據(jù)上述驅(qū)動指令的輸送滾子電機(jī)61M的驅(qū)動已完成 的完成信號,將該完成信號輸出至主控制部50。由此,主控制部50暫先結(jié)束輸送托盤T2的 反向輸送處理。
[0157] 另外,在上文中說明了在第1離子源21L正在對去路R1上的輸送托盤T2照射下 側(cè)離子束BL的途中,該下側(cè)離子束BL的輸出停止的情況。但是,這樣的反向輸送處理也可 以在上側(cè)離子束BU對去路R1上的輸送托盤T2的照射、在上側(cè)離子束BU對回路R2上的輸 送托盤T1的照射、及在下側(cè)離子束BL對回路R2上的輸送托盤T1的照射在其途中停止的 情況下進(jìn)行。在該情況下,對輸送托盤T進(jìn)行離子束的照射的離子源21L、21U、被拍攝的條 形碼群C1、C2、拍攝條形碼的條形碼讀取部 23B_23D、或輸送托盤T的輸送路徑等雖不同,但 與上述同樣的順序進(jìn)行反向輸送處理。在對兩個輸送托盤ΤΙ、T2進(jìn)行的離子束照射全都異 常停止情況下,對各個輸送托盤ΤΙ、Τ 2進(jìn)行的反向輸送被同時進(jìn)行。
[0158] 如此,離子束照射位置在基板S上的相對移動中停止時,輸送托盤Τ相對于在該拍 攝周期檢測出的拍攝位置的位置作為停止位置而被存儲。在輸送托盤 Τ被輸送到?jīng)]有照射 離子束的區(qū)域后,再次開始離子束的照射。之后,開始向與前面進(jìn)行的離子束的照射時的方 向相反的方向輸送輸送托盤Τ及基板S,在輸送托盤Τ相對于拍攝位置的位置到達(dá)上述停止 位置時,停止離子束的照射。 ^
[0159] 根據(jù)這樣的反向輸送處理,也能夠?qū)]有進(jìn)行離子束照射的區(qū)域進(jìn)行離子束的照 射。而且,由于輸出停止后的離子束的照射在確認(rèn)離子束輪廓后通過反方向輸送來進(jìn)行, 所以與通過正方向輸送來進(jìn)行的情況相比,可以以離子束被維持在預(yù)定輸出的狀態(tài)進(jìn)行向 基板S的離子束的照射。由此,即使在離子束的照射在中途停止,也可以抑制在基板s的面 內(nèi)上的離子束的照射量的偏差的同時,能夠?qū)錽的輸送方向上的整體進(jìn)行離子束的照 射。
[0160] [線束輪廓異常時]
[0161] 另外,在上述離子束照射處理中,在離子束沒有以根據(jù)輸出指令的預(yù)定的輪廓輸 出時(步驟S102 :否),離子束控制部70基于從主控制部50輸入的驅(qū)動指令、和來自第1 輸出傳感器71S的測量數(shù)據(jù)來再次生成輸出指令,將該輸出指令輸出至驅(qū)動電路61D。驅(qū)動 電路61D生成基于輸出指令的驅(qū)動電流,將該驅(qū)動電流輸出至第1離子源21L,使得第1離 子源21L輸出離子束。這樣,當(dāng)基于被變更的驅(qū)動電流開始離子束的照射時,第1輪廓測量 部22L將該變更后的離子束的測量數(shù)據(jù)輸出至離子束控制部70。
[0162] 離子束控制部70對變更驅(qū)動電流前后的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行比較,如果測量數(shù)據(jù)只變 更了被預(yù)先設(shè)定的預(yù)定值的話,就視為可以調(diào)整離子束的輪廓(步驟S121 :是),再次對離 子束的輸出輪廓和與驅(qū)動指令相應(yīng)的預(yù)定的輪廓進(jìn)行比較(步驟S121 :否)。另外,在不能 調(diào)整離子束的輪廓時(步驟S121 :否),離子束控制部70生成表示不能調(diào)整輪廓的錯誤信 號,將該錯誤信號輸出至主控制部50 (步驟S122)。并且,主控制部50暫先結(jié)束離子束照射 處理。
[0163] 即使已完成第1離子源21L的輸出調(diào)整(步驟S102 :是),如果沒有第2離子源 21U的輸出調(diào)整在規(guī)定時間內(nèi)完成的話(步驟S103 :否、步驟S131 :是),主控制部50暫先 結(jié)束離子束照射處理。
[0164] 即使在上述反向輸送處理中,與上述離子束照射處理同樣地,在離子束沒有以與 輸出指令相應(yīng)的預(yù)定的輪廓輸出時(步驟S204 :否),離子束控制部70基于從主控制部50 輸入的驅(qū)動指令、和來自第1輸出傳感器71S的測量數(shù)據(jù)來再次生成輸出指令,并將該輸出 指令輸出至驅(qū)動電路61D。驅(qū)動電路61D生成基于這樣被變更的輸出指令的驅(qū)動電流并將 其輸出至第1離子源21L,第1離子源21L進(jìn)行與該驅(qū)動電流相應(yīng)的輸出。由此,如果可以 調(diào)整離子束的輪廓的話(步驟S221 :是),其輸出持續(xù)到離子束的輪廓變成預(yù)定的輪廓。相 對于此,在沒有進(jìn)行離子束的調(diào)整的情況下,離子束控制部70生成表示不能調(diào)整輪廓的錯 誤信號,并將該錯誤信號輸出至主控制部50 (步驟S222)。當(dāng)錯誤信號被輸入時,主控制部 50暫先結(jié)束反向輸送處理。
[0165] 如上所述,根據(jù)上述實施方式可以得到以下列舉的效果。
[0166] (1)通過拍攝表示在輸送托盤T上的部位的多個條形碼Cla的各個條形碼,從而檢 測出輸送托盤T相對于拍攝位置的位置。這時,拍攝條形碼Cla的拍攝位置和離子束照射 的照射位置的相對關(guān)系在輸送托盤T被輸送的期間也被持續(xù)維持在預(yù)定的關(guān)系。因此,在 每次由條形碼讀取部23A-23D檢測出輸送托盤T上的條形碼Cla時,可以檢測出照射位置 相對于輸送托盤T的相對位置。并且,與從輸送輸送托盤T的輸送部的驅(qū)動量等檢測出輸 送托盤的位置的方式相比,可以直接地檢測出相對于輸送托盤T的照射位置。其結(jié)果,即使 在構(gòu)成輸送輸送托盤T的輸送部的輸送滾子41和輸送托盤T上產(chǎn)生偏差的情況下,也能抑 制由這樣的偏差而產(chǎn)生檢測位置的誤差。進(jìn)而,能夠提高被保持在輸送托盤T的基板S上 的照射位置的檢測精度。
[0167] (2)由于條形碼讀取部23A-23D的檢測結(jié)果和輸出傳感器71S、72S的檢測結(jié)果以 彼此對應(yīng)的方式存儲在存儲部70中,所以可以從被存儲在存儲部70中的信息來掌握以所 需的輸出照射離子束的基板S的部位。換句話來講,可以掌握以所需輸出以外的輸出照射 離子束的基板S的部位、或沒有照射離子束的基板S的部位。因此,可以以高精度的基礎(chǔ)上 對離子束的照射不足的基板S的部位進(jìn)行用于彌補(bǔ)照射不足的進(jìn)一步的照射處理。
[0168] (3)可以掌握在基板S上的照射位置中的、變成輸出停止的位置。因此,即使對于 離子束變成輸出停止的位置也能提高檢測精度,進(jìn)而可以以高精度的基礎(chǔ)上對于沒有照射 離子束的基板S的部位進(jìn)行再次的照射處理。
[0169] (4)當(dāng)檢測出離子束的輸出停止時,這時的輸送托盤T相對于拍攝位置的位置作 為與輸出停止進(jìn)行關(guān)聯(lián)的停止位置而被存儲在存儲部70a中。并且,在輸送托盤T相對于 拍攝位置的位置處于停止位置和結(jié)束位置之間時,再次輸出離子束。因此,可以對于沒有照 射離子束的部位,以較高的位置精度再次進(jìn)行離子束的照射。
[0170] (5)當(dāng)檢測到離子束的輸出停止時,這時的輸送托盤T相對于拍攝位置的位置作 為與輸出停止進(jìn)行關(guān)聯(lián)的停止位置而被存儲在存儲部70a中。并且,在輸送托盤T被輸送 到非照射位置后,再次開始離子束的照射,之后,開始向與在之前進(jìn)行離子束的照射時的方 向相反的方向輸送輸送托盤T,并在輸送托盤T相對于拍攝位置的位置到達(dá)停止位置時,停 止離子束的照射。因此,可以對基板S上的沒有照射離子束的部位,以高位置精度再次進(jìn)行 離子束的照射。
[0171] (6)產(chǎn)生輸出停止后的離子束的照射通過向反方向輸送輸送托盤T來進(jìn)行。因此, 與從停止位置向正方向輸送輸送托盤的方式相比,以離子束的輸出被維持在設(shè)定值的狀態(tài) 來進(jìn)行向基板S的離子束的照射。由此,即使離子束的輸出在照射途中停止,也能抑制在基 板面內(nèi)的離子束的照射量的偏差的同時,能向基板S的輸送方向上的整體照射離子束。
[0172] (7)多個條形碼Cla被排列在輸送托盤T上,并且該多個條形碼Cla在輸送托盤T 的正方向上從輸送托盤T的前端排列到后端。如果是這樣的方式的話,由于可以從輸送托 盤T的前端到后端得到輸送托盤τ相對于拍攝位置的位置,所以即使其處于輸送托盤T的 正方向上的任意的位置上,也能進(jìn)一步提高輸送托盤T的位置的檢測精度。
[0173] (8)由于條形碼讀取部23A-23D相對于輸送托盤T被配置在離子源21L、 21U相反 側(cè)上,所以被這樣的條形碼讀取部23A-23D拍攝的條形碼群Cl、C2也理所當(dāng)然相對于輸送 托盤T被配置在與條形碼讀取部23A-23D相同的一側(cè)上。根據(jù)這樣的方式,由于條形碼群 C1、C2被配置在輸送托盤T上的沒有照射離子束的一側(cè)上,所以也可以抑制因離子束的熱 等造成的條形碼群C1、C2的外觀劣化。所以,能夠抑制因條形碼群C1、C2的外觀的劣化,而 使離子束的照射位置的檢測精度的降低。
[0174] (9)由于條形碼讀取部23A-23D被配置在相對于輸送托盤T而與離子源21L、21U 不對置的位置上,所以也可以抑制因離子束的熱造成的條形碼讀取部23A-23D的拍攝機(jī)構(gòu) 的熱劣化。所以,可以抑制因條形碼群C1、C2的外觀的劣化,而使離子束的照射位置的檢測 精度的降低。
[0175] (10)基板S上的照射部位由下部區(qū)域SL和上部區(qū)域SU構(gòu)成,且在下部區(qū)域SL 和上部區(qū)域SU上由相互不同的離子源21L、21U進(jìn)行離子束的照射。因此,由于對基板S的 離子束照射由多個離子源21L、21U進(jìn)行,所以與使用單獨(dú)的離子源進(jìn)行照射相比,能夠由 多種方式來進(jìn)行對基板S的離子束照射。所以,使離子束以所需的照射量向基板面內(nèi)的照 射變得容易。并且,與離子束的照射區(qū)域重復(fù)的構(gòu)成相比,由于可以個別地設(shè)定各個離子源 21L、21U的離子束的照射方式,所以使得各個離子源21L、21U的離子束的照射方式變得更 簡單,還能夠提高離子束照射工序的吞吐量(throughput)。
[0176] (11)輸送托盤T具有:上部條形碼群C1,其被設(shè)置在輸送托盤T上的上部區(qū)域SU 側(cè)上;以及下部條形碼群C2,其被設(shè)置在輸送托盤T上的下部區(qū)域SL側(cè)上。在離子束照射 在上部區(qū)域SU上時進(jìn)行條形碼拍攝的第2條形碼讀取部23B及第3條形碼讀取部23C讀 取下部條形碼群C2,而另一方面,在離子束照射在下部區(qū)域SL上時進(jìn)行條形碼的拍攝的第 1條形碼讀取部23A及第4條形碼讀取部23D讀取上部條形碼群C1。因此,能夠抑制這樣 的情況:由離子源21L、21U輸出的離子束在到達(dá)基板S之前被條形碼讀取部23A-23D妨礙、 即由離子源21L、21U輸出的離子束照射在條形碼讀取部23A-23D。所以,不僅不妨礙對基板 S的離子束照射,而且能夠提高離子束的照射位置的檢測精度。
[0177] 另外,上述實施方式也可以以如下的方式適當(dāng)?shù)刈兏鴮嵤?br>
[0178] 離子束照射裝置10也可以是不進(jìn)行上述反向輸送處理的構(gòu)成。例如,離子束照射 裝置10也可以向正方向輸送輸送托盤T的同時,為了只對沒有進(jìn)行離子束的照射的部位再 次進(jìn)行照射,而進(jìn)行輸送托盤T的輸送?;蛘撸瑢﹄x子束沒有照射的部位的照射方式,也可 以是在由其他的離子束照射裝置來進(jìn)行該照射的方式。這時,優(yōu)選采用關(guān)于停止位置的數(shù) 據(jù)可以在兩個離子束照射裝置之間移動的構(gòu)成。
[0179] 條形碼讀取部23A-23D也可以連接在除了離子束控制部70以外的控制部、例如主 控制部50。
[0180] 也可以省略第1條形碼讀取部23A及第4條形碼讀取部23D、第2條形碼讀取部 23B、及第3條形碼讀取部23C的任意一個,并且條形碼群Cl、C2也可以是迎合條形碼讀取 部的配置而設(shè)置在上部框31b、下部框31c的任意一方上的構(gòu)成。
[0181] 條形碼群Cl、C2也可以在輸送托盤T上的反方向的前端上貼有表示0圓的條形 碼,另一方面,在該輸送托盤τ上的反方向的后端上貼有表示2700mm的條形碼。
[0182] 條形碼群Cl、C2不僅是被貼在輸送托盤T上的膠帶,也可以是將其直接刻在輸送 托盤T上。
[0183] 參照圖11對被貼在上述輸送托盤T上的條形碼群Cl、C2的變形例進(jìn)行說明。另 夕卜,由于與上述同樣的理由,在下文中使用上部條形碼群C1的一部分進(jìn)行說明。在圖11中 示出從第1條形碼讀取部23A側(cè)看上部條形碼群C1時的構(gòu)成。
[0184] 如圖11所示,上部條形碼群C1具有多個條形碼Cla,并且構(gòu)成各個條形碼Cla的 多個條分別沿與輸送方向平行的方向被印字。相對于此,在上述實施方式中,如圖3(a)所 示,構(gòu)成各個條形碼Cla的多個條沿與輸送方向垂直的方向被印字。數(shù)值部Clb被印字到 在輸送方向上對應(yīng)的條形碼Cla的右側(cè)。另外,數(shù)值部Clb也可以被印字到在輸送方向上 對應(yīng)的條形碼Cla的左側(cè),也可以被印字在對應(yīng)的條形碼Cla的上方或下方。各個條形碼 Cla的周圍與上述實施方式的條形碼Cla同樣地,被空白部分Clc包圍。
[0185] 讀取這樣的上部條形碼群C1的第1條形碼讀取部23A及第4條形碼讀取部23D 具有以預(yù)定的周期對上部條形碼群C1進(jìn)行拍攝的拍攝部。各個條形碼讀取部23A、23D由 通過拍攝部得到的上部條形碼群C1的圖像檢測出輸送托盤T相對于拍攝位置的位置。拍 攝部取得被收斂于規(guī)定范圍內(nèi)的圖像,并且沿拍攝范圍中的與輸送方向垂直的方向的寬度 被設(shè)定為,包含構(gòu)成各個條形碼Cla的所有的條、和空白部分Clc中的條形碼Cla的上方的 一部分及下方的一部分的大小。
[0186]在通過拍攝部得到的圖像包含如圖11所示的"000183"、即表示為從上部框31b的 一端離開l83mm的位置的條形碼Cla時,各個條形碼讀取部23A、23D將該圖像例如從下側(cè) 依次變換為二進(jìn)制數(shù)據(jù)。各個條形碼讀取部23A、23D對這樣的二進(jìn)制數(shù)據(jù)進(jìn)行譯碼,從而 以預(yù)定的周期檢測出從上部框31b的正方向的前端到拍攝位置的長度、即輸送托盤T相對 于拍攝位置的位置。
[0187] 通過如圖11所示的方式排列條形碼群C1,與比如圖3 (a)所述的排列的情況相比, 能以更高的分辨率來檢測出輸送托盤T的輸送位置。即、在圖11的構(gòu)成中,由于能以與輸 送方向平行地橫向排列條形碼Cla,所以與圖3(a)的構(gòu)成相比,能將更多的條形碼群C1排 列在同一區(qū)域(上部框或下部框)內(nèi)。由此,各個條形碼Cla的讀取區(qū)間在輸送方向上變 短,能夠提高使用了各個條形碼Cla的輸送位置的檢測分辨率。因此,能夠提高輸送托盤T 的位置檢測精度。
[0188] 離子源21U21U的照射位置也可以是在基板S的高度方向的整體上的位置、或也 可以是在基板S的高度方向被分割為3個以上的位置??傊?,離子束的照射位置與基板S 上的輸送方向交叉的方向上的整體重疊就可以。
[0189] 對基板S的離子束照射可以在同一區(qū)域進(jìn)行3次以上。或者,離子束對基板S的 照射也可以在同一區(qū)域只進(jìn)行1次。
[0190] 輸送托盤T也可以以與處理室14的底壁垂直的方式堅立的狀態(tài)輸送。
[0191] 條形碼讀取部32A-23D也可以被配置在與離子源21L、21U相同的一側(cè),在這樣的 構(gòu)成中,只要將輸送托盤T所具有的條形碼群C1、C2設(shè)置在托盤框31上的照射離子束的一 側(cè)的表面上即可。
[0192] 輸送托盤T具有的指標(biāo)并不僅限于條形碼,也可以只是二維編碼或上述的數(shù)值 部,總之,只要是表示輸送托盤上的部位,且被排列在輸送方向上的彼此不同的指標(biāo)就可 以。
[0193] 位置檢測部也可以被配置在與離子束照射部的照射位置對置的位置上。這時,優(yōu) 選位置檢測部為另外具有遮蔽離子束的遮蔽部,以使被照射在照射位置上的離子束不被照 射到位置檢測部上。
[0194] 為檢測離子束的輸出的輸出檢測部的輸出傳感器71S、72S并不僅限于將作為離 子束的輸出值的燈絲的電流值小于預(yù)定的設(shè)定值的結(jié)果作為檢測結(jié)果而輸出的傳感器,也 可以是將離子束的輸出值作為檢測結(jié)果輸出的傳感器。這時,優(yōu)選其為另外具有這樣的構(gòu) 成、即離子束控制部另外判斷離子束的輸出是否小于預(yù)定的設(shè)定值。在檢測離子束的輸出 的輸出檢測部將離子束的輸出值作為檢測結(jié)果而輸出的情況下,也可以是位置檢測部的檢 測結(jié)果和輸出檢測部的檢測結(jié)果針對每個預(yù)定的周期進(jìn)行關(guān)聯(lián)而被存儲的構(gòu)成。根據(jù)這樣 的構(gòu)成,也可以在基板S的整體上掌握各個部位的照射量。另外,離子束照射裝置也可以是 省略這樣的輸出檢測部的構(gòu)成。
[0195] 輸出檢測部檢測出離子束的輸出值的檢測周期和位置檢測部檢測出輸送托盤的 位置的檢測周期也可以是彼此不同的周期。總之,只要是將位置檢測部的檢測結(jié)果和檢測 到該檢測結(jié)果時的最新的輸出檢測部的檢測結(jié)果進(jìn)行關(guān)聯(lián)而被存儲的構(gòu)成即可。
[0196]在上述實施方式中,在離子束的輸出異常停止時,對向反方向輸送的基板S進(jìn)行 離子束的照射,直到上述停止位置。但并不僅限于此,在離子束的輸出降低時,離子束的照 射也可以由以下的方式來進(jìn)行。
[0197]即、例如,將上述第1輸出傳感器及第2輸出傳感器當(dāng)作檢測由離子源21L、21U輸 出的離子束的時間性及空間性的輪廓的傳感器。并且,各個輸出傳感器在檢測到的輪廓小 于預(yù)定的閾值的情況下,生成表示離子束的輸出降低的輸出降低信號,并將該輸出降低信 號輸出至離子束控制部 7〇。輸出傳感器從生成輸出降低信號時開始到輸送托盤τ在正方向 上的輸送結(jié)束為止以每個預(yù)定期間檢測出離子束的輪廓,并將該檢測出的輪廓輸出至離子 束控制部70。
[0198]另一方面,離子束控制部7〇根據(jù)來自輸出傳感器的輸出降低信號將在輸入了輸 出降低信號的拍攝周期中的位置數(shù)據(jù)作為離子束的輸出降低的降低位置而存儲。離子束控 制裝置70將從輸出傳感器輸入的輪廓和各個輪廓被輸入時的拍攝周圍中的位置數(shù)據(jù)進(jìn)行 關(guān)聯(lián)而存儲。
[0199] 離子束控制部70在對向反方向輸送的基板S照射離子束時,基于從主控制部50 輸入的驅(qū)動指令和被存儲的輪廓及位置數(shù)據(jù),將輸出指令輸出至驅(qū)動電路71D、71D。
[0200] 驅(qū)動電路71D、72D基于從離子束控制部70輸入的輸出指令來生成離子源21L、21U 的驅(qū)動電流,并該將驅(qū)動電流輸出至離子源21L、21U。由此,離子源21L、21U進(jìn)行與被輸入 的驅(qū)動電流相應(yīng)的離子束的輸出,從而輸出基于上述被存儲的輪廓及位置數(shù)據(jù)而被補(bǔ)正的 離子束。這樣的離子束的照射在輸送托盤T相對于上述拍攝位置的位置到達(dá)上述輸出降低 位置時被停止。
[0201] 由此,即使離子束的照射在途中降低,也能進(jìn)一步抑制基板S上的面內(nèi)的離子束 的照射量的偏差。另外,離子束照射裝置10的電氣構(gòu)成并不僅限于上述構(gòu)成,總之,只要是 基于離子束的輪廓的變動和產(chǎn)生該變動的輸送托盤的位置來補(bǔ)正反向輸送時的離子束的 輸出的構(gòu)成的話,就可以得到同樣的效果。 _
[0202] 在圖3(a)的實施方式或圖11的變形例中,作為檢測輸送托盤T的位置的指標(biāo)使 用條形碼Cla,但是除了條形碼還可以使用其他的指標(biāo)。作為指標(biāo)也可以使用例如Q R編碼 (注冊商標(biāo))等二維編碼。在使用二維編碼的情況下,由于不僅是表示輸送托盤T的位置的 位置信息,而且能在二維編碼中包含基板S的制造號碼等其他信息,所以能從指標(biāo)取得更 多的信息。
【權(quán)利要求】
1. 一種離子束照射裝置,具備:真空槽,其收容對基板進(jìn)行保持的輸送托盤;輸送部, 其在所述真空槽內(nèi)向輸送方向輸送所述輸送托盤;離子束照射部,其向所述真空槽內(nèi)的預(yù) 定的照射位置照射離子束;以及位置檢測部,其檢測所述輸送托盤的位置,其特征在于, 所述位置檢測部通過所述輸送托盤的輸送而在預(yù)定的拍攝位置對表示所述輸送托盤 上的部位的、沿所述輸送方向排列且彼此不同的多個指標(biāo)分別進(jìn)行拍攝,基于所拍攝到的 所述指標(biāo)來檢測出所述輸送托盤相對于所述攝像位置的位置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子束照射裝置,其中, 所述離子束照射部具備: 輸出檢測部,其檢測離子束的輸出; 取得部,其以預(yù)定的周期取得所述位置檢測部的檢測結(jié)果和所述輸出檢測部的檢測結(jié) 果;以及 存儲部,其將所述位置檢測部的檢測結(jié)果和所述輸出檢測部的檢測結(jié)果以彼此關(guān)聯(lián)的 方式存儲,所述位置檢測的檢測結(jié)果和所述輸出檢測部的檢測結(jié)果是所述取得部取得的檢 測結(jié)果。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的離子束照射裝置,其中, 所述輸出檢測部檢測離子束的輸出停止。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子束照射裝置,其中, 所述輸送部在輸送處理的開始位置和該輸送處理的結(jié)束位置之間輸送所述輸送托盤, 所述輸送部具備控制部,該控制部控制所述輸送部的輸送, 所述存儲部將所述位置檢測部的檢測結(jié)果中的、與所述輸出停止進(jìn)行關(guān)聯(lián)的檢測結(jié)果 作為停止位置而存儲, 在所述輸出檢測部檢測出輸出停止時, 所述控制部以使所述輸送托盤在所述開始位置和所述結(jié)束位置之間進(jìn)行往返的方式 驅(qū)動所述輸送部, 所述離子束照射部基于所述停止位置和所述位置檢測部的檢測結(jié)果,而向所述基板上 的離子束未照射部位輸出離子束。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的離子束照射裝置,其中, 在所述輸出檢測部檢測出輸出停止時, 所述控制部向所述輸送方向輸送所述輸送托盤直到所述輸送托盤相對于所述拍攝位 置的位置處于離子束沒有照射到所述基板上的非照射位置后,從所述非照射位置向所述輸 送方向的反方向輸送所述輸送托盤, 所述離子束照射部在所述輸送托盤相對于所述拍攝位置的位置到達(dá)所述非照射位置 時再次開始離子束的照射,并在所述輸送托盤相對于所述拍攝位置的位置到達(dá)所述停止位 置時停止所述離子束的照射。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項所述的離子束照射裝置,其中, 所述多個指標(biāo)分別為條形碼,并且其在所述輸送托盤的輸送方向上從所述輸送托盤的 一端排列到另一端。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1-6中任意一項所述的離子束照射裝置,其中, 所述離子束照射部具備輸出離子束的離子源, 所述位置檢測部相對于所述輸送托盤被配置在所述離子源的相反側(cè)上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的離子束照射裝置,其中, 所述位置檢測部被配置在與所述離子源的照射位置不對置的位置上。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項所述的離子束照射裝置,其中, 所述離子束照射部的照射位置由在與所述輸送方向交叉的交叉方向上被劃分且彼此 接觸的第1照射位置和第2照射位置組成, 所述離子束照射部具備:第1離子源,其向所述第1照射位置照射離子束;以及第2離 子源,其向所述第2照射位置照射離子束。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的離子束照射裝置,其中, 所述多個指標(biāo)分別為條形碼, 所述輸送托盤具有2個條形碼群,該條形碼群由多個所述條形碼構(gòu)成, 所述2個所述條形碼群在所述交叉方向上以夾著所述第1照射位置和第2照射位置的 方式配置,并且由所述第1照射位置側(cè)的第1條形碼群和所述第2照射位置側(cè)的第2條形 編碼群構(gòu)成, 所述位置檢測部由第1位置檢測部和第2位置檢測部構(gòu)成,所述第1位置檢測部被配 置在與所述第1條形碼群彼此對置的位置上并拍攝所述第1條形碼群,所述第2位置檢測 部被配置在與所述第2條形碼群彼此對置的位置上并拍攝所述第2條形碼群, 在所述第1離子源輸出時,所述離子照射部取得第2位置檢測部的檢測結(jié)果, 在所述第2離子源輸出時,所述離子照射部取得第1位置檢測部的檢測結(jié)果。
【文檔編號】H01L21/683GK104221122SQ201380008973
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2013年2月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年2月14日
【發(fā)明者】山本良明, 金永杜, 帶施興司德, 岡山智彥 申請人:日新離子機(jī)器株式會社, 株式會社愛發(fā)科