技術(shù)編號：7036733
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。離子束照射裝置（10)具備真空槽（14)，其收容對基板（S)進(jìn)行保持的輸送托盤（T);輸送部，其在真空槽（14)內(nèi)向輸送方向輸送輸送托盤(T);離子束照射部（21L、21U)，其向真空槽（14)內(nèi)的預(yù)定的照射位置照射離子束；以及位置檢測部（23A-23D)，其檢測輸送托盤（T)的位置。位置檢測部（23A-23D)通過輸送托盤（T)的輸送而在預(yù)定的拍攝位置對表示輸送托盤（T)上的部位的、沿輸送方向排列且彼此不同的多個(gè)指標(biāo)分別進(jìn)行拍攝，基于所拍攝到的指標(biāo)來檢測...
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