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一種具有腔面非注入?yún)^(qū)窗口結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器的制作方法與工藝

文檔序號(hào):12040261閱讀:來源:國知局
一種具有腔面非注入?yún)^(qū)窗口結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器的制作方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種具有腔面非注入?yún)^(qū)窗口結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器,其特征在于,包括:襯底(1),下限制層(2),下波導(dǎo)層(3),具有量子阱結(jié)構(gòu)的有源層(4),上波導(dǎo)層(5),上限制層(6),歐姆接觸層(7),電絕緣介質(zhì)層(8),正面電極(9),背面電極(10);襯底(1)、下限制層(2)、下波導(dǎo)層(3)、具有量子阱結(jié)構(gòu)的有源層(4)、上波導(dǎo)層(5)、上限制層(6)、歐姆接觸層(7)從下至上依次相鄰,腐蝕除去歐姆接觸層(7)和上限制層(6)的四邊,在歐姆接觸層(7)的中心位置形成第一脊型臺(tái),歐姆接觸層(7)上下貫通,上限制層(6)上下不貫通;腐蝕去除上限制層(6)未貫通部分的四角,上限制層(6)的左側(cè)形成第二脊型臺(tái),上限制層(6)的右側(cè)形成第三脊型臺(tái),第一、二、三脊型臺(tái)的水平中心線共面,腐蝕后上限制層(6)的四角不貫通;電絕緣介質(zhì)層(8)覆蓋于上限制層(6)的上表面以及第一脊型臺(tái)的側(cè)面,正面電極(9)覆蓋在電絕緣介質(zhì)層(8)和第一脊型臺(tái)的上表面,背面電極(10)生長在襯底(1)上;電流注入?yún)^(qū)位于第一脊型臺(tái)上,用來提供激光器工作所需的電流。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有腔面非注入?yún)^(qū)窗口結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器,其特征在于,所述電絕緣介質(zhì)層(8)是氮化硅、氧化硅、氧化鋁或氧化鈦。
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