技術(shù)特征：
1.一種線圈支撐裝置，用于支撐位于反應(yīng)腔室的頂部上方的線圈，其特征在于，所述線圈支撐裝置包括屏蔽罩、線圈支架和升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中所述屏蔽罩固定在反應(yīng)腔室的頂部，所述線圈及用于固定所述線圈的線圈支架位于所述屏蔽罩的內(nèi)部；所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于所述屏蔽罩的頂部上方，并與所述線圈支架連接，用以驅(qū)動(dòng)所述線圈支架及與之連接的所述線圈在屏蔽罩內(nèi)相對(duì)于所述反應(yīng)腔室作升降運(yùn)動(dòng)；所述線圈支架包括水平固定板和豎直導(dǎo)向板，其中：所述水平固定板與所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，以驅(qū)動(dòng)所述線圈支架做升降運(yùn)動(dòng)；所述豎直導(dǎo)向板的頂端固定在所述水平固定板的下表面上；所述線圈為多層，且沿豎直方向間隔設(shè)置；并且所述線圈支撐裝置包括間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)單元和可沿豎直方向伸縮的伸縮機(jī)構(gòu)，其中，所述伸縮機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)伸縮單元，各所述伸縮單元分別與各層線圈連接；所述驅(qū)動(dòng)單元與所述伸縮機(jī)構(gòu)連接，用以驅(qū)動(dòng)所述伸縮機(jī)構(gòu)沿豎直方向伸縮，帶動(dòng)各層線圈彼此靠近或遠(yuǎn)離；在所述豎直導(dǎo)向板上間隔設(shè)定距離設(shè)置有第一豎直導(dǎo)軌，所述第一豎直導(dǎo)軌的數(shù)量與所述線圈的層數(shù)相對(duì)應(yīng)；所述伸縮單元包括剪叉連桿、滑動(dòng)部件、水平滑動(dòng)軸和端部連桿，其中，所述滑動(dòng)部件和水平滑動(dòng)軸各自的數(shù)量與所述線圈的層數(shù)相對(duì)應(yīng)；所述水平滑動(dòng)軸的一端與對(duì)應(yīng)的第一豎直導(dǎo)軌配合，在所述伸縮單元沿豎直方向伸縮時(shí)，沿所述第一豎直導(dǎo)軌滑動(dòng)；所述水平滑動(dòng)軸上設(shè)置有導(dǎo)向槽，所述滑動(dòng)部件沿所述導(dǎo)向槽在水平滑動(dòng)軸上水平移動(dòng)；所述水平滑動(dòng)軸上設(shè)置有用于固定各層線圈的線圈固定架；所述剪叉連桿分別位于各個(gè)相鄰的兩層線圈之間，且每個(gè)所述剪叉連桿由兩個(gè)交叉設(shè)置且彼此鉸接的連桿組成，并且，在所述兩個(gè)連桿中，其中一個(gè)連桿的兩個(gè)自由端分別與位于該連桿上方且相鄰的水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件，以及位于該連桿下方且相鄰的所述水平滑動(dòng)軸的一個(gè)自由端鉸接；另一個(gè)連桿的兩個(gè)自由端分別與位于該連桿上方且相鄰的所述水平滑動(dòng)軸的一個(gè)自由端，以及位于該連桿下方且相鄰的水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件鉸接；所述端部連桿包括頂端連桿和底端連桿，其中，所述頂端連桿和底端連桿分別由兩個(gè)長(zhǎng)度相同，且在一端彼此鉸接的連桿組成，并且，在所述頂端連桿中，其由兩個(gè)連桿鉸接的端部與所述驅(qū)動(dòng)單元球鉸接，其中一個(gè)連桿的自由端與位于最上層的水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件鉸接；另一個(gè)連桿的自由端與位于最上層的水平滑動(dòng)軸的自由端鉸接；在所述底端連桿中，其由兩個(gè)連桿鉸接的端部固定；其中一個(gè)連桿的自由端與位于最下層的所述水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件鉸接；另一個(gè)連桿的自由端與位于最下層的所述水平滑動(dòng)軸的自由端鉸接；當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述頂端連桿的兩個(gè)連桿鉸接的端部作豎直運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述底端連桿的兩個(gè)連桿鉸接的端部固定不動(dòng)，且所述剪叉連桿之間的夾角減小或增大，從而所述剪叉連桿在驅(qū)動(dòng)所述水平滑動(dòng)軸沿所述第一豎直導(dǎo)軌豎直滑動(dòng)的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)部件沿所述導(dǎo)向槽在水平滑動(dòng)軸上水平移動(dòng)，以帶動(dòng)所述水平滑動(dòng)軸水平移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)單元包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源、絲杠和絲套，其中在所述絲套的頂端設(shè)置有螺紋孔，所述螺紋孔與所述絲杠相配合；在所述絲套的底端設(shè)置有球頭連接件，所述絲套借助所述球頭連接件與所述頂端連桿的兩個(gè)連桿的鉸接處球鉸接；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源固定在所述水平固定板上，且其驅(qū)動(dòng)軸與所述絲杠的頂端固定連接；在所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)下，所述絲杠順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，且與所述絲套在豎直方向上產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述頂端連桿上升或下降。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)和傳動(dòng)組件，其中，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)固定在所述屏蔽罩上，用以提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力；所述傳動(dòng)組件用于將由所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)提供的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為升降直線運(yùn)動(dòng)，并傳遞至所述線圈支架。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)組件的傳動(dòng)方式包括齒輪齒條傳動(dòng)或絲杠傳動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述線圈支撐裝置還包括導(dǎo)向單元，所述導(dǎo)向單元包括導(dǎo)向套和導(dǎo)向桿，其中：在所述屏蔽罩上設(shè)置有貫穿其厚度的導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向套固定在所述屏蔽罩上，且與所述導(dǎo)向孔相對(duì)應(yīng)的位置處；所述導(dǎo)向桿的下端與所述線圈支架固定連接；所述導(dǎo)向桿的上端沿豎直方向穿過所述導(dǎo)向孔和導(dǎo)向套；在所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述線圈支架作升降運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述導(dǎo)向桿在導(dǎo)向孔和導(dǎo)向套內(nèi)沿豎直方向滑動(dòng)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述線圈支撐裝置還包括限位單元和控制單元，其中所述限位單元用于檢測(cè)所述線圈是否移動(dòng)至預(yù)設(shè)的最高極限位置或最低極限位置，若是，則向所述控制單元發(fā)送檢測(cè)信號(hào)；所述控制單元用于根據(jù)來自所述限位單元的檢測(cè)信號(hào)控制所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)停止驅(qū)動(dòng)所述線圈支架繼續(xù)作升降運(yùn)動(dòng)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述限位單元包括位置傳感器，所述位置傳感器設(shè)置在所述線圈的升降路徑上，且分別對(duì)應(yīng)于所述線圈的最高極限位置和最低極限位置；所述位置傳感器用于在檢測(cè)到所述線圈到達(dá)最高極限位置或最低極限位置時(shí)，向所述控制單元發(fā)送檢測(cè)信號(hào)。8.一種等離子體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室、線圈和線圈支撐裝置，其中，所述線圈支撐裝置用于將所述線圈固定在反應(yīng)腔室的頂部上方，其特征在于，所述線圈支撐裝置采用權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的線圈支撐裝置。