本發(fā)明涉及微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種線圈支撐裝置及等離子體加工設(shè)備。

背景技術(shù)：
目前，在等離子體刻蝕、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積等的領(lǐng)域中，人們廣泛采用電容耦合、電感耦合以及電子回旋共振等方式來獲得等離子體。其中，在電感耦合等離子體設(shè)備中，螺旋管狀的射頻線圈的應(yīng)用非常廣泛，而且，在工藝過程中，該射頻線圈與置于反應(yīng)腔室內(nèi)的襯底之間的豎直間距以及射頻線圈內(nèi)各匝之間的豎直間距，對(duì)在反應(yīng)腔室內(nèi)部形成的等離子體的密度及分布具有很大影響，并最終影響刻蝕速率、沉積速率以及工藝均勻性等的工藝性能，因此，在實(shí)際的應(yīng)用中，通常需要對(duì)射頻線圈與襯底之間的豎直間距以及射頻線圈的分布密度進(jìn)行調(diào)整，以獲得理想的工藝效果。圖1為現(xiàn)有的等離子體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，公開號(hào)為CN102054649A的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)公開了一種等離子體處理裝置，其包括反應(yīng)腔室10、基座12、射頻線圈54、高頻電源56、校正線圈70和高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)72。其中，基座12設(shè)置在反應(yīng)腔室10內(nèi)，其用于承載被加工工件；射頻線圈54采用螺旋線狀或同心圓線狀結(jié)構(gòu)，其設(shè)置在反應(yīng)腔室10的頂壁上方，且與高頻電源56電氣連接，用以在接通高頻電源56時(shí)在反應(yīng)腔室10內(nèi)產(chǎn)生射頻磁場(chǎng)，并通過高頻放電產(chǎn)生等離子體；校正線圈70設(shè)于射頻線圈54上方，其可通過電磁感應(yīng)與射頻線圈54進(jìn)行耦合。高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)72用于驅(qū)動(dòng)校正線圈70作升降運(yùn)動(dòng)，以使其能夠靠近或遠(yuǎn)離射頻線圈54，從而可以改變射頻線圈54的分布密度，進(jìn)而可以調(diào)節(jié)射頻磁場(chǎng)的分布，以使在反應(yīng)腔室10內(nèi)產(chǎn)生的等離子體的分布趨于均勻。上述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)72的結(jié)構(gòu)具體為：高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)72包括支撐板74、滾珠絲杠76、步進(jìn)電機(jī)78和導(dǎo)柱82。其中，滾珠絲杠76豎直設(shè)置在射頻線圈54四周的上方；支撐板74水平設(shè)置在射頻線圈54的上方，且與滾珠絲杠76相配合；在支撐板74上設(shè)置有多個(gè)貫穿其厚度的通孔84，導(dǎo)柱82的數(shù)量和位置與通孔84的數(shù)量和位置一一對(duì)應(yīng)，且每個(gè)導(dǎo)柱82的下端穿過與之一一對(duì)應(yīng)的通孔84，并固定在反應(yīng)腔室10的頂部，并且每個(gè)導(dǎo)柱82和與之一一對(duì)應(yīng)的通孔84滑動(dòng)配合。步進(jìn)電機(jī)78用于驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠76順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，以使?jié)L珠絲杠76帶動(dòng)支撐板74沿導(dǎo)柱82的軸向作升降運(yùn)動(dòng)，從而可以調(diào)節(jié)在反應(yīng)腔室10內(nèi)產(chǎn)生的射頻磁場(chǎng)的分布，以使在反應(yīng)腔室10內(nèi)產(chǎn)生的等離子體的分布趨于均勻。上述等離子體處理裝置在實(shí)際應(yīng)用中不可避免地存在以下問題，即：由于上述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)72僅能夠驅(qū)動(dòng)校正線圈70靠近或遠(yuǎn)離射頻線圈54，而無法驅(qū)動(dòng)射頻線圈54靠近或遠(yuǎn)離反應(yīng)腔室10，這不僅會(huì)降低等離子體處理裝置的靈活度，而且由于上述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)72無法對(duì)射頻線圈54相對(duì)于反應(yīng)腔室10的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，因而無法消除射頻線圈54可能存在的安裝誤差和加工誤差，導(dǎo)致等離子體處理裝置的準(zhǔn)確度較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種線圈支撐裝置及等離子體加工設(shè)備，其通過驅(qū)動(dòng)線圈作升降運(yùn)動(dòng)而調(diào)節(jié)線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室的高度，從而不僅可以消除線圈可能存在的安裝誤差和加工誤差，而且還可以靈活而準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)射頻磁場(chǎng)在反應(yīng)腔室內(nèi)的分布，進(jìn)而可以提高工藝的均勻性。為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種線圈支撐裝置，用于支撐位于反應(yīng)腔室的頂部上方的線圈，所述線圈支撐裝置包括屏蔽罩、線圈支架和升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中所述屏蔽罩固定在反應(yīng)腔室的頂部，所述線圈及用于固定所述線圈的線圈支架位于所述屏蔽罩的內(nèi)部；所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于所述屏蔽罩的頂部上方，并與所述線圈支架連接，用以驅(qū)動(dòng)所述線圈支架及與之連接的所述線圈在屏蔽罩內(nèi)相對(duì)于所述反應(yīng)腔室作升降運(yùn)動(dòng)。其中，所述線圈為多層，且沿豎直方向間隔設(shè)置；并且所述線圈支撐裝置包括間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)單元和可沿豎直方向伸縮的伸縮機(jī)構(gòu)，其中，所述伸縮機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)伸縮單元，各所述伸縮單元分別與各層線圈連接；所述驅(qū)動(dòng)單元與所述伸縮機(jī)構(gòu)連接，用以驅(qū)動(dòng)所述伸縮機(jī)構(gòu)沿豎直方向伸縮，帶動(dòng)各層線圈彼此靠近或遠(yuǎn)離。其中，所述線圈支架包括水平固定板和豎直導(dǎo)向板，其中：所述水平固定板與所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，以驅(qū)動(dòng)所述線圈支架做升降運(yùn)動(dòng)；所述豎直導(dǎo)向板的頂端固定在所述水平固定板的下表面上；在所述豎直導(dǎo)向板上間隔設(shè)定距離設(shè)置有第一豎直導(dǎo)軌，所述第一豎直導(dǎo)軌的數(shù)量與所述線圈的層數(shù)相對(duì)應(yīng)；所述伸縮單元包括剪叉連桿、滑動(dòng)部件、水平滑動(dòng)軸和端部連桿，其中，所述滑動(dòng)部件和水平滑動(dòng)軸各自的數(shù)量與所述線圈的層數(shù)相對(duì)應(yīng)；所述水平滑動(dòng)軸的一端與對(duì)應(yīng)的第一豎直導(dǎo)軌配合，在所述伸縮單元沿豎直方向伸縮時(shí)，沿所述第一豎直導(dǎo)軌滑動(dòng)；所述水平滑動(dòng)軸上設(shè)置有導(dǎo)向槽，所述滑動(dòng)部件沿所述導(dǎo)向槽在水平滑動(dòng)軸上水平移動(dòng)；所述水平滑動(dòng)軸上設(shè)置有用于固定各層線圈的線圈固定架；所述剪叉連桿分別位于各個(gè)相鄰的兩層線圈之間，且每個(gè)所述剪叉連桿由兩個(gè)交叉設(shè)置且彼此鉸接的連桿組成，并且，在所述兩個(gè)連桿中，其中一個(gè)連桿的兩個(gè)自由端分別與位于該連桿上方且相鄰的水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件，以及位于該連桿下方且相鄰的所述水平滑動(dòng)軸的一個(gè)自由端鉸接；另一個(gè)連桿的兩個(gè)自由端分別與位于該連桿上方且相鄰的所述水平滑動(dòng)軸的一個(gè)自由端，以及位于該連桿下方且相鄰的水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件鉸接；所述端部連桿包括頂端連桿和底端連桿，其中，所述頂端連桿和底端連桿分別由兩個(gè)長(zhǎng)度相同，且在一端彼此鉸接的連桿組成，并且，在所述頂端連桿中，其由兩個(gè)連桿鉸接的端部與所述驅(qū)動(dòng)單元球鉸接，其中一個(gè)連桿的自由端與位于最上層的水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件鉸接；另一個(gè)連桿的自由端與位于最上層的水平滑動(dòng)軸的自由端鉸接；在所述底端連桿中，其由兩個(gè)連桿鉸接的端部固定；其中一個(gè)連桿的自由端與位于最下層的所述水平滑動(dòng)軸上的滑動(dòng)部件鉸接；另一個(gè)連桿的自由端與位于最下層的所述水平滑動(dòng)軸的自由端鉸接；當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述頂端連桿的兩個(gè)連桿鉸接的端部作豎直運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述底端連桿的兩個(gè)連桿鉸接的端部固定不動(dòng)，且所述剪叉連桿之間的夾角減小或增大，從而所述剪叉連桿在驅(qū)動(dòng)所述水平滑動(dòng)軸沿所述第一豎直導(dǎo)軌豎直滑動(dòng)的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)部件沿所述導(dǎo)向槽在水平滑動(dòng)軸上水平移動(dòng)，以帶動(dòng)所述水平滑動(dòng)軸水平移動(dòng)。其中，所述驅(qū)動(dòng)單元包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源、絲杠和絲套，其中在所述絲套的頂端設(shè)置有螺紋孔，所述螺紋孔與所述絲杠相配合；在所述絲套的底端設(shè)置有球頭連接件，所述絲套借助所述球頭連接件與所述頂端連桿的兩個(gè)連桿的鉸接處球鉸接；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源固定在所述水平固定板上，且其驅(qū)動(dòng)軸與所述絲杠的頂端固定連接；在所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)下，所述絲杠順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，且與所述絲套在豎直方向上產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述頂端連桿上升或下降。其中，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)和傳動(dòng)組件，其中，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)固定在所述屏蔽罩上，用以提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力；所述傳動(dòng)組件用于將由所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)提供的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為升降直線運(yùn)動(dòng)，并傳遞至所述線圈支架。其中，所述傳動(dòng)組件的傳動(dòng)方式包括齒輪齒條傳動(dòng)或絲杠傳動(dòng)。其中，所述線圈支撐裝置還包括導(dǎo)向單元，所述導(dǎo)向單元包括導(dǎo)向套和導(dǎo)向桿，其中：在所述屏蔽罩上設(shè)置有貫穿其厚度的導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向套固定在所述屏蔽罩上，且與所述導(dǎo)向孔相對(duì)應(yīng)的位置處；所述導(dǎo)向桿的下端與所述線圈支架固定連接；所述導(dǎo)向桿的上端沿豎直方向穿過所述導(dǎo)向孔和導(dǎo)向套；在所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述線圈支架作升降運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述導(dǎo)向桿在導(dǎo)向孔和導(dǎo)向套內(nèi)沿豎直方向滑動(dòng)。其中，所述線圈支撐裝置還包括限位單元和控制單元，其中所述限位單元用于檢測(cè)所述線圈是否移動(dòng)至預(yù)設(shè)的最高極限位置或最低極限位置，若是，則向所述控制單元發(fā)送檢測(cè)信號(hào)；所述控制單元用于根據(jù)來自所述限位單元的檢測(cè)信號(hào)控制所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)停止驅(qū)動(dòng)所述線圈支架繼續(xù)作升降運(yùn)動(dòng)。其中，所述限位單元包括位置傳感器，所述位置傳感器設(shè)置在所述線圈的升降路徑上，且分別對(duì)應(yīng)于所述線圈的最高極限位置和最低極限位置；所述位置傳感器用于在檢測(cè)到所述線圈到達(dá)最高極限位置或最低極限位置時(shí)，向所述控制單元發(fā)送檢測(cè)信號(hào)。作為另一個(gè)技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種等離子體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室、線圈和線圈支撐裝置，其中，所述線圈支撐裝置用于將所述線圈固定在反應(yīng)腔室的頂部上方，所述線圈支撐裝置采用了本發(fā)明提供的上述線圈支撐裝置。本發(fā)明具有以下有益效果：本發(fā)明提供的線圈支撐裝置，其通過借助升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)線圈支架及與之連接的線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室作升降運(yùn)動(dòng)，可以對(duì)線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)腔室內(nèi)的射頻磁場(chǎng)的磁場(chǎng)強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，而且還可以消除線圈可能存在的安裝誤差和加工誤差，進(jìn)而可以提高等離子體加工設(shè)備的準(zhǔn)確度。本發(fā)明提供的等離子體加工設(shè)備，其通過采用本發(fā)明提供的線圈支撐裝置，可以對(duì)線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)腔室內(nèi)的射頻磁場(chǎng)的磁場(chǎng)強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，而且還可以消除線圈可能存在的安裝誤差和加工誤差，進(jìn)而可以提高等離子體加工設(shè)備的準(zhǔn)確度。附圖說明圖1為現(xiàn)有的等離子體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的線圈支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2所示線圈支撐裝置的局部放大圖；圖4為圖2所示線圈支撐裝置的另一局部放大圖；圖5為本發(fā)明提供的另一種線圈支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明提供的再一種線圈支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明提供的又一種線圈支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖8為本發(fā)明提供的又一種線圈支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對(duì)本發(fā)明提供的線圈支撐裝置及等離子體加工設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。首先需要說明的是，本發(fā)明提供的下述各個(gè)實(shí)施例中，“沿豎直方向間隔設(shè)置的兩層線圈”的含義為：一個(gè)線圈沿豎直方向纏繞成多匝，每匝線圈即為一層線圈；或者，多個(gè)線圈沿豎直方向間隔設(shè)置，且每個(gè)線圈由沿水平方向纏繞成的一匝或多匝平面線圈組成。圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的線圈支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖2所示線圈支撐裝置的局部放大圖。請(qǐng)一并參閱圖2和圖3，線圈支撐裝置用于支撐位于反應(yīng)腔室的頂部上方的線圈6，在本實(shí)施例中，線圈6為沿豎直方向纏繞的多匝線圈；而且，線圈支撐裝置包括屏蔽罩7、線圈支架和升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，屏蔽罩7固定在反應(yīng)腔室的頂部，用以屏蔽線圈6產(chǎn)生的磁場(chǎng)干擾外界；線圈6及用于固定線圈6的線圈支架位于屏蔽罩7的內(nèi)部；線圈支架包括水平固定板3，水平固定板3位于最上層的線圈6上方；升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在屏蔽罩7的頂部上方，用以驅(qū)動(dòng)水平固定板3及與之固定連接的線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室作升降運(yùn)動(dòng)。通過借助升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)水平固定板3及與之固定連接的線圈6相對(duì)于反應(yīng)腔室作升降運(yùn)動(dòng)，可以對(duì)線圈6相對(duì)于反應(yīng)腔室的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)腔室內(nèi)的射頻磁場(chǎng)的磁場(chǎng)強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，而且還可以消除線圈可能存在的安裝誤差和加工誤差，進(jìn)而可以提高等離子體加工設(shè)備的準(zhǔn)確度。下面對(duì)升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)地描述。具體地，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)21和傳動(dòng)組件22，其中，旋轉(zhuǎn)電機(jī)21固定在屏蔽罩7上，用以提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力；傳動(dòng)組件22用于將由旋轉(zhuǎn)電機(jī)21提供的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為升降直線運(yùn)動(dòng)，并傳遞至水平固定板3，在本實(shí)施例中，傳動(dòng)組件22采用齒輪齒條傳動(dòng)的方式將由旋轉(zhuǎn)電機(jī)21提供的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為升降直線運(yùn)動(dòng)，具體地，傳動(dòng)組件22包括齒輪221和齒條222，其中，齒輪221的旋轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)電機(jī)21的驅(qū)動(dòng)軸連接；齒條222的底端與水平固定板3固定連接；齒條222的頂端豎直向上延伸，且貫穿屏蔽罩7，并與齒輪221相嚙合。在旋轉(zhuǎn)電機(jī)21的驅(qū)動(dòng)下，齒輪221作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)齒條222相對(duì)于反應(yīng)腔室作升降運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)水平固定板3及與之固定連接的線圈6同時(shí)上升或下降。在本實(shí)施例中，線圈支撐裝置還包括導(dǎo)向單元23，用以對(duì)水平固定板3和線圈6的升降運(yùn)動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向，從而可以提高運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性。導(dǎo)向單元23的具體結(jié)構(gòu)為：導(dǎo)向單元23包括導(dǎo)向桿231和導(dǎo)向套232，其中，在屏蔽罩7上設(shè)置有貫穿其厚度的至少一個(gè)導(dǎo)向孔，導(dǎo)向套232的數(shù)量與該導(dǎo)向孔的數(shù)量相對(duì)應(yīng)，且導(dǎo)向套232固定在屏蔽罩7的上表面上，并與該導(dǎo)向孔相對(duì)應(yīng)的位置處；導(dǎo)向桿231的數(shù)量與導(dǎo)向套232的數(shù)量相對(duì)應(yīng)，導(dǎo)向桿231的下端與水平固定板3固定連接，導(dǎo)向桿231的上端沿豎直方向依次穿過導(dǎo)向孔和導(dǎo)向套232。在升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)水平固定板3作升降運(yùn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)向桿231在導(dǎo)向孔和導(dǎo)向套232內(nèi)沿豎直方向滑動(dòng)，從而起到對(duì)水平固定板3和線圈6的升降運(yùn)動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向的作用。容易理解，導(dǎo)向桿231的長(zhǎng)度應(yīng)滿足線圈6的最大行程。此外，導(dǎo)向套232還可以固定在屏蔽罩7的下表面上，且與導(dǎo)向孔相對(duì)應(yīng)的位置處。導(dǎo)向孔、導(dǎo)向桿和導(dǎo)向套的數(shù)量可以根據(jù)具體情況設(shè)置為一個(gè)或多個(gè)。在本實(shí)施例中，線圈支撐裝置還包括限位單元24和控制單元（圖中未示出）。其中，限位單元24用于檢測(cè)線圈6是否移動(dòng)至預(yù)設(shè)的最高極限位置或最低極限位置，若是，則向控制單元發(fā)送檢測(cè)信號(hào)；控制單元用于根據(jù)來自限位單元24的檢測(cè)信號(hào)控制升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)停止驅(qū)動(dòng)水平固定板3繼續(xù)作升降運(yùn)動(dòng)。下面對(duì)限位單元24的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述。具體地，限位單元24包括位置傳感器（241，242），位置傳感器（241，242）設(shè)置在線圈的升降路徑上，且分別對(duì)應(yīng)于線圈6的最高極限位置和最低極限位置，用以檢測(cè)線圈6是否移動(dòng)至預(yù)設(shè)的最高極限位置或最低極限位置，若是，則向控制單元發(fā)送檢測(cè)信號(hào)。所謂最高極限位置，是指預(yù)設(shè)的限定線圈6所能達(dá)到的最高位置；所謂最低極限位置，是指預(yù)設(shè)的限定線圈6所能達(dá)到的最低位置?？刂茊卧糜诟鶕?jù)來自位置傳感器241或位置傳感器242的檢測(cè)信號(hào)控制旋轉(zhuǎn)電機(jī)21停止驅(qū)動(dòng)水平固定板3繼續(xù)作升降運(yùn)動(dòng)，從而可以防止線圈6超出行程。在本實(shí)施例中，線圈支架還包括豎直導(dǎo)向板4，豎直導(dǎo)向板4的頂端固定在水平固定板3的下表面上；在豎直導(dǎo)向板4上間隔設(shè)定距離設(shè)置有第一豎直導(dǎo)軌41，第一豎直導(dǎo)軌41的數(shù)量與線圈的匝數(shù)相對(duì)應(yīng)。而且，線圈支撐裝置還包括間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)單元10和可沿豎直方向伸縮的伸縮機(jī)構(gòu)，其中，伸縮機(jī)構(gòu)包括多個(gè)伸縮單元11，且各伸縮單元11分別與線圈6中的各匝線圈連接。下面對(duì)伸縮單元11的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述。具體地，伸縮單元11包括剪叉連桿110、滑動(dòng)部件112、水平滑動(dòng)軸113和端部連桿114。其中，滑動(dòng)部件112和水平滑動(dòng)軸113各自的數(shù)量與線圈6的匝數(shù)相對(duì)應(yīng)；水平滑動(dòng)軸113的一端與對(duì)應(yīng)的第一豎直導(dǎo)軌41配合，在伸縮單元11沿豎直方向伸縮時(shí)，水平滑動(dòng)軸113沿第一豎直導(dǎo)軌41滑動(dòng)。借助第一豎直導(dǎo)軌41，可以使水平滑動(dòng)軸113的滑動(dòng)只能在第一豎直導(dǎo)軌41內(nèi)進(jìn)行，從而起到限位的作用。而且，由于相鄰的兩個(gè)第一豎直導(dǎo)軌41之間具有設(shè)定的間隔距離，這可以限定相鄰的兩匝線圈之間的最小豎直間距，以避免在伸縮單元11壓縮線圈6時(shí)，其中一些相鄰兩匝線圈的豎直間距過小，從而保證各個(gè)相鄰兩匝線圈的豎直間距相差不大。在實(shí)際應(yīng)用中，第一豎直導(dǎo)軌41的結(jié)構(gòu)可以為與水平滑動(dòng)軸113的外徑相配合的通孔或凹槽。在水平滑動(dòng)軸113上設(shè)置有導(dǎo)向槽111，滑動(dòng)部件112沿導(dǎo)向槽111在水平滑動(dòng)軸113上水平移動(dòng)；水平滑動(dòng)軸113上設(shè)置有用于固定各層線圈的線圈固定架5；剪叉連桿110分別位于各個(gè)相鄰的兩匝線圈之間，且每個(gè)剪叉連桿110由兩個(gè)交叉設(shè)置，且彼此鉸接的連桿組成，在本實(shí)施例中，剪叉連桿110由兩個(gè)長(zhǎng)度相同，且在彼此的中點(diǎn)位置處鉸接的連桿a、b組成，如圖3所示；并且，在a、b兩個(gè)連桿中，其中一個(gè)連桿a的兩個(gè)自由端（即，圖3中連桿a的上端和下端）分別與位于連桿a上方且相鄰的滑動(dòng)部件112，以及位于連桿a下方且相鄰的水平滑動(dòng)軸113的一個(gè)自由端（即，圖3中水平滑動(dòng)軸113的右端）連接；其中另一個(gè)連桿b的兩個(gè)自由端（即，圖3中連桿b的上端和下端）分別與位于連桿b上方且相鄰的水平滑動(dòng)軸113的一個(gè)自由端，以及位于連桿b下方且相鄰的滑動(dòng)部件112鉸接。端部連桿114包括頂端連桿和底端連桿，其中，頂端連桿由兩個(gè)長(zhǎng)度相同，且在一端彼此鉸接的連桿c、d組成，并且，頂端連桿通過連桿c、d相互鉸接的端部（圖3中頂端連桿的上端）與驅(qū)動(dòng)單元10球鉸接，其中，連桿c的自由端（圖3中連桿c的下端）與位于最上層的剪叉連桿110和滑動(dòng)部件112的鉸接處鉸接；連桿d的自由端與位于最上層的剪叉連桿110和水平滑動(dòng)軸113的鉸接處鉸接；底端連桿由兩個(gè)長(zhǎng)度相同、且在一端彼此鉸接的連桿e、f組成，并且，底端連桿由連桿e、f相互鉸接的端部固定，即，在伸縮單元11伸縮時(shí)，連桿e、f相互鉸接的端部固定不動(dòng)，并且，連桿e的自由端與位于最下個(gè)的剪叉連桿110和滑動(dòng)部件112的鉸接處鉸接；連桿f的自由端與位于最下個(gè)的剪叉連桿110和水平滑動(dòng)軸113的鉸接處鉸接。容易理解，使連桿e、f相互鉸接的端部在伸縮單元11伸縮時(shí)固定不動(dòng)的具體方式為：將連桿e、f相互鉸接的端部借助連桿等的任意結(jié)構(gòu)的連接件與豎直導(dǎo)向板4、水平固定板3、屏蔽罩7或者反應(yīng)腔室連接，也就是說，只要連桿e、f相互鉸接的端部能夠與不隨伸縮單元11一起伸縮的任意部件連接即可。驅(qū)動(dòng)單元10與伸縮機(jī)構(gòu)連接，用以驅(qū)動(dòng)伸縮機(jī)構(gòu)沿豎直方向伸縮，帶動(dòng)各層線圈彼此靠近或遠(yuǎn)離。具體地，驅(qū)動(dòng)單元10用于驅(qū)動(dòng)頂端連桿的連桿c、d相互鉸接的端部作豎直運(yùn)動(dòng)，此時(shí)底端連桿的連桿e、f相互鉸接的端部固定不動(dòng)，且剪叉連桿110之間的夾角減小或增大，從而剪叉連桿110在驅(qū)動(dòng)水平滑動(dòng)軸113沿第一豎直導(dǎo)軌41豎直滑動(dòng)的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)部件112沿導(dǎo)向槽111在水平滑動(dòng)軸113上水平移動(dòng)，以帶動(dòng)水平滑動(dòng)軸113水平移動(dòng)。在本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)單元10包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源101、絲杠102和絲套103，其中，在絲套103的頂端設(shè)置有螺紋孔，該螺紋孔與絲杠102相配合；在絲套103的底端設(shè)置有球頭連接件，絲套103借助該球頭連接件與頂端連桿的兩個(gè)連桿c、d的鉸接處球鉸接；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源101固定在水平固定板3上，絲杠102的頂端豎直向上貫穿水平固定板3，并與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源101的驅(qū)動(dòng)軸固定連接。在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源101的驅(qū)動(dòng)下，絲杠102順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，且與絲套103在豎直方向上產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)頂端連桿上升或下降。如圖4所示，當(dāng)在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源101的驅(qū)動(dòng)下，絲套103相對(duì)于絲杠102上升時(shí)，絲套103帶動(dòng)其與頂端連桿球鉸接的鉸接處T1上升，此時(shí)頂端連桿的兩個(gè)連桿之間的夾角因絲套103向上拉動(dòng)而減小，從而帶動(dòng)頂端連桿中的其中一個(gè)連桿的自由端與位于最上層的剪叉連桿110和滑動(dòng)部件112鉸接的鉸接處T4，以及頂端連桿中的其中另一個(gè)連桿的自由端與剪叉連桿110和水平滑動(dòng)軸113鉸接的鉸接處T5上升，與此同時(shí)，鉸接處T4，T5在水平方向上彼此靠近，即，滑動(dòng)部件112沿導(dǎo)向槽111向右水平滑動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)水平滑動(dòng)軸113水平移動(dòng)；由于鉸接處T4，T5上升，這使得在最上層的剪叉連桿110中，兩個(gè)連桿鉸接的鉸接處T2上升，剪叉連桿110之間的夾角減小，從而剪叉連桿110帶動(dòng)最上層的線圈與位于其下方且相鄰的一匝線圈在豎直方向上彼此遠(yuǎn)離。以此類推，串接在一起的所有剪叉連桿110，以及滑動(dòng)部件112和水平滑動(dòng)軸113的運(yùn)動(dòng)均和位于最上層的與之名稱相同的部件的運(yùn)動(dòng)相同，從而實(shí)現(xiàn)相鄰的兩匝線圈之間的豎直間距增大。與之相類似的，當(dāng)在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源101驅(qū)動(dòng)下，絲套103相對(duì)于絲杠下降時(shí)，伸縮單元11壓縮，從而實(shí)現(xiàn)相鄰的兩匝線圈之間的豎直間距減小。需要說明的是，在實(shí)際應(yīng)用中，多個(gè)伸縮單元11可以沿線圈6的周向分布在線圈6的內(nèi)側(cè)或外側(cè)。而且，可以使驅(qū)動(dòng)單元10的數(shù)量與伸縮單元11的數(shù)量相對(duì)應(yīng)，且二者一一對(duì)應(yīng)地連接，或者，也可以僅設(shè)置一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元10，其與各個(gè)伸縮單元11連接，用以同時(shí)驅(qū)動(dòng)伸縮單元11沿豎直方向伸縮；或者，還可以使驅(qū)動(dòng)單元10的數(shù)量少于或多于伸縮單元11的數(shù)量，即，可以存在多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元10與一個(gè)伸縮單元11連接的情況，或者，也可以同時(shí)存在多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元10與一個(gè)伸縮單元11連接，及一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元10與多個(gè)伸縮單元11連接的情況。而且，在本實(shí)施例中，剪叉連桿110中的兩個(gè)連桿的長(zhǎng)度相同，且在二者的中點(diǎn)位置處鉸接，但本發(fā)明并不限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，也可以使剪叉連桿中的兩個(gè)連桿的長(zhǎng)度相同，但兩個(gè)連桿的鉸接處可以在除了二者的中點(diǎn)位置、端部之外的任意位置處，例如，兩個(gè)連桿可以如圖6所示的方式鉸接。或者，還可以使剪叉連桿中的兩個(gè)連桿的長(zhǎng)度不同，而且，頂端連桿和底端連桿中各自的兩個(gè)連桿的長(zhǎng)度可以相同，也可以不同，如圖7和圖8所示。還需要說明的是，在本實(shí)施例中，傳動(dòng)組件22采用齒輪齒條傳動(dòng)的方式，但是本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，傳動(dòng)組件還可以采用絲杠傳動(dòng)等的可將旋轉(zhuǎn)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為升降直線運(yùn)動(dòng)的其他傳動(dòng)方式。另外，優(yōu)選地，導(dǎo)向桿、導(dǎo)向套、傳動(dòng)組件22、水平固定板3和豎直導(dǎo)向板4等的位于屏蔽罩7內(nèi)的部件采用絕緣材料制作，以防止產(chǎn)生打火、放電或發(fā)熱現(xiàn)象。進(jìn)一步需要說明的是，在本實(shí)施例中，限位單元24通過位置傳感器（241，242）來判斷線圈6是否移動(dòng)至預(yù)設(shè)的最高極限位置或最低極限位置，但本發(fā)明并不限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，如圖5所示，限位單元24還可以在線圈升降路徑上設(shè)置位移傳感器243，位移傳感器243在檢測(cè)到線圈6的位移達(dá)到最高行程或最低行程時(shí)，向控制單元發(fā)送檢測(cè)信號(hào)；控制單元根據(jù)該檢測(cè)信號(hào)控制升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)停止驅(qū)動(dòng)水平固定板3繼續(xù)作升降運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步需要說明的是，在本實(shí)施例中，升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在屏蔽罩7的頂部上方，但是本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，也可以采用其他任意結(jié)構(gòu)的部件代替屏蔽罩7，只要其能夠?qū)⑸凋?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在反應(yīng)腔室的頂部上方即可。綜上所述，本發(fā)明上述實(shí)施例提供的線圈支撐裝置，其通過借助升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)線圈支架及與之固定連接的線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室作升降運(yùn)動(dòng)，可以對(duì)線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)腔室內(nèi)的射頻磁場(chǎng)的磁場(chǎng)強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，而且還可以消除線圈可能存在的安裝誤差和加工誤差，進(jìn)而可以提高等離子體加工設(shè)備的準(zhǔn)確度。作為另一個(gè)技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種等離子體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室、線圈和線圈支撐裝置，其中，線圈支撐裝置用于將線圈6固定在反應(yīng)腔室的頂部上方，并且，線圈支撐裝置采用上述實(shí)施例中提供的線圈支撐裝置。本實(shí)施例提供的等離子體加工設(shè)備，其通過采用上述實(shí)施例提供的線圈支撐裝置，可以對(duì)線圈相對(duì)于反應(yīng)腔室的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)反應(yīng)腔室內(nèi)的射頻磁場(chǎng)的磁場(chǎng)強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，而且還可以消除線圈可能存在的安裝誤差和加工誤差，進(jìn)而可以提高等離子體加工設(shè)備的準(zhǔn)確度?？梢岳斫獾氖?，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。