技術(shù)特征：
1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括：下部主體，在其內(nèi)部形成有空間；上部主體，設(shè)置在所述下部主體的上面，與所述下部主體連通或隔絕，在內(nèi)部形成有作為基板處理空間的腔室；晶舟，可升降地設(shè)置在所述下部主體的內(nèi)部，并出入于所述腔室，用于裝載并存儲(chǔ)多個(gè)基板；機(jī)器臂，設(shè)置在所述下部主體的內(nèi)部，用于移送存儲(chǔ)在所述下部主體的外部的基板并裝載到所述晶舟上，或?qū)⒀b載在所述晶舟上的所述基板移送到所述下部主體的外部；排出單元，設(shè)置在所述下部主體，將存在于所述下部主體內(nèi)部的下側(cè)部位和上側(cè)部位的異物分別排出至所述下部主體的外部，所述排出單元包括：送風(fēng)機(jī)，設(shè)置在所述下部主體的一側(cè)面上，用于向所述下部主體的內(nèi)部送風(fēng)；過(guò)濾器，配置在設(shè)置有所述送風(fēng)機(jī)的所述下部主體的內(nèi)部的一側(cè)面上；第一排出管和第二排出管，設(shè)置于所述下部主體，分別將存在于所述下部主體內(nèi)部的下側(cè)部位和上側(cè)部位的異物，與由所述送風(fēng)機(jī)送出的空氣一同排出至所述下部主體的外部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述第一排出管的一端部位于所述下部主體內(nèi)部的下側(cè)部位，而另一端部位于所述下部主體的外側(cè)，所述第二排出管的一端部位于所述下部主體內(nèi)部的上側(cè)部位，而另一端部側(cè)位于所述下部主體的外側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，所述第一排出管的另一端部和所述第二排出管的另一端部位于所述下部主體的上表面外側(cè)，且彼此連通。