專利名稱：基板傳送系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種基板傳送系統(tǒng)，尤其涉及一種化學氣相沉積裝置中的基板傳送系統(tǒng)。
背景技術：
薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電，其生產過程能耗低，具備大幅度降低原料和制造成本的潛力，因此，市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長而制造薄膜太陽能電池的技術和設備更成為近年來的研究熱點。化學氣相沉積設備是常用的薄膜太陽能電池制造設備。而制造薄膜太陽能電池的電極通常采用低壓化學氣相沉積裝置來完成。在前述的低壓化學氣相沉積裝置中，用于制造薄膜太陽能電池的玻璃基板將被基板傳送系統(tǒng)從玻璃基板承載室傳送到玻璃基板處理腔中，然后在所述玻璃基板處理腔中，所述玻璃基板將 被所述基板傳送系統(tǒng)調整到某一高度位置，以便對所述玻璃基板機進行低壓化學氣相沉積處理。也即，所述玻璃基板在所述低壓化學氣相沉積裝置中要完成兩個方向的運動，即前后移動和上下移動。所述前后移動用以將所述玻璃基板傳輸到不同的腔室中，所述上下移動用以將所述玻璃基板調整到預定的高度位置，以便對所述玻璃基板進行前述的低壓化學氣相沉積處理。在現有技術中，所述基板傳送系統(tǒng)中通常采用滾輪或輥裝置，所述滾輪或輥可以作軸向運動，以在基座的抬升銷的配合下，完成所述玻璃基板的上下移動，所述滾輪或輥還可以滾動，已完成所述玻璃基板的前后移動。圖I為示出了公開號為CN101636522A的中國專利文件中揭示的基板傳送系統(tǒng)，所述基板傳送系統(tǒng)包括滾輪或輥36，滾輪或輥36可以作軸向伸縮運動，當可豎直移動的抬升銷(圖未示)升起基板到預定高度后，所述滾輪或輥36伸出，支向所述基板底部，并開始滾動，以便實現對所述基板的傳送?，F有技術的基板傳送系統(tǒng)為了實現對所述滾輪或輥的滾動和軸向伸縮控制，往往會將所述基板傳送系統(tǒng)的一部分傳動驅動機構設置在腔體外，并且設置專門的密封傳動機構用于密封連接內傳動機構與外傳動機構，例如中國公開專利CN101648649號所公開的基板傳送系統(tǒng)(圖未示)，其包括設置在腔室外的驅動機構和外傳動機構、容置在腔室側壁密封孔中的密封傳動機構以及布設在腔室內兩側的內傳動機構，所述驅動機構同步驅動外傳動機構，所述密封傳動機構一端與外傳動機構相連，另一端與內傳動機構相連，所述內傳動機構包括傳動軸和傳送輪，所述傳動軸一端與密封傳動機構相連，另一端與傳送輪相連，通過傳送輪來傳送基片等薄板材料。但該種基板傳送系統(tǒng)一方面由于其具有外傳動機構，另一方面其傳輸輥的一端設置在腔體側壁內，由于傳輸輥的數量較多，因此需要多組密封傳動體，這種多組的密封傳動機構提高了設備的制造成本，并且容易引起設備故障。

實用新型內容本實用新型提供的基板傳送系統(tǒng)，以減少密封傳動機構的使用，降低成本。為了達到上述目的，本實用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，應用于一處理設備中，包括傳動部件、動力機構、伸縮驅動機構、旋轉驅動機構和密封裝置，所述動力機構可以為所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構提供伸縮與旋轉用的動力，所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構分別與所述傳動部件連接，用于驅動所述傳動部件伸縮運動或者旋轉運動，所述處理設備具有處理腔室，其特征在于，所述傳動部件、所述伸縮驅動機構和所述旋轉驅動機構均設置在所述處理腔室內，所述密封裝置用于密封連接所述動力機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構。優(yōu)選地，所述密封裝置包括旋轉驅動密封裝置，所述旋轉驅動密封裝置用于密封連接所述旋轉驅動機構與所述動力機構。優(yōu)選地，所述密封裝置包括伸縮驅動密封裝置，所述伸縮驅動密封裝置用以密封連接所述伸縮驅動機構與所述動力機構。優(yōu)選地,所述動力機構包括伸縮驅動動力機構與旋轉驅動動力機構,所述旋轉驅動密封裝置用于密封連接所述旋轉驅動機構與所述旋轉驅動動力機構，所述伸縮驅動密封裝置用于密封連接所述伸縮驅動機構與所述伸縮驅動動力機構。 優(yōu)選地，所述傳動部件為傳輸滾子或輥。優(yōu)選地，所述傳動部件具有軸，所述軸裝設在支座上，所述支座的伸出、撤回或擺動可以實現所述轉動部件的伸縮運動。優(yōu)選地,所述旋轉驅動動力機構包括馬達與鏈條。優(yōu)選地,所述旋轉驅動機構包括與所述鏈條相連接的軟軸、與所述軟軸相連的傘齒輪對。優(yōu)選地,所述伸縮驅動機構包括與所述伸縮驅動動力機構相連接的軸、與軸連接的旋轉機構、與所述旋轉機構相連接的連桿、與所述連桿和所述支座連接的導向，所述導向用以伸出或撤回所述支座。優(yōu)選地，所述伸縮驅動機構包括與所述伸縮驅動動力機構相連接的軸、與所述軸連接的旋轉機構、與所述旋轉機構相連接的連桿、與所述連桿和所述支座連接的鉸支座，所述鉸支座用以擺動所述支座，以實現所述傳動部件的伸縮運動。本實用新型的所述傳動部件、所述伸縮驅動機構和所述旋轉驅動機構均設置在所述處理腔室內，所述密封裝置用于密封連接所述動力機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構。因此本實用新型不需設置任何用于密封傳動部件的密封傳動機構，節(jié)省了成本，也避免了因密封傳動機構導致的任何設備故障。另外，本實用新型的密封裝置僅用于密封連接所述動力機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構，這使得密封裝置的結構更為簡單，降低了設備成本。

圖I是現有技術的基板傳送系統(tǒng)的不意圖；圖2是本實用新型的處理腔室上蓋打開后的基板傳送系統(tǒng)的一個實施例子的俯視圖；圖3是沿圖2的AA線所得的剖面示意圖；圖4是圖3所不的基板傳送系統(tǒng)的傳動部件縮回后的不意圖；圖5是本實用新型的處理腔室上蓋打開后的基板傳送系統(tǒng)的另一個實施例子的俯視圖；圖6是沿圖5的BB線所得的剖面示意圖；圖7是圖6所不的基板傳送系統(tǒng)的傳動部件縮回后的不意圖。
具體實施方式
本實用新型提供的基板傳送系統(tǒng)，應用于一處理設備中，包括傳動部件、動力機構、伸縮驅動機構、旋轉驅動機構和密封裝置，所述動力機構可以為所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構提供伸縮與旋轉用的動力，所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構分別與所述傳動部件連接，用于驅動所述傳動部件伸縮運動或者旋轉運動，所述處理設備具有處理腔室，其中，所述傳動部件、所述伸縮驅動機構和所述旋轉驅動機構均設置在所述處理腔室內，所述密封裝置用于密封連接所述動力機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構。因此本實用新型不需設置任何用于密封傳動部件的密封傳動機構，節(jié)省了成本，也避免了因密封傳動機構導致的任何設備故障。另外，本實用新型的密封裝置僅用于密封連接所 述動力機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構，這使得密封裝置的結構更為簡單，降低了設備成本。
以下結合附圖分別進行詳細說明。實施例I結合圖2、3所示，本實用新型的基板傳送系統(tǒng)應用于一處理設備(未有圖示)中，所述處理設備在本實用新型的最佳實施例子中是低壓化學氣相沉積設備，所述低壓化學氣相沉積設備主要用于制造薄膜太陽能電池的電極。所述處理設備具有處理腔室20，所述處理腔室20內設置有基座(未圖示)用于放置待處理的基板13，所述基板在本實用新型中是用于制造薄膜太陽能電池的玻璃基板。所述處理腔室20具有上蓋(未圖示)，所述上蓋用于封閉所述處理腔室以使之形成真空環(huán)境，以便對所述基板13進行處理。圖2示出了所述處理腔室的上蓋打開后的基板傳送系統(tǒng)的俯視圖，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳動部件6、動力機構、伸縮驅動機構、旋轉驅動機構和密封裝置,所述動力機構用于為所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構提供伸縮與旋轉用的動力，所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構分別與所述傳動部件6相連，用以驅動所述傳動部件伸縮運動或旋轉運動，所述傳動部件6、所述伸縮驅動機構和所述旋轉驅動機構均設置在所述處理腔室20內，所述密封裝置用于密封連接所述動力機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構。繼續(xù)參圖2、圖3所示,所述動力機構包括伸縮驅動動力機構7和旋轉驅動動力機構，所述旋轉驅動動力機構包括馬達I、連接軸3、鏈條2,所述伸縮驅動動力機構7在本實施方式中也是馬達。所述傳動部件6在本實施方式中為設置在處理腔室20內的一滾輪或輥，所述傳動部件6具有傳動軸(未標號)，所述傳動軸裝設在支座11上，所述支座11的伸出或者撤回運動可以引起所述傳動部件6的伸縮運動。正如本領域一般技藝人士所熟知，所述傳動部件為多個。由于本實施例子中的傳動部件6設置在所述處理腔20內，本實施例子不需設置任何用于密封傳動部件6的密封傳動機構，節(jié)省了成本，也避免了因密封傳動機構導致的任何設備故障。所述伸縮驅動機構包括與伸縮驅動動力機構7相連的軸8、與軸8連接的旋轉機構9、與所述旋轉機構9相連接的連桿10、與所述連桿10和所述支座11連接的導向12，所述導向12用于伸出或者撤回所述支座11，以最終驅動所述傳動部件6進行伸縮運動。所述旋轉驅動機構包括與所述鏈條2相連接的軟軸4、與所述軟軸4相連接的傘齒輪對5。所述密封裝置包括旋轉驅動密封裝置BI與伸縮驅動密封裝置B2，所述旋轉驅動密封裝置BI用于密封連接所述旋轉驅動機構與所述所述旋轉驅動動力機構，在本實施例子中，所述旋轉驅動密封裝置BI用于密封連接所述鏈條2與所述軟軸4。所述伸縮驅動密封裝置B2用于密封連接所述伸縮驅動動力機構7與設置在所述處理腔室20內的所述軸8。本實施例子的密封裝置僅需要旋轉驅動密封裝置BI與伸縮驅動密封裝置B2，不僅減少了密封裝置的數量，同時還使得密封裝置的結構更為簡 單，降低了設備成本。在實際生產過程中，基板13需要被從一個腔室傳輸到另外一個腔室中，例如在本實施例子中，基板13需從加載腔室(未圖示)傳輸到所述處理腔室20，然后從所述處理腔室20再傳出到卸載腔(未圖示)。也即背景技術中提到的基板需要實現前后移動，如要實現基板的前后移動，首先所述旋轉驅動動力機構I通過所述連接軸3與所述鏈條2，經由所述旋轉驅動密封裝置BI將所述旋轉驅動動力依次傳輸至軟軸4、傘齒輪對5，然后所述傘齒輪對5的旋轉將引起所述傳動部件6的轉動，從而實現將基板13從一個腔室傳輸到另外一個腔室，也即實現對所述基板13的前后移動。此外，在基板13的傳輸過程中，所述基板13將被所述基板傳送系統(tǒng)調整到某一高度位置，以便對所述基板13進行所述低壓化學氣相沉積處理。也即，所述基板還要完成上下移動，以便基板13可以被傳輸到處理腔室20中，并被平穩(wěn)安全的放置在所述基座上。具體地，要完成上述的基板的上下運動，需要所述傳動部件6進行伸縮運動，并在所述基座內的頂針機構(未圖示)的作用下完成。由于基座與頂針機構是本領域一般技藝人士所熟知的內容，因此在此不予贅述。關于所述傳動部件6的伸縮運動的完成，首先，伸縮驅動動力機構7通過所述軸8、旋轉機構9、以及連桿10驅動所述導向12，然后所述導向12根據所述伸縮驅動動力機構7發(fā)出的伸出或者回撤移動信號以驅動所述支座11進行伸出或者回撤的運動，以最終驅動所述傳動機構6進行伸出或者縮回的運動。圖4是圖3所示的基板傳送系統(tǒng)的傳動部件縮回后的示意圖，如圖4所示，所述傳動部件6將所述基板13傳輸到處理腔室20后，所述基座的頂針機構(圖未示)升起用以承載所述基板13，所述伸縮驅動動力機構7驅動所述旋轉機構9旋轉,所述旋轉機構9帶動所述連桿10運動,所述導向12根據所述旋轉機構9、連桿10的運動做出回撤運動從而驅動所述支座11的回撤運動,最終驅動所述傳動部件6縮回，所述頂針機構降下用以將所述基板13平穩(wěn)地放置到所述基座上，以便于對所述基板13的化學氣相沉積處理。實施例2本實施例子的處理腔室上蓋打開后的基板傳輸系統(tǒng)的俯視圖如圖5所示，圖6示出了沿圖5的BB線所得的剖面示意圖，結合圖5、6所示，本實施例子與實施例I的不同之處在于本實施方式中的伸縮驅動機構的結構不同，本實施方式中的伸縮驅動機構包括與所述伸縮驅動動力機構相連接的軸8、與所述軸8連接的旋轉機構9、與所述旋轉機構相連接的連桿10、與所述連桿10和所述支座11相連接的鉸支座14，所述鉸支座14用以擺動所述支座11，以實現所述轉動部件6的伸縮運動。圖7示出了圖6所示的基板傳送系統(tǒng)的傳動部件縮回后的示意圖，如圖7所示，所述傳動部件6將所述基板13傳輸到處理腔室20后，所述基座的頂針機構(圖未示)升起用以承載所述基板13，所述伸縮驅動動力機構7驅動所述旋轉機構9旋轉,所述旋轉機構9帶動所述連桿10運動,所述鉸支座14根據所述旋轉機構9、連桿10的運動從而驅動所述支座11的外擺運動，最終驅動所述傳動部件6縮回，所述頂針機構降下用以將所述基板13平穩(wěn)地放置到所述基座上，以便于對所述基板13的化學氣相沉積處理。本實施例子與實施例I的相同之處在此不予贅述。盡管本實用新型的內容已經通過上述優(yōu)選實施例作了詳細介紹，但應當認識到上 述的描述不應被認為是對本實用新型的限制。在本領域技術人員閱讀了上述內容后，對于本實用新型的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本實用新型的保護范圍應由所附的權利要求來限定。
權利要求1.ー種基板傳送系統(tǒng)，應用于ー處理設備中，包括傳動部件、動カ機構、伸縮驅動機構、旋轉驅動機構和密封裝置，所述動カ機構可以為所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構提供伸縮與旋轉用的動力，所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構分別與所述傳動部件連接，用于驅動所述傳動部件伸縮運動或者旋轉運動，所述處理設備具有處理腔室，其特征在于，所述傳動部件、所述伸縮驅動機構和所述旋轉驅動機構均設置在所述處理腔室內，所述密封裝置用于密封連接所述動カ機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構。
2.如權利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述密封裝置包括旋轉驅動密封裝置，所述旋轉驅動密封裝置用于密封連接所述旋轉驅動機構與所述動カ機構。
3.如權利要求2所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述密封裝置包括伸縮驅動密封裝置，所述伸縮驅動密封裝置用以密封連接所述伸縮驅動機構與所述動カ機構。
4.如權利要求3所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述動カ機構包括伸縮驅動動力機構與旋轉驅動動カ機構，所述旋轉驅動密封裝置用于密封連接所述旋轉驅動機構與所述旋轉驅動動カ機構，所述伸縮驅動密封裝置用于密封連接所述伸縮驅動機構與所述伸縮驅動動カ機構。
5.如權利要求4所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動部件為傳輸滾子或輥。
6.如權利要求5所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動部件具有軸，所述軸裝設在支座上，所述支座的伸出、撤回或擺動可以實現所述轉動部件的伸縮運動。
7.如權利要求6所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉驅動動カ機構包括馬達與鏈條。
8.如權利要求7所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在干，所述旋轉驅動機構包括與所述鏈條相連接的軟軸、與所述軟軸相連的傘齒輪對。
9.如權利要求8所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在干，所述伸縮驅動機構包括與所述伸縮驅動動カ機構相連接的軸、與軸連接的旋轉機構、與所述旋轉機構相連接的連桿、與所述連桿和所述支座連接的導向，所述導向用以伸出或撤回所述支座。
10.如權利要求9所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述伸縮驅動機構包括與所述伸縮驅動動カ機構相連接的軸、與所述軸連接的旋轉機構、與所述旋轉機構相連接的連桿、與所述連桿和所述支座連接的鉸支座，所述鉸支座用以擺動所述支座，以實現所述傳動部件的伸縮運動。
專利摘要本實用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，其應用于一處理設備中，包括傳動部件、動力機構、伸縮驅動機構、旋轉驅動機構和密封裝置，所述動力機構可以為所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構提供伸縮與旋轉用的動力，所述伸縮驅動機構與所述旋轉驅動機構分別與所述傳動部件連接，用于驅動所述傳動部件伸縮運動或者旋轉運動，所述處理設備具有處理腔室，其中，所述傳動部件、所述伸縮驅動機構和所述旋轉驅動機構均設置在所述處理腔室內，所述密封裝置用于密封連接所述動力機構與所述伸縮驅動機構或所述旋轉驅動機構。本實用新型提供的基板傳送系統(tǒng)，減少了密封傳動機構的使用，降低了設備成本。
文檔編號H01L31/18GK202513194SQ20122014955
公開日2012年10月31日 申請日期2012年4月11日 優(yōu)先權日2012年4月11日
發(fā)明者李一成, 李冠龍 申請人:理想能源設備(上海)有限公司