專(zhuān)利名稱：一種可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)電池制造領(lǐng)域，具體涉及一種可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂。
背景技術(shù)：
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition ；PECVD)設(shè)備的機(jī)械臂在工作過(guò)程中，主要負(fù)責(zé)石墨舟或石墨框的傳送。在設(shè)備正常工作時(shí)，機(jī)械臂會(huì)上下左右多位置運(yùn)動(dòng)，將石墨舟或石墨框放在設(shè)定位置。在自動(dòng)運(yùn)行模式下，如果設(shè)備出現(xiàn)故障，機(jī)械臂會(huì)一直向下壓，由于設(shè)備上沒(méi)有相關(guān)保護(hù)裝置，下壓運(yùn)動(dòng)無(wú)法停止。在手動(dòng)運(yùn)行模式下，能使機(jī)械臂在任何情況下都可以向下運(yùn)動(dòng)，存在誤操作的危 險(xiǎn)。在這兩種情況下，如果處理不及時(shí)，會(huì)將石墨舟或石墨框壓碎或者損壞設(shè)備的碳化硅槳等部件，造成經(jīng)濟(jì)損失甚至人身傷害。即使按下急停按鈕，依然存在一個(gè)短暫的延時(shí)，仍可能會(huì)造成事故發(fā)生。因此，如何提供一種可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂來(lái)避免機(jī)械臂的誤動(dòng)作，進(jìn)而避免由此產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)損失和人身傷害，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，通過(guò)所述機(jī)械臂可避免機(jī)械臂的誤動(dòng)作，進(jìn)而避免由此產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)損失和人身傷害。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型將提供一種可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，包括臂體以及控制臂體動(dòng)作的控制模塊，所述機(jī)械臂還包括設(shè)置在臂體上的微動(dòng)開(kāi)關(guān)，所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)包括本體、活動(dòng)設(shè)置在本體中并接收機(jī)械臂誤動(dòng)作的力的傳動(dòng)元件、接收傳動(dòng)元件做功并在超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)動(dòng)作的動(dòng)作簧片、設(shè)置在動(dòng)作簧片末端的動(dòng)觸點(diǎn)以及設(shè)置在本體上且在動(dòng)作簧片動(dòng)作時(shí)與動(dòng)觸點(diǎn)連接狀態(tài)改變的靜觸點(diǎn)，所述靜觸點(diǎn)和動(dòng)觸點(diǎn)電性連接至控制模塊，控制模塊在靜觸點(diǎn)和動(dòng)觸點(diǎn)連接狀態(tài)改變時(shí)停止臂體的動(dòng)作。在上述可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂中，所述傳動(dòng)元件為按銷(xiāo)、按鈕或杠桿。在上述可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂中，所述機(jī)械臂的誤動(dòng)作為下壓動(dòng)作，微動(dòng)開(kāi)關(guān)設(shè)置在臂體上，所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)的傳動(dòng)元件朝下豎直設(shè)置。在上述可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂中，所述動(dòng)作簧片的動(dòng)觸點(diǎn)與靜觸點(diǎn)在傳動(dòng)元件未受壓時(shí)斷開(kāi)，在傳動(dòng)元件做功超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)電性連接。在上述可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂中，所述動(dòng)作簧片的動(dòng)觸點(diǎn)與靜觸點(diǎn)在傳動(dòng)元件未受壓時(shí)電性連接，在傳動(dòng)元件做功超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)斷開(kāi)。在上述可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂中，所述機(jī)械臂為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的機(jī)械臂。在上述可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂中，所述機(jī)械臂的臂體末端還設(shè)置有抓手。與現(xiàn)有技術(shù)中未在機(jī)械臂上加設(shè)任何減輕或避免誤動(dòng)作損害的措施易因機(jī)械臂誤動(dòng)作，從而造成經(jīng)濟(jì)損失和人身傷害相比，本實(shí)用新型在機(jī)械臂的臂體上加設(shè)微動(dòng)開(kāi)關(guān)，當(dāng)機(jī)械臂誤動(dòng)作時(shí)會(huì)推動(dòng)微動(dòng)開(kāi)關(guān)的傳動(dòng)元件動(dòng)作，進(jìn)而推動(dòng)動(dòng)作簧片作動(dòng)使其末端的動(dòng)觸點(diǎn)與設(shè)置在本體上的靜觸點(diǎn)的連接狀態(tài)改變，從而使得與動(dòng)觸點(diǎn)和靜觸點(diǎn)電性連接的控制模塊停止機(jī)械臂的動(dòng)作，從而有效避免了機(jī)械臂的誤動(dòng)作，避免了經(jīng)濟(jì)損失和人身傷害。

圖I為本實(shí)用新型的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂的組成結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖2為本實(shí)用新型的微動(dòng)開(kāi)關(guān)的組成結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例及附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的目的及功效。參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂包括控制模塊I、臂體2、抓手3和微動(dòng)開(kāi)關(guān)4，所述抓手3設(shè)置在臂體2末端，所述控制模塊I控制臂體2和抓手3的動(dòng)作。在本實(shí)施例中，所述機(jī)械臂為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的機(jī)械臂，所述機(jī)械臂用于抓取承載硅片進(jìn)行鍍膜的石墨舟或石墨框，所述機(jī)械臂包括左側(cè)和右側(cè)的機(jī)械臂，所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)4可以設(shè)置在左側(cè)、右側(cè)或兩側(cè)同時(shí)設(shè)置。參見(jiàn)圖I和圖2,所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)4包括本體40、傳動(dòng)元件41、動(dòng)作簧片42和靜觸點(diǎn)43。在本實(shí)施例中，所述本體40設(shè)置在抓手3的外側(cè)。在其他實(shí)施例中，若微動(dòng)開(kāi)關(guān)4厚度體積較小且反應(yīng)靈敏的話，也可以設(shè)置在抓手3的底部。所述傳動(dòng)元件41活動(dòng)設(shè)置在本體40中并接收機(jī)械臂2誤動(dòng)作的力。所述傳動(dòng)元件41為按銷(xiāo)、按鈕或杠桿等。在本實(shí)施例中，所述機(jī)械臂的誤動(dòng)作為下壓動(dòng)作，微動(dòng)開(kāi)關(guān)4設(shè)置在臂體2末端的抓手3上，所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)4的傳動(dòng)元件41朝下豎直設(shè)置，所述傳動(dòng)元件41為按鈕。所述動(dòng)作簧片42末端具有動(dòng)觸點(diǎn)420，所述靜觸點(diǎn)43設(shè)置在本體40上，所述靜觸點(diǎn)43和動(dòng)觸點(diǎn)420電性連接至控制模塊I (未圖示)，所述動(dòng)作簧片42接收傳動(dòng)元件41做功并在超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)動(dòng)作即使動(dòng)觸點(diǎn)420與靜觸點(diǎn)43斷開(kāi)連接或使動(dòng)觸點(diǎn)420與靜觸點(diǎn)43電性連接，控制模塊I在動(dòng)觸點(diǎn)420與靜觸點(diǎn)43實(shí)現(xiàn)電性連接或斷開(kāi)電性連接時(shí)停止臂體2的動(dòng)作。在本實(shí)施例中,所述動(dòng)作簧片42接收到傳動(dòng)元件41做功超過(guò)臨界點(diǎn)其動(dòng)觸點(diǎn)420與靜觸點(diǎn)43斷開(kāi)電性連接，控制模塊I相應(yīng)的在動(dòng)觸點(diǎn)420與靜觸點(diǎn)43斷開(kāi)電性連接時(shí)停止臂體2的動(dòng)作。本實(shí)施例的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂在進(jìn)行取放石墨舟或石墨框的作業(yè)過(guò)程中或者在手動(dòng)模式下動(dòng)作時(shí)，當(dāng)機(jī)械臂出現(xiàn)朝下壓的誤動(dòng)作時(shí)，誤動(dòng)作的力會(huì)使傳動(dòng)元件41和動(dòng)作簧片42受到按壓，當(dāng)動(dòng)作簧片42上積蓄的能量超過(guò)其臨界點(diǎn)時(shí)，原本電性連接的靜觸點(diǎn)43和動(dòng)觸點(diǎn)420斷開(kāi)電性連接，控制模塊I感知到靜觸點(diǎn)43和動(dòng)觸點(diǎn)420電性連接狀態(tài)的改變，從而停止臂體2的動(dòng)作，從而停止了機(jī)械臂的誤動(dòng)作。在機(jī)械臂的誤動(dòng)作解除后且在機(jī)械臂回復(fù)到未使微動(dòng)開(kāi)關(guān)受壓的正常狀態(tài)時(shí)，動(dòng)作簧片42受到自身彈性力和本體41內(nèi)的其他抵靠部件的影響從而回復(fù)原位，即其末端的動(dòng)觸點(diǎn)420與靜觸點(diǎn)43間恢復(fù)電性連接。綜上所述，本實(shí)用新型在機(jī)械臂的臂體上加設(shè)微動(dòng)開(kāi)關(guān)，當(dāng)機(jī)械臂誤動(dòng)作時(shí)會(huì)推動(dòng)微動(dòng)開(kāi)關(guān)的傳動(dòng)元件動(dòng)作，進(jìn)而推動(dòng)動(dòng)作簧片作動(dòng)使其末端的動(dòng)觸點(diǎn)與設(shè)置在本體上的靜觸點(diǎn)的連接狀態(tài)改變，從而使得與動(dòng)觸點(diǎn)和靜觸點(diǎn)電性連接的控制模塊停止機(jī)械臂的動(dòng) 作，從而有效避免了機(jī)械臂的誤動(dòng)作，避免了經(jīng)濟(jì)損失和人身傷害。
權(quán)利要求1.一種可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，包括臂體以及控制臂體動(dòng)作的控制模塊，其特征在于，所述機(jī)械臂還包括設(shè)置在臂體上的微動(dòng)開(kāi)關(guān)，所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)包括本體、活動(dòng)設(shè)置在本體中并接收機(jī)械臂誤動(dòng)作的力的傳動(dòng)元件、接收傳動(dòng)元件做功并在超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)動(dòng)作的動(dòng)作簧片、設(shè)置在動(dòng)作簧片末端的動(dòng)觸點(diǎn)以及設(shè)置在本體上且在動(dòng)作簧片動(dòng)作時(shí)與動(dòng)觸點(diǎn)連接狀態(tài)改變的靜觸點(diǎn)，所述靜觸點(diǎn)和動(dòng)觸點(diǎn)電性連接至控制模塊，控制模塊在靜觸點(diǎn)和動(dòng)觸點(diǎn)連接狀態(tài)改變時(shí)停止臂體的動(dòng)作。
2.按照權(quán)利要求I所述的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，其特征在于，所述傳動(dòng)元件為按銷(xiāo)、按鈕或杠桿。
3.按照權(quán)利要求I所述的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，其特征在于，所述機(jī)械臂的誤動(dòng)作為下壓動(dòng)作，微動(dòng)開(kāi)關(guān)設(shè)置在臂體上，所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)的傳動(dòng)元件朝下豎直設(shè)置。
4.按照權(quán)利要求I所述的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，其特征在于，所述動(dòng)作簧片的動(dòng)觸點(diǎn)與靜觸點(diǎn)在傳動(dòng)元件未受壓時(shí)斷開(kāi)，在傳動(dòng)元件做功超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)電性連接。
5.按照權(quán)利要求I所述的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，其特征在于，所述動(dòng)作簧片的動(dòng)觸點(diǎn)與靜觸點(diǎn)在傳動(dòng)元件未受壓時(shí)電性連接，在傳動(dòng)元件做功超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)斷開(kāi)。
6.按照權(quán)利要求I所述的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，其特征在于，所述機(jī)械臂為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的機(jī)械臂。
7.按照權(quán)利要求I所述的可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂，其特征在于，所述機(jī)械臂的臂體末端還設(shè)置有抓手。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種可避免誤動(dòng)作損害的機(jī)械臂。現(xiàn)有技術(shù)未在機(jī)械臂上加設(shè)任何減輕或避免誤動(dòng)作損害的措施易因機(jī)械臂誤動(dòng)作而造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失和人員傷害。本實(shí)用新型的機(jī)械臂包括臂體以及控制臂體動(dòng)作的控制模塊，所述機(jī)械臂還包括設(shè)置在臂體上的微動(dòng)開(kāi)關(guān)，所述微動(dòng)開(kāi)關(guān)包括本體、活動(dòng)設(shè)置在本體中并接收機(jī)械臂誤動(dòng)作的力的傳動(dòng)元件、接收傳動(dòng)元件做功并在超過(guò)臨界點(diǎn)時(shí)動(dòng)作的動(dòng)作簧片、設(shè)置在動(dòng)作簧片末端的動(dòng)觸點(diǎn)以及設(shè)置在本體上且在動(dòng)作簧片動(dòng)作時(shí)與動(dòng)觸點(diǎn)連接狀態(tài)改變的靜觸點(diǎn)，所述靜觸點(diǎn)和動(dòng)觸點(diǎn)電性連接至控制模塊，控制模塊在靜觸點(diǎn)和動(dòng)觸點(diǎn)連接狀態(tài)改變時(shí)停止臂體的動(dòng)作。本實(shí)用新型可避免誤動(dòng)作造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失和人員傷害。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202601586SQ20122013135
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月29日
發(fā)明者武超, 姚小明, 劉朋彬 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)尚德太陽(yáng)能電力有限公司, 無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司