技術(shù)編號：7112940
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域，具體涉及一種可避免誤動作損害的機械臂。背景技術(shù)等離子增強化學氣相沉積(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition ；PECVD)設(shè)備的機械臂在工作過程中，主要負責石墨舟或石墨框的傳送。在設(shè)備正常工作時，機械臂會上下左右多位置運動，將石墨舟或石墨框放在設(shè)定位置。在自動運行模式下，如果設(shè)備出現(xiàn)故障，機械臂會一直向下壓，由于設(shè)備上沒有相關(guān)保護裝置，下壓運動無法停止。在手動運行模式下，能使機械臂...
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