專利名稱：基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光伏硅片制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
板式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD法)是常用的兩種晶體硅太陽(yáng)電池降低放射率和鈍化的方法之一即將多片娃片放置在一個(gè)石墨或碳纖維支架上，放入一個(gè)金屬的沉積腔室中，腔室中有平板型的電極，與樣品支架形成一個(gè)放電回路，在腔室中的工藝氣體在兩個(gè)極板之間的交流電場(chǎng)的作用下在空間形成等離子體，分解SiH4中的Si和H，以及冊(cè)13種的N形成SiNx沉積到硅表面。對(duì)于這一工藝，自動(dòng)化已經(jīng)逐步取代人工進(jìn)行上下片。但是目前的方法是使用機(jī)械裝置一次轉(zhuǎn)運(yùn)多片硅片，因而不能對(duì)硅片進(jìn)行檢測(cè)，而且結(jié)構(gòu)不緊 湊，設(shè)備龐大。

實(shí)用新型內(nèi)容為此，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能對(duì)硅片進(jìn)行檢測(cè)，并且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)備緊湊的基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，以克服現(xiàn)有存在的不足。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案一種基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于包括傳送料盤、位于傳送料盤上方的取片機(jī)器人，所述傳送料盤的一側(cè)沿傳送料盤運(yùn)行相反方向依次設(shè)置有上片裝置、上片滑板、影像檢測(cè)定位裝置、廢料盒、下片滑板以及下片裝置。為了提高轉(zhuǎn)運(yùn)效率，所述傳送料盤上方設(shè)置有兩個(gè)取片機(jī)器人，所述傳送料盤位于另一側(cè)沿傳送料盤運(yùn)行相反方向也依次設(shè)置有上片裝置、上片滑板、影像檢測(cè)定位裝置、廢料盒、下片滑板以及下片裝置。所述取片機(jī)器人為吊式機(jī)器人。所述吊式機(jī)器人為正十字形四臂機(jī)器人。所述上片裝置和下片裝置均放置有料盒。在本實(shí)用新型中，傳送料盤可以在機(jī)器人下方傳送，從而節(jié)約了橫向空間。本實(shí)用新型還還引用飛行視覺(jué)方法進(jìn)行硅片檢測(cè)和定位。另外一方面，還采用了適合高速轉(zhuǎn)運(yùn)的真空加機(jī)械結(jié)構(gòu)滑板。這樣機(jī)器人會(huì)根據(jù)每一硅片的檢測(cè)結(jié)果和位置信息將硅片放置到廢片盒或者正確的工藝位置從而實(shí)現(xiàn)有檢測(cè)的高速轉(zhuǎn)運(yùn)。因此，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)對(duì)硅片的檢測(cè)，并且也具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)備緊湊的優(yōu)點(diǎn)。
以下結(jié)合附圖
和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中[0014]I-取片機(jī)器人、2-上片裝置，3-下片裝置，4-上片滑板，41-下片滑板，5_影像檢測(cè)定位裝置，6-廢料盒，7-傳送料盤。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，本實(shí)用新型的基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，包括傳送料盤7，位于傳送料盤7上方的兩個(gè)取片機(jī)器人I，在傳送料盤7的兩側(cè)沿傳送料盤7運(yùn)行相反方向均依次設(shè)置有上片裝置2、上片滑板4、影像檢測(cè)定位裝置5、廢料盒6、下片滑板41以及下片裝置3。上片裝置和下片裝置均放置有料盒。取片機(jī)器人I為吊式機(jī)器人，并且為正十字形四臂機(jī)器人。以上就是本實(shí)用新型的基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，其工作方式如下開(kāi)始運(yùn)行前，由上下兩層構(gòu)成的上片裝置2的上料處放置裝滿硅片的料盒，而由上下兩層構(gòu)成的下片裝置3的上料處放置空的料盒。初始時(shí)，空的傳送料盤7傳到上下料 處時(shí)，上片裝置2的上片滑板4從料盒中取片，機(jī)器人抓取硅片經(jīng)影像檢測(cè)定位裝置5檢測(cè)和定位后，將不合格片放入廢料盒6中，合格的則放至傳送料盤7。當(dāng)傳送料盤7放滿硅片后會(huì)傳入到主工藝設(shè)備中進(jìn)行鍍膜處理。當(dāng)鍍膜完成后，傳送料盤7又傳回到上下料處時(shí)，機(jī)器人先從傳送料盤7中抓取硅片，經(jīng)影像檢測(cè)定位裝置5檢測(cè)和定位，將不合格片放入廢料盒6中，合格的則放至下片裝置3的下片滑板4中，由滑板4將硅片插入到料下片裝置3的料盒中。當(dāng)傳送料盤7上經(jīng)過(guò)鍍膜的硅片取完后，機(jī)器人又會(huì)從上片裝置取片進(jìn)行如前所述的上片操作，如此循環(huán)。上片裝置2的滿料盒的放置和空料盒的取走以及下片裝置3的空料盒的放置和滿料盒的取走均由操作員手工完成。通過(guò)上述詳細(xì)描述可以看出，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)對(duì)硅片的檢測(cè)，并且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)備緊湊的優(yōu)點(diǎn)。但是，本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，以上的實(shí)施例僅是用來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型，而并非用作為對(duì)本實(shí)用新型的限定，只要在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)精神范圍內(nèi)，對(duì)以上所述實(shí)施例的變化、變型都將落在本實(shí)用新型的權(quán)利要求書范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于包括傳送料盤，位于傳送料盤上方的取片機(jī)器人，所述傳送料盤的一側(cè)沿傳送料盤運(yùn)行相反方向依次設(shè)置有上片裝置、上片滑板、影像檢測(cè)定位裝置、廢料盒、下片滑板以及下片裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于所述傳送料盤上方設(shè)置有兩個(gè)取片機(jī)器人，所述傳送料盤位于另一側(cè)沿傳送料盤運(yùn)行相反方向也依次設(shè)置有上片裝置、上片滑板、影像檢測(cè)定位裝置、廢料盒、下片滑板以及下片裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于所述取片機(jī)器人為吊式機(jī)器人。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于所述上片裝置和下片裝置均放置有料盒。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于所述吊式機(jī)器人為正十字形四臂機(jī)器人。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于影像檢測(cè)及定位的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)，包括傳送料盤、位于傳送料盤上的傳送料盤，位于傳送料盤上方的取片機(jī)器人，所述傳送料盤的一側(cè)沿傳送料盤運(yùn)行相反方向依次設(shè)置有上片裝置、上片滑板、影像檢測(cè)定位裝置、廢料盒、下片滑板以及下片裝置。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)對(duì)硅片的檢測(cè)，并且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)備緊湊的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202549803SQ20122004270
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月10日
發(fā)明者戴軍, 朱紹明 申請(qǐng)人:蘇州羅博特科自動(dòng)化設(shè)備有限公司