專利名稱：一種大功率全固態(tài)紫外激光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及全固態(tài)激光技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種能輸出紫外激光的大功率全固態(tài)激光裝置。
背景技術(shù)：
紫外激光具有波長(zhǎng)短、光子能量大、分辨率高等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于激光精細(xì)加工、 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光刻、生物醫(yī)療以及材料制備等領(lǐng)域。目前，紫外激光器主要有氣體紫外激光器和全固態(tài)紫外激光器。氣體激光器體積大、穩(wěn)定性差、壽命短以及維護(hù)不便，極大地制約了其在實(shí)際應(yīng)用中的發(fā)展。全固態(tài)紫外激光器則結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、性能穩(wěn)定、轉(zhuǎn)換效率高、壽命長(zhǎng)且方便維護(hù)，因此受到廣泛的重視，成為近年來(lái)人們研究的熱點(diǎn)。現(xiàn)階段市場(chǎng)普遍使用的全固態(tài)紫外激光器主要有兩類。一類全固態(tài)紫外激光器是利用LBO做Nd:YAG激光器輸出的1064nm激光的和頻晶體，產(chǎn)生355nm紫外激光。這種激光器中，LBO和頻晶體的端面需要同時(shí)鍍制三種對(duì)應(yīng)不同激光波長(zhǎng)的增透膜，這導(dǎo)致制作難度大且所鍍的膜層的損傷閾值較低，長(zhǎng)時(shí)間使用或能量較大時(shí)會(huì)導(dǎo)致所鍍的膜層被破壞。因此，這種固態(tài)紫外激光器的穩(wěn)定性和可靠性不足。另一類全固態(tài)紫外激光器是利用BBO晶體做Nd: YAG激光器輸出的1064nm激光的四倍頻，可獲得沈611111的紫外激光。然而，研究發(fā)現(xiàn)BBO晶體在紫外激光輻照下容易產(chǎn)生光折變損傷。例如，若四倍頻后輸出激光平均功率超過(guò)0. 3W，BB0晶體就會(huì)被破壞。所以，這一類固態(tài)紫外激光器的穩(wěn)定性和可靠性也存在不足。因此，當(dāng)前迫切需要一種穩(wěn)定可靠的大功率全固態(tài)紫外激光裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種穩(wěn)定可靠的大功率全固態(tài)紫外激光裝置。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供了一種大功率全固態(tài)紫外激光裝置，沿光路依次包括基頻激光輸出模塊、Q開關(guān)、二倍頻非線性光學(xué)晶體、準(zhǔn)直聚焦模塊、四倍頻非線性光學(xué)晶體和分光模塊，所述基頻激光輸出模塊的激光晶體為Nd:YAG激光晶體，所述基頻激光輸出模塊的通光端面鍍有基頻光波段增透膜，所述基頻光波段為1112至1123nm波段。其中，所述全固態(tài)紫外激光裝置還包括選頻模塊，用于從1112、1116和1123nm這三種基頻光中選出所需的一種。其中，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體位于基頻光諧振腔內(nèi)。其中，所述基頻激光輸出模塊有兩個(gè)，所述兩個(gè)基頻激光輸出模塊采用串聯(lián)結(jié)構(gòu)， 所述兩個(gè)基頻激光輸出模塊之間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償模塊。其中，所述全固態(tài)紫外激光裝置的光路成“F ”型折疊腔結(jié)構(gòu)，其中基頻激光輸出模塊和Q開關(guān)處在“F ”型折疊腔結(jié)構(gòu)的中間橫向支路，二倍頻非線性光學(xué)晶體處在“F ”型折疊腔的下端尾部且縱向放置，準(zhǔn)直聚焦模塊和四倍頻非線性光學(xué)晶體處在“F ”型折疊腔的上端橫向支路，所述“F ”型折疊腔的中間橫向支路的右端設(shè)置鍍有基頻光反射膜的一個(gè)
3基頻光腔鏡，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體的下端設(shè)置同時(shí)鍍有基頻光反射膜和倍頻光反射膜的另一個(gè)基頻光腔鏡，所述Q開關(guān)與二倍頻非線性光學(xué)晶體之間設(shè)置二向色鏡，所述二向色鏡反射基頻光且透射倍頻光，所述二向色鏡與準(zhǔn)直聚焦模塊之間設(shè)置倍頻光高反鏡。其中，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體是I類相位匹配的KTP、LB0或BBO晶體；或者是 II類相位匹配的KTP、LBO或BBO晶體。其中，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體是I類相位匹配的LB0、BB0、CB0或CLBO晶體； 或者是I I類相位匹配的LB0、ΒΒ0, CBO或CLBO晶體。其中，所述選頻模塊是色散棱鏡、光柵或法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具。其中，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體位于基頻光諧振腔外。其中，所述分光模塊是分光棱鏡或二向色鏡。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有下列技術(shù)效果1、本發(fā)明可輸出光束質(zhì)量?jī)?yōu)異，功率密度較高的波長(zhǎng)約^Onm的紫外激光光束。2、本發(fā)明在保證激光器長(zhǎng)期穩(wěn)定性的同時(shí)，兼顧了激光器的效率。3、本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊。


圖1為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)作為基頻激光出射源的Nd:YAG激光晶體，其除了最常用的 1064、1319和946nm這三條激光譜線之外，該晶體在1. 1微米附近的三條譜線(1112、1116 和1123nm)也具有較好的激光性能?；贜d: YAG激光晶體在1. 1微米附近的三條譜線，通過(guò)選頻技術(shù)和倍頻技術(shù)，可以獲得穩(wěn)定的1. 1微米譜線的四倍頻激光，即278、279和^lnm 紫外激光輸出。下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步地?cái)⑹?。根?jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，提供了一種大功率全固態(tài)紫外激光裝置。圖1示出了該激光器的光路結(jié)構(gòu)圖，參考圖1，該大功率全固態(tài)紫外激光裝置依次包括基頻激光輸出模塊101、Q開關(guān)102、選頻模塊103、二倍頻非線性光學(xué)晶體104、準(zhǔn)直聚焦模塊105、四倍頻非線性光學(xué)晶體106和分光模塊107。所述的基頻激光輸出模塊101包括Nd: YAG激光晶體和用于泵浦激光晶體的半導(dǎo)體激光泵浦源，半導(dǎo)體激光泵浦源分布在Nd: YAG激光晶體的側(cè)面，半導(dǎo)體激光泵浦源發(fā)射的泵浦光也是經(jīng)由Nd:YAG激光晶體側(cè)面進(jìn)入晶體棒的內(nèi)部?；l激光輸出模塊101的Nd:YAG激光晶體通光端面鍍有基頻光波段的增透膜，本實(shí)施例中， 基頻光波段指1112至1123nm波段。本實(shí)施例中，Q開關(guān)102用于控制基頻光的輸出，通過(guò)控制Q開關(guān)102的通斷來(lái)改變輸出激光的輸出頻率。所述的Q開關(guān)102可以是聲光調(diào)制Q 開關(guān)、電光調(diào)制Q開關(guān)或吸收型被動(dòng)調(diào)制Q開關(guān)，其中，Q開關(guān)102的晶體的兩端也鍍有基頻光波段的增透膜。本實(shí)施例中，選頻模塊103用于從1112、1116和1123nm這三種基頻光中選出所需的一種。這需要該選頻模塊103能夠使所需的那種基頻光通過(guò)，且能夠抑制其余兩種基頻光。所述的選頻模塊103可以是色散棱鏡、光柵或法布里-珀羅(F-P)標(biāo)準(zhǔn)具(F-P標(biāo)準(zhǔn)具是由兩塊平面玻璃G1、G2組成，兩板的內(nèi)表面鍍以高反射率的銀膜或鋁膜)中的一種。所述的二倍頻非線性光學(xué)晶體104是I類相位匹配或者I I類相位匹配的KTP、 LBO或BBO晶體中的一種。所述的四倍頻非線性光學(xué)晶體106是I或者II類相位匹配的 LB0、ΒΒ0, CBO或CLBO晶體中的一種。所述的分光模塊107用于將所要輸出的四倍頻光束和剩余的二倍頻光分離，分光模塊107可以采用分光棱鏡或二向色鏡。本發(fā)明設(shè)計(jì)的全固態(tài)紫外激光裝置的工作原理如下半導(dǎo)體激光器發(fā)射的泵浦光經(jīng)由Nd:YAG激光晶體側(cè)面進(jìn)入晶體棒的內(nèi)部，Nd:YAG激光晶體吸收泵浦光后，產(chǎn)生受激熒光輻射，輻射的熒光在由全反鏡和輸出耦合腔鏡組成的諧振腔內(nèi)來(lái)回震蕩形成基頻光，部分基頻諧振光通過(guò)輸出耦合腔鏡，可輸出1. 1微米波長(zhǎng)基頻激光，其輸出波長(zhǎng)主要由 1112nm、1116nm和1123nm組成。根據(jù)需要可在諧振腔內(nèi)插入相應(yīng)的選頻器件，獲得1112nm、 1116nm或者1123nm波長(zhǎng)的基頻激光振蕩。輸出的基頻光再通過(guò)二倍頻非線性光學(xué)晶體模塊獲得二倍頻激光輸出，對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)依次為556nm、558nm或561nm，產(chǎn)生的二倍頻激光經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直聚焦模塊，光斑被聚焦到合適的大小，然后射入四倍頻非線性光學(xué)晶體以獲得高效的四倍頻紫外激光輸出，再利用分光模塊把剩余的基頻激光和二倍頻激光濾掉以獲得四倍頻紫外激光，獲得278、279和^lnm紫外激光輸出。本領(lǐng)域技術(shù)人員易于理解，本發(fā)明的大功率全固態(tài)紫外激光裝置也可以省去所述選頻模塊，這種情況下，最終輸出的是278、279和^lnm混合的四倍頻紫外光。由于疊加了 280nm附近的三種波長(zhǎng)的激光能量，此時(shí)激光輸出功率較大，比較適合用于工業(yè)加工，例如精細(xì)加工鉆孔等領(lǐng)域。根據(jù)上述實(shí)施例，本發(fā)明提供了一種更加具體的大功率紫外激光器實(shí)現(xiàn)方案，圖2 示出了該激光器實(shí)現(xiàn)方案的光路結(jié)構(gòu)，如圖2所示，該大功率紫外激光器包括基頻激光輸出模塊201和202、熱效應(yīng)補(bǔ)償模塊203、Q開關(guān)204、選頻模塊205、二倍頻非線性光學(xué)晶體 206、準(zhǔn)直聚焦模塊207、四倍頻非線性光學(xué)晶體208、分光模塊209、基頻光腔鏡210和211、 二向色鏡212、45度二倍頻激光高反射鏡213。整體光路形成“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)。其中，基頻激光輸出模塊201和202、Q開關(guān)204處在“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)的中間的橫向支路且橫向放置，二倍頻非線性光學(xué)晶體206處在“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)的下端的尾部且縱向放置，四倍頻非線性光學(xué)晶體208處在“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)的上端的橫向支路且橫向放置，所述“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)的中間橫向支路的右端和下端尾部底端設(shè)置基頻光腔鏡210和211，所述Q開關(guān)204 與二倍頻非線性光學(xué)晶體206之間設(shè)置二向色鏡212，所述二向色鏡212成45°，二向色鏡 212反射基頻光且透射倍頻光，使基頻光在基頻光腔鏡210和211之間形成諧振，倍頻光輸出到45°倍頻光高反鏡213，45°倍頻光高反鏡213設(shè)置在所述二向色鏡212與準(zhǔn)直聚焦模塊207之間，用于改變倍頻光的光路方向使其轉(zhuǎn)向“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)的上端的橫向支路。本實(shí)施例中，兩個(gè)基頻激光輸出模塊201和202串聯(lián)，二者特征完全相同。在由激光輸出模塊201和202，基頻光腔鏡210和211組成的基頻激光腔內(nèi)形成大功率基頻激光振蕩，并利用插入其光路內(nèi)部的熱效應(yīng)補(bǔ)償模塊203來(lái)補(bǔ)償晶體內(nèi)的熱致雙折射效應(yīng)以獲得高光束質(zhì)量和高功率的基頻激光。其主要包含1112nm、1116nm和1123nm三種波長(zhǎng)的諧振光。選頻模塊205的主要作用是對(duì)1112nm、和1116nm譜線引入較大的插入損耗，只允許 1123nm波長(zhǎng)的基頻激光在腔內(nèi)形成振蕩。本實(shí)施例在閉合的激光諧振腔內(nèi)插入二倍頻非線性光學(xué)晶體206，產(chǎn)生的基頻光通過(guò)二倍頻非線性光學(xué)晶體206產(chǎn)生561nm 二倍頻激光，二倍頻激光再通過(guò)二向色鏡212 被完全輸出到腔外。二向色鏡212的作用是在45度角入射的情況下，1123nm的基頻光被二向色鏡全部反射改變光90度傳輸方向90度，而561nm倍頻光卻可以全部0度角通過(guò)鏡片。通過(guò)二向色鏡212的561nm倍頻光再次通過(guò)45度二倍頻激光高反射鏡213將561nm 二倍頻光輸入準(zhǔn)直聚焦模塊207，二倍頻激光經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直聚焦模塊207，光斑被聚焦到合適的大小，然后射入四倍頻非線性光學(xué)晶體208將561nm二倍頻光再次倍頻以獲得高效率、大功率和穩(wěn)定的^lnm四倍頻紫外激光輸出，再利用分光模塊把剩余的561nm 二倍頻激光濾掉以獲得^lnm四倍頻紫外激光。所述的兩個(gè)基頻激光輸出模塊是采用兩個(gè)參數(shù)完全相同的Nd:YAG晶體做為激光晶體的。所述的熱效應(yīng)補(bǔ)償模塊是采用90度旋光晶體，兩端鍍有 1123nm的增透膜。所述的Q開關(guān)模塊是采用聲光調(diào)制Q開關(guān)，兩端鍍有1123nm的增透膜。 所述的選頻模塊是采用薄片熔融石英標(biāo)準(zhǔn)具。所述的二倍頻非線性光學(xué)晶體采用II類相位匹配的LBO晶體，兩端鍍有1123nm和561nm的增透膜。所述的四倍頻非線性光學(xué)晶體采用I類相位匹配的LBO晶體，兩端鍍有561nm和^lnm的增透膜。所述的基頻光腔鏡210靠近諧振腔一側(cè)鍍有1123nm的高反膜；基頻光腔鏡211靠近諧振腔一側(cè)鍍有1123nm和561nm 的高反膜；二向色鏡212靠近諧振腔一側(cè)鍍有1123nm的高反膜和561nm的增透膜，相對(duì)應(yīng)的另一側(cè)鍍有561nm的增透膜；213內(nèi)側(cè)鍍有45度561nm高反膜。所述的分光模塊采用分光棱鏡。本實(shí)施例中，二倍頻非線性光學(xué)晶體206位于基頻激光腔內(nèi)，即二倍頻為腔內(nèi)倍頻，這樣在保證二倍頻時(shí)有足夠的基頻光功率密度，從而最大限度的產(chǎn)生二倍頻激光，進(jìn)而提高了激光器的最終效率。同時(shí)，本實(shí)施例中，四倍頻非線性光學(xué)晶體208的通光面上鍍制的增透膜只有兩層，一層是二倍頻光的增透膜，另一層是產(chǎn)生的四倍頻光的增透膜，由于鍍制的膜層特征較少，使得各個(gè)增透膜之間的影響較小，從而在設(shè)計(jì)和鍍制對(duì)應(yīng)的增透膜時(shí)， 相對(duì)比較容易實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)光的增透效果。在另一種大功率紫外激光器的實(shí)現(xiàn)方案中，通過(guò)調(diào)制選頻模塊可獲得1112nm基頻激光振蕩，從而輸出278nm的紫外激光束。該實(shí)現(xiàn)方案中，所述的熱效應(yīng)補(bǔ)償模塊是采用 90度旋光晶體，兩端鍍有1112nm的增透膜。所述的Q開關(guān)模塊是采用聲光調(diào)制Q開關(guān)，兩端鍍有1112nm的增透膜。所述的二倍頻非線性光學(xué)晶體采用II類相位匹配的LBO晶體， 兩端鍍有1112nm和556nm的增透膜。所述的四倍頻非線性光學(xué)晶體采用I類相位匹配的 LBO晶體，兩端鍍有556nm和278nm的增透膜。所述的基頻光腔鏡210靠近諧振腔一側(cè)鍍有1112nm的高反膜；基頻光腔鏡211靠近諧振腔一側(cè)鍍有1112nm和556nm的高反膜；二向色鏡212靠近諧振腔一側(cè)鍍有1112nm的高反膜和556nm的增透膜，相對(duì)應(yīng)的另一側(cè)鍍有 556nm的增透膜；213內(nèi)側(cè)鍍有45度556nm高反膜。在又一種大功率紫外激光器的實(shí)現(xiàn)方案中，通過(guò)調(diào)制選頻模塊可獲得1116nm基頻激光振蕩，從而輸出279nm的紫外激光束。該實(shí)現(xiàn)方案中，所述的熱效應(yīng)補(bǔ)償模塊是采用 90度旋光晶體，兩端鍍有1116nm的增透膜。所述的Q開關(guān)模塊是采用聲光調(diào)制Q開關(guān)，兩端鍍有1116nm的增透膜。所述的二倍頻非線性光學(xué)晶體采用II類相位匹配的LBO晶體， 兩端鍍有1116nm和558nm的增透膜。所述的四倍頻非線性光學(xué)晶體采用I類相位匹配的 LBO晶體，兩端鍍有558nm和279nm的增透膜。所述的基頻光腔鏡210靠近諧振腔一側(cè)鍍有1116nm的高反膜；基頻光腔鏡211靠近諧振腔一側(cè)鍍有1116nm和558nm的高反膜；二向色鏡212靠近諧振腔一側(cè)鍍有1116nm的高反膜和558nm的增透膜，相對(duì)應(yīng)的另一側(cè)鍍有 558nm的增透膜；213內(nèi)側(cè)鍍有45度558nm高反膜。綜上所述，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比有以下優(yōu)點(diǎn)1)波長(zhǎng)短，在工業(yè)激光加工應(yīng)用中，波長(zhǎng)越短，光子能量越大，能量聚焦的越集中， 加工效果越優(yōu)異，本發(fā)明專利中提到的激光器可輸出波長(zhǎng)約^Onm的紫外激光，在光束質(zhì)量?jī)?yōu)異的情況下可輸出較高密度的激光光束。2)長(zhǎng)期穩(wěn)定性好，與利用和頻技術(shù)產(chǎn)生的紫外激光相比，其四倍頻晶體的端面磨只需要鍍兩層增透膜增大了膜層的損傷閾值。3)結(jié)構(gòu)緊湊------本發(fā)明采用“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)，將直線型光路進(jìn)行多次折疊，
縮短了整體光路的長(zhǎng)度。4)波長(zhǎng)可調(diào)，根據(jù)需要在基頻腔內(nèi)插入不同的選模模塊可以對(duì)激光器的輸出波長(zhǎng)進(jìn)行選模。最后，上述的實(shí)施例僅用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明，它不應(yīng)該理解為是對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍進(jìn)行任何限制。而且，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以明白，在不脫離上述實(shí)施例精神和原理下，對(duì)上述實(shí)施例所進(jìn)行的各種等效變化、變型以及在文中沒(méi)有描述的各種改進(jìn)均在本專利的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種大功率全固態(tài)紫外激光裝置，沿光路依次包括基頻激光輸出模塊(101、201、202)、Q開關(guān)(102、204)、二倍頻非線性光學(xué)晶體(104、206)、準(zhǔn)直聚焦模塊(105、207)、四倍頻非線性光學(xué)晶體(106、208)和分光模塊(107、209)，所述基頻激光輸出模塊(101、201、202)的激光晶體為Nd:YAG激光晶體，所述基頻激光輸出模塊(101、201、202)的通光端面鍍有基頻光波段增透膜，所述基頻光波段為1112至1123nm波段。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述全固態(tài)紫外激光裝置還包括選頻模塊(103、205)，用于從1112、1116和1123nm這三種基頻光中選出所需的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體(104、206)位于基頻光諧振腔內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述基頻激光輸出模塊有兩個(gè)，所述兩個(gè)基頻激光輸出模塊(201、20幻采用串聯(lián)結(jié)構(gòu)，所述兩個(gè)基頻激光輸出模塊(201、20幻之間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償模塊003)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述全固態(tài)紫外激光裝置的光路成“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)，其中基頻激光輸出模塊(201、202)和Q開關(guān)(204)處在“F”型折疊腔結(jié)構(gòu)的中間橫向支路，二倍頻非線性光學(xué)晶體(206)處在“F”型折疊腔的下端尾部且縱向放置，準(zhǔn)直聚焦模塊(207)和四倍頻非線性光學(xué)晶體(208)處在“F”型折疊腔的上端橫向支路，所述“F”型折疊腔的中間橫向支路的右端設(shè)置鍍有基頻光反射膜的一個(gè)基頻光腔鏡010)，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體Q06)的下端設(shè)置同時(shí)鍍有基頻光反射膜和倍頻光反射膜的另一個(gè)基頻光腔鏡011)，所述Q開關(guān)(204)與二倍頻非線性光學(xué)晶體(206)之間設(shè)置二向色鏡012)，所述二向色鏡012)反射基頻光且透射倍頻光，所述二向色鏡(212)與準(zhǔn)直聚焦模塊(207)之間設(shè)置倍頻光高反鏡013)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體(104、206)是I類相位匹配的KTP、LB0或BBO晶體；或者是I I類相位匹配的KTP、LB0或BBO晶體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體(106、208)是I類相位匹配的LB0、ΒΒ0, CBO或CLBO晶體；或者是I I類相位匹配的LBO、BBO、CBO 或 CLBO 晶體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體(106、208)位于基頻光諧振腔外。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述分光模塊(107、209)是分光棱鏡或二向色鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全固態(tài)紫外激光裝置，其特征在于，所述選頻模塊(103、205)是色散棱鏡、光柵或法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大功率全固態(tài)紫外激光裝置，沿光路依次包括基頻激光輸出模塊、Q開關(guān)、二倍頻非線性光學(xué)晶體、準(zhǔn)直聚焦模塊、四倍頻非線性光學(xué)晶體和分光模塊，所述基頻激光輸出模塊的激光晶體為Nd:YAG激光晶體，所述基頻激光輸出模塊的通光端面鍍有基頻光波段增透膜，所述基頻光波段為1112至1123nm波段。本發(fā)明可輸出光束質(zhì)量?jī)?yōu)異，功率密度較高的波長(zhǎng)約280nm的紫外激光光束；在保證激光器長(zhǎng)期穩(wěn)定性的同時(shí)，兼顧了激光器的效率；并且本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊。
文檔編號(hào)H01S3/10GK102570277SQ20121001986
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2012年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月21日
發(fā)明者于海波, 趙劍波, 郝大偉 申請(qǐng)人:北京中科協(xié)眾同益光電科技有限公司