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一種大功率全固態(tài)紫外激光裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7044900

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本發(fā)明涉及全固態(tài)激光,具體地說,本發(fā)明涉及一種能輸出紫外激光的大功率全固態(tài)激光裝置。背景技術(shù)紫外激光具有波長短、光子能量大、分辨率高等特點,廣泛應(yīng)用于激光精細加工、 數(shù)據(jù)存儲、光刻、生物醫(yī)療以及材料制備等領(lǐng)域。目前,紫外激光器主要有氣體紫外激光器和全固態(tài)紫外激光器。氣體激光器體積大、穩(wěn)定性差、壽命短以及維護不便,極大地制約了其在實際應(yīng)用中的發(fā)展。全固態(tài)紫外激光器則結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、性能穩(wěn)定、轉(zhuǎn)換效率高、壽命長且方便維護,因此受到廣泛的重視,成為近年來人們研...
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