專利名稱：可調(diào)式卡匣固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種卡匣固定裝置，尤指ー種可調(diào)式的卡匣固定裝置。
背景技術(shù)：
目前一般的晶圓制造廠內(nèi)，皆使用卡E(cassette,盒)來暫時(shí)存放晶圓，使晶圓得以存放于該卡匣內(nèi)，然后成批地由一個(gè)制程區(qū)移至下一個(gè)制程區(qū)，達(dá)到方便輸送的需求，當(dāng)欲對該晶圓進(jìn)行相關(guān)的制程作業(yè)時(shí)，如測試、分類等，再依靠ー機(jī)械手臂對該卡匣內(nèi)的該晶圓進(jìn)行取放的動(dòng)作，而為了使該機(jī)械手臂能順利地完成取放的動(dòng)作，該卡匣通常會固定于ー卡匣固定裝置上，以避免卡匣的晃動(dòng)影響晶圓的取放作業(yè)。已知的卡匣固定裝置如日本專利公開特許第1992024936所示，其為了固定卡匣避免晃動(dòng)，在卡匣底面向下延伸凸出多個(gè)定位柱，而于放置該卡匣的平臺上預(yù)設(shè)了符合多個(gè)該定位柱容置的多個(gè)溝槽，使該卡匣得以通過該定位柱卡入該溝槽的形式，而達(dá)到定位的效果，同樣的，在日本專利公開特許第1999163081號中，為了固定卡匣，在卡匣底面向下延伸凸出設(shè)有H型定位條，而于放置該卡匣的平臺上預(yù)設(shè)了符合該H型定位條容置的多個(gè)溝槽，并以該H型定位條卡入該多個(gè)溝槽的形式，達(dá)到定位效果然而，上述的固定結(jié)構(gòu)，于該卡匣放入該平臺上時(shí)，由于該定位柱或H型定位條，必需向下卡入對應(yīng)的該溝槽中，因此卡匣勢必向下位移，震動(dòng)到置于卡匣內(nèi)的晶圓，產(chǎn)生了晶圓因此受損的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的，在于解決已知的卡匣固定裝置，于卡匣向下卡入該卡匣固定裝置時(shí)，位于卡匣內(nèi)的晶圓會受到震動(dòng)的影響而產(chǎn)生受損的情形。本實(shí)用新型的另一目的，在于提供一種只需簡易調(diào)整，即可承載多種規(guī)格、尺寸的卡匣的卡匣固定裝置。為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供一種可調(diào)式卡匣固定裝置，包含有一卡匣平臺、一第一定位組以及一第二定位組。該卡匣平臺包括一容置面及設(shè)于該容置面的一第一左溝槽與一第一右溝槽及一第二左溝槽與一第二右溝槽，該第一左溝槽與該第一右溝槽分別與該第二左溝槽及該第二右溝槽相距ー縱向間距。該第一定位組包括一第一左活動(dòng)柱以及ー第一右活動(dòng)柱，該第一左活動(dòng)柱及該第一右活動(dòng)柱分別設(shè)于該第一左溝槽及該第一右溝槽，且該第一左活動(dòng)柱與該第一右活動(dòng)柱相距ー第一橫向間距；該第二定位組包括一第二左活柱以及一第二右活動(dòng)柱，該第二左活動(dòng)柱與該第二右活動(dòng)柱分別設(shè)于該第二左溝槽與該第二右溝槽，且該第二左活動(dòng)柱與該第ニ右活動(dòng)柱相距ー第二橫向間距。其中，該第二橫向間距大于該第一橫向間距，且該第一定位組及該第二定位組具有一第一定位狀態(tài)及ー第二定位狀態(tài)，該第一定位狀態(tài)使該第一左活動(dòng)柱與該第一右活動(dòng)柱高于該容置面且該第二左活動(dòng)柱及該第二右活動(dòng)柱低于該容置面，而該第二定位狀態(tài)使該第二左活動(dòng)柱與該第二右活動(dòng)柱高于該容置面且該第一左活動(dòng)柱及該第一右活動(dòng)柱低于該容置面。進(jìn)ー步地，第一左溝槽與第一右溝槽相互連通。進(jìn)ー步地，第二左溝槽與第二右溝槽相互連通。進(jìn)ー步地，可調(diào)式卡匣固定裝置還包括一設(shè)于卡匣平臺的一前緣的前定位單元以及一設(shè)于卡匣平臺的一后緣的后定位単元。進(jìn)ー步地，第一定位組包括分別使第一左活動(dòng)柱及第一右活動(dòng)柱相對容置面垂直位移的一第一左升降単元及一第一右升降単元。進(jìn)ー步地，第一左升降単元包括一基座、一設(shè)于基座上并具有一容納第一左活動(dòng)柱的活動(dòng)空間的套筒部以及ー設(shè)于活動(dòng)空間內(nèi)而承載第一左活動(dòng)柱的弾性元件。進(jìn)ー步地，第一左升降單元還包括一卡匣檢測器及一承載基座及卡匣檢測器的檢測器固定件，檢測器固定件具有一第一承載面以及一與第一承載面相鄰的第二承載面，基座承載于第一承載面上，卡匣檢測器承載于第二承載面上。進(jìn)ー步地，第一左升降單元還包括一活動(dòng)穿設(shè)于ー開設(shè)于套筒部的環(huán)壁的穿孔中的擋止栓，且第一左活動(dòng)柱凹設(shè)有一與擋止栓相對應(yīng)的擋止槽，擋止栓具有一位于擋止槽內(nèi)使第一左活動(dòng)柱壓縮彈性元件而低于容置面的限制位置，以及一位于擋止槽外使第一左活動(dòng)柱受彈性元件推升而高于容置面的釋放位置。進(jìn)ー步地，第二定位組包括分別使第二左活動(dòng)柱及第ニ右活動(dòng)柱相對容置面垂直位移的一第二左升降單元及一第二右升降單元。進(jìn)ー步地，第二左升降単元包括一基座、一設(shè)于基座上并具有一容納第二左活動(dòng)柱的活動(dòng)空間的套筒部以及ー設(shè)于活動(dòng)空間內(nèi)而承載第二左活動(dòng)柱的弾性元件。進(jìn)ー步地，第二左升降單元還包括一卡匣檢測器及一承載基座及卡匣檢測器的檢測器固定件，檢測器固定件具有一第一承載面以及一與第一承載面相鄰的第二承載面，基座承載于第一承載面上，卡匣檢測器承載于第二承載面上。進(jìn)ー步地，第二左升降單元還包括一活動(dòng)穿設(shè)于ー開設(shè)于套筒部的環(huán)壁的穿孔中的擋止栓，且第二左活動(dòng)柱凹設(shè)有一與擋止栓相對應(yīng)的擋止槽，擋止栓具有一位于擋止槽內(nèi)使第二左活動(dòng)柱壓縮彈性元件而低于容置面的限制位置，以及一位于擋止槽外使第二左活動(dòng)柱受彈性元件推升而高于容置面的釋放位置。為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供另ー種可調(diào)式卡匣固定裝置，用以固定ー卡匣，包含有一卡匣平臺、一前定位單元以及一后定位単元。該卡匣平臺供該卡匣放置，并具有一前緣以及一相對該前緣的后緣，該前定位單元固定于該前緣，而該后定位單元位于該后緣且與該前定位単元之間形成一容置空間，并包含有ー承載座、一固定臂以及一第一定位臂，該固定臂固定于該承載座，并延伸至該容置空間，該第一定位臂樞接于該承載座，以相對該承載座進(jìn)行一第一轉(zhuǎn)動(dòng)行程，該固定臂及該第一定位臂分別具有遠(yuǎn)離該承載座的一定位端與一第一定位端，且該第一定位臂具有一大于該固定臂的臂長。其中，該第一定位臂于該第一轉(zhuǎn)動(dòng)行程中具有ー收納位置以及ー限位位置，該收納位置使該第一定位端位移至該容置空間外而供該定位端與該前定位単元之間形成一第一定位間距，而該限位位置使該第一定位端位于該容置空間內(nèi)而與該前定位単元之間形成一小于該第一定位間距的第二定位間距。[0023]進(jìn)ー步地，后定位單元還包含有一樞接于承載座以相對承載座進(jìn)行ー第二轉(zhuǎn)動(dòng)行程的第二定位臂，且第二定位臂具有大于第一定位臂的臂長，第二定位臂還具有一遠(yuǎn)離承載座的第二定位端，且第二定位臂于第二轉(zhuǎn)動(dòng)行程中具有一使第二定位端位于容置空間內(nèi)而與前定位単元之間形成ー小于第二定位間距的第三定位間距的定位位置。進(jìn)ー步地，承載座包含一定位調(diào)整座，固定臂固定于定位調(diào)整座上，而第一定位臂樞接于定位調(diào)整座上。進(jìn)ー步地，第一定位臂于樞 接定位調(diào)整座的一端分別設(shè)有一第一吸附件以及一第ニ吸附件，定位調(diào)整座分別設(shè)置有一第一被吸附件以及一第二被吸附件。進(jìn)ー步地，第一定位臂位于收納位置時(shí)，第一吸附件對應(yīng)吸附第一被吸附件。進(jìn)ー步地，第一定位臂位于限位位置時(shí)，第二吸附件對應(yīng)吸附第二被吸附件。進(jìn)ー步地，卡匣平臺于后緣設(shè)有ー第三被吸附件，而承載座上設(shè)有ー對應(yīng)吸附第三被吸附件的第三吸附件。進(jìn)ー步地，可調(diào)式卡匣固定裝置還包括一設(shè)于卡匣平臺上且介于前定位単元與后定位單元之間的ー左定位單元及一與左定位單元相對并與左定位單元相隔ー間距的右定位單元。進(jìn)ー步地，固定臂與定位調(diào)整座固定的一端包含一與定位調(diào)整座相接的臂長調(diào)整部，臂長調(diào)整部具有一調(diào)整長孔以及至少ー搭配調(diào)整長孔鎖合的螺釘。進(jìn)ー步地，第一定位臂與定位調(diào)整座樞接的一端包含一與定位調(diào)整座樞接的第一樞接部以及一與第一樞接部相接的第一臂長調(diào)整部，第一臂長調(diào)整部具有一第一調(diào)整長孔以及至少ー搭配調(diào)整長孔鎖合的第一螺釘。進(jìn)ー步地，承載座包含一定位調(diào)整座，第二定位臂樞接于定位調(diào)整座上，第二定位臂與定位調(diào)整座樞接的一端包含一與定位調(diào)整座樞接的第二樞接部以及一與第二樞接部相接的第二臂長調(diào)整部，第二臂長調(diào)整部具有一第二調(diào)整長孔以及至少ー搭配第二調(diào)整長孔鎖合的第二螺釘。通過上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型由該第一定位組以及該第二定位組所具有的該第一定位狀態(tài)及該第二定位狀態(tài)，以及該第一定位臂于該第一轉(zhuǎn)動(dòng)行程中所具有的該收納位置及該限位位置，至少具有下列優(yōu)點(diǎn)一、分別以該第一左活動(dòng)柱、該第一右活動(dòng)柱、該第二左活動(dòng)柱以及該第二右活動(dòng)柱不同的高底位置搭配，還有該固定臂及該第一定位臂分別與該前定位単元之間形成的該第一定位間距及該第二定位間距，達(dá)到可固定不同尺寸的卡匣的效果。ニ、由于該第一左活動(dòng)柱、該第一右活動(dòng)柱、該第二左活動(dòng)柱、該第二右活動(dòng)柱可進(jìn)行高低的調(diào)整，并與該前定位単元及該后定位単元分別以抵靠的方式固定該卡匣于前、后、左、右的位移，因?yàn)椴粫锌ㄏ粸榱斯潭ǘㄈ氚疾鄣某绦?，解決已知卡匣于卡入固定時(shí)產(chǎn)生上下震動(dòng)的問題，避免晶圓因此受損的情形。

圖I為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的立體示意圖。圖2A為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的擋止栓位于釋放位置的示意圖。圖2B為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的擋止栓位于限制位置的示意圖。[0039]圖3為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的立體示意圖。圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的定位調(diào)整件及卡匣檢測器設(shè)置示意圖。圖5為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的立體示意圖。圖6為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的后定位單元立體示意圖。圖7A為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的收納位置俯視示意圖。圖7B為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的限位位置俯視示意圖。圖8為本實(shí)用新型第四實(shí)施例的立體示意圖。
具體實(shí)施方式
有關(guān)本實(shí)用新型的詳細(xì)說明及技術(shù)內(nèi)容，現(xiàn)就配合圖式說明如下請參閱圖I所示，為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的立體示意圖，如圖所示本實(shí)用新型為ー種可調(diào)式卡匣固定裝置，包含有一卡匣平臺10、一第一定位組20以及ー第二定位組30。該卡匣平臺10包括一前緣12、ー相對該前緣12的后緣13、一介于該前緣12與該后緣13之間的側(cè)緣14、一容置面11以及設(shè)于該容置面11的一第一左溝槽112與一第一右溝槽113及一第二左溝槽115與一第二右溝槽116，該容置面11介于該前緣12與該后緣13之間，且該前緣12設(shè)有一前定位單元40,該側(cè)緣14設(shè)置有ー側(cè)板141, 一后定位單元50樞接于該側(cè)板141上，并樞轉(zhuǎn)至該后緣13的位置，而該第一左溝槽112與該第一右溝槽113分別與該第二左溝槽115及該第二右溝槽116相距ー縱向間距H。該第一定位組20包括一第一左活動(dòng)柱21以及一第一右活動(dòng)柱23,該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23分別設(shè)于該第一左溝槽112及該第一右溝槽113,且該第一左活動(dòng)柱21與該第一右活動(dòng)柱23相距ー第一橫向間距Pl ;該第二定位組30包括一第二左活動(dòng)柱31以及ー第二右活動(dòng)柱33，該第二左活動(dòng)柱31與該第二右活動(dòng)柱33分別設(shè)于該第二左溝槽115與該第二右溝槽116，且該第二左活動(dòng)柱31與該第二右活動(dòng)柱33相距ー第二橫向間距P2，且該第二橫向間距P2大于該第一橫向間距Pl。請搭配參閱圖2A及圖2B所示，圖2A為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的擋止栓位于釋放位置的示意圖，圖2B為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的擋止栓位于限制位置的示意圖，該第一定位組20還包括一第一左升降単元22以及ー第一右升降単元24，該第一左升降単元22及該第一右升降単元24分別供該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23相對該容置面11垂直位移，而該第二定位組30還包括一第二左升降單元32以及ー第二右升降單元34，該第二左升降単元32及該第二右升降単元34分別供該第二左活動(dòng)柱31及該第二右活動(dòng)柱33相對該容置面11垂直位移。由于該第一左升降単元22、該第一右升降単元24、該第二左升降単元32以及該第ニ右升降単元34具有相同的作動(dòng)結(jié)構(gòu)，以下皆以該第一左升降単元22搭配該第一左活動(dòng)柱21來舉例說明，而該第一右升降単元24搭配該第一右活動(dòng)柱23、該第二左升降単元32搭配該第二左活動(dòng)柱31以及該第二右升降単元34搭配該第二右活動(dòng)柱33則不再做贅述，如下所述，該第一左升降單元22包含有一基座221、一套筒部222、ー墊片228以及ー彈性元件223，該基座221與該套筒部222連接，在此為一體成型，并同設(shè)于該墊片28上，該套筒部222具有一容納該第一左活動(dòng)柱21的活動(dòng)空間，該彈性元件223設(shè)于該活動(dòng)空間內(nèi)而承載該第一左活動(dòng)柱21，并于底端抵觸該墊片228使該第一左活動(dòng)柱21得以通過該彈性元件223的伸縮于該活動(dòng)空間中，進(jìn)行上下的垂直位移，在此實(shí)施例中，該彈性元件223為ー彈黃。該第一左升降単元22還包括一擋止栓224，該套筒部222的環(huán)壁開設(shè)ー穿孔2221，該擋止栓224活動(dòng)穿設(shè)于該穿孔2221中，且該第一左活動(dòng)柱21凹設(shè)有ー擋止槽211，該擋止槽211對應(yīng)該擋止栓224，使該擋止栓224于該穿孔2221中活動(dòng)，分別具有一釋放位置以及ー限制位置，于該釋放位置，該擋止栓224位于該擋止槽211タト，并使該第一左活動(dòng)柱21因該彈性元件223的推升，而高于該容置面11，而于該限制位置，該擋止栓224插入該擋止槽211內(nèi)，使該第一左活動(dòng)柱21壓縮該弾性元件223，而低于該容置面11。再者，該擋止栓224還穿設(shè)有一限位孔2241，一限位件2242插入該限位孔2241中，防止該擋止栓224 脫出該穿孔2221，限制該擋止栓224于該穿孔2221中移動(dòng)，另外，該第一左活動(dòng)柱21的周壁向外凸設(shè)有一擋止部212，該套筒部222的內(nèi)壁于開ロ的周沿向內(nèi)延伸形成一凸出的內(nèi)檐2222，當(dāng)該擋止栓224于該釋放位置吋，該第一左活動(dòng)柱21受該彈性元件223的推升高于該容置面11，該擋止部212抵靠該內(nèi)檐2222，限制該第一左活動(dòng)柱21脫出該套筒部222外。于使用時(shí)，該第一定位組20及該第二定位組30具有一第一定位狀態(tài)及ー第二定位狀態(tài)，該第一定位狀態(tài)使該第一左活動(dòng)柱21與該第一右活動(dòng)柱23高于該容置面11且該第二左活動(dòng)柱31及該第二右活動(dòng)柱33低于該容置面11，且該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23分別會凸出該容置面11，并相距該第一橫向間距P1，將ー于底面左、右兩側(cè)各凸設(shè)有一定位翼81a、81b的卡匣80置于該容置面11上，且該兩定位翼81a、81b間隔的距離穩(wěn)合對應(yīng)該第一橫向間距Pl，使該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23各自抵靠位于
左、右兩側(cè)的該定位翼81a、81b內(nèi)側(cè)，固定該第--80于左、右兩方向的位移,接著再通
過該前定位単元40及該后定位単元50分別抵靠該卡匣80的前、后端，然后于前、后方向固定該卡匣80，因而在該卡匣80不受任何震動(dòng)的情況下，固定了該卡匣80。而該第二定位狀態(tài)使該第二左活動(dòng)柱31與該第二右活動(dòng)柱33高于該容置面11且該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23低于該容置面11，故該第二左活動(dòng)柱31及該第ニ右活動(dòng)柱33分別會凸出該容置面11，并相距該第二橫向間距P2，將另ー于底面左、右兩側(cè)各凸設(shè)有一定位翼81a、81b的卡匣80置于該容置面11上，且該兩定位翼81a、81b間隔的距離穩(wěn)合對應(yīng)該第二橫向間距P2，使該第二左活動(dòng)柱31及該第二右活動(dòng)柱33各自抵靠位于左、右兩側(cè)的該定位翼81a、81b內(nèi)側(cè),然后于左、右方向固定該卡E 80,接著再通過該前定位単元40及該后定位単元50分別抵靠該卡匣80的前、后端，然后于前、后方向固定該卡匣80，因而在該卡匣80不受任何震動(dòng)的情況下，固定了該卡匣80，再者，由于不同尺寸的卡匣80其所具的兩定位翼81a、81b相距不同的距離，因此該可調(diào)式卡匣80固定裝置通過切換該第一定位狀態(tài)及該第二定位狀態(tài)，即可分別以該第一定位組20的該第一橫向間距Pl及該第二定位組30的該第二橫向間距P2對應(yīng)兩種不同尺寸的卡匣80進(jìn)行固定，若欲固定三種不同尺寸的卡匣80使用，則可再加設(shè)ー第三定位組及所搭配的第三左溝槽與第三右溝槽。請搭配參閱圖3所示，為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的立體示意圖，如圖所示在此實(shí)施例中，與第一實(shí)施例相較之下，其特征在于該第一左溝槽112及該第一右溝槽113相互連通，形成一第一滑槽111，該第二左溝槽115及該第二右溝槽116也相互連通，形成一第二滑槽114，且與該第一滑槽111的方向平行；而該第一左升降單元22與該第一右升降單元24則設(shè)于該第一滑槽111內(nèi)滑動(dòng)，且該第一左活動(dòng)柱21與該第一右活動(dòng)柱23之間相距一第一可變間距，同樣的，該第二左升降単元32及該第二右升降単元34設(shè)于該第二滑槽114內(nèi)滑動(dòng)，且該第二左活動(dòng)柱31與該第二右活動(dòng)柱33之間相距一第二可變間距。請搭配參閱圖4所示，為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的定位調(diào)整件及卡匣檢測器設(shè)置示意圖，在第二實(shí)施例中，該第一左升降單元22、該第一右升降單元24、該第二左升降單元32、該第二右升降単元34不僅各包含了該基座221、該套筒部222、該墊片228、該彈性元件223以及該擋止栓224，還包含了一定位調(diào)整件225、ー卡匣檢測器226以及ー檢測器固定件227，以該第一左升降單元22舉例說明，該定位調(diào)整件225與該套筒部222連接，在此為ー體成型，對應(yīng)該第一滑槽111的位置，沿著遠(yuǎn)離該第一右升降単元24的方向延伸，并具有一長孔，該長孔供ー螺釘穿入，鎖固該定位調(diào)整件225于該第一滑槽111中，間接固定該基座221于該第一滑槽111中的位置；該檢測器固定件227具有一第一承載面2271以及ー相鄰的第二承載面2272，該基座221通過該墊片228對應(yīng)固定于該第一承載面2271上，而該卡 匣檢測器226位于該第二承載面2272上，使該卡匣檢測器226與該基座221相鄰設(shè)置。在此實(shí)施例中，于使用時(shí)，由于該第一左升降単元22及該第一右升降単元24得以在該第一滑槽111中移動(dòng)，因此該第一可變間距可依欲固定的ー卡匣80，調(diào)整成適合固定該卡匣80的兩定位翼81a、81b的距離，接著各以該螺釘穿入該定位調(diào)整件225的該長孔中，將該第一左升降単元22及該第一右升降単元24鎖固于該第一滑槽111中，使該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23可穩(wěn)定地限制該卡匣80于左、右兩方向的移動(dòng)，并使該卡匣檢測器226的位置，對應(yīng)該卡匣80的該兩定位翼81a、81b，檢測該卡匣80是否位于該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23上，同樣的，該第二左活動(dòng)柱31與該第二右活動(dòng)柱33于該第二滑槽114中，也是依同樣的方式操作，據(jù)此，該可調(diào)式卡匣固定裝置即可自由調(diào)整該第一左活動(dòng)柱21及該第一右活動(dòng)柱23之間的該第一可變間距，還有該第二左活動(dòng)柱31及該第二右活動(dòng)柱33之間的該第二可變間距，以配合固定各種不同尺寸的該卡匣80，并檢測該卡匣80是否存在。請參閱圖5所示,為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的立體示意圖，如圖所示在此實(shí)施例中，該可調(diào)式卡匣固定裝置用以固定ー卡匣80，包含有一卡匣平臺10、一前定位単元40、一后定位單元50、一左定位單元60以及ー右定位單元70，該卡匣平臺10具有一前緣12、一相對該前緣12的后緣13以及一介于該前緣12與該后緣13之間的側(cè)緣14，該側(cè)緣14連接設(shè)置有ー側(cè)板141，該前定位単元40設(shè)置于該前緣12，該后緣13設(shè)有ー第三被吸附件131，該后定位單元50設(shè)有ー對應(yīng)該第三被吸附件131吸附的第三吸附件512，該后定位單元50通過與該側(cè)板141樞接，樞轉(zhuǎn)至該后緣13的位置，以該第三吸附件512與該第三被吸附件131對應(yīng)吸附而定位于該后緣13，且該后定位単元50與該前定位単元40之間形成一容置空間90 (示于圖7A及圖7B)，該左定位単元60以及該右定位単元70設(shè)于該卡匣平臺10上，并介于該前定位単元40與該后定位単元50之間。請搭配參閱圖6所示，為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的后定位単元立體示意圖，該后定位單兀50包含有一承載座51、一固定臂52以及ー第一定位臂53,該后定位單兀50以該承載座51與該側(cè)板141樞接，該承載座51包含一定位調(diào)整座511，該固定臂52固定于該定位調(diào)整座511上，并延伸至該容置空間90 (示于圖7A及圖7B)，該第一定位臂53樞接于該定位調(diào)整座511，以相對該定位調(diào)整座511進(jìn)行ー第一轉(zhuǎn)動(dòng)行程，該固定臂52及該第一定位臂53分別具有遠(yuǎn)離該定位調(diào)整座511的一定位端521與一第一定位端531,且該第一定位臂53的臂長大于該固定臂52的臂長，要進(jìn)ー步說明的是，該固定臂52與該定位調(diào)整座511固定的一端包含一與該定位調(diào)整座511相接的臂長調(diào)整部522，該臂長調(diào)整部522具有ー調(diào)整長孔5221以及至少ー搭配該調(diào)整長孔5221鎖合的螺釘5222，而該第一定位臂53與該定位調(diào)整座511樞接的一端包含一與該定位調(diào)整座511樞接的第一樞接部534以及一與該第一樞接部534相接的第一臂長調(diào)整部535，該第一臂長調(diào)整部535具有一第一調(diào)整長孔5351以及至少ー搭配該調(diào)整長孔5351鎖合的第一螺釘5352。再者，該第一定位臂53于樞接該定位調(diào)整座511的一端分別設(shè)有一第一吸附件532以及ー第二吸附件533，而該定位調(diào)整座511分別設(shè)置有一對應(yīng)該第一吸附件532吸附的第一被吸附件5111以及ー對應(yīng)該第ニ吸附件533吸附的第二被吸附件5112。 請搭配參閱圖7A及圖7B所示，圖7A為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的收納位置俯視示意圖，圖7B為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的限位位置俯視示意圖，于使用時(shí)，先以該左定位單元60以及該右定位單元70于左右方向固定該卡匣80，接著，由于該第一定位臂53于該第ー轉(zhuǎn)動(dòng)行程中具有ー收納位置以及ー限位位置，該收納位置由該第一定位臂53樞轉(zhuǎn)至指向上方，使該第一定位端531位移至該容置空間90タト,且該第一吸附件532與該第一被吸附件5111對應(yīng)吸附，輔助該第一定位臂53順利定位而不晃動(dòng)，使該定位端521與該前定位単元40之間形成一第一定位間距SI，而該限位位置由該第一定位臂53樞轉(zhuǎn)至指向該前定位單元40，使該第一定位端531位于該容置空間90內(nèi)，且該第二吸附件533與該第二被吸附件5112對應(yīng)吸附，輔助該第一定位臂53順利定位而不晃動(dòng)，使該第一定位端531與該前定位単元40之間形成一第二定位間距S2，且該第二定位間距S2小于該第一定位間距SI，據(jù)此，由于該第一定位間距SI與該第二定位間距S2的不同，因此得以通過該第一定位臂53的樞轉(zhuǎn)以該第一定位間距SI或是該第二定位間距S2來對應(yīng)容置兩種不同尺寸的卡匣80，并于前、后方向固定該卡匣80，而在該卡匣80不受任何震動(dòng)的情況下，以前、后、左、右抵靠的方式固定了該卡匣80，再者，該固定臂52還可調(diào)整該臂長調(diào)整部522中的該螺釘5222于該調(diào)整長孔5221的鎖合位置，進(jìn)ー步微調(diào)該第一定位間距SI的大小，得以更彈性地與不同尺寸的該卡匣80搭配固定，同理，該第一定位臂53也可通過該第一臂長調(diào)整部535達(dá)到微調(diào)該第二定位間距S2的大小的效果。而若欲固定三種不同尺寸的卡匣80使用，則可在該定位調(diào)整座511上再樞接ー第ニ定位臂54，且該第二定位臂54的臂長大于該第一定位臂53的臂長，并具有ー遠(yuǎn)離該定位調(diào)整座511的第二定位端541,該第二定位臂54以相對該定位調(diào)整座511進(jìn)行ー第二轉(zhuǎn)動(dòng)行程，在該第二轉(zhuǎn)動(dòng)行程之中，該第二定位臂54具有一定位位置，該定位位置由該第二定位臂54指向該前定位單元40，且該第二定位端541位于該容置空間90內(nèi)并與該前定位単元40之間形成一第三定位間距，該第三定位間距則會小于該第二定位間距S2，以對應(yīng)固定一尺寸更小的卡匣80。要特別說明的是，該固定臂52的臂長會小于該第一定位臂53及該第二定位臂54的臂長，用以固定最大尺寸的該卡匣80，同樣的，該第二定位臂54與該定位調(diào)整座511樞接的一端也包含一與該定位調(diào)整座511樞接的第二樞接部542以及一與該第二樞接部542相接的第二臂長調(diào)整部543，該第二臂長調(diào)整部543具有一第二調(diào)整長孔5431以及至少ー搭配該第二調(diào)整長孔5431鎖合的第二螺釘5432，并以該第二臂長調(diào)整部543來微調(diào)該第三定位間距的大小。請參閱圖8所示，圖8為本實(shí)用新型第四實(shí)施例的立體示意圖，在此實(shí)施例中，將該第一定位組20、第一滑槽111、該第二定位組30、該第二滑槽114、該第三定位組、該第三滑槽搭配具有該固定臂52、該第一定位臂53及該第二定位臂54的該后定位単元50使用，使該可調(diào)式卡匣80固定裝置在固定晶元卡匣80時(shí)，不僅可依卡匣80的尺寸大小調(diào)整，穩(wěn)固地固定該卡匣80，并通過多組化的搭配，達(dá)到適用固定多種不同尺寸的卡匣80的模塊化功能。綜上所述，由于本實(shí)用新型通過該第一定位組、該第一滑槽、該第二定位組、該第ニ滑槽、該第三定位組、該第三滑槽以及具有該固定臂、該第一定位臂及該第二定位臂的該后定位単元相互搭配，以抵靠的方式于前、后、左、右固定該卡匣，解決已知卡匣于卡入時(shí)產(chǎn)生上下震動(dòng)的問題，避免晶圓因此受損的情形，并達(dá)到可適用多種尺寸的卡匣的模塊化功倉^:。以上已將本實(shí)用新型做一詳細(xì)說明，然而以上所述者，僅為本實(shí)用新型的ー優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)不能限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍。即凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍所作的均等變化與修飾等，皆應(yīng)仍屬本實(shí)用新型的專利涵蓋范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述可調(diào)式卡匣固定裝置包含有 一卡匣平臺，所述卡匣平臺包括一容置面及設(shè)于所述容置面的一第一左溝槽與一第一右溝槽及一第二左溝槽與一第二右溝槽，所述第一左溝槽及所述第一右溝槽分別與所述第二左溝槽及所述第二右溝槽相距一縱向間距； 一第一定位組，包括一設(shè)于所述第一左溝槽的第一左活動(dòng)柱及一設(shè)于所述第一右溝槽且與所述第一左活動(dòng)柱相距一第一橫向間距的第一右活動(dòng)柱；以及 一第二定位組，包括一設(shè)于所述第二左溝槽的第二左活動(dòng)柱及一設(shè)于所述第二右溝槽且與所述第二左活動(dòng)柱相距一第二橫向間距的第二右活動(dòng)柱， 其中，所述第二橫向間距大于所述第一橫向間距，且所述第一定位組及所述第二定位組具有一使所述第一左活動(dòng)柱及所述第一右活動(dòng)柱高于所述容置面且所述第二左活動(dòng)柱及所述第二右活動(dòng)柱低于所述容置面的第一定位狀態(tài)，以及一使所述第二左活動(dòng)柱及所述第二右活動(dòng)柱高于所述容置面且所述第一左活動(dòng)柱及所述第一右活動(dòng)柱低于所述容置面的第二定位狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一左溝槽與所述第一右溝槽相互連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第二左溝槽與所述第二右溝槽相互連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述可調(diào)式卡匣固定裝置還包括一設(shè)于所述卡匣平臺的一前緣的前定位單元以及一設(shè)于所述卡匣平臺的一后緣的后定位單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一定位組包括分別使所述第一左活動(dòng)柱及所述第一右活動(dòng)柱相對所述容置面垂直位移的一第一左升降單元及一第一右升降單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一左升降單元包括一基座、一設(shè)于所述基座上并具有一容納所述第一左活動(dòng)柱的活動(dòng)空間的套筒部以及一設(shè)于所述活動(dòng)空間內(nèi)而承載所述第一左活動(dòng)柱的彈性元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一左升降單元還包括一卡匣檢測器及一承載所述基座及所述卡匣檢測器的檢測器固定件，所述檢測器固定件具有一第一承載面以及一與所述第一承載面相鄰的第二承載面，所述基座承載于所述第一承載面上，所述卡匣檢測器承載于所述第二承載面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一左升降單元還包括一活動(dòng)穿設(shè)于一開設(shè)于所述套筒部的環(huán)壁的穿孔中的擋止栓，且所述第一左活動(dòng)柱凹設(shè)有一與所述擋止栓相對應(yīng)的擋止槽，所述擋止栓具有一位于所述擋止槽內(nèi)使所述第一左活動(dòng)柱壓縮所述彈性元件而低于所述容置面的限制位置、以及一位于所述擋止槽外使所述第一左活動(dòng)柱受所述彈性元件推升而高于所述容置面的釋放位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第二定位組包括分別使所述第二左活動(dòng)柱及所述第二右活動(dòng)柱相對所述容置面垂直位移的一第二左升降單元及一第二右升降單元。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第二左升降單元包括一基座、ー設(shè)于所述基座上并具有一容納所述第二左活動(dòng)柱的活動(dòng)空間的套筒部以及ー設(shè)于所述活動(dòng)空間內(nèi)而承載所述第二左活動(dòng)柱的弾性元件。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第二左升降単元還包括一卡匣檢測器及一承載所述基座及所述卡匣檢測器的檢測器固定件，所述檢測器固定件具有一第一承載面以及一與所述第一承載面相鄰的第二承載面，所述基座承載于所述第一承載面上，所述卡匣檢測器承載于所述第二承載面上。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第二左升降単元還包括一活動(dòng)穿設(shè)于ー開設(shè)于所述套筒部的環(huán)壁的穿孔中的擋止栓，且所述第二左活動(dòng)柱凹設(shè)有一與所述擋止栓相對應(yīng)的擋止槽，所述擋止栓具有一位于所述擋止槽內(nèi)使所述第二左活動(dòng)柱壓縮所述彈性元件而低于所述容置面的限制位置、以及一位于所述擋止槽外使所述第二左活動(dòng)柱受所述弾性元件推升而高于所述容置面的釋放位置。
13.—種可調(diào)式卡匣固定裝置，用以固定ー卡匣，其特征在于，所述可調(diào)式卡匣固定裝置包含有 一供所述卡匣放置的卡匣平臺，所述卡匣平臺具有一前緣以及一與所述前緣相対的后緣； 一固定于所述前緣的前定位単元；以及 一位于所述后緣且與所述前定位単元之間形成一容置空間的后定位単元，所述后定位単元包含有ー承載座、一固定于所述承載座且延伸至所述容置空間的固定臂以及一樞接于所述承載座以相對所述承載座進(jìn)行ー第一轉(zhuǎn)動(dòng)行程的第一定位臂，所述固定臂具有遠(yuǎn)離所述承載座的一定位端并且所述第一定位臂具有遠(yuǎn)離所述承載座的一第一定位端，且所述第一定位臂具有一大于所述固定臂的臂長， 其中，所述第一定位臂于所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)行程中具有一使所述第一定位端位移至所述容置空間外而供所述定位端與所述前定位単元之間形成一第一定位間距的收納位置、以及ー使所述第一定位端位于所述容置空間內(nèi)而與所述前定位単元之間形成一小于所述第一定位間距的第二定位間距的限位位置。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述后定位單元還包含有一樞接于所述承載座以相對所述承載座進(jìn)行ー第二轉(zhuǎn)動(dòng)行程的第二定位臂，且所述第ニ定位臂具有大于所述第一定位臂的臂長，所述第二定位臂還具有一遠(yuǎn)離所述承載座的第ニ定位端，且所述第二定位臂于所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)行程中具有一使所述第二定位端位于所述容置空間內(nèi)而與所述前定位単元之間形成一小于所述第二定位間距的第三定位間距的定位位置。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述承載座包含一定位調(diào)整座，所述固定臂固定于所述定位調(diào)整座上，而所述第一定位臂樞接于所述定位調(diào)整座上。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一定位臂于樞接所述定位調(diào)整座的一端分別設(shè)有一第一吸附件以及一第二吸附件，所述定位調(diào)整座分別設(shè)置有一第一被吸附件以及一第二被吸附件。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一定位臂位于所述收納位置時(shí)，所述第一吸附件對應(yīng)吸附所述第一被吸附件。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一定位臂位于所述限位位置時(shí)，所述第二吸附件對應(yīng)吸附所述第二被吸附件。
19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述卡匣平臺于所述后緣設(shè)有一第三被吸附件，而所述承載座上設(shè)有一對應(yīng)吸附所述第三被吸附件的第三吸附件。
20.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述可調(diào)式卡匣固定裝置還包括一設(shè)于所述卡匣平臺上且介于所述前定位單元與所述后定位單元之間的一左定位單元及一與所述左定位單元相對并與所述左定位單元相隔一間距的右定位單元。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述固定臂與所述定位調(diào)整座固定的一端包含一與所述定位調(diào)整座相接的臂長調(diào)整部，所述臂長調(diào)整部具有一調(diào)整長孔以及至少一搭配所述調(diào)整長孔鎖合的螺釘。
22.根據(jù)權(quán)利要求15所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述第一定位臂與所述定位調(diào)整座樞接的一端包含一與所述定位調(diào)整座樞接的第一樞接部以及一與所述第一樞接部相接的第一臂長調(diào)整部，所述第一臂長調(diào)整部具有一第一調(diào)整長孔以及至少一搭配所述調(diào)整長孔鎖合的第一螺釘。
23.根據(jù)權(quán)利要求14所述的可調(diào)式卡匣固定裝置，其特征在于，所述承載座包含一定位調(diào)整座，所述第二定位臂樞接于所述定位調(diào)整座上，所述第二定位臂與所述定位調(diào)整座樞接的一端包含一與所述定位調(diào)整座樞接的第二樞接部以及一與所述第二樞接部相接的第二臂長調(diào)整部，所述第二臂長調(diào)整部具有一第二調(diào)整長孔以及至少一搭配所述第二調(diào)整長孔鎖合的第二螺釘。
專利摘要一種可調(diào)式卡匣固定裝置，用以固定一卡匣，該可調(diào)式卡匣固定裝置包含有一卡匣平臺、一第一定位組、一第二定位組、一前定位單元以及一后定位單元，該第一定位組及該第二定位組分別以一第一可變間距及一第二可變間距于左右方向固定不同尺寸的卡匣，而該后定位單元與該前定位單元之間，則分別通過一第一定位間距與一第二定位間距于前后方向固定不同尺寸的卡匣。據(jù)此，本實(shí)用新型利用第一定位組、第二定位組、前定位單元以及后定位單元抵靠卡匣定位，避免于固定卡匣時(shí)產(chǎn)生震動(dòng)，并以改變間距的方式，達(dá)到適用多種尺寸卡匣的效果。
文檔編號H01L21/673GK202394855SQ20112045429
公開日2012年8月22日 申請日期2011年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月18日
發(fā)明者萬世國, 李岳穎, 林永祥 申請人:旺矽科技股份有限公司