專利名稱：晶圓固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是關(guān)于一種晶圓(Wafer Frame)固定裝置，特別是關(guān)于一種用于固定一子母環(huán)(Double Ring)的晶圓固定裝置。
背景技術(shù)：
請參考圖1，現(xiàn)有的晶圓固定裝置100包括一環(huán)型壓板101、以及一承載板102。其中，環(huán)型壓板101上具有多個簧片103、以及多個螺絲104。環(huán)型壓板101可通過簧片103、 以及螺絲，利用螺絲104旋入或旋出位于承載座102背面的螺絲孔洞，使環(huán)型壓板101與承載板102緊壓或松脫，并通過簧片103將一子母環(huán)10固定或分離于承載座102。但由于使用者對子母環(huán)10固定與拆卸時，需逐一針對螺絲104進行旋入或旋出的動作，使子母環(huán)10能與晶圓固定裝置100進行固定與分離，且子母環(huán)10固定在晶圓固定裝置100時，螺絲104需先對準(zhǔn)承載板102背面的螺絲孔洞，如此一來，相當(dāng)浪費時間與人力。

實用新型內(nèi)容因此，為了解決上述問題，本實用新型的目的之一，是在提供一種晶圓固定裝置， 可節(jié)省操作時間。本實用新型的目的之一，是在提供一種晶圓固定裝置，可節(jié)省操作的人力。本實用新型的一實施例提供了一種晶圓固定裝置，晶圓固定裝置包括一承載板、 以及一壓板。承載板，具有一圓形穿孔；壓板，為一環(huán)體，壓板固定于承載板的位置對應(yīng)圓形穿孔；其中，承載板與壓板至少其一具有磁性，承載板與該壓板利用磁力吸附固定。本實用新型的一實施例提供了一種晶圓固定裝置，包括一承載板、一壓板、以及一固定條。承載板，具有一圓形穿孔；壓板，為一環(huán)體，壓板固定于承載板的位置對應(yīng)圓形穿孔；固定條，具有一固定凸部；其中，當(dāng)壓板固定于承載板的位置對應(yīng)圓形穿孔時，固定凸部抵靠該壓板，使該壓板能裝設(shè)于該承載板的一預(yù)設(shè)位置。本實用新型的有益效果在于，由于本實用新型的晶圓固定裝置的承載板與壓板至少其一具有磁性，使承載板與壓板至少其一能利用磁力進行吸附，使壓板能迅速固定于承載板，再利用定位柱、定位槽、或樞紐的設(shè)計，節(jié)省使用者的時間與人力。

圖1顯示先前技術(shù)的晶圓固定裝置的示意圖。圖2A顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置的示意圖。圖2B顯示本實用新型一實施例的壓板示意圖。圖2C顯示本實用新型一實施例的定位柱與定位槽的局部放大圖。圖3顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置的示意圖。圖4顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置的示意圖。圖5顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置示意圖。[0016]圖6A顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置示意圖。圖6B顯示本實用新型于圖6A中A、B、以及C三點的側(cè)視圖。附圖標(biāo)號100、200、300、400 晶圓固定裝置102、201、401、501、601 承載板103 簧片201a 定位柱101、202、302、402、502、602 壓板202a磁性元件202b 定位槽203,41a 固定元件203a 螺絲20 拆卸口30、31 子壓板41、63 樞紐0圓形穿孔10、204 子母環(huán)61 固定條61a 固定凸部64 固定元件
具體實施方式
請參閱圖2A，圖2A顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置示意圖，晶圓固定裝置200包括一承載板201、以及一壓板202。承載板201具有一圓形穿孔0，壓板202為一環(huán)體，壓板202固定于承載板201的位置對應(yīng)圓形穿孔0，且環(huán)體的大小對應(yīng)圓形穿孔0，其中，承載板201與壓板202至少其一具有磁性，承載板201與壓板202至少其一利用磁力進行吸附，使壓板202固定于承載板 201。請同時參閱圖2B，圖2B顯示本實用新型一實施例的壓板示意圖，在本實施例中， 圓形穿孔0為一正圓形，壓板202的環(huán)體為一正圓形的環(huán)體，且壓板202等距設(shè)有多個磁性元件20 ，本實用新型不應(yīng)以此為限，可視使用者需求調(diào)整磁性元件20 位置與數(shù)量，另外，磁性元件20 等距設(shè)置于壓板202的環(huán)體，其中磁性元件20 可為一磁鐵所實現(xiàn)。在此請注意，請同時參閱圖2C，圖2C顯示本實用新型一實施例的定位柱與定位槽的局部放大圖，承載板201上設(shè)置有至少一定位柱201a，在一實施例中，定位柱201a垂直設(shè)置于承載板201的上表面，相對應(yīng)地，壓板202的環(huán)體上設(shè)置有至少一定位槽202b。在本實施例中，定位槽202b為半圓圓柱型的溝槽，定位柱201a為一圓柱體。在此請注意，定位槽202b設(shè)置于壓板202的環(huán)體的外徑與內(nèi)徑之間，且定位柱 201a不限于圓柱體，亦可由可各種柱體所實現(xiàn)，且定位槽202b的形狀能與定位柱201a相嵌
I=I O[0041]其中，定位柱201a與定位槽202b的位置與數(shù)目為相對應(yīng)，定位槽202b用以導(dǎo)引定位柱201a，讓使用者能更快速地與精確地使承載板201與壓板202相結(jié)合，并使壓板202 能裝設(shè)于承載板裝201的一預(yù)設(shè)位置。在一實施例中，晶圓固定裝置200具有一固定元件203，固定元件203等距分設(shè)于壓板202上，但本實用新型不應(yīng)以此為限，可視使用者需求增減固定元件203或調(diào)整固定元件203的位置。其中，固定元件203 —端垂直于壓板202的環(huán)體，當(dāng)用以固定一子母環(huán) (Double Ring) 204時，，固定元件203另一端橫向跨越子母環(huán)204的環(huán)體，故子母環(huán)204被固定元件203固定于承載板201，且壓板202的環(huán)體的外徑大于子母環(huán)，子母環(huán)204的水平移動范圍被限制于壓板202之內(nèi)。在此請注意，固定元件203可為一簧片所實現(xiàn)，且在一實施例中，固定元件203與壓板202為一體成型的結(jié)構(gòu)，本實用新型不應(yīng)以此為限。換言之，通過定位槽202b與定位柱201a，當(dāng)壓板202利用磁力進行吸附并固定于承載板201時，定位柱201a與定位槽202b為相嵌合，故，當(dāng)子母環(huán)204固定于晶圓固定裝置200時，由定位槽202b導(dǎo)引定位柱201a，可節(jié)省先前技術(shù)中螺絲需先對準(zhǔn)承載座102的螺絲孔洞所耗費的時間，故使用者直接旋入或旋出固定元件203上的螺絲203a，即可固定或松脫子母環(huán)204于晶圓固定裝置200。另外，本實用新型的承載板201更包括兩個拆卸口 20，拆卸口 20分設(shè)于承載板 201上，為橢圓形凹口，當(dāng)壓板202利用磁力進行吸附并固定于承載板201時，壓板202的外緣與拆卸口 20部份重疊，供使用者利用雙手或其他機械，通過拆卸口 20將壓板202自承載板201拆卸。在此請注意，于另一實施例中，承載板201上設(shè)置有至少一定位槽202b，相對應(yīng)地，壓板202的環(huán)體上設(shè)置有至少一定位柱201a，且定位柱201a垂直設(shè)置于壓板202的下表面(圖未示)，其中下表面為壓板202固定于于承載板201時的接觸面，其余原理與前述相同，在此不另行贅述。請參閱圖3，圖3顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置示意圖，晶圓固定裝置 300與晶圓固定裝置200差異在于，壓板302可由兩個子壓板30、31組合而成，換言之，子壓板30與31為半圓形，子壓板30與31組合后為一正圓形的壓板302，其余原理與前述相同，為求簡潔不再另行贅述。請參閱圖4，圖4顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置示意圖，晶圓固定裝置 400包括一承載板401、以及一壓板402。承載板401具有一圓形穿孔0，壓板402為一環(huán)體，且環(huán)體的大小對應(yīng)圓形穿孔0， 其中，承載板401具有磁性，使承載板401與壓板402能進行磁力吸附，故壓板402能通過磁力固定于承載板401。在本實施例中，圓形穿孔0為一正圓形，壓板402的環(huán)體為一正圓形的環(huán)體，且承載板401包括一樞紐41，且樞鈕41具有磁性，樞鈕41利用磁力進行吸附并固定于承載板 401。在一實施例中，樞鈕41包括一固定元件41a，當(dāng)樞鈕41利用磁力進行吸附并固定于承載板401時，固定元件41a垂直并緊壓于壓板402的環(huán)體，用以固定一子母環(huán)(圖未示)。當(dāng)使用者欲松脫子母環(huán)，可旋轉(zhuǎn)樞鈕41，使樞鈕41與承載板401分開，故固定元件 41a可松脫壓板402的環(huán)體。[0051]換言之，通過樞鈕41的磁性，使壓板402利用磁力進行吸附并固定于承載板401， 節(jié)省先前技術(shù)中螺絲需先對準(zhǔn)承載座102的螺絲孔洞所耗費的時間，故使用者直接旋入或旋出固定元件41a上的螺絲(圖未示)，即可固定或松脫子母環(huán)于晶圓固定裝置400。請參閱圖5，圖5顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置示意圖，晶圓固定裝置 500與晶圓固定裝置400的差異在于晶圓固定裝置500的壓板502具有磁性，于一實施例中，晶圓固定裝置500的承載板501不具磁性，承載板501具有一樞紐51與一固定元件52。當(dāng)壓板502通過旋轉(zhuǎn)樞紐51，將壓板502于承載板501接觸，此時壓板502利用磁力進行吸附，使壓板502固定于承載板501。此時使用者再利用固定元件52，使固定元件 52垂直于壓板502的環(huán)體，讓子母環(huán)504固定于晶圓固定裝置500，其余操作原理與前述相同，在此不另行贅述。請參閱圖6A，圖6A顯示本實用新型一實施例的晶圓固定裝置示意圖，晶圓固定裝置600包括一承載板、一壓板、以及一固定條。承載板601具有一圓形穿孔0，壓板602為一環(huán)體，且壓板602固定于承載板601的位置對應(yīng)圓形穿孔0，且環(huán)體的大小對應(yīng)圓形穿孔0。在此請注意，請同時參閱圖6B，圖6B顯示本實用新型于圖6A中A、B、以及C三點的側(cè)視圖，本實施例中，晶圓固定裝置600具有兩條固定條61，且分別設(shè)置于承載板601的兩側(cè)邊，固定條61分別具有一固定凸部61a。固定條61 —端連接一樞紐63，固定條61通過旋轉(zhuǎn)樞紐63，使固定條61接觸或遠離壓板602，換言之，使用者通過旋轉(zhuǎn)樞紐63，可以始晶圓固定裝置600松脫或固定壓板602 于承載板601。在一實施例中，樞紐63可為一彈性構(gòu)件所實現(xiàn)，例如彈簧。其中，當(dāng)壓板602固定于承載板的位置并對應(yīng)圓形穿孔時，固定凸部61a抵靠壓板 602，使壓板602能裝設(shè)于該承載板的一預(yù)設(shè)位置，且固定凸部61a的頂端(B點)為抵靠于子母環(huán)204，故由圖6B可以了解，固定凸部61a的B點于側(cè)視圖中的高度低于A點、或C點。另外，承載板601具有一固定元件64，當(dāng)壓板602固定于承載板602的預(yù)設(shè)位置時，固定元件64可將固定條61的另一端固定，使固定條61在一預(yù)設(shè)空間內(nèi)移動，如此一來可避免壓板602脫離承載板601。綜上所述，由于承載板與壓板至少其一具有磁性，使承載板與壓板至少其一能利用磁力進行吸附，使壓板能迅速固定于承載板，再利用定位柱、定位槽、或樞紐的設(shè)計，節(jié)省使用者的時間與人力。
權(quán)利要求1.一種晶圓固定裝置，其特征在于，所述晶圓固定裝置包括一承載板，具有一圓形穿孔；以及一壓板，為一環(huán)體，所述壓板固定于所述承載板的位置對應(yīng)所述圓形穿孔；其中，所述承載板與所述壓板至少其一具有磁性，所述承載板與所述壓板利用磁力吸附固定。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述承載板設(shè)置有至少一定位柱， 所述定位柱垂直設(shè)于所述承載板的一表面。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述環(huán)體上設(shè)有至少一定位槽，用以導(dǎo)引所述定位柱，使所述壓板能裝設(shè)于所述承載板的一預(yù)設(shè)位置。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述環(huán)體設(shè)置有至少一定位柱，所述定位柱垂直設(shè)于所述環(huán)體的一表面。
5.如權(quán)利要求4所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述承載板上設(shè)有至少一定位槽， 用以導(dǎo)引所述定位柱，使所述壓板能裝設(shè)于所述承載板的一預(yù)設(shè)位置。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，用以置放一子母環(huán)，且所述環(huán)體的外徑大于所述子母環(huán)。
7.如權(quán)利要求6所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述晶圓固定裝置具有一固定元件，所述固定元件垂直于所述環(huán)體，使所述子母環(huán)固定于所述晶圓固定裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述承載板包括一樞紐，所述承載板利用所述樞紐與所述壓板連接，且所述晶圓固定裝置通過旋轉(zhuǎn)樞紐，使所述壓板接觸或遠離于所述承載板；所述承載板包括一固定元件，當(dāng)所述壓板利用磁力進行吸附并固定于所述承載板時，所述固定元件一端垂直于所述環(huán)體，所述固定元件另一端用以固定一子母環(huán)。
9.如權(quán)利要求1所述的晶圓固定裝置，其特征在于，所述承載板包括一樞紐，且所述樞鈕具有磁性，所述樞鈕利用磁力進行吸附并固定于所述承載板；所述樞鈕包括一固定元件， 當(dāng)所述樞鈕利用磁力進行吸附并固定于所述承載板時，所述固定元件一端垂直于所述環(huán)體，所述固定元件另一端用以固定一子母環(huán)。
10.一種晶圓固定裝置，其特征在于，所述晶圓固定裝置包括一承載板，具有一圓形穿孔；一壓板，為一環(huán)體，所述壓板固定于所述承載板的位置對應(yīng)所述圓形穿孔；以及一固定條，具有一固定凸部；其中，當(dāng)所述壓板固定于承載板的位置對應(yīng)圓形穿孔時，所述固定凸部抵靠所述壓板， 使所述壓板能固定于所述承載板的一預(yù)設(shè)位置。
專利摘要本實用新型例提供一種晶圓固定裝置，晶圓固定裝置包括一承載板、以及一壓板。承載板，具有一圓形穿孔；壓板，為一環(huán)體，壓板固定于承載板的位置對應(yīng)圓形穿孔；其中，承載板與壓板至少其一具有磁性，承載板與該壓板利用磁力吸附固定。
文檔編號H01L21/68GK202189772SQ20112026875
公開日2012年4月11日 申請日期2011年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月27日
發(fā)明者雷清龔 申請人:宸軒科技有限公司